低温プラズマ科学研究センター サステナブル技術研究開発部門

低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門

プラズマナノ科学・ナノ工学

低温プラズマ科学研究センター 先端ドライプロセス研究部門

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プラズマプロセス、工学@応用物理学・工学基礎@表面界面物性、工学@応用物理学・工学基礎@応用物性・結晶工学、マイクロ・ナノデバイス、ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性

低温プラズマ科学研究センター 先端ドライプロセス研究部門

低温プラズマ科学研究センター 半導体ナノプロセス研究部門