論文 - 堤 隆嘉
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Rapid measurement of substrate temperatures by frequency-domain low-coherence interferometry 査読有り
T. Tsutsumi, T. Ohta, K. Ishikawa, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori, M. Ito
Applied Physics Letters 103 巻 ( 18 ) 頁： 182102 2013年10月