Updated on 2025/03/27

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SUZUKI Haruka
 
Organization
Graduate School of Engineering Electronics 1 Associate professor
Graduate School
Graduate School of Engineering
Undergraduate School
School of Engineering Electrical Engineering, Electronics, and Information Engineering
Title
Associate professor
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Degree 1

  1. Doctor of Engineering （ 2016.3   Nagoya University ） 

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Research Interests 4

  1. プラズマプロセス

  2. プラズマ診断

  3. マイクロ波プラズマ

  4. 大気圧プラズマ

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Research Areas 1

  1. Energy Engineering / Applied plasma science  / Plasma

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Current Research Project and SDGs 1

  1. 新規プロセスプラズマの開発

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Research History 6

  1. Nagoya University   Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS)   Associate professor

    2024.11

    　 More details

    Country：Japan

  2. Nagoya University   Associate professor

    2024.11

    　 More details

    Country：Japan

  3. Nagoya University   Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS)   Lecturer

    2022.3 - 2024.10

    　 More details

    Country：Japan

  4. Nagoya University   Lecturer

    2022.3 - 2024.10

    　 More details

    Country：Japan

  5. Nagoya University   Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS)   Assistant Professor

    2019.4 - 2022.2

    　 More details

    Country：Japan

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Education 3

  1. Nagoya University   Graduate School, Division of Engineering

    2013.4 - 2016.3

    　 More details

    Country： Japan

  2. Nagoya University   Graduate School, Division of Engineering

    2011.4 - 2013.3

    　 More details

    Country： Japan

  3. Nagoya University   Faculty of Engineering

    2007.4 - 2011.3

    　 More details

    Country： Japan

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Professional Memberships 4

  1. 静電気学会

    2022.4

  2. 電気学会

  3. プラズマ・核融合学会

  4. 応用物理学会

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Committee Memberships 19

  1. AAPPS-DPP 2024 conference (8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics)   Applied Program Committee  

    2024.4 - 2025.3   

    　 More details

    Committee type：Academic society

  2.   Executive Committee  

    2024   

  3. ISPlasma2025/IC-PLANTS2025   Program Committee  

    2024   

  4.   Executive Committee  

    2023   

  5. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024   Program Committee  

    2023   

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Awards 9

  1. 応用物理学会論文賞

    2024.3   公益社団法人 応用物理学会  

    　More details

    Award type：Honored in official journal of a scientific society, scientific journal 

  2. 第21回プラズマエレクトロニクス賞

    2023.3   公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会  

  3. 第三回ダイバーシティ＆インクルージョン賞（女性研究者研究奨励賞）

    2025.3   公益社団法人応用物理学会  

    　More details

    Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc. 

  4. 2018年秋季学術講演会Poster Award

    2018.10   公益社団法人 応用物理学会  

    　More details

    Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc.  Country：Japan

  5. 2017年秋季学術講演会Poster Award

    2017.9   公益社団法人 応用物理学会  

    　More details

    Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc.  Country：Japan

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To the head of Awards.▲
 

Papers 28

  1. Evaluation of the spatial structure of multiline emission in a capacitively coupled plasma using tomographic reconstruction Reviewed

    Manabu Kyuzo, Kenta Harada, Ryota Izumi, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   Vol. 63   page： 056004   2024.5

    　More details

    Language：English   Publishing type：Research paper (scientific journal)  

    DOI： 10.35848/1347-4065/ad46b0

  2. Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma Reviewed

    Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   Vol. 63   page： 016001   2023.12

    　More details

    Language：English   Publishing type：Research paper (scientific journal)  

    DOI： 10.35848/1347-4065/ad121f

  3. Mass spectroscopic measurement of time-varying　ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma Reviewed

    Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   Vol. 62   page： SI1003   2023.3

    　More details

    Language：English   Publishing type：Research paper (scientific journal)  

    DOI： 10.35848/1347-4065/acb6a1

  4. Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet Reviewed

    Trung Nguyen TRAN, Min HU, Tomohiro OGASAWARA, Yuki IWATA, Haruka SUZUKI, Jin SAKAMOTO, Masafumi AKIYOSHI, Hirotaka TOYODA and Hiroto MATSUURA

    Plasma Science and Technology   Vol. 25   page： 035404   2023.1

    　More details

    Language：English   Publishing type：Research paper (scientific journal)  

    DOI： 10.1088/2058-6272/ac9891

  5. Influence of small ground surface on plasma property in an inductively–coupled plasma with floating liner Reviewed

    Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   Vol. 62   page： SA1008   2022.11

    　More details

    Language：English   Publishing type：Research paper (scientific journal)  

    DOI： 10.35848/1347-4065/ac7e19

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MISC 4

  1. ものづくりのための新規プラズマ源の開発を目指して

    鈴木 陽香

    静電気学会誌   Vol. 45 ( 3 ) page： 110 - 111   2021.5

    　More details

    Authorship：Lead author,　Last author,　Corresponding author   Language：Japanese  

  2. 長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用 Invited

    豊田浩孝, 鈴木 陽香

    表面技術   Vol. 71   page： 624 - 628   2020

    　More details

    Language：Japanese   Publishing type：Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal)  

  3. 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

    豊田浩孝, 鈴木陽香

    応用物理   Vol. 88 ( 2 ) page： 101 - 104   2019.2

    　More details

    Language：Japanese  

  4. マイクロ波励起メートル級プラズマの生成とその特性

    鈴木陽香

    プラズマエレクトロニクス分科会会報   ( 66 ) page： 29 - 30   2017.6

    　More details

    Authorship：Lead author,　Last author,　Corresponding author   Language：Japanese  

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Presentations 296

  1. [第3回ダイバーシティ＆インクルージョン賞　女性研究者研究奨励賞　受賞記念講演] 高周波放電を用いた大気圧高密度プラズマ源の開発と応用に関する研究 Invited

    鈴木　陽香

    2025年第72回応用物理学会春季学術講演会  公益社団法人応用物理学会

    　More details

    Event date： 2025.3

    Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (invited, special)  

    Country：Japan  

  2. Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual- frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry Invited International conference

    Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda

    　More details

    Event date： 2024.11

    Language：English   Presentation type：Oral presentation (invited, special)  

    Country：Malaysia  

  3. 二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響

    菊池 拓哉，赤塚 勇大, 鈴木 陽香，森山 誠，田村 晃汰, 久保井 宗一, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝

    2025年第72回応用物理学会春季学術講演会  公益社団法人応用物理学会

    　More details

    Event date： 2025.3

    Language：Japanese   Presentation type：Poster presentation  

    Country：Japan  

  4. プラズマ空間分布再構築における電極間⽅向の⾼分解能化

    泉 涼太, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

    2025年第72回応用物理学会春季学術講演会  公益社団法人応用物理学会

    　More details

    Event date： 2025.3

    Language：Japanese   Presentation type：Poster presentation  

    Country：Japan  

  5. 機械学習を用いたAr イオンビームプロファイルの解析

    金 度漢，川村 隼也，内藤 真誉，鈴木 陽香，飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝

    2025年第72回応用物理学会春季学術講演会  公益社団法人応用物理学会

    　More details

    Event date： 2025.3

    Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

    Country：Japan  

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Research Project for Joint Research, Competitive Funding, etc. 4

  1. 樹脂表面改質機構の解明

    2023.11

    共同研究 

    　 More details

    Authorship：Coinvestigator(s) 

  2. プロセスプラズマのイメージング計測技術の開発

    2021.4 - 2023.3

    2022年度一般共同研究 

  3. 液体流プラズマを用いた高速大流量液体処理中における反応生成物の調査

    2021

    2021年度国内研究助成 

  4. 大面積フィルム処理のための大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける酸素ラジカル空間分布計測

    2021

    第39回（令和3年度）研究助成 

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KAKENHI (Grants-in-Aid for Scientific Research) 4

  1. 高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価

    Grant number：21K13907  2021.4 - 2023.3

    日本学術振興会  若手研究 

  2. ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発

    Grant number：18K13531  2018.4 - 2021.3

    日本学術振興会  若手研究

    鈴木 陽香

    　 More details

    Authorship：Principal investigator 

    Grant amount：\4160000 （ Direct Cost: \3200000 、 Indirect Cost：\960000 ）

    大気圧プラズマは簡易な構成でプラズマ生成が可能であるため、様々な産業への応用が期待される。プロセス速度において最も重要となる化学活性種（ラジカル）供給量は、プラズマの密度とサイズ、電子温度により決定される。申請者はこれまでの研究で大面積表面処理用のメートル級長尺の高密度大気圧マイクロ波プラズマ源を世界で初めて実現した。しかし、高電子密度プラズマであったとしても、電子温度が低ければ生成されるラジカル量が少ないことがプロセスへの応用において問題となる。そこで、本研究では大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御による解離促進手法を確立し、高密度ラジカル生成を目的とする。本研究が成功すればラジカル供給量の制御による大気圧プラズマプロセスの性能の飛躍的な向上が期待できる。
    2019年度においては、まず、分子ガスを添加してマイクロ波パルス放電プラズマの安定生成条件の探索を行った。その結果、添加量に依存して安定化の条件が大きく異なることが明らかとなった。また、希ガス放電より大きな電力を要するため、装置の加熱による熱ひずみがプラズマ生成の不安定化につながるという問題が発生した。そこで、プラズマからの受熱がどの程度あるかの調査を行い、それに対して十分な冷却能力を考慮した装置の設計を行った。また、高速ゲートICCDカメラを用いてパルス放電時におけるプラズマ挙動の調査を行うとともに、発光分光を用いて活性種生成量の調査を行った。
    本研究では大気圧マイクロ波プラズマにおいて、パルス制御放電等を用いて電子温度制御することにより高密度ラジカルを供給し、表面処理プロセスを行うことを最終的な目的としている。
    2019年度においては、マイクロ波パルス放電プラズマの特性の調査を計画していたが、安定生成できるウィンドウが狭く、統一された実験条件での放電維持が困難であった。その一因として、分子ガス添加による熱の影響で装置がひずむという問題があることが明らかとなった。そのため、プラズマからの受熱量の調査を行い、装置を再製作した。並行して、限定的な条件であるが、プラズマの挙動調査、発光分光を行った。以上のように、パルス放電の特性の調査は十分進んでおらず、当初計画より遅れている。一方で、分子ガスプラズマの安定生成には大きな電力を要するため、本装置においては熱のマネジメントが非常に重要であることが明らかとなった。
    2019年度の研究において、パルス放電時の特性および熱のマネジメントの重要性が明らかとなった。
    次年度においては装置の改良をおこない、当初計画通り、パルス放電条件に対する電子温度、電子密度の関係性について調査するとともに、ラジカル生成増加の最適条件を検討する。電子温度は制動輻射光から定量評価するとともに、放電ガスに難解離性分子である窒素または酸素を用いて、発光分光から解離の効果について定性的に評価する。プラズマ安定維持のために外部印加電圧による補助も検討する。
    また、分子ガス添加プラズマを用いた応用実験を行い、放電条件と処理速度の関係性の調査を行うことを予定している。

  3. Atmospheric-pressure plasma process using high-density and high-purity water-derived reactive species produced by a water-vapor microwave plasma

    Grant number：16H06859  2016.8 - 2018.3

    Japan Society for the Promotion of Science 

    SUZUKI Haruka

    　 More details

    Authorship：Principal investigator 

    Grant amount：\2990000 （ Direct Cost: \2300000 、 Indirect Cost：\690000 ）

    Atmospheric pressure plasma sources in air-shielded environment by water flow were developed for plasma process utilizing water-derived reactive species without air contamination in the atmosphere. A microwave-excited water-vapor plasma source in a space shielded by cone-shaped water flow was developed using a coaxial waveguide with a ring-shaped slot to use high-density hydroxyl radical without air contamination at atmospheric pressure. Water vapor plasma without the air was successfully realized by the pulsed microwave discharges. Production of hydroxyl radical was confirmed from the optical emission from the plasma. As an application example of the water-vapor plasma in the air shield environment, atmospheric pressure photoresist removal treatment was demonstrated.

  4. Wide range radical production by atmospheric pressure microwave plasma with molecular gas and applications

    Grant number：16H03893  2016.4 - 2019.3

    Japan Society for the Promotion of Science 

    Toyoda Hirotaka

    　 More details

    Authorship：Coinvestigator(s) 

    Microwave plasmas have been used in various industrial areas. In this study, meter-length microwave atmospheric pressure plasma inside meter-length slot was studied, especially fosucing on the discharge using molecular gases. Through this study, 50cm pure N2 plasma was successfully produced. This result strongly suggests application of this plasma source for various surface modification in large area.

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Industrial property rights 3

  1. プラズマＣＶＤ装置、及びフィルムの製造方法

    豊田浩孝, 鈴木陽香, 慈幸範洋, 奈良井哲

    　More details

    Application no：2018-051429  Date applied：2018.3

    Country of applicant：Domestic  

  2. プラズマ発生装置

    豊田浩孝, 鈴木陽香

    　More details

    Application no：2017-242257  Date applied：2017.12

    Country of applicant：Domestic  

  3. マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法

    伊藤仁, 堀勝, 豊田浩孝, 鈴木陽香, 関根誠

    　More details

    Application no：特願2016-121668  Date applied：2016.6

    Announcement no：特開2017-228354  Date announced：2017.12

    Country of applicant：Domestic  

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Teaching Experience (On-campus) 25

  1. Electromagnetic Theory with Exercises

    2024

  2. [G30]自動車のための電子・情報技術

    2024

  3. 電磁理論

    2024

    　詳細を見る

    エネルギーからエレクトロニクスに至る広範な応用の基盤となっている電磁気学についてその理解を深め，「使える電磁気学」としての実践的活用法を身につけることを目的とする。そのため，解法が示されていない種々の具体的課題についてグループで取り組み，電磁理論をベースに考察・調査報告・討論を重ねて選択課題を解決できるようになることを目指す。

  4. 電磁理論

    2023

  5. プロセスプラズマ工学特論

    2023

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Social Contribution 7

  1. テクノフロンティアセミナー TEFS2024

    Role(s)：Lecturer,　Planner

    2024.8

    　More details

    Audience： High school students

    Type：Seminar, workshop

  2. 進学説明会・相談会　ミニ講演

    Role(s)：Lecturer

    東北大学  進学説明会・相談会　  2024.6

  3. テクノフロンティアセミナー TEFS2019

    Role(s)：Lecturer,　Planner

    2019.8

    　More details

    Audience： High school students

    Type：Seminar, workshop

  4. テクノフロンティアセミナー TEFS2018

    Role(s)：Lecturer,　Planner

    2018.8

    　More details

    Audience： High school students

    Type：Seminar, workshop

  5. テクノフロンティアセミナー TEFS2017

    Role(s)：Lecturer,　Planner

    2017.8

    　More details

    Audience： High school students

    Type：Seminar, workshop

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