2024/11/01 更新

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スズキ ハルカ
鈴木 陽香
SUZUKI Haruka
所属
大学院工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス創造 准教授
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 電気電子情報工学科
職名
准教授
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位 1

  1. 博士(工学) ( 2016年3月   名古屋大学 ) 

研究キーワード 4

  1. プラズマプロセス

  2. プラズマ診断

  3. マイクロ波プラズマ

  4. 大気圧プラズマ

研究分野 1

  1. エネルギー / プラズマ応用科学  / プラズマ

現在の研究課題とSDGs 1

  1. 新規プロセスプラズマの開発

経歴 6

  1. 名古屋大学   低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門   准教授

    2024年11月 - 現在

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    国名:日本国

  2. 名古屋大学   大学院 工学研究科   准教授

    2024年11月 - 現在

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    国名:日本国

  3. 名古屋大学   低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門   講師

    2022年3月 - 2024年10月

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    国名:日本国

  4. 名古屋大学   大学院 工学研究科   講師

    2022年3月 - 2024年10月

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    国名:日本国

  5. 名古屋大学   低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門   助教

    2019年4月 - 2022年2月

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    国名:日本国

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学歴 3

  1. 名古屋大学   工学研究科   電子情報システム専攻

    2013年4月 - 2016年3月

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    国名: 日本国

  2. 名古屋大学   工学研究科   電子情報システム専攻

    2011年4月 - 2013年3月

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    国名: 日本国

  3. 名古屋大学   工学部   電気電子・情報工学科

    2007年4月 - 2011年3月

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    国名: 日本国

所属学協会 4

  1. 静電気学会

    2022年4月 - 現在

  2. 電気学会

  3. プラズマ・核融合学会

  4. 応用物理学会

委員歴 18

  1. Executive Committee  

    2024年   

  2. ISPlasma2025/IC-PLANTS2025   Program Committee  

    2024年   

  3. Executive Committee  

    2023年   

  4. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024   Program Committee  

    2023年   

  5. 一般社団法人 プラズマ・核融合学会   領域委員  

    2022年1月 - 現在   

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受賞 8

  1. 応用物理学会論文賞

    2024年3月   公益社団法人 応用物理学会  

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    受賞区分:学会誌・学術雑誌による顕彰 

  2. 第21回プラズマエレクトロニクス賞

    2023年3月   公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会  

  3. 2018年秋季学術講演会Poster Award

    2018年10月   公益社団法人 応用物理学会  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  4. 2017年秋季学術講演会Poster Award

    2017年9月   公益社団法人 応用物理学会  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  5. 講演奨励賞

    2017年3月   公益社団法人 応用物理学会   改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

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論文 27

  1. Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma 査読有り

    Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   63 巻   頁: 016001   2023年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad121f

  2. Mass spectroscopic measurement of time-varying ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma 査読有り

    Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻   頁: SI1003   2023年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/acb6a1

  3. Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet 査読有り

    Trung Nguyen TRAN, Min HU, Tomohiro OGASAWARA, Yuki IWATA, Haruka SUZUKI, Jin SAKAMOTO, Masafumi AKIYOSHI, Hirotaka TOYODA and Hiroto MATSUURA

    Plasma Science and Technology   25 巻   頁: 035404   2023年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/2058-6272/ac9891

  4. Influence of small ground surface on plasma property in an inductively–coupled plasma with floating liner 査読有り

    Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻   頁: SA1008   2022年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac7e19

  5. High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma 査読有り

    Haruka Suzuki,Tomohiro Ogasawara,Yuki Iwata, Hansin Bae, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   61 巻   頁: SI1008   2022年6月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac64e2

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MISC 4

  1. ものづくりのための新規プラズマ源の開発を目指して

    鈴木 陽香  

    静電気学会誌45 巻 ( 3 ) 頁: 110 - 111   2021年5月

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語  

  2. 長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用 招待有り

    豊田浩孝, 鈴木 陽香  

    表面技術71 巻   頁: 624 - 628   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)  

  3. 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

    豊田浩孝, 鈴木陽香  

    応用物理88 巻 ( 2 ) 頁: 101 - 104   2019年2月

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    記述言語:日本語  

  4. マイクロ波励起メートル級プラズマの生成とその特性

    鈴木陽香  

    プラズマエレクトロニクス分科会会報 ( 66 ) 頁: 29 - 30   2017年6月

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語  

講演・口頭発表等 276

  1. 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価

    市川 景太、Chu Manh Hung、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝

    第71回応用物理学会春期学術講演会  2024年3月22日  公益社団法人 応用物理学会

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:東京都市大学世田谷キャンパス  

  2. On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響

    赤塚勇大,鈴木陽香,森山誠,飯野大輝,福水裕之,栗原一彰,豊田浩孝

    第71回応用物理学会春期学術講演会  2024年3月25日  公益社団法人 応用物理学会

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京都市大学世田谷キャンパス  

  3. 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

    川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝

    第71回応用物理学会春期学術講演会  2024年3月22日  公益社団法人 応用物理学会

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京都市大学世田谷キャンパス  

  4. 高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力

    中林 賢二、小川 泰那、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第71回応用物理学会春期学術講演会  2024年3月24日  公益社団法人 応用物理学会

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京都市大学世田谷キャンパス  

  5. Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system 国際会議

    Kengo Yunoki, Haruka Suzuki,2Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi,Takanori Murase,Sho Nakagawa,Yuto Yanagihara,Hirotaka Toyoda

    16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024)  2024年3月4日 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Nagoya   国名:日本国  

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共同研究・競争的資金等の研究課題 4

  1. 樹脂表面改質機構の解明

    2023年11月 - 現在

    共同研究 

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    担当区分:研究分担者 

  2. プロセスプラズマのイメージング計測技術の開発

    2021年4月 - 2023年3月

    2022年度一般共同研究 

  3. 液体流プラズマを用いた高速大流量液体処理中における反応生成物の調査

    2021年

    2021年度国内研究助成 

  4. 大面積フィルム処理のための大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける酸素ラジカル空間分布計測

    2021年

    第39回(令和3年度)研究助成 

科研費 4

  1. 高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価

    研究課題/研究課題番号:21K13907  2021年4月 - 2023年3月

    日本学術振興会  若手研究 

  2. ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発

    研究課題/研究課題番号:18K13531  2018年4月 - 2021年3月

    日本学術振興会  若手研究

    鈴木 陽香

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:4160000円 ( 直接経費:3200000円 、 間接経費:960000円 )

    大気圧プラズマは簡易な構成でプラズマ生成が可能であるため、様々な産業への応用が期待される。プロセス速度において最も重要となる化学活性種(ラジカル)供給量は、プラズマの密度とサイズ、電子温度により決定される。申請者はこれまでの研究で大面積表面処理用のメートル級長尺の高密度大気圧マイクロ波プラズマ源を世界で初めて実現した。しかし、高電子密度プラズマであったとしても、電子温度が低ければ生成されるラジカル量が少ないことがプロセスへの応用において問題となる。そこで、本研究では大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御による解離促進手法を確立し、高密度ラジカル生成を目的とする。本研究が成功すればラジカル供給量の制御による大気圧プラズマプロセスの性能の飛躍的な向上が期待できる。
    2019年度においては、まず、分子ガスを添加してマイクロ波パルス放電プラズマの安定生成条件の探索を行った。その結果、添加量に依存して安定化の条件が大きく異なることが明らかとなった。また、希ガス放電より大きな電力を要するため、装置の加熱による熱ひずみがプラズマ生成の不安定化につながるという問題が発生した。そこで、プラズマからの受熱がどの程度あるかの調査を行い、それに対して十分な冷却能力を考慮した装置の設計を行った。また、高速ゲートICCDカメラを用いてパルス放電時におけるプラズマ挙動の調査を行うとともに、発光分光を用いて活性種生成量の調査を行った。
    本研究では大気圧マイクロ波プラズマにおいて、パルス制御放電等を用いて電子温度制御することにより高密度ラジカルを供給し、表面処理プロセスを行うことを最終的な目的としている。
    2019年度においては、マイクロ波パルス放電プラズマの特性の調査を計画していたが、安定生成できるウィンドウが狭く、統一された実験条件での放電維持が困難であった。その一因として、分子ガス添加による熱の影響で装置がひずむという問題があることが明らかとなった。そのため、プラズマからの受熱量の調査を行い、装置を再製作した。並行して、限定的な条件であるが、プラズマの挙動調査、発光分光を行った。以上のように、パルス放電の特性の調査は十分進んでおらず、当初計画より遅れている。一方で、分子ガスプラズマの安定生成には大きな電力を要するため、本装置においては熱のマネジメントが非常に重要であることが明らかとなった。
    2019年度の研究において、パルス放電時の特性および熱のマネジメントの重要性が明らかとなった。
    次年度においては装置の改良をおこない、当初計画通り、パルス放電条件に対する電子温度、電子密度の関係性について調査するとともに、ラジカル生成増加の最適条件を検討する。電子温度は制動輻射光から定量評価するとともに、放電ガスに難解離性分子である窒素または酸素を用いて、発光分光から解離の効果について定性的に評価する。プラズマ安定維持のために外部印加電圧による補助も検討する。
    また、分子ガス添加プラズマを用いた応用実験を行い、放電条件と処理速度の関係性の調査を行うことを予定している。

  3. 大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用

    研究課題/研究課題番号:16H06859  2016年8月 - 2018年3月

    日本学術振興会 

    鈴木 陽香

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:2990000円 ( 直接経費:2300000円 、 間接経費:690000円 )

    大気圧プラズマプロセスにおいては、プラズマに大気が混入することにより、プロセス条件の制御が困難であることから、本研究では、簡易な設備で外気を遮断し高密度かつ高純度の活性種を利用する大気中プラズマプロセス技術の確立を目的とした。マイクロ波放電による水蒸気プラズマの周囲に円錐状水流を設けることにより、プラズマへの大気混入を抑制することに成功した。また、本研究のプラズマ装置を用いたフォトレジスト除去に成功した。水流による遮蔽がない場合、水蒸気プラズマに大気中の大気が混入し、除去処理が行えなかったことから、水流による大気遮蔽の効果と水由来活性種の生成量の増加が示された。

  4. 分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開

    研究課題/研究課題番号:16H03893  2016年4月 - 2019年3月

    日本学術振興会 

    豊田 浩孝

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    担当区分:研究分担者 

    マイクロ波帯の電磁波を利用したプラズマ生成は、産業分野での応用が拡がっている。本研究は、マイクロ波進行方向を制御することにより、メートル長の長尺スロット内においてメートル長の分子ガス長尺プラズマを生成することを目的とする。その結果、50cm長の100%分子ガスプラズマ生成に成功した。この成果により、さまざまな大面積表面の化学修飾プロセスの実現が可能となる。
    本研究は、従来より非常に困難であった大面積大気圧プラズマ処理技術を実現するものであり、本研究の成果により、高密度マイクロ波プラズマを用いて分子ガスプラズマ処理の実現を可能とする道筋が描かれた。この成果は今後の様々な電子デバイス製造プロセス分野などでの製造プロセスに革新をもたらす重要な成果と考えている。

産業財産権 3

  1. プラズマCVD装置、及びフィルムの製造方法

    豊田浩孝, 鈴木陽香, 慈幸範洋, 奈良井哲

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    出願番号:2018-051429  出願日:2018年3月

    出願国:国内  

  2. プラズマ発生装置

    豊田浩孝, 鈴木陽香

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    出願番号:2017-242257  出願日:2017年12月

    出願国:国内  

  3. マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法

    伊藤仁, 堀勝, 豊田浩孝, 鈴木陽香, 関根誠

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    出願番号:特願2016-121668  出願日:2016年6月

    公開番号:特開2017-228354  公開日:2017年12月

    出願国:国内  

 

担当経験のある科目 (本学) 22

  1. プロセスプラズマ工学特論

    2023

  2. 電磁理論

    2023

  3. 電磁理論

    2022

  4. 電気電子情報工学実験第2

    2021

  5. 物理学実験

    2021

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社会貢献活動 6

  1. テクノフロンティアセミナー TEFS2024

    役割:講師, 企画

    2024年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  2. テクノフロンティアセミナー TEFS2019

    役割:講師, 企画

    2019年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  3. テクノフロンティアセミナー TEFS2018

    役割:講師, 企画

    2018年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  4. テクノフロンティアセミナー TEFS2017

    役割:講師, 企画

    2017年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  5. テクノフロンティアセミナー TEFS2016

    役割:講師, 企画

    2016年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

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