2021/04/09 更新

写真a

スズキ ハルカ
鈴木 陽香
SUZUKI Haruka
所属
大学院工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス創造 助教
職名
助教
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位 1

  1. 博士(工学) ( 2016年3月   名古屋大学 ) 

研究キーワード 4

  1. プラズマプロセス

  2. プラズマ診断

  3. マイクロ波プラズマ

  4. 大気圧プラズマ

研究分野 1

  1. エネルギー / プラズマ応用科学  / プラズマ

現在の研究課題とSDGs 1

  1. 新規プロセスプラズマの開発

経歴 2

  1. 名古屋大学   低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門   助教

    2019年4月 - 現在

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    国名:日本国

  2. 名古屋大学   大学院 工学研究科   助教

    2016年4月 - 現在

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    国名:日本国

学歴 3

  1. 名古屋大学   工学研究科   電子情報システム専攻

    2013年4月 - 2016年3月

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    国名: 日本国

  2. 名古屋大学   工学研究科   電子情報システム専攻

    2011年4月 - 2013年3月

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    国名: 日本国

  3. 名古屋大学   工学部   電気電子・情報工学科

    2007年4月 - 2011年3月

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    国名: 日本国

所属学協会 3

  1. 電気学会

  2. プラズマ・核融合学会

  3. 応用物理学会

委員歴 8

  1. ISPlasma2021/IC-PLANTS2021   Executive Committee  

    2020年   

  2. ISPlasma2021/IC-PLANTS2021   Program Committee  

    2020年   

  3. ISPlasma2020/IC-PLANTS2020   Executive Committee  

    2019年   

  4. ISPlasma2019/IC-PLANTS2019   Executive Committee  

    2018年   

  5. 40th International Symposium on Dry Process   Executive Committee  

    2018年   

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    団体区分:学協会

  6. 40th International Symposium on Dry Process   Ad Hoc Committee for 40th Anniversary Project  

    2017年3月 - 2018年   

  7. ISPlasma2018/IC-PLANTS2018   Executive Committee  

    2017年   

  8. ISPlasma2017/IC-PLANTS2017   Executive Committee  

    2016年   

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受賞 6

  1. 2018年秋季学術講演会Poster Award

    2018年10月   公益社団法人 応用物理学会  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  2. 2017年秋季学術講演会Poster Award

    2017年9月   公益社団法人 応用物理学会  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  3. 講演奨励賞

    2017年3月   公益社団法人 応用物理学会   改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  4. The Best Poster Award

    2016年9月   ICMAP 2016   Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path

    Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:大韓民国

  5. 若手学会発表賞

    2015年11月   一般社団法人 プラズマ・核融合学会   大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  6. 電気学会優秀論文発表賞

    2012年1月   一般社団法人 電気学会   パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

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論文 18

  1. Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma 査読有り

    Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Hirotaka Toyoda

    Fusion Engineering and Design   170 巻   頁: 112532   2021年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.fusengdes.2021.112532

  2. Spatial uniformity evaluation of atmospheric-pressure microwave line plasma for wide-area surface treatment 査読有り

    Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Yosuke Koike, Hirotaka Toyoda

    Plasma and Fusion Research   16 巻   頁: 1406046   2021年4月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1585/pfr.16.1406046

  3. Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma 査読有り

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 1 ) 頁: 016001   2020年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abd0ca

  4. Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma 査読有り

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( SJ ) 頁: SJJB03   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab85af

  5. Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N<sub>2</sub> plasma production 査読有り

    Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Manh Hung Chu and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 1 ) 頁: 016002   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab649e

  6. Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O<sub>2</sub> plasma 査読有り

    Hirotaka Toyoda, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Takeshi Honda

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( 12 ) 頁: 126001   2019年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  7. Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow 査読有り

    Hikaru Senba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻   頁: SAAC05   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aaeb3d

  8. Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment 査読有り

    Kensuke Sasai, Kazuki Keyamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻   頁: 066201   2018年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.066201

  9. Quantitative evaluation of high-energy O<sup>-</sup> ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target 査読有り

    Taku Suyama, Hansin Bae, Kenta Setaka, Hayato Ogawa, Yushi Fukuoka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 44 ) 頁: 445201   2017年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa87a1

  10. An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge 査読有り

    Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 11 ) 頁: 116001   2017年9月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.116001

  11. Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition 査読有り

    Kensuke Sasai, Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 8 ) 頁: 086202   2016年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.086202

  12. Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma 査読有り

    Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Journal of Physics D: Applied Physics   49 巻 ( 29 ) 頁: 295202   2016年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/49/29/295202

  13. Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave 査読有り

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 1S ) 頁: 01AH09   2015年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AH09

  14. Low-pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler 査読有り

    Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 1 ) 頁: 016203   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.016203

  15. New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure 査読有り

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    Applied Physics Express   8 巻 ( 3 ) 頁: 036001   2015年2月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.8.036001

  16. Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation 査読有り

    Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁: SE802   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab1638

  17. Progress and perspectives in dry processes for leading-edge manufacturing of devices: toward intelligent processes and virtual product development 査読有り

    Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁: SE804   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab163b

  18. Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: how can we improve our use of dry processes? 査読有り

    Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁: SE803   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab163a

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MISC 2

  1. 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

    豊田浩孝, 鈴木陽香  

    応用物理88 巻 ( 2 ) 頁: 101 - 104   2019年2月

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    記述言語:日本語  

  2. マイクロ波励起メートル級プラズマの生成とその特性

    鈴木陽香  

    プラズマエレクトロニクス分科会会報 ( 66 ) 頁: 29 - 30   2017年6月

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語  

講演・口頭発表等 190

  1. 表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜

    BAE Hansin, 疋田 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月18日 

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    開催年月日: 2021年3月16日 - 2021年3月19日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  2. 液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成

    山口 和也, 鈴木 丈, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月19日 

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    開催年月日: 2021年3月16日 - 2021年3月19日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  3. パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

    小笠原 知裕, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月18日 

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    開催年月日: 2021年3月16日 - 2021年3月19日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  4. 絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動

    千葉 行徳, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月19日 

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    開催年月日: 2021年3月16日 - 2021年3月19日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  5. Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議

    Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, and Hirotaka Toyoda

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月9日 

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    開催年月日: 2021年3月7日 - 2021年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  6. Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議

    Kota Tamura, Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

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    開催年月日: 2021年3月7日 - 2021年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  7. Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

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    開催年月日: 2021年3月7日 - 2021年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  8. Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave LinePlasma with Ar/O2 国際会議

    Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

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    開催年月日: 2021年3月7日 - 2021年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  9. Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議

    Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

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    開催年月日: 2021年3月7日 - 2021年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  10. 表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積

    ベ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    第38回プラズマプロセシング研究会  2021年1月29日 

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    開催年月日: 2021年1月27日 - 2021年1月29日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  11. パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化

    森山 誠, 中原 尚哉, 市川景太, Chu Manh Hung, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第38回プラズマプロセシング研究会  2021年1月29日 

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    開催年月日: 2021年1月27日 - 2021年1月29日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  12. 重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定

    田村 晃汰, 鈴木 陽香, 増崎 貴, 時谷 政行, 宮澤 順一, 豊田 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第37回年会  2020年12月2日 

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    開催年月日: 2020年12月1日 - 2020年12月4日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  13. パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価

    中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第37回年会  2020年12月2日 

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    開催年月日: 2020年12月1日 - 2020年12月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  14. 大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用

    鈴木 陽香, 小笠原 知裕, Chu Manh Hung, 岩田 悠揮, 豊田 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第37回年会  2020年12月3日 

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    開催年月日: 2020年12月1日 - 2020年12月4日

    記述言語:日本語   会議種別:シンポジウム・ワークショップ パネル(指名)  

    国名:日本国  

  15. High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma

    H.Bae, K.Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda

    プラズマ・核融合学会 第37回年会  2020年12月3日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月1日 - 2020年12月4日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  16. パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理

    小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第37回年会  2020年12月2日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月1日 - 2020年12月4日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  17. Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

    Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University 2. National Institute for Fusion Science

    The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research  2020年10月28日 

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    開催年月日: 2020年10月27日 - 2020年10月30日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  18. Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate 国際会議

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月7日 

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    開催年月日: 2020年10月5日 - 2020年10月9日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  19. Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

    The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月6日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年10月5日 - 2020年10月9日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  20. パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

    中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月11日 

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    開催年月日: 2020年9月8日 - 2020年9月11日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  21. パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測

    中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月3日 

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    開催年月日: 2020年9月3日 - 2020年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  22. 誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動

    疋田 和也, べ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月4日 

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    開催年月日: 2020年9月3日 - 2020年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  23. 大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理

    小笠原 知裕, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月4日 

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    開催年月日: 2020年9月3日 - 2020年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  24. パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価

    森山 誠,中原 尚哉,三矢 晶洋,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2020年3月12日 - 2020年3月15日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  25. アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制

    鈴木 丈, 鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2020年3月12日 - 2020年3月15日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  26. Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

    The 67th JSAP Spring Meeting 

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    開催年月日: 2020年3月12日 - 2020年3月15日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  27. 容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

    中原 尚哉, 森山 誠, 三矢 晶洋, 鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2020年3月12日 - 2020年3月15日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  28. Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma 国際会議

    Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2020年3月8日 - 2020年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  29. Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

    Kota Tamura, Haruka Suzuki Junichi Miyazawa and Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2020年3月8日 - 2020年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  30. Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation 国際会議

    Yoshiki Baba, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2020年3月8日 - 2020年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  31. Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source 国際会議

    Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2020年3月8日 - 2020年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  32. Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave 国際会議

    Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2020年3月8日 - 2020年3月11日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  33. 容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

    森⼭ 誠, 中原 尚哉, 三⽮ 晶洋, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第36回年会 

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    開催年月日: 2019年11月29日 - 2019年12月2日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  34. 核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

    田村 晃汰,鈴木 陽香,宮澤 順一,豊田 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第36回年会 

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    開催年月日: 2019年11月29日 - 2019年12月2日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  35. potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma 国際会議

    M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

    2019 International Symposium on DryProcess 

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    開催年月日: 2019年11月21日 - 2019年11月22日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  36. Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap 国際会議

    H. Toyoda, H. Koma, Y. Baba, M. Chu, H. Bae, H. Suzuki

    The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2019年10月28日 - 2019年11月1日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  37. Space-resolved oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave line plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

    H. Bae, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

    The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年10月28日 - 2019年11月1日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  38. 表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化

    福田 奨, 鈴木 陽香, 村田 祐也, 山本 兼司, 豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  39. パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測

    チュー マン フン,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  40. 二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

    三矢 晶洋, 森山 誠, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  41. 電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

    小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  42. ⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

    森⼭ 誠, 三⽮ 晶洋, 中原 尚哉, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  43. 大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O2/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測

    馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年9月18日 - 2019年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  44. 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

    中原 尚哉, 森山 誠,三矢 晶洋,鈴木 陽香,豊田 浩孝, 栗原 一彰,飯野 大輝,福水 裕之,林 久貴,鈴木 啓之

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  45. High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  46. 表面波プラズマ生成アンテナへのDC パルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察

    福田 奨,鈴木 陽香,村田 祐也,山本 兼司,豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  47. 昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

    田村 晃汰,鈴木 陽香,宮澤 順一,豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  48. 大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測

    馬場 賀己,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  49. 二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定解析

    三矢 晶洋,森山 誠,中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2019年9月9日 - 2019年9月10日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  50. Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

    AEPSE2019 

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    開催年月日: 2019年9月1日 - 2019年9月5日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:大韓民国  

  51. Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide 国際会議

    S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

    XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) 

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    開催年月日: 2019年7月14日 - 2019年7月19日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  52. Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma 国際会議

    M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

    XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年7月14日 - 2019年7月19日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  53. Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap 国際会議

    Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

    The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

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    開催年月日: 2019年5月20日 - 2019年5月24日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  54. Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

    Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年5月20日 - 2019年5月24日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  55. Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization 国際会議

    T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Japan H. Toyoda, H. Suzuki

    International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019) 

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    開催年月日: 2019年5月19日 - 2019年5月24日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  56. Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge 国際会議

    Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  57. Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna 国際会議

    Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  58. Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

    Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  59. Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

    Hansin Bae, Yosuke Koike, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  60. Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

    Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  61. Hydrogen Recycling Properties of Tin Wall in DC Glow Hydrogen Plasma 国際会議

    Kota Tamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda, Junichi Miyazawa

    11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2019年3月17日 - 2019年3月21日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  62. シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

    森山 誠,三矢 晶洋,中原 尚哉,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  63. 二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価

    三矢 晶洋,森山 誠,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  64. スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測

    馬場 賀己,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  65. Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  66. マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

    福田 奨, 宇田川 洸, 鈴木 陽香, 田内 裕基, 豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  67. 大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

    小間 浩嗣,杉山 敦士,鈴木 陽香,本田 剛,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  68. High Speed Synthesis of Nanoparticles by Liquid Flow-type Microwave Plasma

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月9日 - 2019年3月12日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  69. メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

    小間浩嗣, 小池洋右, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月15日 - 2019年1月17日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  70. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測

    馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月15日 - 2019年1月17日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  71. シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析

    Chu Manh Hung, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月15日 - 2019年1月17日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  72. Water Vapor Plasma Treatment Process Using Slot-Excited Microwave Plasma 招待有り

    Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

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    開催年月日: 2018年12月18日 - 2018年12月20日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  73. Organic-matter removal treatment using atmospheric pressure microwave O2/CF4

    Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda, Hirotaka Toyoda

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    開催年月日: 2018年12月18日 - 2018年12月20日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  74. 新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 招待有り

    鈴木 陽香

    高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会 「トライボロジーと表面技術」  

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月7日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  75. 直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価

    田村 晃汰、鈴木 陽香、豊田 浩孝、宮澤 順一

    第35回プラズマ・核融合学会年会 

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    開催年月日: 2018年12月3日 - 2018年12月7日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  76. 二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価

    森山 誠、三矢 晶洋、中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第35回プラズマ・核融合学会年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月3日 - 2018年12月7日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  77. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測

    Bae Hansin、小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第35回プラズマ・核融合学会年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月3日 - 2018年12月7日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  78. 大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用

    鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第35回プラズマ・核融合学会年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月3日 - 2018年12月7日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  79. Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis 国際会議

    S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda

    The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

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    開催年月日: 2018年11月13日 - 2018年11月15日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  80. Optimal design of atmospheric-pressure plasma source for industrial application 国際会議

    Haruka Suzuki

    The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月13日 - 2018年11月15日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  81. High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma 国際会議

    S. Ishikawa, H. Suzuki, T. Honda, H. Toyoda

    The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月13日 - 2018年11月15日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  82. Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki

    2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 

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    開催年月日: 2018年11月12日 - 2018年11月17日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  83. Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Yoshiki Baba, Haruka Suzuki

    71st Annual Gaseous Electronics Conference  

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    開催年月日: 2018年11月5日 - 2018年11月9日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  84. Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    THERMEC2018 

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    開催年月日: 2018年10月28日 - 2018年10月31日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:中華人民共和国  

  85. Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki

    International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2018) 

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    開催年月日: 2018年10月16日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  86. 大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理

    石川 翔太、鈴木 陽香、本田 剛、豊田 浩孝

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月18日 - 2018年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  87. Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna

    Kou Udagawa、Sho Fukuda、Haruka Suzuki、Yuki Tauchi、Hirotaka Toyoda

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月18日 - 2018年9月21日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  88. メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

    鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月18日 - 2018年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  89. 流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成

    藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月18日 - 2018年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  90. 電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制

    小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月18日 - 2018年9月21日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  91. 大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測

    小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2018年9月3日 - 2018年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  92. 酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析

    三矢 晶洋、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2018年9月3日 - 2018年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  93. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測

    馬場 賀己、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2018年9月3日 - 2018年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  94. 表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御

    福田 奨、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田浩孝、田内 裕基

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2018年9月3日 - 2018年9月4日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  95. Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasmand its application- 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki

    THERMEC2018 

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    開催年月日: 2018年7月9日 - 2018年7月15日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:フランス共和国  

  96. Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application- 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, H. Suzuki, Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama

    JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science 

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    開催年月日: 2018年7月4日 - 2018年7月7日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  97. マグネトロンプラズマにおける高エネルギー負イオン軌道の数値解析

    宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年3月17日 - 2018年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  98. 大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布

    小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年3月17日 - 2018年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  99. 同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成

    藤村昇平, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年3月17日 - 2018年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  100. Space-resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

    10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月4日 - 2018年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  101. Power Absorption Mechanism of Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

    10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月4日 - 2018年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  102. Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-shielded Environment by Water Flow 国際会議

    Haruka Suzuki, Hikaru Senba, Hirotaka Toyoda

    10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月4日 - 2018年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  103. A Coaxial-waveguide Microwave Plasma Source for In-line Treatment of Large Volume Liquid 国際会議

    Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

    10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月4日 - 2018年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  104. Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering 国際会議

    Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2018年3月4日 - 2018年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  105. 直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定

    宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝

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    開催年月日: 2017年11月20日 - 2017年11月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  106. 電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討

    小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月20日 - 2017年11月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  107. 水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用

    鈴木陽香, 仙波輝, 豊田浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月20日 - 2017年11月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  108. ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上

    藤村昇平, 堤和紀, 鈴木陽香, 豊田浩孝

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    開催年月日: 2017年11月20日 - 2017年11月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  109. 大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価

    石川翔太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

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    開催年月日: 2017年11月20日 - 2017年11月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  110. Power Absorption Mechanism of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

    39th International Symposium on Dry Process 

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    開催年月日: 2017年11月16日 - 2017年11月17日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  111. Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Taku Suyama, Hansin Bae

    The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月11日 - 2017年9月15日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  112. 空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

    藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2017年9月7日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  113. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション

    小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月7日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  114. VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価

    宇田川 洸, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月7日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  115. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成

    石川 翔太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月7日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  116. マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測

    堤 和紀, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第78回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月5日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  117. スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン

    鈴木 陽香, 小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 豊田 浩孝

    第78回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月5日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  118. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構

    田村 宥人, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第78回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月5日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  119. 水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成

    仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第78回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月5日 - 2017年9月8日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  120. Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O2/TEOS 国際会議

    Shota Ishikawa, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    The 15th International Conference on Advanced Materials 

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    開催年月日: 2017年8月27日 - 2017年9月1日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  121. Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressur 招待有り 国際会議

    Haruka Suzuki

    The 15th International Conference on Advanced Materials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年8月27日 - 2017年9月1日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  122. 高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発 招待有り

    鈴木陽香

    プラズマ材料科学153委員会30周年記念講演会 

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    開催年月日: 2017年7月21日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  123. Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hirotaka Toyoda

    XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 

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    開催年月日: 2017年7月9日 - 2017年7月14日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:ポルトガル共和国  

  124. Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki

    XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年7月9日 - 2017年7月14日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ポルトガル共和国  

  125. Microwave Plasma Production inside the Micro-gap with Meter-scale Length 招待有り 国際会議

    Haruka Suzuki

    9th International Workshop on Microplasmas 2017 

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    開催年月日: 2017年6月6日 - 2017年6月9日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  126. Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment 招待有り 国際会議

    Haruka Suzuki

    The 22th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

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    開催年月日: 2017年4月5日 - 2017年4月7日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:大韓民国  

  127. マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性 招待有り

    鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2017年3月14日 - 2017年3月17日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  128. マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測

    堤 和紀 滝藤 奨, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2017年3月14日 - 2017年3月17日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  129. 水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成

    仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2017年3月14日 - 2017年3月17日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  130. マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討

    田村 宥人, 猪俣 弥雄起, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月14日 - 2017年3月17日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  131. Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月1日 - 2017年3月5日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  132. Shielding of plasma jets from ambient air by water flow 国際会議

    Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月1日 - 2017年3月5日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  133. Measurement of Directional Heat Flux Component in VHF-Magnetron Sputtering 国際会議

    Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月1日 - 2017年3月5日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  134. Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 国際会議

    Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月1日 - 2017年3月5日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  135. 改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成

    鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

    第34回 プラズマプロセシング研究会/第29回 プラズマ材料科学シンポジウム 

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    開催年月日: 2017年1月16日 - 2017年1月18日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  136. インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上

    堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

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    開催年月日: 2017年1月16日 - 2017年1月18日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  137. ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布

    Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

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    開催年月日: 2017年1月16日 - 2017年1月18日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  138. 長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション

    堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年1月16日 - 2017年1月18日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  139. マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価

    豊田 浩孝, 巣山 拓, Bae Hansin, 鈴木 陽香

    プラズマ・核融合学第33回会年会 

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    開催年月日: 2016年11月29日 - 2016年12月2日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  140. Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS 国際会議

    Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, Hirotaka Toyoda

    38th International Symposium on Dry Process 

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    開催年月日: 2016年11月21日 - 2016年11月22日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  141. Evaluation of O- Ion Flux in a VHF-DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process 国際会議

    Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda

    38th International Symposium on Dry Process 

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    開催年月日: 2016年11月21日 - 2016年11月22日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  142. 100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure 国際会議

    69th Annual Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2016年10月10日 - 2016年10月16日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  143. High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki

    69th Annual Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2016年10月10日 - 2016年10月14日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  144. Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path 国際会議

    Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

    The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016) 

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    開催年月日: 2016年9月26日 - 2016年9月29日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:大韓民国  

  145. 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

    鈴木陽香, 田村宥人, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2016年9月13日 - 2016年9月16日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  146. ITOマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価

    巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2016年9月13日 - 2016年9月16日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  147. O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2膜形成

    山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月13日 - 2016年9月16日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  148. 窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

    田村 宥人, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

    平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2016年9月12日 - 2016年9月13日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  149. Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering

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    開催年月日: 2016年9月12日 - 2016年9月13日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  150. High-Speed-Camera Observation of Plasma Behavior in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年6月26日 - 2016年6月29日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  151. Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki

    7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年6月26日 - 2016年6月29日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  152. スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

    山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第63回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2016年3月19日 - 2016年3月22日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  153. Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) 国際会議

    Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma)/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) 

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    開催年月日: 2016年3月6日 - 2016年3月10日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  154. 大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

    鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

    第32回プラズマ・核融合学会年会 

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    開催年月日: 2015年11月24日 - 2015年11月27日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  155. Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process 国際会議

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    68th Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing 

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    開催年月日: 2015年10月12日 - 2015年10月16日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

  156. スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討

    山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2015年9月28日 - 2015年9月29日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  157. Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

    The 10th Asian-European International Conference on Plasma SurfaceEngineering (AEPSE2015)  

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    開催年月日: 2015年9月20日 - 2015年9月24日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:大韓民国  

  158. Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月13日 - 2015年9月16日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  159. Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas 国際会議

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) /8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月26日 - 2015年3月31日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  160. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

    鈴木 陽香,中野 優,伊藤 仁,関根誠,堀 勝,豊田 浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年3月11日 - 2015年3月14日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  161. 電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測

    鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月18日 - 2014年11月21日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  162. 狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成

    中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月18日 - 2014年11月21日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  163. Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori

    67th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月2日 - 2014年11月7日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

  164. Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月17日 - 2014年9月20日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  165. パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測

    鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月17日 - 2014年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  166. 電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測

    鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月17日 - 2014年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  167. メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価

    中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月17日 - 2014年3月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  168. Production of High-Uniform Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月2日 - 2014年3月6日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  169. Spatio-temporal Behavior of Alkaline Metals in a DC Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

    Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月2日 - 2014年3月6日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  170. Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma 国際会議

    Suguru Nakano, Haruka Suzuki, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月2日 - 2014年3月6日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  171. Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Hirotaka Toyoda

    The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月7日 - 2014年2月8日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  172. Meter-Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave 国際会議

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月3日 - 2014年2月7日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  173. Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

    66th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月30日 - 2013年10月4日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  174. 電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測

    鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2013年9月24日 - 2013年9月25日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  175. 進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成

    中野 優, 鈴木 陽香, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝, 伊藤 仁

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月24日 - 2013年9月25日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  176. 新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

    鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2013年9月16日 - 2013年9月20日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  177. Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode 国際会議

    17th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & 4th The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年5月24日 - 2013年5月25日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  178. 電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測

    鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月27日 - 2013年3月30日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  179. Temporal and Spatial Variations of Atomic Metals in Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasmas with Liquid Electrode 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2013) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月2日 - 2013年2月3日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  180. Temporal Variation of Alkaline Metals in an Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月28日 - 2013年2月1日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  181. 液体電極を用いた大気圧マイクロ波プラズマの光学的時分解計測

    鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    第5回プラズマ技術産業応用センター&プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月24日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  182. 液体を電極としたマイクロ波励起大気圧プラズマの発光分光計測

    鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    第73回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月11日 - 2012年9月14日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  183. 液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用

    鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝

    第59回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月15日 - 2012年3月18日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  184. Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Microwave Plasma 国際会議

    The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2012)

    Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda  

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    開催年月日: 2012年3月9日 - 2012年3月10日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  185. Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Atmospheric Pressure Microwave Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda

    4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月4日 - 2012年3月8日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  186. Bubble Plasma Production under Water using Microwave -Basic Study in Multiphase Structure and Application- 国際会議

    Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Koji Kanetake, Hirotaka Toyoda

    12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BWWMP-12) 

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    開催年月日: 2012年1月24日 - 2012年1月27日

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  187. マイクロ波励起液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測

    鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝

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    開催年月日: 2011年11月22日 - 2011年11月25日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  188. Time-resolved OES measurement of microwave plasma produced inside controlled bubbles under water 国際会議

    Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    64th Annual Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2011年11月14日 - 2011年11月18日

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  189. パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測

    鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝

    応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム 

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    開催年月日: 2011年10月22日

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  190. パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測

    鈴木 陽香, 石島 達夫 豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2011年9月26日 - 2011年9月27日

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

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科研費 3

  1. ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発

    研究課題/研究課題番号:18K13531  2018年04月 - 2021年03月

    日本学術振興会  若手研究

    鈴木 陽香

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:4160000円 ( 直接経費:3200000円 、 間接経費:960000円 )

    大気圧プラズマは簡易な構成でプラズマ生成が可能であるため、様々な産業への応用が期待される。プロセス速度において最も重要となる化学活性種(ラジカル)供給量は、プラズマの密度とサイズ、電子温度により決定される。申請者はこれまでの研究で大面積表面処理用のメートル級長尺の高密度大気圧マイクロ波プラズマ源を世界で初めて実現した。しかし、高電子密度プラズマであったとしても、電子温度が低ければ生成されるラジカル量が少ないことがプロセスへの応用において問題となる。そこで、本研究では大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御による解離促進手法を確立し、高密度ラジカル生成を目的とする。本研究が成功すればラジカル供給量の制御による大気圧プラズマプロセスの性能の飛躍的な向上が期待できる。
    2019年度においては、まず、分子ガスを添加してマイクロ波パルス放電プラズマの安定生成条件の探索を行った。その結果、添加量に依存して安定化の条件が大きく異なることが明らかとなった。また、希ガス放電より大きな電力を要するため、装置の加熱による熱ひずみがプラズマ生成の不安定化につながるという問題が発生した。そこで、プラズマからの受熱がどの程度あるかの調査を行い、それに対して十分な冷却能力を考慮した装置の設計を行った。また、高速ゲートICCDカメラを用いてパルス放電時におけるプラズマ挙動の調査を行うとともに、発光分光を用いて活性種生成量の調査を行った。
    本研究では大気圧マイクロ波プラズマにおいて、パルス制御放電等を用いて電子温度制御することにより高密度ラジカルを供給し、表面処理プロセスを行うことを最終的な目的としている。
    2019年度においては、マイクロ波パルス放電プラズマの特性の調査を計画していたが、安定生成できるウィンドウが狭く、統一された実験条件での放電維持が困難であった。その一因として、分子ガス添加による熱の影響で装置がひずむという問題があることが明らかとなった。そのため、プラズマからの受熱量の調査を行い、装置を再製作した。並行して、限定的な条件であるが、プラズマの挙動調査、発光分光を行った。以上のように、パルス放電の特性の調査は十分進んでおらず、当初計画より遅れている。一方で、分子ガスプラズマの安定生成には大きな電力を要するため、本装置においては熱のマネジメントが非常に重要であることが明らかとなった。
    2019年度の研究において、パルス放電時の特性および熱のマネジメントの重要性が明らかとなった。
    次年度においては装置の改良をおこない、当初計画通り、パルス放電条件に対する電子温度、電子密度の関係性について調査するとともに、ラジカル生成増加の最適条件を検討する。電子温度は制動輻射光から定量評価するとともに、放電ガスに難解離性分子である窒素または酸素を用いて、発光分光から解離の効果について定性的に評価する。プラズマ安定維持のために外部印加電圧による補助も検討する。
    また、分子ガス添加プラズマを用いた応用実験を行い、放電条件と処理速度の関係性の調査を行うことを予定している。

  2. 大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用

    研究課題/研究課題番号:16H06859  2016年08月 - 2018年03月

    日本学術振興会 

    鈴木 陽香

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:2990000円 ( 直接経費:2300000円 、 間接経費:690000円 )

    大気圧プラズマプロセスにおいては、プラズマに大気が混入することにより、プロセス条件の制御が困難であることから、本研究では、簡易な設備で外気を遮断し高密度かつ高純度の活性種を利用する大気中プラズマプロセス技術の確立を目的とした。マイクロ波放電による水蒸気プラズマの周囲に円錐状水流を設けることにより、プラズマへの大気混入を抑制することに成功した。また、本研究のプラズマ装置を用いたフォトレジスト除去に成功した。水流による遮蔽がない場合、水蒸気プラズマに大気中の大気が混入し、除去処理が行えなかったことから、水流による大気遮蔽の効果と水由来活性種の生成量の増加が示された。

  3. 分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開

    研究課題/研究課題番号:16H03893  2016年04月 - 2019年03月

    日本学術振興会 

    豊田 浩孝

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    担当区分:研究分担者 

    マイクロ波帯の電磁波を利用したプラズマ生成は、産業分野での応用が拡がっている。本研究は、マイクロ波進行方向を制御することにより、メートル長の長尺スロット内においてメートル長の分子ガス長尺プラズマを生成することを目的とする。その結果、50cm長の100%分子ガスプラズマ生成に成功した。この成果により、さまざまな大面積表面の化学修飾プロセスの実現が可能となる。
    本研究は、従来より非常に困難であった大面積大気圧プラズマ処理技術を実現するものであり、本研究の成果により、高密度マイクロ波プラズマを用いて分子ガスプラズマ処理の実現を可能とする道筋が描かれた。この成果は今後の様々な電子デバイス製造プロセス分野などでの製造プロセスに革新をもたらす重要な成果と考えている。

産業財産権 3

  1. プラズマCVD装置、及びフィルムの製造方法

    豊田浩孝, 鈴木陽香, 慈幸範洋, 奈良井哲

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    出願番号:2018-051429  出願日:2018年3月19日

    出願国:国内  

  2. プラズマ発生装置

    豊田浩孝, 鈴木陽香

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    出願番号:2017-242257  出願日:2017年12月18日

    出願国:国内  

  3. マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法

    伊藤仁, 堀勝, 豊田浩孝, 鈴木陽香, 関根誠

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    出願番号:特願2016-121668  出願日:2016年6月20日

    公開番号:特開2017-228354  公開日:2017年12月28日

    出願国:国内  

 

担当経験のある科目 (本学) 16

  1. 電気磁気学及び演習

    2020

  2. 電気電子情報工学実験第1

    2020

  3. 電気電子情報工学実験第2

    2020

  4. 電気電子情報工学実験第1

    2019

  5. 電気電子情報工学実験第2

    2019

  6. 電気磁気学及び演習

    2019

  7. 電気電子情報工学実験第2

    2018

  8. 電気磁気学及び演習

    2018

  9. 電気電子情報工学実験第1

    2018

  10. 電気電子情報工学実験第1

    2017

  11. 電気電子情報工学実験第2

    2017

  12. 電気磁気学及び演習

    2017

  13. 電気・電子工学実験第1

    2016

  14. 電気・電子工学実験第2

    2016

  15. 電気磁気学及び演習

    2016

  16. 集積プロセス特別実験及び演習

    2016

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社会貢献活動 5

  1. テクノフロンティアセミナー TEFS2019

    講師, 企画

    2019年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  2. テクノフロンティアセミナー TEFS2018

    講師, 企画

    2018年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  3. テクノフロンティアセミナー TEFS2017

    講師, 企画

    2017年8月

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    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  4. 女子中高生理系進学推進セミナー

    出演

    名古屋大学男女共同参画推進専門委員会  2016年8月

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    対象: 中学生, 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ

  5. テクノフロンティアセミナー TEFS2016

    講師, 企画

    2016年8月

     詳細を見る

    対象: 高校生

    種別:セミナー・ワークショップ