Updated on 2024/11/01
Doctor of Engineering （ 2016.3 Nagoya University ）
プラズマプロセス
プラズマ診断
マイクロ波プラズマ
大気圧プラズマ
Energy Engineering / Applied plasma science / Plasma
新規プロセスプラズマの開発
Nagoya University Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS) Associate professor
2024.11
Country：Japan
Nagoya University Associate professor
2024.11
Country：Japan
Nagoya University Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS) Lecturer
2022.3 - 2024.10
Country：Japan
Nagoya University Lecturer
2022.3 - 2024.10
Country：Japan
Nagoya University Center for Low-temperature Plasma Sciences (cLPS) Assistant Professor
2019.4 - 2022.2
Country：Japan
Nagoya University Assistant Professor
2016.4 - 2022.2
Country：Japan
Nagoya University Graduate School, Division of Engineering
2013.4 - 2016.3
Country： Japan
Nagoya University Graduate School, Division of Engineering
2011.4 - 2013.3
Country： Japan
Nagoya University Faculty of Engineering
2007.4 - 2011.3
Country： Japan
静電気学会
2022.4
電気学会
プラズマ・核融合学会
応用物理学会
Executive Committee
2024
ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 Program Committee
2024
Executive Committee
2023
ISPlasma2024/IC-PLANTS2024 Program Committee
2023
一般社団法人 プラズマ・核融合学会 領域委員
2022.1
ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 Program Committee
2022
一般社団法人 プラズマ・核融合学会 編集委員
2021.6 - 2023.6
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 Executive Committee
2021
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 Program Committee
2021
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 Editorial Committee
2021
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 Executive Committee
2020
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 Program Committee
2020
ISPlasma2020/IC-PLANTS2020 Executive Committee
2019
ISPlasma2019/IC-PLANTS2019 Executive Committee
2018
40th International Symposium on Dry Process Executive Committee
2018
Committee type：Academic society
40th International Symposium on Dry Process Ad Hoc Committee for 40th Anniversary Project
2017.3 - 2018
ISPlasma2018/IC-PLANTS2018 Executive Committee
2017
ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 Executive Committee
2016
応用物理学会論文賞
2024.3 公益社団法人 応用物理学会
第21回プラズマエレクトロニクス賞
2023.3 公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
2018年秋季学術講演会Poster Award
2018.10 公益社団法人 応用物理学会
2017年秋季学術講演会Poster Award
2017.9 公益社団法人 応用物理学会
講演奨励賞
2017.3 公益社団法人 応用物理学会 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成
The Best Poster Award
2016.9 ICMAP 2016 Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path
Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
若手学会発表賞
2015.11 一般社団法人 プラズマ・核融合学会 大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性
電気学会優秀論文発表賞
2012.1 一般社団法人 電気学会 パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測
Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma Reviewed
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 63 page： 016001 2023.12
Mass spectroscopic measurement of time-varying ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma Reviewed
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 62 page： SI1003 2023.3
Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet Reviewed
Trung Nguyen TRAN, Min HU, Tomohiro OGASAWARA, Yuki IWATA, Haruka SUZUKI, Jin SAKAMOTO, Masafumi AKIYOSHI, Hirotaka TOYODA and Hiroto MATSUURA
Plasma Science and Technology Vol. 25 page： 035404 2023.1
Influence of small ground surface on plasma property in an inductively–coupled plasma with floating liner Reviewed
Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 62 page： SA1008 2022.11
High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma Reviewed
Haruka Suzuki,Tomohiro Ogasawara,Yuki Iwata, Hansin Bae, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 61 page： SI1008 2022.6
Enhancement of the ion flux to the substrate by high voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film Reviewed
Hansin Bae, Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 60 ( 12 ) page： 126002 2021.12
Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma Reviewed
Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara and Hirotaka Toyoda
Applied Physics Express Vol. 14 ( 12 ) page： 126001 2021.11
Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma Reviewed
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Hirotaka Toyoda
Fusion Engineering and Design Vol. 170 page： 112532 2021.9
High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C6H6 surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing Reviewed
H. Bae, K. Sasai, H. Suzuki, and H. Toyoda
Vacuum Vol. 192 page： 110429 2021.7
Spatial uniformity evaluation of atmospheric-pressure microwave line plasma for wide-area surface treatment Reviewed
Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Yosuke Koike, Hirotaka Toyoda
Plasma and Fusion Research Vol. 16 page： 1406046 2021.4
Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma Reviewed
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 60 ( 1 ) page： 016001 2020.12
Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma Reviewed
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 59 ( SJ ) page： SJJB03 2020.4
Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N<sub>2</sub> plasma production Reviewed
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Manh Hung Chu and Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 59 ( 1 ) page： 016002 2020.1
Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O<sub>2</sub> plasma Reviewed
Hirotaka Toyoda, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Takeshi Honda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 ( 12 ) page： 126001 2019.11
Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow Reviewed
Hikaru Senba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 page： SAAC05 2018.12
Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment Reviewed
Kensuke Sasai, Kazuki Keyamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 57 page： 066201 2018.5
Quantitative evaluation of high-energy O<sup>-</sup> ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target Reviewed
Taku Suyama, Hansin Bae, Kenta Setaka, Hayato Ogawa, Yushi Fukuoka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Journal of Physics D: Applied Physics Vol. 50 ( 44 ) page： 445201 2017.10
An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge Reviewed
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 56 ( 11 ) page： 116001 2017.9
Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition Reviewed
Kensuke Sasai, Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 ( 8 ) page： 086202 2016.7
Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma Reviewed
Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Journal of Physics D: Applied Physics Vol. 49 ( 29 ) page： 295202 2016.6
Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave Reviewed
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 ( 1S ) page： 01AH09 2015.12
Low-pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler Reviewed
Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 55 ( 1 ) page： 016203 2015.12
New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure Reviewed
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
Applied Physics Express Vol. 8 ( 3 ) page： 036001 2015.2
Kyuzo, M; Harada, K; Izumi, R; Suzuki, H; Toyoda, H
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 63 ( 5 ) 2024.5
Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation Reviewed
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 ( SE ) page： SE802 2019.6
Progress and perspectives in dry processes for leading-edge manufacturing of devices: toward intelligent processes and virtual product development Reviewed
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 ( SE ) page： SE804 2019.6
Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: how can we improve our use of dry processes? Reviewed
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa
Japanese Journal of Applied Physics Vol. 58 ( SE ) page： SE803 2019.6
ものづくりのための新規プラズマ源の開発を目指して
鈴木 陽香
静電気学会誌 Vol. 45 ( 3 ) page： 110 - 111 2021.5
長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用 Invited
豊田浩孝, 鈴木 陽香
表面技術 Vol. 71 page： 624 - 628 2020
大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ
豊田浩孝, 鈴木陽香
応用物理 Vol. 88 ( 2 ) page： 101 - 104 2019.2
マイクロ波励起メートル級プラズマの生成とその特性
鈴木陽香
プラズマエレクトロニクス分科会会報 ( 66 ) page： 29 - 30 2017.6
二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価
市川 景太、Chu Manh Hung、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024.3.22 公益社団法人 応用物理学会
On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響
赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024.3.25 公益社団法人 応用物理学会
二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024.3.22 公益社団法人 応用物理学会
高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力
中林 賢二、小川 泰那、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024.3.24 公益社団法人 応用物理学会
Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system International conference
Kengo Yunoki, Haruka Suzuki,2Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi,Takanori Murase,Sho Nakagawa,Yuto Yanagihara,Hirotaka Toyoda
16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024) 2024.3.4
Ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma evaluated using ion production rates from time-resolved electron density measurements International conference
Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024) 2024.3.5
テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価
鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024.1.25 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較
赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024.1.24 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024.1.24 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
多方向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価
鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023.11.30 一般社団法人 プラズマ・核融合学会
気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討
小川泰那、中林賢二、鈴木陽香、豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023.11.29 一般社団法人 プラズマ・核融合学会
Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma International conference
Shunya Kawamura, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023.11.22 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates International conference
Haruhito Kato , Yudai Akatsuka , Shuichi Kuboi , Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023.11.22 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP International conference
Shuichi Kuboi, Yudai Akatsuka, Haruhito Kato, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023.11.21 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
高周波プラズマの生成制御とプロセス ～減圧から大気圧まで～ Invited
鈴木陽香
第34回プラズマエレクトロニクス講習会 2023.11.17 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid Invited International conference
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2023) 2023.11.7
気液プラズマの環境応用 Invited
鈴木陽香
グリーン・DXプラズマコンソーシアム2023年度実習 2023.10.27
Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価
加藤 閣⼈, ⾚塚 勇⼤, 久保井 宗⼀, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023.9.22 公益社団法人 応用物理学会
流動液体プラズマ処理装置を⽤いたAgナノ粒⼦合成における⽣成性能評
柚⽊ 健吾, 鈴⽊ 陽⾹, 笹井 建典, 豊⽥ 浩孝
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023.9.19 公益社団法人 応用物理学会
高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測
豊田 浩孝、市川 景太、チュ マンフン、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023.9.20 公益社団法人 応用物理学会
複数視野像を⽤いたプラズマ3次元構造評価の試み
原⽥ 健汰, 久蔵 学, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023.9.21 公益社団法人 応用物理学会
二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測
赤塚勇大，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝
令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会 2023.8.29
高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション
中林 賢二，小川 泰那，鈴木 陽香 ，豊田 浩孝
令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会 2023.8.29
Influence of pulse-off time on time-varying ion composition in a pulse-operated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma International conference
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25) 2023.5.22
旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護
柚木 健吾, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 増崎 貴, 林 浩己, 村瀬 尊則, 中川 翔, 柳原 悠人, 豊田 浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023.3.18
高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化
小川 泰那, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023.3.15
二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響
川村 隼也, 市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023.3.17
二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響
加藤閣人, 赤塚勇大, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023.3.16
Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process International conference
Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023.3.7
Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure International conference
Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023.3.6
Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma International conference
Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023.3.6
Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode International conference
K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022.11.25
Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C4F8/O2 DF-CCP International conference
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022.11.24
Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma International conference
Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki, and H. Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022.11.25
パルス変調二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定
鈴木 陽香, 関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 豊田 浩孝
第39回プラズマ・核融合学会年会 2022.11.22
Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid International conference
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022.10.6
Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage International conference
Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022.10.5
Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively-Coupled Plasma International conference
Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022.10.4
Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022.10.6
二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響
関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.22
化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化
松浦寛人, トラントラングエン, 胡敏, 仲野匠, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.20
周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測
市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野 大輝, 福水 裕之, 栗原 一彰, 豊田 浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.22
プラズマの生成と制御 Invited
鈴木陽香
第16回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール 2022.9.11 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測
加藤 閣人, 関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2022.8.29
二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測
市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.25 応用物理学会
水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用
鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.23 応用物理学会
質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中イオンの時分解計測
市関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.25 応用物理学会
Ar/O2大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析
岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.26 応用物理学会
電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加
濱口育未，ベハンシン，笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.22 応用物理学会
Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma International conference
Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.9
RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner International conference
Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.7
Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma International conference
Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.8
Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.8
O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressur International conference
Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.7
Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application International conference
Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022.3.7
高電圧バイアス印加Ar/C6H6ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響
濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022.1.25
水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融合金の発泡現象
田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022.1.25
真空紫外原子吸光分光法による 大気圧マイクロ波Ar/O2プラズマのO原子密度計測
岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，堤隆嘉，堀勝，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022.1.24
容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測
市川景太，チュマンフン，森山誠，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022.1.25
超高周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける イオンおよび中性ラジカル種の測定
関悠斗，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022.1.24
大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化
豊田浩孝、鈴木陽香
「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」 「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会 2021.12.24 核融合科学研究所
Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing International conference
Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Material Research Meeting 2021 (MRM2021) 2021.12.16
High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device International conference
Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Material Research Meeting 2021 (MRM2021) 2021.12.14
Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner International conference
Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021.12.9
Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy International conference
Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021.12.10
パルスマイクロ波励起大気圧長尺酸素添加アルゴンプラズマ源の性能評価
小笠原知裕、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝
第38回 プラズマ・核融合学会 年会 2021.11.22 プラズマ・核融合学会
高密度表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の溶融
疋田和也，笹井健典，鈴木陽香，豊田浩孝
第38回 プラズマ・核融合学会 年会 2021.11.22 プラズマ・核融合学会
水素プラズマ照射下でのスズおよびスズ合金からのスパッタリング計測
田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝
第38回 プラズマ・核融合学会 年会 2021.11.22 プラズマ・核融合学会
High Speed sp2-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma International conference
Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda
42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021.11.19
Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner International conference
Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021.11.19
Investigation of Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing International conference
Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Hirotaka Toyoda
42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021.11.18
Sputtering Behavior of Sn and Sn-based Alloy Under Hydrogen Plasma Exposure International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda
The 30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 2021.11.18
Microwave application to liquid process in reduced pressure environment International conference
Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai
Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.10.29
Oxygen radical measurement in Ar/O2 atmospheric pressure microwave line plasma International conference
Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.11.25
Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing International conference
Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda
Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.11.25
Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma International conference
Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Hirotaka Toyoda
The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021.10.7
Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition International conference
Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021.10.5
Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO3 solution International conference
Haruka Suzuki, Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda
The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021.10.5
Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma Invited International conference
H. Suzuki, M. Moriyama, N. Nakahara, K. Ichikawa, and H. Toyoda
5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021.9.28
Large Area Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O2 International conference
T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Suzuki, and H. Toyoda
5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021.9.26
流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成
山口 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021.9.22 応用物理学会
ECRプラマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜, 第82回応用物理学会秋季学術講演会
Bae Hansin, 濱口 育未, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021.9.12 応用物理学会
大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理
岩田 悠揮, 小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021.9.7 電気学会東海支部
イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測
市川景太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021.9.7 電気学会東海支部
二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測
関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021.9.7 電気学会東海支部
表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積
濱口 育未, Bae Hansin, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021.9.7 電気学会東海支部
表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜
BAE Hansin, 疋田 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3.18
液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成
山口 和也, 鈴木 丈, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3.19
パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理
小笠原 知裕, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3.18
絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動
千葉 行徳, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021.3.19
Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse International conference
Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021.3.9
Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021.3.8
Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma International conference
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021.3.8
Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave LinePlasma with Ar/O2 International conference
Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021.3.8
Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner International conference
Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021.3.8
表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積
ベ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第38回プラズマプロセシング研究会 2021.1.29
パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化
森山 誠, 中原 尚哉, 市川景太, Chu Manh Hung, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第38回プラズマプロセシング研究会 2021.1.29
重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定
田村 晃汰, 鈴木 陽香, 増崎 貴, 時谷 政行, 宮澤 順一, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020.12.2
大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用
鈴木 陽香, 小笠原 知裕, Chu Manh Hung, 岩田 悠揮, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020.12.3
High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma
H.Bae, K.Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020.12.3
パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理
小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020.12.2
パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価
中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020.12.2
Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy International conference
Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University 2. National Institute for Fusion Science
The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 2020.10.28
Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate International conference
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference 2020.10.7
Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure International conference
Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda
The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference 2020.10.6
パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化
中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020.9.11
パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測
中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020.9.3
誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動
疋田 和也, べ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020.9.4
大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理
小笠原 知裕, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020.9.4
パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価
森山 誠，中原 尚哉，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第67回応用物理学会春季学術講演会
アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制
鈴木 丈, 鈴木 陽香，豊田 浩孝
第67回応用物理学会春季学術講演会
Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate
The 67th JSAP Spring Meeting
容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定
中原 尚哉, 森山 誠, 三矢 晶洋, 鈴木 陽香，豊田 浩孝
第67回応用物理学会春季学術講演会
Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma International conference
Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave International conference
Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source International conference
Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki Junichi Miyazawa and Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation International conference
Yoshiki Baba, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析
森⼭ 誠, 中原 尚哉, 三⽮ 晶洋, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
プラズマ・核融合学会 第36回年会
核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価
田村 晃汰，鈴木 陽香，宮澤 順一，豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第36回年会
potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma International conference
M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda
2019 International Symposium on DryProcess
Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap International conference
H. Toyoda, H. Koma, Y. Baba, M. Chu, H. Bae, H. Suzuki
The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference
Space-resolved oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave line plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy International conference
H. Bae, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda
The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference
表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化
福田 奨, 鈴木 陽香, 村田 祐也, 山本 兼司, 豊田 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測
チュー マン フン，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測
三矢 晶洋, 森山 誠, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討
小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析
森⼭ 誠, 三⽮ 晶洋, 中原 尚哉, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O2/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測
馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第80回応用物理学会秋季学術講演会
二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析
中原 尚哉, 森山 誠，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝, 栗原 一彰，飯野 大輝，福水 裕之，林 久貴，鈴木 啓之
令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device
表面波プラズマ生成アンテナへのDC パルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察
福田 奨，鈴木 陽香，村田 祐也，山本 兼司，豊田 浩孝
令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価
田村 晃汰，鈴木 陽香，宮澤 順一，豊田 浩孝
令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測
馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝
令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定解析
三矢 晶洋，森山 誠，中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda
AEPSE2019
Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide International conference
S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)
Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma International conference
M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)
Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap International conference
Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda
The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)
Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma International conference
Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)
Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization International conference
T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Japan H. Toyoda, H. Suzuki
International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019)
Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge International conference
Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna International conference
Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure International conference
Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy International conference
Hansin Bae, Yosuke Koike, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma International conference
Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Hydrogen Recycling Properties of Tin Wall in DC Glow Hydrogen Plasma International conference
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda, Junichi Miyazawa
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析
森山 誠，三矢 晶洋，中原 尚哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃
福田 奨, 宇田川 洸, 鈴木 陽香, 田内 裕基, 豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理
小間 浩嗣，杉山 敦士，鈴木 陽香，本田 剛，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
High Speed Synthesis of Nanoparticles by Liquid Flow-type Microwave Plasma
Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy
二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価
三矢 晶洋，森山 誠，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測
馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測
小間浩嗣, 小池洋右, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測
馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析
Chu Manh Hung, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
Water Vapor Plasma Treatment Process Using Slot-Excited Microwave Plasma Invited
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
Organic-matter removal treatment using atmospheric pressure microwave O2/CF4
Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda, Hirotaka Toyoda
新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 Invited
鈴木 陽香
高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会 「トライボロジーと表面技術」
直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価
田村 晃汰、鈴木 陽香、豊田 浩孝、宮澤 順一
第35回プラズマ・核融合学会年会
二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価
森山 誠、三矢 晶洋、中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第35回プラズマ・核融合学会年会
大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測
Bae Hansin、小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第35回プラズマ・核融合学会年会
大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用
鈴木 陽香、豊田 浩孝
第35回プラズマ・核融合学会年会
Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis International conference
S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda
The 40th International Symposium on Dry Process(2018)
Optimal design of atmospheric-pressure plasma source for industrial application International conference
Haruka Suzuki
The 40th International Symposium on Dry Process(2018)
High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma International conference
S. Ishikawa, H. Suzuki, T. Honda, H. Toyoda
The 40th International Symposium on Dry Process(2018)
Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki
2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge International conference
Hirotaka Toyoda, Yoshiki Baba, Haruka Suzuki
71st Annual Gaseous Electronics Conference
Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
THERMEC2018
Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki
International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2018)
大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理
石川 翔太、鈴木 陽香、本田 剛、豊田 浩孝
第79回応用物理学会秋季学術講演会
電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制
小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第79回応用物理学会秋季学術講演会
流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成
藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第79回応用物理学会秋季学術講演会
Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna
Kou Udagawa、Sho Fukuda、Haruka Suzuki、Yuki Tauchi、Hirotaka Toyoda
第79回応用物理学会秋季学術講演会
メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測
鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝
第79回応用物理学会秋季学術講演会
大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測
小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析
三矢 晶洋、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測
馬場 賀己、鈴木 陽香、豊田 浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御
福田 奨、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田浩孝、田内 裕基
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasmand its application- Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki
THERMEC2018
Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application- Invited International conference
H. Toyoda, H. Suzuki, Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama
JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
マグネトロンプラズマにおける高エネルギー負イオン軌道の数値解析
宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布
小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成
藤村昇平, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
Space-resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering International conference
Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Power Absorption Mechanism of Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma International conference
Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-shielded Environment by Water Flow International conference
Haruka Suzuki, Hikaru Senba, Hirotaka Toyoda
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
A Coaxial-waveguide Microwave Plasma Source for In-line Treatment of Large Volume Liquid International conference
Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定
宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝
電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討
小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田 浩孝
水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用
鈴木陽香, 仙波輝, 豊田浩孝
ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上
藤村昇平, 堤和紀, 鈴木陽香, 豊田浩孝
大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価
石川翔太, 鈴木陽香, 豊田浩孝
Power Absorption Mechanism of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda
39th International Symposium on Dry Process
Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement International conference
Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Taku Suyama, Hansin Bae
The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査
藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション
小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価
宇田川 洸, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成
石川 翔太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測
堤 和紀, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン
鈴木 陽香, 小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構
田村 宥人, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成
仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O2/TEOS International conference
Shota Ishikawa, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
The 15th International Conference on Advanced Materials
Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressur Invited International conference
Haruka Suzuki
The 15th International Conference on Advanced Materials
高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発 Invited
鈴木陽香
プラズマ材料科学153委員会30周年記念講演会
Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure International conference
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hirotaka Toyoda
XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide International conference
Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki
XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Microwave Plasma Production inside the Micro-gap with Meter-scale Length Invited International conference
Haruka Suzuki
9th International Workshop on Microplasmas 2017
Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment Invited International conference
Haruka Suzuki
The 22th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性 Invited
鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
第６４回応用物理学会春季学術講演会
マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測
堤 和紀 滝藤 奨, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第６４回応用物理学会春季学術講演会
水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成
仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第６４回応用物理学会春季学術講演会
マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討
田村 宥人, 猪俣 弥雄起, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第６４回応用物理学会春季学術講演会
Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure International conference
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
Shielding of plasma jets from ambient air by water flow International conference
Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
Measurement of Directional Heat Flux Component in VHF-Magnetron Sputtering International conference
Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 International conference
Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
Efficient production of meter-scale atmospheric-pressure line plasma using modified waveguide and cw microwave power
インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上
堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布
Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション
堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価
豊田 浩孝, 巣山 拓, Bae Hansin, 鈴木 陽香
プラズマ・核融合学第33回会年会
Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS International conference
Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, Hirotaka Toyoda
38th International Symposium on Dry Process
Evaluation of O- Ion Flux in a VHF-DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process International conference
Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda
38th International Symposium on Dry Process
100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure International conference
69th Annual Gaseous Electronics Conference
High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system International conference
Hirotaka Toyoda, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki
69th Annual Gaseous Electronics Conference
Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path International conference
Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)
改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成
鈴木陽香, 田村宥人, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
ITOマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価
巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2膜形成
山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成
田村 宥人, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering
High-Speed-Camera Observation of Plasma Behavior in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma International conference
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016)
Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution International conference
Hirotaka Toyoda, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)
スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD
山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第63回応用物理学会春季学術講演会
Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) International conference
Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma)/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS)
大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性
鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
第32回プラズマ・核融合学会年会
Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process International conference
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
68th Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing
スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討
山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma International conference
Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda
The 10th Asian-European International Conference on Plasma SurfaceEngineering (AEPSE2015)
Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas International conference
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) /8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS)
大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション
鈴木 陽香，中野 優，伊藤 仁，関根誠，堀 勝，豊田 浩孝
第62回応用物理学会春季学術講演会
電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測
鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝
狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成
中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure International conference
Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori
67th Annual Gaseous Electronics Conference
Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測
鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
第61回応用物理学関係連合講演会
電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測
鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝
第61回応用物理学関係連合講演会
メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価
中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
第61回応用物理学関係連合講演会
Production of High-Uniform Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure International conference
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014)
Spatio-temporal Behavior of Alkaline Metals in a DC Pulsed-Plasma with Liquid Electrode International conference
Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda
6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014)
Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma International conference
Suguru Nakano, Haruka Suzuki, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014)
Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma International conference
Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Hirotaka Toyoda
The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
Meter-Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave International conference
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing
Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure International conference
66th Annual Gaseous Electronics Conference
電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測
鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成
中野 優, 鈴木 陽香, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝, 伊藤 仁
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成
鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode International conference
17th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & 4th The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測
鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会
Temporal and Spatial Variations of Atomic Metals in Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasmas with Liquid Electrode International conference
Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda
The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2013)
Temporal Variation of Alkaline Metals in an Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasma with Liquid Electrode International conference
Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda
液体電極を用いた大気圧マイクロ波プラズマの光学的時分解計測
鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝
第5回プラズマ技術産業応用センター＆プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム
液体を電極としたマイクロ波励起大気圧プラズマの発光分光計測
鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝
第73回応用物理学会学術講演会
液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用
鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝
第59回応用物理学関係連合講演会
Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Microwave Plasma International conference
The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2012)
Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda
Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Atmospheric Pressure Microwave Plasma International conference
Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda
4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
Bubble Plasma Production under Water using Microwave -Basic Study in Multiphase Structure and Application- International conference
Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Koji Kanetake, Hirotaka Toyoda
12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BWWMP-12)
マイクロ波励起液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測
鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝
Time-resolved OES measurement of microwave plasma produced inside controlled bubbles under water International conference
Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
64th Annual Gaseous Electronics Conference
パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測
鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム
パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測
鈴木 陽香, 石島 達夫 豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
樹脂表面改質機構の解明
2023.11
共同研究
Authorship：Coinvestigator(s)
プロセスプラズマのイメージング計測技術の開発
2021.4 - 2023.3
2022年度一般共同研究
液体流プラズマを用いた高速大流量液体処理中における反応生成物の調査
2021
2021年度国内研究助成
大面積フィルム処理のための大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける酸素ラジカル空間分布計測
2021
第39回（令和3年度）研究助成
高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価
Grant number：21K13907 2021.4 - 2023.3
日本学術振興会 若手研究
ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発
Grant number：18K13531 2018.4 - 2021.3
日本学術振興会 若手研究
鈴木 陽香
Authorship：Principal investigator
Grant amount：\4160000 （ Direct Cost: \3200000 、 Indirect Cost：\960000 ）
大気圧プラズマは簡易な構成でプラズマ生成が可能であるため、様々な産業への応用が期待される。プロセス速度において最も重要となる化学活性種（ラジカル）供給量は、プラズマの密度とサイズ、電子温度により決定される。申請者はこれまでの研究で大面積表面処理用のメートル級長尺の高密度大気圧マイクロ波プラズマ源を世界で初めて実現した。しかし、高電子密度プラズマであったとしても、電子温度が低ければ生成されるラジカル量が少ないことがプロセスへの応用において問題となる。そこで、本研究では大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御による解離促進手法を確立し、高密度ラジカル生成を目的とする。本研究が成功すればラジカル供給量の制御による大気圧プラズマプロセスの性能の飛躍的な向上が期待できる。
2019年度においては、まず、分子ガスを添加してマイクロ波パルス放電プラズマの安定生成条件の探索を行った。その結果、添加量に依存して安定化の条件が大きく異なることが明らかとなった。また、希ガス放電より大きな電力を要するため、装置の加熱による熱ひずみがプラズマ生成の不安定化につながるという問題が発生した。そこで、プラズマからの受熱がどの程度あるかの調査を行い、それに対して十分な冷却能力を考慮した装置の設計を行った。また、高速ゲートICCDカメラを用いてパルス放電時におけるプラズマ挙動の調査を行うとともに、発光分光を用いて活性種生成量の調査を行った。
本研究では大気圧マイクロ波プラズマにおいて、パルス制御放電等を用いて電子温度制御することにより高密度ラジカルを供給し、表面処理プロセスを行うことを最終的な目的としている。
2019年度においては、マイクロ波パルス放電プラズマの特性の調査を計画していたが、安定生成できるウィンドウが狭く、統一された実験条件での放電維持が困難であった。その一因として、分子ガス添加による熱の影響で装置がひずむという問題があることが明らかとなった。そのため、プラズマからの受熱量の調査を行い、装置を再製作した。並行して、限定的な条件であるが、プラズマの挙動調査、発光分光を行った。以上のように、パルス放電の特性の調査は十分進んでおらず、当初計画より遅れている。一方で、分子ガスプラズマの安定生成には大きな電力を要するため、本装置においては熱のマネジメントが非常に重要であることが明らかとなった。
2019年度の研究において、パルス放電時の特性および熱のマネジメントの重要性が明らかとなった。
次年度においては装置の改良をおこない、当初計画通り、パルス放電条件に対する電子温度、電子密度の関係性について調査するとともに、ラジカル生成増加の最適条件を検討する。電子温度は制動輻射光から定量評価するとともに、放電ガスに難解離性分子である窒素または酸素を用いて、発光分光から解離の効果について定性的に評価する。プラズマ安定維持のために外部印加電圧による補助も検討する。
また、分子ガス添加プラズマを用いた応用実験を行い、放電条件と処理速度の関係性の調査を行うことを予定している。
Atmospheric-pressure plasma process using high-density and high-purity water-derived reactive species produced by a water-vapor microwave plasma
Grant number：16H06859 2016.8 - 2018.3
Japan Society for the Promotion of Science
SUZUKI Haruka
Authorship：Principal investigator
Grant amount：\2990000 （ Direct Cost: \2300000 、 Indirect Cost：\690000 ）
Atmospheric pressure plasma sources in air-shielded environment by water flow were developed for plasma process utilizing water-derived reactive species without air contamination in the atmosphere. A microwave-excited water-vapor plasma source in a space shielded by cone-shaped water flow was developed using a coaxial waveguide with a ring-shaped slot to use high-density hydroxyl radical without air contamination at atmospheric pressure. Water vapor plasma without the air was successfully realized by the pulsed microwave discharges. Production of hydroxyl radical was confirmed from the optical emission from the plasma. As an application example of the water-vapor plasma in the air shield environment, atmospheric pressure photoresist removal treatment was demonstrated.
Wide range radical production by atmospheric pressure microwave plasma with molecular gas and applications
Grant number：16H03893 2016.4 - 2019.3
Japan Society for the Promotion of Science
Toyoda Hirotaka
Authorship：Coinvestigator(s)
Microwave plasmas have been used in various industrial areas. In this study, meter-length microwave atmospheric pressure plasma inside meter-length slot was studied, especially fosucing on the discharge using molecular gases. Through this study, 50cm pure N2 plasma was successfully produced. This result strongly suggests application of this plasma source for various surface modification in large area.
プラズマＣＶＤ装置、及びフィルムの製造方法
豊田浩孝, 鈴木陽香, 慈幸範洋, 奈良井哲
プラズマ発生装置
豊田浩孝, 鈴木陽香
マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法
伊藤仁, 堀勝, 豊田浩孝, 鈴木陽香, 関根誠
プロセスプラズマ工学特論
2023
電磁理論
2023
電磁理論
2022
電気電子情報工学実験第２
2021
物理学実験
2021
電気電子情報工学実験第１
2021
Electromagnetic Theory with Exercises
2020
電気電子情報工学実験第１
2020
電気電子情報工学実験第２
2020
電気電子情報工学実験第１
2019
電気電子情報工学実験第２
2019
電気磁気学及び演習
2019
電気電子情報工学実験第２
2018
電気磁気学及び演習
2018
電気電子情報工学実験第１
2018
電気電子情報工学実験第１
2017
電気電子情報工学実験第２
2017
電気磁気学及び演習
2017
電気・電子工学実験第１
2016
電気磁気学及び演習
2016
電気・電子工学実験第２
2016
集積プロセス特別実験及び演習
2016
テクノフロンティアセミナー TEFS2024
Role(s)：Lecturer, Planner
2024.8
テクノフロンティアセミナー TEFS2019
Role(s)：Lecturer, Planner
2019.8
テクノフロンティアセミナー TEFS2018
Role(s)：Lecturer, Planner
2018.8
テクノフロンティアセミナー TEFS2017
Role(s)：Lecturer, Planner
2017.8
テクノフロンティアセミナー TEFS2016
Role(s)：Lecturer, Planner
2016.8
女子中高生理系進学推進セミナー
Role(s)：Appearance
名古屋大学男女共同参画推進専門委員会 2016.8
