2022/03/30 更新

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マツヤマ サトシ
松山 智至
松山 智至
所属
大学院工学研究科 物質科学専攻 ナノ解析物質設計学 准教授
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 物理工学科
職名
准教授

学位 1

  1. 博士(工学) ( 2007年2月   大阪大学 ) 

研究キーワード 5

  1. 形状可変ミラー

  2. X線干渉計

  3. X線ナノビーム

  4. X線ミラー

  5. X線顕微鏡

研究分野 2

  1. ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学  / X線光学

  2. エネルギー / 量子ビーム科学  / 放射光X線

現在の研究課題とSDGs 2

  1. 高分解能X線顕微鏡の開発

  2. X線自由電子レーザーのナノ集光

経歴 2

  1. 大阪大学 工学研究科 物理学系専攻   助教

    2020年9月 - 現在

  2. 大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻   助教

    2007年3月 - 2020年3月

所属学協会 2

  1. 精密工学会

  2. 日本放射光学会

受賞 7

  1. SPRUC 2015 Young Scientist Award

    2015年7月   SPring-8ユーザー協同体  

    松山智至

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    受賞区分:国内外の国際的学術賞  受賞国:日本国

  2. 精密工学会技術奨励賞

    2012年9月   精密工学会  

    松山智至

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  3. 2017年秋季大会ベストオーガナイザー賞

    2017年9月   精密工学会  

    松山智至,湯本博勝

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  4. The 24th Congress of the International Comission for Optics (ICO-24), OSA/SPIE Student Paper Award

    2017年8月   The 24th Congress of the International Comission for Optics  

    J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

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    受賞国:日本国

  5. 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウムJSR2017学生発表賞

    2017年1月   日本放射光学会  

    山田純平, 松山智至, 安田周平, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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    受賞国:日本国

  6. 平成24年度コニカミノルタ画像科学奨励賞

    2013年3月   コニカミノルタ科学技術振興財団  

    松山智至

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    受賞区分:出版社・新聞社・財団等の賞  受賞国:日本国

  7. 飛翔研究フェロー(‘飛翔30’若手プログラム)

    2010年9月   大阪大学  

    松山智至

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    受賞国:日本国

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論文 89

  1. Generation of an X-ray nanobeam of a free-electron laser using reflective optics with speckle interferometry. 査読有り

    Inoue T, Matsuyama S, Yamada J, Nakamura N, Osaka T, Inoue I, Inubushi Y, Tono K, Yumoto H, Koyama T, Ohashi H, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Journal of synchrotron radiation   27 巻 ( Pt 4 ) 頁: 883 - 889   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1107/S1600577520006980

    Web of Science

    PubMed

  2. Full-field X-ray fluorescence microscope based on total-reflection advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics. 査読有り

    Matsuyama S, Yamada J, Kohmura Y, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Optics express   27 巻 ( 13 ) 頁: 18318 - 18328   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/OE.27.018318

    PubMed

  3. Compact reflective imaging optics in hard X-ray region based on concave and convex mirrors. 査読有り

    Yamada J, Matsuyama S, Sano Y, Kohmura Y, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Optics express   27 巻 ( 3 ) 頁: 3429 - 3438   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/OE.27.003429

    PubMed

  4. Nanofocusing of X-ray free-electron laser using wavefront-corrected multilayer focusing mirrors 査読有り

    S. Matsuyama, T. Inoue, J. Yamada, J. Kim, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, I. Inoue, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Scientific Reports   8 巻   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-018-35611-0

    Web of Science

  5. High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system

    Sano Yasuhisa, Nishida Ken, Asada Ryohei, Okayama Shinya, Toh Daisetsu, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   92 巻 ( 12 ) 頁: 125107   2021年12月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Review of Scientific Instruments  

    A deterministic processing method is a high-precision finishing method, where the to-be-removed amount of material at each point of the work surface is calculated based on an accurately measured present surface shape and is removed precisely using a numerically controlled (NC) processing system. Although this method has achieved nanometer-scale accuracy, the method requires considerable time to scan the work surface, leading to low productivity. Therefore, using an individual on-off controllable array-type plasma generator covering the entire work surface, enabling simultaneous NC plasma processing is proposed herein. A novel intermittent gas flow system was constructed using cyclic on-off control of the gas supply and exhaust valves instead of the commonly used continuous gas flow to achieve uniform in-plane plasma etching. It was found that uniform removal could be achieved by combining it with a pulse-modulated high-frequency power supply and setting the plasma generation time in one cycle to be sufficiently short. Furthermore, a power control approach was developed for maintaining a constant plasma state, even while varying the plasma-generating array elements, which resulted in a demonstration experiment of NC plasma etching that successfully reduced the thickness variation of a silicon substrate.

    DOI: 10.1063/5.0071623

    Web of Science

    Scopus

    PubMed

  6. Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system

    Inoue Takato, Nishioka Yuka, Matsuyama Satoshi, Sonoyama Junki, Akiyama Kazuteru, Nakamori Hiroki, Ichii Yoshio, Sano Yasuhisa, Shi Xianbo, Shu Deming, Wyman Max D., Harder Ross, Kohmura Yoshiki, Yabashi Makina, Assoufid Lahsen, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   92 巻 ( 12 ) 頁: 123706   2021年12月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Review of Scientific Instruments  

    A hybrid deformable x-ray mirror consisting of a mechanical bender and a bimorph deformable mirror has been developed to realize adaptive optical systems, such as zoom condenser optics, for synchrotron-radiation-based x-ray microscopy. In the developed system, both bending mechanisms comprehensively contribute to the formation of the target mirror shape and can narrow the role of piezoelectric actuators, thereby enabling a more stable operation. In this study, the behavior of the bimorph mirror under the clamped condition was investigated, and the sharing of the deformation amount for each bending mechanism was optimized to minimize the amplitude of the voltage distribution of the bimorph mirror.

    DOI: 10.1063/5.0070465

    Web of Science

    Scopus

    PubMed

  7. Hard X-ray nanoprobe scanner

    Yamada Jumpei, Inoue Ichiro, Osaka Taito, Inoue Takato, Matsuyama Satoshi, Yamauchi Kazuto, Yabashi Makina

    IUCRJ   8 巻 ( Pt 5 ) 頁: 713 - 718   2021年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1107/S2052252521007004

    Web of Science

    PubMed

  8. はじめての放射光X線実験

    松山 智至

    精密工学会誌   87 巻 ( 7 ) 頁: 7_618 - 7_621   2021年7月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    DOI: 10.2493/jjspe.87.7_618

    CiNii Research

  9. X-ray adaptive zoom condenser utilizing an intermediate virtual focus

    Matsuyama Satoshi, Yamaguchi Hiroyuki, Inoue Takato, Nishioka Yuka, Yamada Jumpei, Sano Yasuhisa, Kohmura Yoshiki, Yabashi Makina, Ishikawa Tetsuya, Yamauchi Kazuto

    OPTICS EXPRESS   29 巻 ( 10 ) 頁: 15604 - 15615   2021年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Optics Express  

    We propose an extended X-ray adaptive zoom condenser that can form an intermediate virtual focus. The system comprises two deformable mirrors for focusing within a single dimension and can vary its numerical aperture (NA) without changing the positions of the light source, mirrors, or final focus. The desired system NA is achieved simply by controlling the mirror surfaces, which enables conversion between convex and concave forms, by varying the position of the intermediate virtual focus. A feasibility test at SPring-8 under a photon energy of 10 keV demonstrated that the beam size can be varied between 134 and 1010 nm.

    DOI: 10.1364/OE.422723

    Web of Science

    Scopus

    PubMed

    その他リンク: https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=oe-29-10-15604&seq=0

  10. 圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5nm集光システムの開発

    井上 陽登, 松山 智至, 田中 優人, 二村 浩平, 一井 愛雄, 山田 純平, 佐野 泰久, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2021S 巻 ( 0 ) 頁: 668 - 668   2021年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>大型放射光施設が発振する高強度X線をより小さく集光することで,高光子密度を活かしたX線非線形光学や,小さなスポット径を利用したナノ構造解析の発展が期待される.求める集光径が小さくなるほどミラーに必要な形状精度は厳しくなる.そこで我々は形状可変ミラーを導入し,有限要素法を用いて修正可能な形状を計算した.6周期までの正弦波型の初期形状誤差がPV-3 nm以上存在した場合においても修正可能であることがわかった.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_668

    CiNii Research

  11. 複数の凸面鏡を持つ高度な硬X線結像光学系の開発(第一報)

    松山 智至, 波多 健太郎, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2021S 巻 ( 0 ) 頁: 672 - 672   2021年3月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>4枚のミラーから成るAdvanced Kirkpatrick-Baezミラーは硬X線領域における有望な結像光学系である.我々は様々な光学系を実際に開発し,30nmの空間分解能を持つX線顕微鏡をすでに実現した.この光学系に複数の凸面鏡を組み入れることで,さらに高度な光学系が構築可能であることを見出した.本発表では,いくつかの設計例とシミュレーションを示し,結像特性について調査した結果を示す.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_672

    CiNii Research

  12. 結像型X線顕微鏡における波面計測手法の開発

    田中 優人, 山内 和人, 松山 智至, 井上 陽登, 中村 南美, 山田 純平, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 表 和彦, 石川 哲也

    精密工学会学術講演会講演論文集   2021 巻 ( 0 ) 頁: 671 - 671   2021年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>X線ミラーを用いた結像型X線顕微鏡は,色収差が無くスループットが高い点で優れているが,許容アライメント誤差が厳しく,高空間分解能画像を得るためには,拡大結像配置にて光学素子由来の波面収差を計測しなければならない.我々は,フレネルゾーンプレートの集光点を試料とし,その拡大像を複数枚取得した上で反復的位相回復計算を施すことで波面を計測した.本手法を用いてアライメントを調整し,空間分解能23 nmを達成した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021S.0_671

  13. X-Ray Single-Grating Interferometry for Wavefront Measurement and Correction of Hard X-Ray Nanofocusing Mirrors 査読有り

    Yamada Jumpei, Inoue Takato, Nakamura Nami, Kameshima Takashi, Yamauchi Kazuto, Matsuyama Satoshi, Yabashi Makina

    SENSORS   20 巻 ( 24 ) 頁: 7356 - 7356   2020年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Sensors (Switzerland)  

    X‐ray single‐grating interferometry was applied to conduct accurate wavefront corrections for hard X‐ray nanofocusing mirrors. Systematic errors in the interferometer, originating from a grating, a detector, and alignment errors of the components, were carefully examined. Based on the measured wavefront errors, the mirror shapes were directly corrected using a differential deposition technique. The corrected X‐ray focusing mirrors with a numerical aperture of 0.01 attained two‐dimensionally diffraction‐limited performance. The results of the correction indicate that the uncertainty of the wavefront measurement was less than λ/72 in root‐mean‐square value.

    DOI: 10.3390/s20247356

    Web of Science

    Scopus

    PubMed

  14. hv<sup>2</sup>-concept breaks the photon-count limit of RIXS instrumentation. 査読有り 国際共著

    Zhou KJ, Matsuyama S, Strocov VN

    Journal of synchrotron radiation   27 巻 ( Pt 5 ) 頁: 1235 - 1239   2020年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1107/S1600577520008607

    PubMed

  15. Focus characterization of an X-ray free-electron laser by intensity correlation measurement of X-ray fluorescence. 査読有り

    Nakamura N, Matsuyama S, Inoue T, Inoue I, Yamada J, Osaka T, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Journal of synchrotron radiation   27 巻 ( Pt 5 ) 頁: 1366 - 1371   2020年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1107/S1600577520009868

    PubMed

  16. High-resolution micro channel-cut crystal monochromator processed by plasma chemical vaporization machining for a reflection self-seeded X-ray free-electron laser.

    Matsumura S, Osaka T, Inoue I, Matsuyama S, Yabashi M, Yamauchi K, Sano Y

    Optics express   28 巻 ( 18 ) 頁: 25706-25715   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/OE.398590

    PubMed

  17. An abrasive-free chemical polishing method assisted by nickel catalyst generated by in situ electrochemical plating.

    Toh D, Van Bui P, Isohashi A, Matsuyama S, Yamauchi K, Sano Y

    The Review of scientific instruments   91 巻 ( 4 ) 頁: 045108   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5141381

    PubMed

  18. An abrasive-free chemical polishing method assisted by nickel catalyst generated by in situ electrochemical plating 査読有り

    D. Toh, P. V. Bui, A. Isohashi, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Review of Scientific Instruments   91 巻 ( 4 ) 頁: 045108   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  19. Development of an Experimental Platform for Combinative Use of an XFEL and a High-Power Nanosecond Laser 査読有り

    Y. Inubushi, T. Yabuuchi, T. Togashi, K. Sueda, K. Miyanishi, Y. Tange, N. Ozaki, T. Matsuoka, R. Kodama, T. Osaka, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Tono, M. Yabashi

    Applied Science   10 巻 ( 7 ) 頁: 2224 - 2224   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/app10072224

    Scopus

  20. Catalyzed chemical polishing of SiO<sub>2</sub> glasses in pure water. 査読有り

    Toh D, Bui PV, Isohashi A, Kidani N, Matsuyama S, Sano Y, Morikawa Y, Yamauchi K

    The Review of scientific instruments   90 巻 ( 4 ) 頁: 045115   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5090320

    Web of Science

    PubMed

  21. 多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線顕微鏡の開発

    松山智至, 山田純平, 波多健太郎, 萩原拓, 表和彦, 廣瀬雷太, 武田佳彦, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    精密工学会春季大会     2019年3月

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    記述言語:日本語  

  22. Surface Finishing Method using Plasma Chemical Vaporization Machining for Narrow Channel Walls of X-ray Crystal Monochromators 査読有り

    T. Hirano, Y. Morioka, S. Matsumura, Y. Sano, T. Osaka, S. Matsuyama, M. Yabashi, K. Yamauchi

    Int. J. Automation Technol.   13 巻 ( 2 ) 頁: 246 - 253   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.20965/ijat.2019.p0246

  23. Development of a glue-free bimorph mirror for use in vacuum chambers. 査読有り

    Ichii Y, Okada H, Nakamori H, Ueda A, Yamaguchi H, Matsuyama S, Yamauchi K

    The Review of scientific instruments   90 巻 ( 2 ) 頁: 021702   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5066105

    PubMed

  24. High-efficiency planarization of GaN wafer by catalyst-referred etching with positive-biased photo-electrochemical oxidation

    Ryosuke Ohnishi, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Ai Isohashi, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings - 34th ASPE Annual Meeting     頁: 79 - 83   2019年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Scopus

  25. High-efficiency planarization of SIC wafers by water-CARE (Catalyst-referred etching) employing photoelectrochemical oxidation

    H. Kida, D. Toh, P. V. Bui, A. Isohashi, R. Ohnishi, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

    Materials Science Forum   963 MSF 巻   頁: 525 - 529   2019年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    © 2019 Trans Tech Publications Ltd, Switzerland. Catalyst-referred etching (CARE) is an abrasive-free and damage-free polishing method that involves applying a catalytic reaction at the contact point of the catalyst surface and workpiece in a chemical solution. An atomically flat silicon carbide (SiC) wafer surface can be obtained by the CARE process. Recently, it was found that water can be used as a chemical solution, even in the case of SiC polishing. However, its current removal rate of 4H-SiC (0001) 4°off-axis substrate is only 2 nm/h and is expected to increase. In this study, the use of photoelectrochemical oxidation in combination with the CARE process using water was investigated, successfully increasing the removal rate up to approximately 100 nm/h.

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.963.525

    Scopus

  26. Development of adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on mechanical and piezoelectric bending

    H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, Y. Sano, Y, Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Okada, K. Yamauchi

        2018年8月

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    記述言語:英語  

  27. Reflective Imaging Optics using Concave and Convex Mirrors for A Compact and Achromatic Full-field X-ray Microscope 招待有り 査読有り

    J. Yamada, S. Matsuyama, K. Hata, R. Hirose, Y. Takeda, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    Microscopy and Microanalysis   24 巻 ( S2 ) 頁: 274 - 275   2018年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1017/S1431927618013715

  28. High-resolution full-field X-ray microscope for 20-keV X-rays with multilayer imaging mirrors 査読有り

    S. Matsuyama

    Microscopy and Microanalysis   24 巻 ( S2 ) 頁: 284 - 285   2018年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1017/S1431927618013764

  29. Development of new diagnostics based on LiF detector for pump-probe experiments 査読有り

    T.A. Pikuz, A.Ya.Faenov, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, N. Hartley, K. Miyanishi, K. Katagiri, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A. Grum-Grzhimailo, A. Casner, I. Skobelev, S. Makarov, S. Pikuz, G. Rigon, M. Koenig, K.A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

    MRE     2018年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  30. Nearly diffraction-limited hard X-ray line focusing with hybrid adaptive X-ray mirror based on mechanical and piezo-driven deformation. 査読有り

    Goto T, Matsuyama S, Hayashi H, Yamaguchi H, Sonoyama J, Akiyama K, Nakamori H, Sano Y, Kohmura Y, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Optics express   26 巻 ( 13 ) 頁: 17477 - 17486   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/OE.26.017477

    Scopus

    PubMed

  31. Development of a multilayer Kirkpatrick-Baez mirror optics for X-ray free electron laser

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)     2018年6月

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    記述言語:英語  

  32. Hard-x-ray imaging mirror optics using concave and convex mirrors 招待有り

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)     2018年6月

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    記述言語:英語  

  33. Full‐field imaging and focusing with advanced mirror‐based optics 招待有り

    S. Matsuyama

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)     2018年6月

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    記述言語:英語  

  34. Fabrication of ultraprecise multilayer focusing mirrors using an X-ray grating interferometer and differential deposition technique

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)     2018年6月

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    記述言語:英語  

  35. Development of reflective imaging optics using concave and convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)     2018年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  36. Development of hybrid X-ray adaptive optical system based on piezo-driven deformable mirror and a mechanical mirror bender

    H. Yamaguchi, T. Goto, H. Hayashi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)     2018年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  37. Development of adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on bimorph and mechanical bending

    H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Okada, K. Yamauchi

    International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)     2018年6月

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    記述言語:英語  

  38. Platinum-catalyzed hydrolysis etching of SiC in water: A density functional theory study 査読有り

    Pho Van Bui, Daisetsu Toh, Ai Isohashi, Satoshi Matsuyama, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Yoshitada Morikawa

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 5 ) 頁: 055703-1 - 055703-5   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTD  

    A comprehensive study of the physicochemical interactions and the reaction mechanism of SiC etching with water by Pt catalysts can reveal key details about the surface treatment and catalytic phenomena at interfaces. Therefore, density functional theory simulations were performed to study the kinetics of Pt-assisted water dissociation and breaking of a Si-C bond compared to the HF-assisted mechanism. These calculations carefully considered the elastic and chemical interaction energies at the Pt-SiC interface, activation barriers of Si-C bond dissociation, and the catalytic role of Pt. It was found that the Pt-catalyzed etching of SiC in water is initiated via hydrolysis reactions that break the topmost Si-C bonds. The activation barrier strongly depends on the elastic and chemical interactions. However, chemical interactions are a dominant factor and mainly contribute to the lowering of the activation barrier, resulting in an increased rate of reaction. (C) 2018 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.7567/JJAP.57.055703

    Web of Science

  39. Systematic-error-free wavefront measurement using an X-ray single-grating interferometer.

    Inoue T, Matsuyama S, Kawai S, Yumoto H, Inubushi Y, Osaka T, Inoue I, Koyama T, Tono K, Ohashi H, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    The Review of scientific instruments   89 巻 ( 4 ) 頁: 043106 - 043106-7   2018年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5026440

    Scopus

    PubMed

  40. Development of nanofocusing system for X-ray free electron Laser (Study of nanobeam characterization)

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, T. Osaka, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)     2018年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  41. Development of high-resolution X-ray imaging optical system using multilayer imaging mirrors

    K. Hata, J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)     2018年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  42. Compact and large-magnification full-field X-ray microscope using concave-convex imaging mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)     2018年4月

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    記述言語:英語  

  43. Performance of a hard X-ray split-and-delay optical system with a wavefront division. 査読有り

    Hirano T, Osaka T, Morioka Y, Sano Y, Inubushi Y, Togashi T, Inoue I, Matsuyama S, Tono K, Robert A, Hastings JB, Yamauchi K, Yabashi M

    Journal of synchrotron radiation   25 巻 ( Pt 1 ) 頁: 20 - 25   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1107/S1600577517014023

    Scopus

    PubMed

  44. Development of new diagnostics based on LiF detector for pump-probe experiments 査読有り

    T. Pikuz, A. Faenov, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, N.J. Hartley, K. Miyanishi, K. Katagiri, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A.N. Grum-Grzhimailo, A. Casner, I. Skobelev, S. Makarov, S. Pikuz, G. Rigon, M. Koenig, K.A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

    Matter and Radiation at Extremes   3 巻 ( 4 ) 頁: 197 - 206   2018年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mre.2018.01.006

    Scopus

  45. 超精密X線ミラーが拓く次世代X線集光・結像 招待有り

    松山智至

        2018年1月

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    記述言語:日本語  

  46. Wavefront sensing for nano-focusing characterization

    S. Matsuyama

    9th Hard X-ray FEL Collaboration Meeting (5-way meeting 2017)     2017年12月

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    記述言語:英語  

  47. Ellipsoidal mirror for two-dimensional 100-nm focusing in hard X-ray region. 査読有り

    Yumoto H, Koyama T, Matsuyama S, Kohmura Y, Yamauchi K, Ishikawa T, Ohashi H

    Scientific reports   7 巻 ( 1 ) 頁: 16408   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-017-16468-1

    Web of Science

    PubMed

  48. 全反射ミラーを用いた色収差のない結像光学系の開発 招待有り

    松山智至

        2017年11月

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    記述言語:日本語  

  49. 衝撃圧縮された多結晶コランダムの時分割XFELその場観察

    丹下 慶範, 尾崎 典雅, 瀬戸 雄介, 佐藤 友子, 奥地 拓生, 松岡 健之, 高橋 謙次郎, 宮西 宏併, ALBERTAZZI Bruno・HARTLEY Nicholas, 梅田 悠平, 西川 豊人, 松山 智至, 山内 和人, 関根 利守, 田中 和夫, 兒玉 了祐, 籔内 俊毅, 矢橋 牧名

        2017年11月

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    記述言語:日本語  

  50. Fabrication of X-ray imaging mirror for an achromatic and high-resolution full-field X-ray microscope

    J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, K. Yamauchi

        2017年10月

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    記述言語:英語  

  51. Development of crystal-based split-and-delay optics with wavefront splitting at SACLA

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, T. Togashi, I. Inoue, S. Matsuyama, K. Tono, K. Yamauchi, M. Yabashi

    SPIE Optics+Photonics2017     頁: 187 - 187   2017年8月

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    記述言語:英語  

  52. 高分解能かつ色収差のないX線顕微鏡の開発 招待有り

    松山智至

    日本学術振興会,結晶加工と評価技術第145委員会,第154回研究会     2017年8月

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    記述言語:日本語  

  53. 高分解能かつ色収差のない X 線顕微鏡の開発 招待有り

    松山智至

        2017年8月

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    記述言語:日本語  

  54. Full-field X-ray fluorescence imaging based on total-reflection imaging mirrors

    S. Matsuyama, S. Yasuda, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics     2017年8月

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    記述言語:英語  

  55. Development of precision Wolter mirrors for solar x-ray observations

    Taro Sakao, Satoshi Matsuyama, Takumi Goto, Jumpei Yamada, Shuhei Yasuda, Kazuto Yamauchi, Yoshiki Kohmura, Ayumi Kime, Akira Miyake, Tadakazu Maezawa, Hirokazu Hashizume, Yoshinori Suematsu, Noriyuki Narukage, Shin-nosuke Ishikawa

    Proceedings of SPIE   10386 巻   頁: 103860E-1 - 103860E-11   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1117/12.2273507

    Web of Science

  56. Development of Precise Wavefront Measurement Method for X-Ray Free Electron Laser Focusing System

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics     2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  57. Development of measurement system for ellipsoidal mirrors

    H. Nakamori, Y. Ichii, H. Okada, A. Ueda, T. Tsumura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017     頁: 185 - 185   2017年8月

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    記述言語:英語  

  58. Development of measurement system for ellipsoidal mirrors 査読有り

    H. Nakamori, Y. Ichii, H. Okada, A. Ueda, T. Tsumura, S. Matsuyama, K. Yamauchi

        2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  59. Development of hybrid adaptive x-ray focusing system based on piezoelectric bimorph mirror and mirror bender 査読有り

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017     頁: 187 - 187   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  60. Development of full-field x-ray fluorescence microscope using total-reflection mirrors 査読有り

    S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2017     頁: 193 - 193   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  61. Shock response to solid germanium

    Kohei Miyanishi, Norimasa Ozaki, Takeshi Matsuoka, Satoshi Matsuyama, Kenjiro Takahashi, Hideaki Habara, Tatiana Pikuz, Anatoly Faenov, Kazuto Yamauchi, Ryosuke Kodama, Kazuo Tanaka, Yusuke Seto, Yoshinobu Tange, Toshinori Yabuuchi, Yuichi Inubushi, Tadashi Togashi, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Michel Koenig, Tommaso Vinci, Takuo Okuchi, Nicholas Hartley, Osami Sakata, Toshimori Sekine, Emma McBride

        2017年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  62. Development of new diagnostics in the interests of pump-probe experiments 招待有り

    T. Pikuz, A. Faenov, N. Ozaki. T. Matsuoka, B. Albertazzi, N. Hartely, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A. Grum-Grzhimailo, A. Casner, G. Rigon, M. Koenig, K. A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

        2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  63. Measurement of the X-ray Spectrum of a Free Electron Laser with a Wide-Range High-Resolution Single-Shot Spectrometer 査読有り

    Y. Inubushi, I. Inoue, J. Kim, A. Nishihara, S. Matsuyama, H. Yumoto, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, K. Yamauchi, M. Yabashi

    Applied Sciences   7 巻 ( 6 ) 頁: 584-1 - 584-5   2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/app7060584

    Web of Science

  64. Development of new diagnostics in the interests of pumpprobe experiments 招待有り

    T. Pikuz, A. Faenov, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, N.Hartely, S. Matsuyama, K. Yamauchi, H. Habara, Y. Inubushi, T. Togashi, H. Yumoto, H. Ohashi, Y. Tange, T. Yabuuchi, M. Yabashi, A. Grum-Grzhimailo, A. Casner, G. Rigon, M. Koenig, K. A. Tanaka, T. Ishikawa, R. Kodama

        2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  65. Chemical etching of silicon carbide in pure water by using platinum catalyst 査読有り

    A. Isohashi, P. V. Bui, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Inagaki, Y. Morikawa, K. Yamauchi

    Applied Phsyics Letters   110 巻 ( 20 ) 頁: 201601   2017年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4983206

    Web of Science

  66. 50-nm-resolution full-field X-ray microscope without chromatic aberration using total-reflection imaging mirrors. 査読有り

    Matsuyama S, Yasuda S, Yamada J, Okada H, Kohmura Y, Yabashi M, Ishikawa T, Yamauchi K

    Scientific reports   7 巻   頁: 46358   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/srep46358

    Web of Science

    PubMed

  67. 4枚の形状可変鏡に基づく開口数可変集光光学系を用いた回折限界X線集光

    松山智至

    X線結像光学ニューズレター     2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  68. High-magnification X-ray imaging mirror system consisting of elliptical concave and hyperbolic convex mirrors

    J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 66 - 66   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  69. Hard X-ray Split-and-Delay Optics with wavefront Division at SACLA

    T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, T. Togashi, I. Inoue, S. Matsuyama, K. Tono, K. Yamauchi, M. Yabashi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 34 - 34   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  70. Development of calibration method for X-ray single-grating interferometry

    T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, T. Katayama, S. Goto, T. Ishikawa, M. Yabashi, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 59 - 60   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  71. Development of an adaptive x-ray focusing system based on the combination of piezoelectric bimorph mirror and mirror bender

    T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 72 - 72   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  72. Development of a multilayer KB mirror sysem for sub-10nm XFEL focusing

    S. Kawai, S. Matsuyama, T. Inoue, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 61 - 62   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  73. Achromatic and High-Resolution Full-Field X-ray Microscope and its Applicaiton

    S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, H. Okadam, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017     頁: 10 - 11   2017年4月

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    記述言語:英語  

  74. パワーレーザーとXFELを用いた動的超高圧下の物質変形・相転移に関する研究 査読有り

    尾崎典雅

        2017年3月

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    記述言語:日本語  

  75. 全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発ー様々な観察法への応用ー

    松山智至, 安田周平, 山田純平, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    アブストラクト集   P02 巻   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  76. 全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発ー様々な観察法への応用ー

    松山智至, 安田周平, 山田純平, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    2017年度精密工学会春季大会学術講演会     2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  77. 高エネルギー密度科学のための新しい実験ステーション 査読有り

    松岡健之, 尾崎典雅

        2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  78. Simulation of concave-convex imaging mirror system for development of a compact and achromatic full-field x-ray microscope. 査読有り

    Yamada J, Matsuyama S, Sano Y, Yamauchi K

    Applied optics   56 巻 ( 4 ) 頁: 967 - 974   2017年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/AO.56.000967

    Web of Science

    PubMed

  79. Ultrafast observation of lattice dynamics in laser-irradiated gold foils 査読有り

    N. J. Hartley, N. Ozaki, T. Matsuoka, B. Albertazzi, A. Faenov, Y. Fujimoto, H. Habara, M. Harmand, Y. Inubushi, T. Katayama, M. Koenig, A. Krygier, P. Mabey, Y. Matsumura, S. Matsuyama, E. E. McBride, K. Miyanishi, G. Morard, T. Okuchi, T. Pikuz, O. Sakata, Y. Sano, T. Sato, T. Sekine, Y. Seto, K. Takahashi, K. A. Tanaka, Y. Tange, T. Togashi, Y. Umeda, T. Vinci, M. Yabashi, T. Yabuuchi, K. Yamauchi, R. Kodama

    Applied Physics Letters   110 巻 ( 7 ) 頁: 071905 - 071905   2017年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4976541

    Web of Science

  80. Generation of apodized X-ray illumination and its application to scanning and diffraction microscopy. 査読有り

    Khakurel KP, Kimura T, Nakamori H, Goto T, Matsuyama S, Sasaki T, Takei M, Kohmura Y, Ishikawa T, Yamauchi K, Nishino Y

    Journal of synchrotron radiation   24 巻 ( Pt 1 ) 頁: 142 - 149   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1107/S1600577516017677

    Web of Science

    Scopus

    PubMed

  81. Visualization of intracellular elements using scanning X-ray fluorescence microscopy 査読有り

    Mari Shimura, Lukasz Szyrwiel, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

    Metallomics: Recent Analytical Techniques and Applications     頁: 63 - 92   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:論文集(書籍)内論文   出版者・発行元:Springer Japan  

    Recent technological developments have enabled the imaging of chemical elements in cells, although quantitative analyses, such as by inductively coupled plasma mass spectrometry, were developed previously. Applications allowing high-resolution imaging at the single-cell level are anticipated in cell biology and medicine, where the roles of elements, especially in relation to intracellular molecules such as proteins, nucleic acids, lipids, and sugars, are essential for understanding cellular functions. The expression of proteins and genes varies depending on cellular function, and multiple elements are likely to be associated with biological molecules in the functioning of cell proliferation, differentiation, aging, and stress responses. In this review, we describe a scanning X-ray fluorescence microscopy system, which can reliably determine the cellular distribution of multiple elements by a sub-100-nm focusing approach, together with its applications. Visualizing intracellular elements and understanding their dynamics at the single-cell level may provide great insight into their behaviors.

    DOI: 10.1007/978-4-431-56463-8_3

    Scopus

  82. 全反射結像ミラーを使った色収差のないX線顕微鏡の開発と顕微分光への応用

    松山智至, 安田周平, 山田純平, 岡田浩巳, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

    アブストラクト集   5D003 巻   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  83. 表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発

    両粂 玲志, 宮崎 俊亘, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2017 巻   頁: 541 - 542   2017年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    SiCやダイヤモンドなどはその優れた物性から次世代半導体基板材料として注目されているが,これらは高硬度かつ化学的に安定なため,原子レベルの表面平坦化は困難である.そこで我々はドライエッチングに転写面を付加した研磨法を考案した.本手法では,大気圧プラズマで生じた反応種を,触媒をめっきした回転定盤上に吸着し,試料表面に輸送することで平坦化を行う.本発表では,本手法の概念および基礎実験結果について報告する.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017S.0_541

  84. 触媒表面基準エッチング法における水素水を用いた被毒除去法の提案

    中平 雄太, 礒橋 藍, Bui Pho, 稻田 辰昭, 藤 大雪, 木田 英香, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2017 巻 ( 0 ) 頁: 1 - 2   2017年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    我々はこれまで触媒表面基準エッチング法の開発を行ってきた。本手法ではエッチング反応による加工が、触媒作用を有する研磨パッドの近傍のみで進行するため凸部からの選択的な加工が可能である。砥粒等の機械的作用によるダメージはなく効率的に基準面形状の転写が可能である。本研究では、水素水を用い触媒表面の加工生成物を除去することで加工速度の安定化を行い、加工液のpHを変化させることで加工速度の向上に成功した。

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017A.0_1

  85. 高濃度SF<sub>6</sub>ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率薄化加工

    井上 裕貴, 田尻 光毅, 向井 莉紗, 佐野 泰久, 松山 智至, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2017 巻   頁: 975 - 976   2017年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    SiCデバイス製造工程においてサブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチング加工を検討している。今回、実用化を視野に入れた加工速度を達成することを目指した。SF6の供給量と投入電力を増大させ、反応種であるFラジカル数を増加させることで加工速度を向上させた。大電力の投入はこれまで困難であったが、新たな試料台を用いることで大電力を投入しても安定なプラズマの発生に成功し、2インチウエハ全面加工速度15.2 μm/minを達成した。

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017S.0_975

  86. Change in surface morphology of Si (100) wafer after oxidation with atmospheric-pressure plasma 査読有り

    Hiroyasu Takei, Satoshi Kurio, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

    Key Engineering Materials   723 巻   頁: 242 - 246   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Trans Tech Publications Ltd  

    Modern surface processing of semiconductors or oxide materials requires highly precise temporal control of each processing step. In addition, large wafers must be processed quickly for high throughput. We have developed a numerically controlled sacrificial oxidation method with atmospheric-pressure plasma using electrode arrays. In this method, we oxidized the surface of a wafer with atmospheric-pressure plasma applied precisely by an electrode array, and then dipped the wafer in HF solution to remove the surface oxide layer. The plasma process time can be controlled independently at each electrode area. The oxidation rate and surface profile of the treated wafer are crucial for precision processing. We investigated the oxidation rate of atmospheric-pressure plasma oxidation by spectroscopic ellipsometry and examined the surface morphologies of untreated and treated wafers by atomic force microscopy. The surface profile smoothness correlated with the plasma oxidation time and electrode voltage during oxidation. The surface roughness tended to increase when the sample was oxidized for longer times with higher electrode voltage. This correlation between surface roughness and oxidation time resembled the results of Si/SiO2 interfacial roughness in the case of thermal oxidation. In the plasma sacrificial oxidation process, the increase of surface roughness at the Si/SiO2 interface by plasma oxidation must be considered.

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.723.242

    Scopus

  87. Planarization of SiC and oxide surfaces by using Catalyst-Referred Etching with water

    Pho Van Bui, Ai Isohashi, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Kouji Inagaki, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi

    Proceedings of the 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2017     頁: 157 - 158   2017年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    A novel abrasive-free planarization method called catalyst-referred etching (CARE) has been invented and developed in our group. In this method, a platinum film, which acts as a catalyst, is deposited on an elastic pad that is rotated in contact with a wafer surface in water. CARE can produce flat, undamaged, and smooth SiC and SiO2 surfaces with a root-mean-square (RMS) roughness of less than 0.1 nm over a whole wafer. The mechanism is considered a dissociative adsorption of water molecules onto the Si-C bonds at the topmost Si surface. The gross activation barrier strongly correlates with the stability of the metastable state and is reduced by the formation of Pt-O chemical bonds, leading to an enhancement of the etching reaction.

    Scopus

  88. 多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発

    川合 蕉吾, 松山 智至, 井上 陽登, 湯本 博勝, 犬伏 雄一, 小山 貴久, 登野 健介, 大橋 治彦, 大坂 泰斗, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2017 巻   頁: 959 - 960   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    X線自由電子レーザーは超高強度という非常に優れた性質をもつ.その性能をより向上させるためには,高精度かつ大開口数であるX線集光光学系の開発が必要不可欠である.我々は,大開口数多層膜ミラーを用いた集光光学系をSPring-8に構築した.そして,X線グレーチング干渉計で波面計測を行うことによって多層膜ミラーの作製誤差を計測しさらにこれを修正した.&lambda;/4程度の精度で多層膜集光ミラーを完成させた.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017S.0_959

  89. ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発

    藤 大雪, 礒橋 藍, 稻田 辰昭, 中平 雄太, 木田 英香, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人

    精密工学会学術講演会講演論文集   2017 巻 ( 0 ) 頁: 35 - 36   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    我々は機能性材料を平坦化する手法として触媒表面基準エッチング法を開発してきた.加工液に純水,触媒にPt,を用いる本手法は高精度表面の実現を可能にするがステップフロー型エッチングであるため加工速度は未だ不十分である.そこで本研究ではニッケルを触媒として利用し,加工速度の向上を図った.表面が酸化され化学的不活性になりやすいニッケルを電気化学的手法によりその触媒活性を安定させ超高速加工を実現した.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017A.0_35

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書籍等出版物 5

  1. 先端の分析法 新訂第二版,第4章 第1節 第3項 X線ナノビーム

    松山智至( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第4章 第1節 第3項)

    エヌ・ティー・エス  2022年1月  ( ISBN:978-4-86043-737-4

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    記述言語:日本語 著書種別:学術書

  2. 差分成膜法による高精度X線ミラー作製

    松山智至, 山内和人( 担当: 単著)

    精密工学会誌  2018年3月 

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    著書種別:学術書

  3. 全反射結像ミラーを用いた色収差のないX線顕微鏡

    松山智至( 担当: 単著)

    日本放射光学会  2018年1月 

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    著書種別:学術書

  4. 放射光X線のための超高精度X線ミラー開発の最前線

    松山 智至, 山内 和人( 担当: 分担執筆)

    精密工学会誌  2017年4月 

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    著書種別:学術書

  5. 4枚の形状可変鏡に基づく開口数可変集光光学系を用いた回折限界X線集光

    松山 智至( 担当: 単著)

    X線結像光学ニューズレター  2017年4月 

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    著書種別:学術書

MISC 2

  1. はじめての放射光実験 招待有り

    松山智至  

    精密工学会誌87 巻 ( 7 ) 頁: 618 - 621   2021年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)  

    DOI: 10.2493/jjspe.87.7_618

  2. X線スペックル干渉計を駆使したナノビーム形成 招待有り

    松山智至  

    光学50 巻 ( 6 )   2021年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)  

講演・口頭発表等 25

  1. 単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーの開発

    上松航太、中林荘太、井上陽登、松山智至

    2022精密工学会春季大会学術講演会  2022年3月15日  精密工学会

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  2. 単結晶圧電素子を用いたX線用形状可変ミラーの開発

    中林荘太,上松航太,松山智至

    2022精密工学会春季大会学術講演会  2022年3月15日  精密工学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  3. 機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定

    青戸仁志,田中優人,松山智至

    2022精密工学会春季大会学術講演会  2022年3月15日  精密工学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  4. 機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定

    青戸仁志,田中優人,松山智至

    第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2022年1月8日  日本放射光学会

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    開催年月日: 2022年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Online   国名:日本国  

  5. 単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーの開発

    上松航太、中林荘太、松山智至

    第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2022年1月8日  日本放射光学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Online   国名:日本国  

  6. ミラーベースのX線結像光学システム 招待有り

    松山智至

    日本光学会年次学術講演会 Optics and Photonics Japan 2021  2021年10月28日 

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    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Online  

  7. 結像型 X 線顕微鏡を用いた位相イメージング手法の開発

    田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,木村隆志,志村まり,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人

    日本光学会年次学術講演会 Optics and Photonics Japan 2021  2021年10月26日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online  

  8. Optimization of mirror deformation strategy using mechanical and piezoelectric bending system 国際共著 国際会議

    T. Inoue, Y. Nishioka, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, L. Assoufid, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2021  2021年8月1日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  9. Image-based wavefront measurement for full-field X-ray microscopy 国際会議

    Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    SPIE Optics+Photonics2021  2021年8月1日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  10. ミラーベースのX線結像光学システム 招待有り

    松山智至

    SAGA-LSセミナー  2021年7月19日  SAGA-LS

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  11. 結像型 X 線顕微鏡におけるマルチハイト位相回復法の開発

    田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人

    2021年度関西地方定期学術講演会  2021年6月30日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

  12. 形状可変ミラーと多層膜の高次光反射を利用したX 線sub-5 nm集光光学系の開発

    二村浩平,井上陽登,松山智至,田中優人,一井愛雄,山田純平,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人

    2021年度関西地方定期学術講演会  2021年6月30日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

  13. Single-grating interferometer for hard X-ray sub-10 nm focusing mirror system 国際会議

    J. Yamada, S. Matsuyama, N. Nakamura, T. Inoue, T. Osaka, I. Inoue, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Yamauchi, and M. Yabashi

    6th International Conference on X-ray Optics and Applications 2021 (XOPT2021)   2021年4月19日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  14. Development of wavefront sensing in full-field X-ray microscopy 国際会議

    Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, and K. Yamauchi

    6th International Conference on X-ray Optics and Applications 2021 (XOPT2021)   2021年4月19日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  15. Optimization of mirror deformation method for hybrid bender combining mechanical and piezoelectric bending 国際会議

    Y. Nishioka, T. Inoue, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi

    6th International Conference on X-ray Optics and Applications 2021 (XOPT2021)   2021年4月19日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  16. Development of sub-5 nm focusing system based on precise deformable mirrors 国際会議

    T. Inoue, S. Matsuyama, Y. Tanaka, K. Futamura, Y. Ichii, J. Yamada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi

    6th International Conference on X-ray Optics and Applications 2021 (XOPT2021)   2021年4月19日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:online  

  17. 複数の凸⾯鏡を持つ⾼度な硬 X 線結像光学系の開発(第⼀報)

    松⼭智⾄,波多健太郎,⼭内和⼈

    2021年度精密工学会春季大会学術講演会  2021年3月16日  精密工学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  18. 結像型 X 線顕微鏡における波⾯計測⼿法の開発

    ⽥中優⼈,松⼭智⾄,井上陽登,中村南美,⼭⽥純平, ⾹村芳樹,⽮橋牧名,表和彦,⽯川哲也,⼭内和⼈

    2021年度精密工学会春季大会学術講演会  2021年3月16日  精密工学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  19. 圧電素⼦駆動型形状可変ミラーを⽤いた X 線 sub-5 nm 集光システムの開発

    井上陽登,松⼭智⾄,⽥中優⼈,⼆村浩平,⼀井愛雄,⼭⽥純平,佐野泰久,⾹村芳樹,⽮橋牧名(,⽯川哲也,⼭内和 ⼈

    2021年度精密工学会春季大会学術講演会  2021年3月16日  精密工学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  20. X 線結像ミラーベースの高分解能 X 線顕微鏡 招待有り

    松山智至

    ISSPワークショッフ゜「先端軟X線科学への基幹技術」  2021年3月4日  東京大学物性研究所

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  21. 結像型 X 線顕微鏡における in-situ 波面計測手法の開発

    田中優人,松山智至,井上陽登,中村南美,山田純平,香村芳樹,矢橋牧名,表和彦,石川哲也,山内和人

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2021年1月8日  日本放射光学会

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    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  22. コヒーレントX線散乱を用いたXFELナノビーム強度プロファイルの再構成

    中村南美,松山智至,山田純平,井上陽登,井上伊知郎,矢橋牧名,石川哲也,山内和人

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2021年1月8日  日本放射光学会

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    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  23. X線ミラーを用いたsub-5nm集光システムの開発

    井上陽登,松山智至,一井愛雄,山田純平,佐野泰久,山内和人

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2021年1月8日  日本放射光学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  24. XFELの反射型セルフシード用マイクロチャネルカット結晶の大気圧プラズマによる内壁無歪み化 -ワイヤ電極を用いた高能率エッチング条件の検討-

    松村正太郎, 中野勝太, 佐野泰久, 大坂泰斗, 井上伊知郎,松山智至,山内和人, 矢橋牧名

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2021年1月8日  日本放射光学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

  25. Wolter III 型 advanced KBミラーによる XFEL sub-10 nm 集光光学系の開発

    山田純平,松山智至,井上陽登,中村南美,田中優人,大坂泰斗,井上伊知郎,犬伏雄一,湯本博勝,小山貴久,大橋治彦,山内和人,矢橋牧名

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  2021年1月8日  日本放射光学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Online   国名:日本国  

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科研費 34

  1. X線結像ミラーを用いた次世代X線結像顕微鏡の開発

    2017年

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    資金種別:産学連携による資金

  2. 高精度反射結像レンズを用いたnmスケール分解能X線顕微鏡の開発

    2017年

    科学技術振興機構 

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    資金種別:その他

  3. 色収差のない結像型X線顕微鏡の開発と顕微分光への応用

    2015年

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    資金種別:産学連携による資金

  4. 伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成

    研究課題/研究課題番号:21H05004  2021年7月 - 2025年3月

    科学研究費助成事業  基盤研究(S)

    山内 和人, 松山 智至, 山田 純平, 佐野 泰久, 藤 大雪

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    担当区分:研究分担者 

    X線自由電子レーザーや次世代の蓄積リング型X線源から得られる空間的にコヒーレントなX線を極限まで活用することができるナノビームを形成し、X線非線形光学や高分解能X線顕微鏡科学などの未踏の学術分野を開拓する。特に光学系の開発では、X線集光の課題であるコマ収差を効果的に抑制できる凸凹面複合ミラー光学系を実現し、波動光学を駆使した補償光学に基づく波面の精密制御を行うことによって、コヒーレントX線の極限サイズ(10nm以下)のナノビームを実現する。

  5. X線顕微鏡のためのアダプティブ反射レンズの開発

    研究課題/研究課題番号:20K21146  2020年7月 - 2022年3月

    科学研究費助成事業  挑戦的研究(萌芽)

    松山 智至

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:6370000円 ( 直接経費:4900000円 、 間接経費:1470000円 )

    X線顕微鏡は透過力が高いため,厚い試料の内部や水中・ガス中などの実環境下での観察に威力を発揮する.また,X線は波長が短いため原理的に高分解能を実現できる.さらに,その高いエネルギーを活かして分析も可能である.一方で,X線は短波長であるため,光学素子作製が難しい.また,分解能向上のためには開口数を大きく設計する必要があるが,開口数に比例して素子作製は難しくなる.本研究では,アダプティブ反射レンズを開発することで,この問題を解決する.本反射レンズは圧電素子が取り付けられており,形状を自由かつ高精度に変えられる.超高分解能X線顕微鏡を実現することを目指し,アダプティブ反射レンズを試作する.
    本研究では,X線用アダプティブ反射レンズを用いて波面収差を積極的に修正することで,超高分解能X線顕微鏡の実現可能性を検討している.初年度は,①光学系の設計,②形状可変ミラーの設計・解析,③波面計測法の検討,④形状可変ミラーの試作 を実施した.
    ①では,SPring-8のBL29XULに設置できる実用的な結像光学系を設計・性能予測を行った.光線追跡法と波動光学シミュレーションによってその性能予想を行い,広い視野と高い分解能を有することを確認した.
    ②では,形状可変ミラーの設計とその性能を有限要素法を使って解析した.予想される形状誤差の空間周波数とバンプ高さから,電極数と基板厚み等を決定した.また,各電極にかける電圧に対する応答関数(応答形状変形)を得ることで,形状誤差を修正するために必要な電圧分布をシミュレートした.
    ③では,有望な波面計測手法である,格子干渉計,微小点を用いる方法,反復的位相回復計算を用いる方法を様々な方向から検討した.格子干渉計では可能性のあるすべてのシステムエラー(格子作製誤差,カメラ作製誤差,格子のミスアライメント,カメラのミスアライメント)を検討した.微小点を用いる方法では,実際のX線顕微鏡を使たフィージビリティテストを実施した.また,すべての方法でシミュレーションを実施し,実現可能性の確認を行った.
    ④では形状可変ミラーを試作し,可視光干渉計を使って基礎特性の評価を行った.現在も更なる試作と評価を続けている途中である.
    X線ミラーの設計・シミュレーション・試作を行うことができ,また,並行して波面計測法についても調査が進んだことから,計画通り順調に進展している.
    今後は,SPring-8においてその性能の評価を進めるとともに,さらに高い性能を有するアダプティブミラーの設計・試作を進めていく.

  6. 高精度形状可変ミラー光学系の構築とX線自由電子レーザーのアダプティブ集光

    研究課題/研究課題番号:16H06358  2020年

    日本学術振興会 

      詳細を見る

    資金種別:産学連携による資金

  7. 高精度形状可変ミラー光学系の構築とX線自由電子レーザーのアダプティブ集光

    研究課題/研究課題番号:16H06358  2019年

    日本学術振興会 

      詳細を見る

    資金種別:産学連携による資金

  8. X線結像ミラーを用いた次世代X線結像顕微鏡の開発

    研究課題/研究課題番号:17H01073  2017年4月 - 2022年3月

    科学研究費助成事業  基盤研究(A)

    松山 智至

      詳細を見る

    担当区分:研究代表者 

    配分額:41860000円 ( 直接経費:32200000円 、 間接経費:9660000円 )

    2020年度では,①新規結像光学系アライメント法の高度化,②グレイディッド多層膜成膜技術の高度化,③性能評価実験,④形状可変ミラーの検討,⑤新規光学系の検討 を実施した.
    ①では,複数のミラーを必要精度でアライメントできる,X線波面計測ベースの手法を確立しこれを高度化した.格子干渉計やタイコグラフィ,位相回復法を導入・検討し,正確な2次元波面収差の計測を可能であることを実験で確かめた.これに基づいたミラーアライメントが可能であることを実験で示した.
    ②では,昨年度に引き続き,多層膜成膜装置の精度検証を進めると共に,その精度向上を図った.また,様々な材料の多層膜を作製し,界面粗さ特性の評価を行った.最適な材料の探索によって,高入射角条件下でも高い反射率を持つ多層膜を得た.
    ③では,①②の完成度を評価するために,SPring-8にてX線結像実験を行った.テストチャート像を拡大結像することでその分解能や視野特性を評価した.最終的に,約20nmの線幅の解像に成功した.また,焦点方向に試料位置を変化させたデータ(フォーカススタック)から試料の位相を再構成することを試みた.試料厚みから推測される位相差の検出に成功した.
    ④では,形状可変ミラーを用いた能動性を有するX線結像光学系をテストした.ピエゾバイモルフミラーを作製し,変形性能やドリフトを評価した.印加電圧に対する応答関数を得ることができ,これは有限要素法で予想される値をほとんど一致した.
    ⑤では,アライメント問題を解決できる新しい結像光学系の設計・シミュレーションを実施した.必要精度や像特性の評価を行い,高い実用性を有していることを確認した.
    ミラー作製,ミラーアライメント,多層膜成膜,顕微鏡構築を進めることができ,計画は順調に進んでいる.
    今後は,SPring-8における性能評価実験と形状可変ミラーの導入などを進め,顕微鏡の更なる高精度化を進める.また,新型結像光学系の実用化についても検討を進める.

  9. 高精度形状可変ミラー光学系の構築とX線自由電子レーザーのアダプティブ集光

    研究課題/研究課題番号:16H06358  2016年5月 - 2021年3月

    山内 和人

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    担当区分:研究分担者 

    本年度は,目的達成のための要素技術である以下の5つの項目を中心に実施した.
    ①XFEL照射に対応可能な大面積ナノ精度加工の高度化:昨年度に引き続き,大型ミラー対応可能な3次元形状計測機や干渉計を高性能化した.これと数値制御EEMや差分成膜法を高度に連携させることで,ミラー形状を1nmの精度で修正する技術を確立した.大型形状可変ミラーだけでなく大型集光ミラーを高い形状精度で作製することが可能となった.
    ②XFELに最適化された2段集光光学系の提案とデモ実験:既存のズームコンデンサーは2組のアダプティブKBミラーで構成されていたが,新たにコンパクトかつ制御性のよい新規ズームコンデンサーを提案した.本光学系では,形状可変ミラーを凸面鏡から凹面鏡やその逆に変形させることでアダプティブ集光を行う.シミュレーションの結果,期待されるビーム径可変集光を実現できることが分かった.SPring-8にてデモ実験を実施したところ,予想したビーム径変化を確認した.
    ③ピエゾ素子の変形ドリフトの抑制法の高度化:形状可変ミラーに搭載しているピエゾ素子の変形ドリフトを抑制するために,特別な電圧パターンを印加する方法を研究した.また,単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーを試作しその動作を調べた.これらは変形ドリフトの抑制効果が見られ,形状可変ミラーのさらなる安定性向上が可能となった.
    ④波面計測法・集光ビーム径評価法の高度化:X線集光ミラーの形状誤差を高精度に決定するために必要となるX線波面計測法をテストした.ペンシルビーム法,グレーチング干渉計,タイコグラフィ法の精度を検証した.また,XFELにおける集光ビームの評価法として,スペックル計測法や蛍光X線の強度干渉計測などを試み,それぞれの精度について研究した.
    大型形状可変ミラーやそれに関わる要素技術の開発が順調に進んでいる.また,新型のズームコンデンサー光学系を提案し,そのデモ実験に成功した.これによって,本研究の応用範囲が広がった.
    今後の予定として,①新型形状可変ミラーを使ったアダプティブ集光のテスト,②新型形状可変ミラーの機械式ベント部分の高性能化,③波面計測法や集光ビーム径評価法の高度化 を中心に進める予定である.完成度の高い集光システムの完成を目指し,高精度かつユニークな要素技術の開発を進めていく.

  10. 高精度形状可変ミラー光学系の構築とX線自由電子レーザーのアダプティブ集光

    研究課題/研究課題番号:16H06358  2016年

    日本学術振興会 

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    資金種別:産学連携による資金

  11. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2015年

    JST 

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    資金種別:その他

  12. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2014年

    JST 

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    資金種別:その他

  13. 色収差のない結像型X線顕微鏡の開発と顕微分光への応用

    2014年

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    資金種別:産学連携による資金

  14. 高精度X線ミラー作製のための新規形状創生プロセスの開発

    2014年

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    資金種別:産学連携による資金

  15. XFELとパワーレーザーによる新極限物質材料の探索

    2014年

    文部科学省, 科学技術振興機構 

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    資金種別:その他

  16. 新規2段非球面ミラーを用いた色収差のない結像型硬X線顕微鏡の開発

    2013年

    コニカミノルタ科学技術振興財団 

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    資金種別:産学連携による資金

  17. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2013年

    JST 

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    資金種別:その他

  18. 高精度X線ミラー作製のための新規形状創生プロセスの開発

    2013年

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    資金種別:産学連携による資金

  19. XFELとパワーレーザーによる新極限物質材料の探索

    2013年

    文部科学省, 科学技術振興機構 

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    資金種別:その他

  20. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2012年

    JST 

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    資金種別:その他

  21. XFELとパワーレーザーによる新極限物質材料の探索

    2012年

    文部科学省, 科学技術振興機構 

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    資金種別:その他

  22. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2011年

    JST 

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    資金種別:その他

  23. 高密度X線ナノビーム形成と走査型蛍光X線顕微鏡への応用

    2011年

    日本学術振興会 

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    資金種別:産学連携による資金

  24. 補償光学系を駆使した多段光学系によるX線自由電子レーザーのナノメートル集光

    2011年

    日本学術振興会 

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    資金種別:産学連携による資金

  25. 新規2段非球面ミラーを用いた高分解能X線結像光学系の開発

    2011年

    大阪大学大学院工学研究科若手教員専門力アッププロジェクト 

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    資金種別:その他

  26. コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用

    2010年

    JST 

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    資金種別:その他

  27. 空間分解能30nmを持つアクロマティック硬X線顕微鏡の開発

    2010年

    大阪大学,“飛翔30”若手プログラム 

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    資金種別:産学連携による資金

  28. 新規X線集光光学系による細胞内元素分布の高速・高感度イメージング

    2010年

    日本学術振興会 

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    資金種別:産学連携による資金

  29. サブ50nm空間分解能を持つX線顕微鏡開発を可能にするアクロマティックX線結像光学系の開発

    2010年

    財団法人 池谷科学技術振興財団 

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    資金種別:その他

  30. 4枚の非球面ミラーを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

    2010年

    科学技術振興機構,産学イノベーション加速事業【先端計測分析技術・機器開発】要素技術プログラム 

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    資金種別:その他

  31. 新規X線集光光学系による細胞内元素分布の高速・高感度イメージング

    2009年

    日本学術振興会 

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    資金種別:産学連携による資金

  32. 細胞イメージングのための30nmの分解能を持つ硬X線照射型可視共焦点顕微鏡の開発

    2008年

    文部科学省 

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    資金種別:産学連携による資金

  33. 細胞内元素アレイ解析の臨床応用に向けた基盤研究

    2008年

    厚生労働省 

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    資金種別:その他

  34. 細胞イメージングのための30nmの分解能を持つ硬X線照射型可視共焦点顕微鏡の開発

    2007年

    文部科学省 

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    資金種別:産学連携による資金

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担当経験のある科目 (本学以外) 9

  1. 精密工学演習 II

    2020年

  2. 精密工学演習I

    2020年

  3. 精密工学演習 IV

    2020年

  4. 精密工学演習 III

    2020年

  5. 物理学実験

    2017年

  6. 精密科学の世界I

    2015年

  7. 精密科学の世界I

    2014年

  8. 情報活用基礎A

    2013年

  9. 情報活用基礎A

    2012年

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社会貢献活動 1

  1. 放射光X線を用いた究極の分析技術

    役割:講師

    豊田西高等学校  豊西総合大学  2021年11月