2024/04/05 更新

写真a

オカ チエミ
岡 智絵美
OKA Chiemi
所属
大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム 助教
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 機械・航空宇宙工学科
職名
助教
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位 1

  1. 博士(工学) ( 2016年3月   東京工業大学 ) 

研究キーワード 4

  1. ソフトマテリアル

  2. ナノ・マイクロ構造制御

  3. 複合材料

  4. 磁性ナノ粒子

研究分野 4

  1. ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  2. ナノテク・材料 / ナノ材料科学

  3. ナノテク・材料 / 複合材料、界面

  4. 自然科学一般 / 磁性、超伝導、強相関系

現在の研究課題とSDGs 2

  1. 熱輸送デバイスの性能向上に資する一方向性多孔体作製

  2. Wirelessマイクロバルブの開発

経歴 1

  1. 名古屋大学   大学院工学研究科   研究員

    2016年4月 - 2018年3月

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    備考:機械システム工学専攻 熱制御工学研究グループ(長野方星教授)

学歴 2

  1. 東京工業大学   総合理工学研究科   物質科学創造専攻

    2011年3月 - 2016年3月

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    国名: 日本国

    備考: 北本仁孝教授

  2. 宇都宮大学   工学部   応用化学科

    2007年4月 - 2011年3月

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    備考: ソフトマテリアル研究室(加藤紀弘教授)

所属学協会 3

  1. 一般社団法人日本機械学会

  2. 公益社団法人日本磁気学会

  3. 日本AEM学会

委員歴 5

  1. 日本AEM学会   論文編集委員会委員  

    2023年11月 - 現在   

  2. 日本機械学会   機能性流体工学研究会委員  

    2023年9月 - 現在   

  3. 応用物理学会   東海地区若手チャプター副代表,会計担当  

    2023年1月 - 現在   

  4. 応用物理学会   東海地区若手チャプター副代表,会計補佐担当  

    2022年1月 - 2022年12月   

  5. 男女共同参画推進専門委員会委員  

    2018年 - 現在   

受賞 11

  1. 応用物理学会支部学術講演会発表奨励賞

    2024年1月   応用物理学会   磁性ナノ粒子添加熱応答性ゲルの外部磁場による体積制御

    岡田 尚樹

  2. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 若手優秀講演フェロー賞受賞

    2022年   日本機械学会 機械材料・材料加工部門   高磁歪・高磁化率を両立した複相磁性材料の創製に向けた検討

    佐野光哉,山崎貴大,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞 

  3. Best Paper Award of MHS2021

    2021年12月   32nd 2021 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   Combinatorial search of new Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys

    S. Inoue, T. Yamazaki, C. Oka, S. Hata and J. Sakurai

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞 

  4. 2020年度日本機械学会東海支部功労賞

    2021年3月   日本機械学会東海支部  

  5. 日本機械学会2020年度年次大会マイクロ・ナノ工学部門 若手優秀講演フェロー賞受賞

    2021年2月   日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門   テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司,楊 娜,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞 

  6. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 若手優秀講演フェロー賞受賞

    2021年   日本機械学会 機械材料・材料加工部門   逆リフトオフ法を用いた MEMS ミラーデバイスの作製

    高瀬 駿,山田 恭平,中川 優希,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞 

  7. ポスター最優秀賞

    2020年3月   形状記憶合金協会 第11期定時総会   Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞 

  8. 日本機械学会2019年度年次大会マイクロ・ナノ工学部門 優秀講演論文表彰

    2020年2月   日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  9. 日本磁気学会平成28年度学術奨励賞 (内山賞)

    2016年9月   日本磁気学会  

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    受賞国:日本国

  10. 12th Conference for BioSignal and Medicine(CBSM2013)優秀ポスター賞

    2013年7月  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  11. 平成24年度土肥賞 (修士論文発表会優秀発表賞)

    2013年3月   東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻  

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論文 60

  1. Soft magnetostrictive materials: Enhanced magnetostriction of Fe-based nanocrystalline alloys via Ga doping

    Sano, K; Yamazaki, T; Morisaki, R; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    SCRIPTA MATERIALIA   242 巻   2024年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Scripta Materialia  

    Soft magnetostrictive materials, having a combination of high soft magnetic properties and substantial magnetostriction, are highly sought for a wide range of applications. Nonetheless, a trade‐off relationship exists between soft magnetic properties and magnetostriction in single‐phase crystalline alloys due to their inherent magnetocrystalline anisotropy. In this study, we introduce the soft magnetostrictive material based on conventional Fe‐based nanocrystalline soft magnetic alloys whose structure quenches magnetocrystalline anisotropy, infused with Ga. All the samples exhibited nanocrystallization behavior and solid‐solution α‐Fe(Ga) was precipitated as a nanocrystalline phase. The net magnetostriction increased with increasing Ga content, concurrently maintaining high magnetic sensitivity with or without Ga addition. As a consequence of this compatibility of properties, the Ga‐doped sample exhibited a magnetostriction susceptibility 1.77 times higher than that of the base alloy. The soft magnetostrictive materials proposed in this study are poised for potential deployment in vibration energy harvesters and strain sensors.

    DOI: 10.1016/j.scriptamat.2023.115956

    Web of Science

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  2. One-dimensional assemblies of magnetic iron-oxide nanoparticles

    Shiojima, T; Sakurai, J; Hata, S; Oka, C

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 3 )   2024年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Although high-aspect-ratio iron-oxide nanoparticles (IONPs) are known to have higher heating efficiency than spherical and cubic IONPs and focused in cancer treatment areas, their synthesis methods require high temperatures, vacuum, reduction conditions, and substantial time. In this study, we proposed and established a facile manufacturing method for one-dimensional assemblies of IONPs, expected to increase heating efficiency similar to high-aspect-ratio IONPs. We investigated how the fabrication conditions affect the length of the assemblies and found that the average length of the one-dimensional assemblies increased with the extension of magnetic-field-application time. This result demonstrates that the length could be controlled by adjusting the duration of the magnetic field application.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad26bd

    Web of Science

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  3. The effects of periodic textured substrate to control diffusion angle on the conversion efficiency of dye-sensitized solar cells

    Kimura, R; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 3 )   2024年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    We suggested improving the conversion efficiency of dye-sensitized solar cells (DSSCs) by the micro-nano periodic textures to control the diffusion angle of the incident light for certain absorbed wavelengths of the used dye. A periodic texture (Prd-Tx) was designed to enhance the light path of the wavelength of DSSCs’ dye absorption with a wide process window by optical simulation (pitch: 1400 nm, pillar diameter: 460-560 nm, pillar height: more than 500 nm). The Prd-Tx was fabricated by photolithography processes and nanoimprinting (pitch: 1400 nm, pillar diameter: 500 nm, pillar height: 1000 nm). The Prd-Tx increased the DSSCs’ conversion efficiency (η of 3.13%), surpassing our previous best result (refabricated W-Tx, η of 3.08%). It was considered that the ohmic loss was suppressed owing to the Prd-Tx enhanced electrical conductivity at the interface between the transparent electrode, F-doped tin oxide (FTO), and TiO2

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad2417

    Web of Science

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  4. The Fabrication and Evaluation of a Capacitive Pressure Sensor Using Ru-Based Thin Film Metallic Glass with Structural Relaxation by Heat Treatment

    Otsuka, H; Ninoseki, T; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    SENSORS   23 巻 ( 23 )   2023年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Sensors  

    Microelectromechanical systems (MEMS)-based capacitive pressure sensors are conventionally fabricated from diaphragms made of Si, which has a high elastic modulus that limits the control of internal stress and constrains size reduction and low-pressure measurements. Ru-based thin-film metallic glass (TFMG) exhibits a low elastic modulus, and the internal stress can be controlled by heat treatment, so it may be a suitable diaphragm material for facilitating size reduction of the sensor without performance degradation. In this study, a Ru-based TFMG was used to realize a flattened diaphragm, and structural relaxation was achieved through annealing at 310 °C for 1 h in a vacuum. The diaphragm easily deformed, even under low differential pressure, when reduced in size. A diaphragm with a diameter of 1.7 mm was then applied to successfully fabricate a capacitive pressure sensor with a sensor size of 2.4 mm2. The sensor exhibited a linearity of ±3.70% full scale and a sensitivity of 0.09 fF/Pa in the differential pressure range of 0–500 Pa.

    DOI: 10.3390/s23239557

    Web of Science

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    PubMed

  5. Thick film MEMS process using reverse lift-off

    Takase, S; Yamada, K; Nakagawa, Y; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   281 巻   2023年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    The lift-off process is a microfabrication technique that has the capability of forming thin film structures. However, several issues, such as structural shape and burr formation, arise when applying this method to the formation of thick film structures. Thick film structures formed through the lift-off process exhibit a mountainous cross-sectional shape and non-uniform film thickness due to variations in the width of the structure. These challenges make it difficult to apply the method to MEMS. While the reverse lift-off process addresses some of the structural shape problems, its initial development using metal molds makes it challenging to directly apply to MEMS without modification. Therefore, this paper proposes an adaptation to the Si process and presents a method to reduce burrs. The microfabrication characteristics are evaluated by comparing the cross-sectional shapes of thick metallic glass structures formed through both the lift-off and reverse lift-off processes. The structures formed through the reverse lift-off process exhibit a rectangular cross-sectional shape, and the film thickness remains consistent regardless of the structure's width. However, burrs persist on the backside edge of the structure, which hinders its application to MEMS. This paper confirms that pre-etching the underlying Si substrate into an inverse tapered shape effectively reduces burrs. As an illustration of the improved reverse lift-off process applied to MEMS, MEMS mirror structures are fabricated, and their resonance frequency closely aligns with the design value.

    DOI: 10.1016/j.mee.2023.112081

    Web of Science

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  6. Stress measurement based on magnetic Barkhausen noise for thin films

    Omae, K; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   279 巻   2023年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    Non-destructive testing methods based on magnetic Barkhausen noise (MBN) are expected to be applied to thin films. Recently, MBN analysis using machine learning has been performed on bulk materials and used as an in-situ stress and material evaluation method. However, for thin films, it is difficult to measure due to the weak MBN signal intensity, and few examples of its use as a stress and material evaluation method have been reported. This study acquired and analyzed MBN of Fe–Co polycrystalline thin films under bending stress. After pre-processing the acquired MBNs, two representative machine learning algorithms were used to learn the relationship between MBN and stress. By quantitatively comparing the prediction accuracy of each machine learning method, the characteristics of the MBN-based stress evaluation method were discussed from two perspectives: the need for domain knowledge and its applicability to unknown data. This study provides insight into machine learning-assisted MBN analysis as a stress evaluation method for thin films. The extension of MBN-based stress evaluation methods to thin films could be applied to the non-destructive stress evaluation of micro- and nanostructures, where stress state is critical, and could improve process development efficiency.

    DOI: 10.1016/j.mee.2023.112057

    Web of Science

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  7. 国際会議報告:33rd 2022 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2022)

    岡 智絵美

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   143 巻 ( 6 ) 頁: NL6_1 - NL6_1   2023年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.143.nl6_1

    CiNii Research

  8. 大面積照射に対応する平行平板形高速原子ビーム源

    加藤 泰成, 森崎 諒, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    精密工学会学術講演会講演論文集   2023S 巻 ( 0 ) 頁: 720 - 721   2023年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>表面活性化接合は,常温かつ低加圧でウエハを直接接合する技術である.この接合プロセスに用いられる高速原子ビーム(FAB)源には,ウエハ径の増大に伴って,大面積を均一に照射する性能が求められる.本研究では,従来形とは異なる平行平板形の電極を採用したFAB源を試作し,性能を評価した.さらに,従来形FAB源を上回るエッチングレートとFABの照射均一性を達成するため,照射口設計の改良と動作条件の探索を行った.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_720

    CiNii Research

  9. Unidirectional Pore Formation in Resins Using a Magnetic-Nanoparticle-Chain Template

    Kobayashi, A; Sano, K; Sakurai, J; Nagano, H; Hata, S; Oka, C

    IEEE MAGNETICS LETTERS   14 巻   2023年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE Magnetics Letters  

    We present a novel manufacturing technique for generating unidirectional pores in ultraviolet (UV)-curable resins using self-assembled magnetic nanoparticles (MNPs) with chain-like structures.The method utilizes two templation mechanisms for pore formation: the UV-masking effect of the MNP chains and the physical presence of MNP chains themselves.Fe3O4 nanoparticles and PAK-01 were used as the template and UV-curable resin,respectively.Unidirectional pores formed only when resin/MNP mixtures were cured under a strong externally applied magnetic field.Water absorption tests indicated that some of the unidirectional pores were through-hole-type pores. The pores were cylindrical with an ellipsoidal cross-section. When the UV irradiation angle (θ) was 30°, the long and short diameters of the pores were approximately 9 and 8 µm, respectively, before MNP removal, and 12 and 8 µm, respectively, after removal. After MNP removal,the ellipticity of the pores in the samples increased from 1.5 to 2.4 with the increase in θ because of the increased UV-masking effect of the MNP chains.

    DOI: 10.1109/LMAG.2023.3268851

    Web of Science

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  10. Novel measurement method of internal stress in thin films using micro spring structure

    Takase, S; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    MECHANICAL ENGINEERING JOURNAL   10 巻 ( 4 ) 頁: 23-00074 - 23-00074   2023年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/mej.23-00074

    Web of Science

    CiNii Research

  11. Effect of Structure on Driving Characteristics of the Tactile Pin Actuator for Reaction Force Variable Tactile Displays

    Murase M., Nambara K., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   143 巻 ( 8 ) 頁: 236 - 241   2023年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines  

    This paper addresses the effect of structure on driving characteristics of the tactile pin actuator using Ti-Ni-Cu high formable shape memory alloy (HFSMA) for reaction force variable tactile displays. The actuator has a cross shaped 3D structure as a tactile pin that is convex at the center. When the tactile pin is pushed by a finger, it transforms and generates a reaction force against the finger. According to the superelastic effect of SMA, the reaction force can be changed by monitoring the device temperature, allowing tactile displays to present softness and hardness. We examined the driving characteristics of the actuators with different tactile pin height by simulation and measurement of actual samples. When the tactile pin height was low, the tactile pin was only deformed elasticity and reaction force was not changed with increasing device temperature. On the other hands, when the tactile pin height was large, the tactile pin was deformed with the induced martensitic transformation, and reaction force increased with increasing device temperature. In addition, the reaction force at certain temperature was increased as the tactile pin height increased, which means that this actuator can vary the range of reaction force by changing its tactile pin height.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.143.236

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    CiNii Research

  12. Effect of structural relaxation at bellow crystallization temperature on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys diaphragm for micro electromechanical systems sensors

    Haga, F; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Hoshino, Y; Sakurai, J

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( SD )   2022年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    In this paper, the effect of structural relaxation at temperatures below crystallization on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloy (including thin film metallic glass: TFMG) diaphragms was investigated. We fabiricated the Ni-Nb-Zr diaphragm samples with four compositions. Before fabrication of diaphragm structure by etching, Ni-Nb-Zr thin films on Si substrate were annealed at a temperature below crystallization (473, 523, and 573 K) for structural relaxation. By performing bulge tests on annealed Ni-Nb-Zr diaphragms, we were able to determine their mechanical properties. As the result, Young’s modulus of all samples increased slightly with increasing annealing temperature because of the decrease of the free volumes during structural relaxation. Based on the results of internal stress, structural relaxation of all samples occurred below 473 K. Moreover, the effects of annealing temperature on internal stress differed by compositions. They were thought to be caused by the rate of structural relaxation.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac5d12

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  13. Combinatorial search for Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys

    Inoue, S; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( 6 )   2022年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    In this study, we searched for Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys (HFSMAs) using combinatorial methods. By adding Hf to Ti-Ni SMAs, the potential is that Ti-Ni SMAs become metallic glasses. For efficient material search, the glass transition temperature was evaluated through combinatorial measurement of electrical resistance during crystallization. From the results, we searched for Ti-Ni-Hf HFSMAs, which undergo glass transition in the amorphous state. Ni-rich Ti-Ni-Hf thin-film amorphous alloys with more than 10 at% Hf content became thin film metallic glasses, whereas Ni-poor samples did not. Further, we evaluated the effect of annealing temperature on the martensitic transformation temperature of Ti-Ni-Hf SMAs using combinatorial methods. From the results, we measured the reverse transformation start temperature A s at 368-404 K, and it varied with the annealing temperature and Hf composition.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac6a97

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  14. Fabrication and evaluation of actuators for reaction force variable passive-type tactile displays

    Nambara K., Yamazaki T., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   141 巻 ( 9 ) 頁: 304 - 309   2021年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines  

    In this paper, we report on the fabrication and evaluation of actuator for reaction force variable passive-type tactile display using high formable Ti-Ni-Cu shape memory alloy. This actuator is driven by the superelastic effect and superior in force expression, responsiveness, and miniaturization compared to conventional tactile displays using shape memory alloys. This actuator was fabricated in a convex shape by utilizing a viscous flow of Ti-Ni-Cu metallic glass. After crystallization, the metallic glass was changed to the shape memory alloy. In this manner, we successfully acquired the desired convex cross structure with a height of 123 μm at the center of cross. Additionally, while pushing 100 μm, we successfully varied the reaction force ranged from 40 to 80 mN, necessary to deform the skin and electrical resistance linearly by controlling the temperature. From these results, we showed that the actuator of this study can be used as tactile display that can express desired hardness and softness by temperature control. We also showed the possibility that the temperature of each actuator can be controlled individually by electrical heating using the linear relationship between temperature and electrical resistance.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.304

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  15. Examination of Mechanical Properties and Photoelastic Properties of Gel Material for Blood Vesssel Mimics

    Yamada, D; Hori, S; Abe, S; Kumeno, Y; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    JOURNAL OF MEDICAL DEVICES-TRANSACTIONS OF THE ASME   15 巻 ( 3 )   2021年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Medical Devices, Transactions of the ASME  

    Catheter surgery is a minimally invasive treatment in which visual information is limited to a two-dimensional image generated by an X-ray camera. This results in the possibility that stress applied by the catheter onto a blood vessel wall damages the vessel. Doctors must therefore be skillful at catheter surgery. We proposed a catheter surgery simulator that visualizes the stress applied to the blood vessel wall using photoelasticity. The manufacture of this simulator requires creating blood vessel mimics that reproduce the physical properties of blood vessel tissue using photoelasticity. This study investigated the mechanical and photoelastic properties of gel materials and selected a gel composition suitable for making blood vessel mimics. The mechanical properties of polyvinyl alcohol (PVA) hydrogel changed in the range 70–335 kPa by changing the composition ratio, and double network (DN) gel changed in the range 0.13–1.06 MPa by changing the composition ratio. These gels could be adjusted by changing the material composition to provide Young’s moduli similar to that of blood vessels. The photoelastic properties of PVA hydrogel changed in the range 1.38–2.76 109/Pa by changing the composition ratio, and DN gel changed in the range 0.012–0.029 109/Pa by changing the composition ratio.

    DOI: 10.1115/1.4051516

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  16. Combinatorial synthesis of nanocrystalline FeSiBPCuC-Ni-(Nb,Mo) soft magnetic alloys with high corrosion resistance

    Yamazaki, T; Tomita, T; Uji, K; Kuwata, H; Sano, K; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS   563 巻   2021年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Non-Crystalline Solids  

    Fe-based nanocrystalline FeSiBPCuC alloys (NANOMET®) with a combination of high magnetic flux density, high permeability, and low iron loss have attracted much attention for use in magnetic core devices such as small power supplies, motors, and transformers. However, further improvement of the corrosion resistance is still required because surface oxidation during the water atomization process inevitably deteriorates the magnetic properties of these alloys. Here, we use a combinatorial magnetron sputtering system to fabricate new (FeSiBPCuC)100−x−yNix(Nb,Mo)y (0 ≤ x ≤ 10, 0 ≤ y ≤ 2 at%) amorphous thin films with enhanced corrosion resistance. We found that the co-presence of Ni (2–4 at%) and Mo (1–2 at%) in the FeSiBPCuC amorphous thin films promoted a further improvement of the corrosion resistance. The magnetic coercivity of (FeSiBPCuC)95.5Ni4.0Nb0.5 and (FeSiBPCuC)97.0Ni2.0Mo1.0 thin films was deteriorated compared with that of a FeSiBPCuC ribbon.

    DOI: 10.1016/j.jnoncrysol.2021.120808

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  17. Thermo-fluid dynamic analysis in a micro-textured evaporator based on microscale infrared/visible observations for loop heat pipes

    Odagiri, K; Oka, C; Kondou, C; Nagano, H

    INTERNATIONAL JOURNAL OF MULTIPHASE FLOW   140 巻   2021年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:International Journal of Multiphase Flow  

    This paper presents a thermo-fluid dynamic analysis in a micro-textured evaporator for loop heat pipes (LHPs) that has a super wetting surface with ethanol on the basis of an experiment and modeling. In the experiment, three kinds of stainless steel plates with various morphologies of heat transfer surfaces were tested: a normal flat plate, a sandblasted plate, and a micro-groove plate. The measured contact angles between the surfaces and ethanol were 8.2° ± 1.3°, 0°, and 0°, respectively. Evaluation of the heat transfer performance and liquid-vapor interface behavior was conducted using microscale infrared and visible observations. As a result, it was revealed that the sandblasted plate and the micro-groove plate showed 7 times and 20 times higher heat transfer coefficient under high heat flux conditions respectively, compared with the normal flat plate. Different liquid-vapor interface behaviors were found between the plate types. In the modeling, the heat transfer coefficient was predicted for each case. It was found that nucleate boiling heat transfer induced by rough surface increased the heat transfer performance in the case of the sandblasted plate. In addition, it was revealed that the thin film evaporation at the long triple-phase contact line significantly enhanced heat transfer performance in the case of the micro-groove plate. The findings indicate a new promising approach to enhance the heat transfer coefficient of LHP evaporators.

    DOI: 10.1016/j.ijmultiphaseflow.2021.103623

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  18. Particle-in-cell Monte Carlo collision simulation and experimental measurement of Ar plasma in a fast atom beam source for surface-activated bonding

    Morisaki, R; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hirai, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Ohno, N; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 巻 ( SC ) 頁: SCCB01   2021年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Ar plasma in a fast atom beam (FAB) source with magnetic fields, which was previously developed [Precis. Eng. 62, 106 (2020)] to achieve high-performance surface activated bonding, was analyzed by particle-in-cell-Monte Carlo collision simulation and experimental measurements. Simulation in the proposed FAB source with magnetic fields shows that higher electron density accumulation occurs near the irradiation port by E × B drift, and the potential gradient near the irradiation port steepens, which results in an increase in Ar+ flux to the irradiation port. The variation in the plasma distribution due to the effect of the magnetic field contributes to an increase in the amount of Ar-FAB irradiation, which reduces erosion of the carbon electrodes and suppresses the formation of carbon agglomerates. These simulation results were verified experimentally with Langmuir probe measurements and FAB irradiation experiments with oxide layer removal. The analysis results explain why high performance is achieved with the proposed FAB source.

    DOI: 10.35848/1347-4065/abe683

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  19. Nanoscale silica coating of porous stainless steel and its impact on water wettability

    Oka, C; Odagiri, K; Nagano, H

    JOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY AND RESEARCH   18 巻 ( 2 ) 頁: 601 - 609   2021年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Coatings Technology and Research  

    The water wettability of porous stainless steel specimens was enhanced via a nanoscaled silica coating for application to passive two-phase heat transfer devices. A combination of porous stainless steel and water has attracted attention in the area of the heat transfer devices. However, the water wettability of stainless steel is poor, limiting the performance of the devices. In the present study, the silica coating of the specimens was conducted via a reaction of tetraethyl orthosilicate (TEOS) after pretreatment using NaOH aq. or HCl aq. Energy-dispersive X-ray spectrometry revealed that the amount of silica deposited on the surface was dependent on the pretreatment conditions and the composition of the silica-coating solutions. Measurement of porous properties indicated that the silica coating did not affect pore diameter and gas permeability since the coating was in nanoscale. Microscale contact angles were directly evaluated using an environmental SEM. The specimens showed excellent water wettability when they were covered with numerous tiny silica bumps. When the specimen was pretreated with 2 M NaOH aq. and coated in weak alkaline TEOS solution, the contact angle of the porous stainless steel decreased from 87° to 54° after silica coating. The excellent water wettability originated from the relatively smooth surface and a sufficient coverage ratio, which resulted from the moderate strength of chemical etching of the NaOH aq. and the mild silica-coating condition in the weak alkaline solution.

    DOI: 10.1007/s11998-020-00417-1

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  20. FABRICATION AND EVALUATION OF A NOVEL ACTUATOR FOR REACTION FORCE VARIABLE PASSIVE-TYPE TACTILE DISPLAYS

    Murase, M; Nambara, K; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)     頁: 663 - 666   2021年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021  

    In this paper, we report the fabrication and evaluation of an actuator for reaction force variable passive-type tactile displays using a highly formable Ti-Ni-Cu shape-memory alloy. The actuator relies on the superelastic effect of SMAs and can influence the applied reaction force. We successfully fabricated the desired convex cross structure with a height of 123 m, varied the reaction force between 40 and 80 mN at a depth of 100 m, and controlled the electrical resistance linearly with temperature.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495608

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  21. MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定

    高瀬 駿, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2021 巻 ( 0 ) 頁: J221-07   2021年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2021.j221-07

    CiNii Research

  22. New Long Life Fast Atom Beam Source for Surface Activated Bonding

    Morisaki, R; Sakurai, J; Oka, C; Yamazaki, T; Akao, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Ohno, N; Hata, S

    2021 7TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)     頁: 8 - 8   2021年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/LTB-3D53950.2021.9598414

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  23. Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding

    Morisaki, R; Hirai, Y; Oka, C; Mizoshiri, M; Yamazaki, T; Sakurai, J; Hirai, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Hata, S

    PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY   62 巻   頁: 106 - 112   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Precision Engineering  

    Surface-activated bonding (SAB), also called room-temperature bonding, is used in three-dimensional integration technology for semiconductor devices. An Ar fast atom beam (FAB) is used for SAB. However, conventional FAB guns must be replaced after hundreds of minutes of irradiation because carbon abrasion powders are generated by Ar ions sputtering in the gun. Therefore, this study develops a novel FAB gun with improved lifetime. The proposed FAB gun applies magnetic fields to guide Ar ions to reduce sputtering in the gun and improve irradiation efficiency. The proposed FAB gun indicates the possibility of improving gun lifetime.

    DOI: 10.1016/j.precisioneng.2019.11.006

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  24. Fabrication of novel microvalves driven by heat from magnetic nanoparticles

    Miwa D., Sakurai J., Hata S., Oka C.

    JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020     頁: LEMP2020-8529, V001T08A005   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020  

    The present paper proposes novel microvalves remotely controlled without electrical wiring on each valve. The proposed microvalves are controlled utilizing heat from magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. A procedure for fabrication of the microvalves was established. the fabricated microvalves operated on a hotplate.

    DOI: 10.1115/LEMP2020-8529

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  25. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金のソフトアクチュエータへの基礎検討

    浅井 泰平, 青山 椋佑, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 267   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.267

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  26. 逆リフトオフ法を用いたMEMSミラーデバイスの作製

    高瀬 駿, 山田 恭平, 中川 優希, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 158   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.158

    CiNii Research

  27. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの作製

    三輪 大貴, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 岡 智絵美

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22204   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>Most microvalves need electrical wiring on each one, and the need will disturb further integration and miniaturization of microfluidic systems soon. The present study proposes new remotely controlled microvalves without the electrical wiring on each valve. The microvalves consist of thermo-responsive gels and magnetic nanoparticles, and they run with heat dissipation from the magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. The microvalves open via shrinking of the thermo-responsive gels through the heat dissipation. In this paper, the microvalves were fabricated using Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub> nanoparticles and patternable thermo-responsive gels mainly made from poly(<i>N</i>-isopropyl acrylamide) (PNIPA). The gels incorporating the magnetic nanoparticles were installed in Poly(dimethylsiloxane) (PDMS) microchannels. The microchannels were fabricated using a mold made of SU-8. The fabricated microvalve could perfectly block the flow of water under conditions without any external magnetic fields. When the closing microvalve was exposed to an alternating magnetic field (2 MHz, 50 Oe), the microvalve was opened and the water flow was observed. When the alternating magnetic field was stopped, the microvalve was closed again and the water flow was stopped. The proposed microvalves were successfully fabricated, and the microvalves could be operated by the alternating magnetic field as expected.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22204

    CiNii Research

  28. 手術シミュレータ用3次元応力測定系の開発

    山田 大地, 堀 史門, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J24111   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In recent years, minimally invasive treatment has attracted attention, and catheter surgery is one of them. On the other hand, there is a problem that stress is applied to the blood vessel wall and it is damaged, so doctors are required the skill of catheter surgery. In order to improve the skill of catheter surgery, the authors have proposed a surgical simulator that realizes real-time visualization of stress by the photoelasticity. Photoelasticity is a property in which an isotropic elastic body such as glass or acrylic that receives an external force causes birefringence. It is often used as an experimental method to analyze the stress distribution of materials. In this study, it is proposed a measurement system for surgical simulator that can measure three-dimensional stress. The shape of the blood vessel model applicable to the proposed measurement system is determined and introduce a stress correction that guarantees constant accuracy. Finally, it is showed that the stress can be visualized in real time.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j24111

    CiNii Research

  29. 二層構造を有した手術シミュレータ用血管モデルの作製

    山田 大地, 堀 史門, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 156   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>This study creates a blood vessel model for a catheter surgery simulator. In previous study was succeeded in producing a blood vessel model applicable to a surgical simulator using PVA hydrogel. On the other hand, the problem with the blood vessel model is that the reproducibility of the mechanical properties of blood vessels, which is important for the actual catheter operation sensation, is low. Therefore, in this study, creates a blood vessel model with a two-layer structure that reproduces the mechanical properties of the blood vessel wall and adipose tissue. In the proposed blood vessel model, it is shown that the mechanical properties can be reproduced by changing the compounding ratio of powdered PVA and the mass ratio of water and DMSO as a solvent. Furthermore, this study proposes a method for producing a two-layer structure and show that it is possible to produce a blood vessel model with a two-layer structure.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.156

    CiNii Research

  30. プラズマ解析による表面活性化接合用FAB源の高性能化

    森崎 諒, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 山崎 貴大, 平井 隆巳, 高橋 知典, 辻 裕之, 大野 哲靖, 秦 誠一

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J13105   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>The novel fast atom beam source (FAB) for surface-activated bonding (SAB) method was proposed in order to improve the lifetime of FAB sources. The proposed FAB source achieved the higher efficiency of Ar-FAB irradiation and less wear on the electrodes. This previously study indicated that the applied magnetic fields made the Ar ions converge on the irradiation port, increasing Ar irradiation efficiency. However, it was not measured and not clearly why the proposed FAB source achieved higher performance. In this study, we aim to reveal the factor of achievement high performance and to propose the new structure of the FAB source with much higher performance by plasma analysis. Electrostatic probe studies and the simulation for Ar plasma in the proposed source show that the electron and Ar<sup>+</sup> density increase near the irradiation port. Moreover, increasing Ar<sup>+</sup> flux only to the wall with irradiation port indicates improving Ar-FAB irradiation efficiency and suppressing Ar+ sputtering and carbon agglomerates on inside wall of the source.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j13105

    CiNii Research

  31. テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司, 楊 娜, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22207   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In this paper, we fabricated three types of optical textured glass substrates by a polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography (NIL) on the front glass to enhance conversion efficiency of dye-sensitized solar cells (DSSCs). Three types of master molds for micro-texture (M-Tx), nano-texture (N-Tx), and micro-nano-double texture (D-Tx) were prepared by an aluminum anodic oxidation. Finally, we fabricated DSSCs with textured glass. The used dye was red N719. The cell size was 6 mm square. As the results, the conversion efficiency of DSSCs with textured glasses increased by 7.5% for M-Tx (<i>η</i> of 2.74%), 18% for N-Tx (<i>η</i> of 3.01%) and 26% for D-Tx (<i>η</i> of 3.22%) compared to DSSC with flat glass (<i>η</i> of 2.55%).</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22207

    CiNii Research

  32. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製及び駆動評価

    南原 圭汰, 伊木 啓一郎, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 266   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.266

    CiNii Research

  33. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製

    南原 圭汰, 伊木 啓一郎, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22210   2020年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>We reported on the fabrication of tactile pins for reaction force variable passive type tactile displays using Ti-Ni-Cu high formable shape memory alloys. These devices take advantage of the temperature controllability of the resilience of the superelasticity effect and present hardness and softness tactile sensation. After the tactile pins being formed into three-dimensional shape by viscous flow of metallic glasses, they became shape memory alloys by annealing for crystallization. The height of tactile pin formed by conventional method was about 110 μm. However, when tactile pin was pushed by the finger, it was insufficient deformation for the stable superelasticity effect to appear. Therefore, we attempted to increase the height of tactile pin by the improving deformation method using rapidly temperature raising during forming for decreasing viscosity of metallic glasses. As a result, we successfully increased the height of tactile pin to 237 μm.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22210

    CiNii Research

  34. Enhanced conversion efficiency in dye-sensitized solar cells using optical textured glass substrates

    Nishiyasu Y., Yang N., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In this paper, we fabricated optical textured glass substrates by a polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography (NIL) on the front glass to enhance conversion efficiency of dye-sensitized solar cells (DSSCs). Two types of nano-texture (N-Tx) and micro-nano-double texture (D-Tx) were prepared. Finally, we fabricated DSSCs with textured glass. The used dye was red N719. The cell size was 6 mm square. As the results, the conversion efficiency of DSSCs with textured glasses increased by 26% for N-Tx and 19% for D-Tx compared to DSSC with flat glass.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249295

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  35. Photoelastic stress measurement in real-time for surgery simulator using gel materials

    Yamada D., Hori S., Oka C., Sakurai J., Hata S.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In recent years, minimally invasive treatment aimed at reducing the physical and mental burden of patients as well as treating diseases has attracted attention. Catheter surgery is one of the minimally invasive treatments. This surgical technique can reduce invasion compared to incision and replacement with artificial vessels. Furthermore, it is known to be superior in terms of safety. On the other hand, in catheter surgery, visual information is limited to only a two-dimensional image by an X-ray camera. Therefore, there is a problem that stress is applied to the blood vessel wall and it is damaged, so doctors are required the skill of catheter surgery. This study is proposed a catheter surgery simulator that visualizes the stress applied to the blood vessel wall in realtime using photoelasticity. The blood vessel model used for the surgery simulator focused on PVA hydrogel. Previous experiments by our group have shown that PVA hydrogel can be applied to a surgical simulator. This study has developed an image processing program to measure stress in real-time. It has verified that the application to a surgery simulator is possible by this image processing program.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249277

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  36. Microvalves Utilizing Heat Generation of Magnetic Nanoparticles

    Miwa D., Sakurai J., Hata S., Oka C.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    Most microvalves need electrical wiring on each one, and the need prevents further integration and miniaturization of microfluidic systems. Hence, we propose novel microvalves remotely controlled without the wiring on each valve. The proposed microvalves are driven by heat from magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. The nano-scale magnetic particles, which possess superparamagnetic behavior, generate heat in the alternating magnetic field. There is a theoretical formula for the heat generation. However, few reports are available on comparing experimental values of the heat generation with theoretical values. In this study, the experimental heating power was compared with the theoretical values, and the possibility of the proposed microvalves was verified.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249321

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  37. Fabrication of textured substrates for dye-sensitized solar cells using polydimethylsiloxane nanoimprint lithography

    Yang, N; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    ADVANCED OPTICAL TECHNOLOGIES   8 巻 ( 6 ) 頁: 491 - 497   2019年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Advanced Optical Technologies  

    We proposed a fabrication of nanoimprinted textures on a front glass/transparent conductive oxide interface for dye-sensitized solar cells (DSSCs). These textures were fabricated through polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography on organosilsesquioxane solution. The texture structures were estimated via optical simulation. Master molds were anodic aluminum oxide templates with nano-texture (N-Tx) and micro-nano double texture (D-Tx). Meanwhile, replicate molds used a hard PDMS. Fluorine-doped tin oxide and titanium dioxide were deposited on textured glass substrates to generate electrodes for DSSCs. Unlike the DSSCs without texture, textured DSSCs realized 11.4% (N-Tx) and 10% (D-Tx) improvement in conversion efficiency.

    DOI: 10.1515/aot-2019-0010

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  38. 薄膜金属ガラスの大気中結晶化評価の基礎検討

    鬼頭 直希, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 林 裕美, 山崎 宏明, 秦 誠一

    精密工学会学術講演会講演論文集   2019A 巻 ( 0 ) 頁: 5 - 6   2019年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>本研究では,サンプルとして,ガラス基板上に長さ4 mm,幅1 mm,厚さ500 nmの薄膜金属ガラスPd<sub>77</sub>Cu<sub>7</sub>Si<sub>16</sub> at.%を10 mm間隔に成膜し,試作した温度傾斜加熱装置により,543 K以下,471 K以上の異なる温度で同時加熱試験を行った.この時の各温度での大気中における結晶化度の時間変化を,放射率変化としてサーモグラフィで捉えることに成功し,XRDにより結晶化度を測定した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019a.0_5

    CiNii Research

  39. 表面活性化接合用新規高速原子ビームガン

    森崎 諒, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 平井 隆巳, 高橋 知典, 辻 裕之, 秦 誠一

    精密工学会学術講演会講演論文集   2019A 巻 ( 0 ) 頁: 687 - 688   2019年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>表面活性化接合は半導体分野における三次元積層技術として利用されている.しかし,表面活性化接合に用いられる高速原子ビームガンは,短時間の使用で内部が磨耗してしまう.そこで,高速原子ビームの高効率な照射により,接合回数に対する相対的な長寿命化を目指す新規高速原子ビームガンの開発を行った.また,新規高速原子ビームガンを用いて,その照射特性を評価し,更なる高性能化を目指した設計指針の確立を目指した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019a.0_687

    CiNii Research

  40. Fabrication and Evaluation of Tactile Pins for Passive Type Tactile Displays using High Formability Shape Memory Alloys

    Nambara K., Iki K., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII     頁: 1854 - 1857   2019年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII  

    We report on the fabrication and evaluation of tactile pins for passive-type tactile displays using high formable Ti-Ni-Cu shape memory alloy. These pins were fabricated by utilizing a viscous flow of Ti-Ni-Cu metallic glass. After crystallization, the material transformed to a shape memory alloy and was driven by the superelastic effect. In this manner, we successfully acquired the desired three-dimensional structure and measured a reaction force of 20 mN or larger, necessary to deform the skin. Additionally, we successfully varied the reaction force by controlling the temperature and demonstrated the potential application of these tactile pins.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808618

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  41. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの提案

    三輪 大貴, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 岡 智絵美

    年次大会   2019 巻 ( 0 ) 頁: J22207P   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>Microvalves are used in microfluidic systems such as micro reactors, and micro-total analysis systems (μ-TAS). Most microvalves need electrical wiring on each one, and the need prevents further integration and miniaturization of the microfluidic systems. Hence, we suggest new microvalves remotely controlled without the wiring on each valve. The proposed microvalves are driven by heat from magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. The proposed microvalves consist of thermo-responsive gels and the magnetic nanoparticles with a diameter of 20 nm or less. The nano-scale magnetic particles with superparamagnetic behavior generate heat in an alternating magnetic field. The aim of this study is to verify possibility of the new microvalves. First, Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub> magnetic nanoparticles were synthesized and characterized with an X-ray diffractometer, a transmission electron microscope, and a magnetic property measurement system. Then, the heat generation of the synthesized magnetic nanoparticles was measured in an alternating magnetic field. From the measurement, the possibility of the proposed microvalves was verified calculating how long it require to shrink the thermo-responsive gels by heat generated from the magnetic nanoparticles.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2019.j22207p

    CiNii Research

  42. 逆リフトオフ法を用いたMEMSミラー構造体の作製

    山田 恭平, 中川 優希, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 吉田 沙織, 清元 智文, 秦 誠一

    年次大会   2019 巻 ( 0 ) 頁: J22208P   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>MEMS mirror device is a device that reflects and scans a laser by the torsion of the beam structure. By miniaturization of the device, the reduction of the deflection angle of the mirror becomes to be an issue. In this research, we fabricated a MEMS mirror structure using film metallic glass formed by sputtering as a new material for the beam structure. In order to avoid the deterioration of the cross-sectional shape of the structure caused by the film thickening, a reverse lift-off method was used in the fabrication process. It is the method that forms film on a desired pattern and remove the others to obtain the flat and uniform thickness structure. Several conditions of the anneal was tested and the structure annealed at 200 ℃ shows less deflection than others. The fabricated structure was driven by external excitation, and it was confirmed that the resonance frequency was almost as designed.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2019.j22208p

    CiNii Research

  43. FABRICATION AND EVALUATION OF TACTILE PINS FOR PASSIVE TYPE TACTILE DISPLAYS USING HIGH FORMABILITY SHAPE MEMORY ALLOYS

    Nambara Keita, Iki Keiichirou, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Sakurai Junpei

    2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)     頁: 1854 - 1857   2019年

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  44. 高成形性形状記憶合金の耐食性のコンビナトリアル評価

    千須和 要, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: 207   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In this study, we propose a combinatorial evaluation method for evaluating the corrosion resistance of the Ti-Ni-based high formable shape memory alloys (HFSMAs) based on anodic polarization tests. The proposed evaluation substrates compose nine samples which have different compositions. These samples are deposited on a glass substrate by carousel sputtering system and microelectromechanical processes. Further, we performed anodic polarization tests on the Ti–Ni–Zr and Ti–Ni–Cu HFSMAs samples. The polarization curves are obtained by sweeping the potential and the current density at the passive state (<i>i</i><sub>ps</sub>) of each composition tested is compared. In case of the Ti–Ni–Zr alloy, <i>i</i><sub>ps</sub> varied depending on the Zr content. When the Zr content ranged from 10 to 15 at.%, their <i>i</i><sub>ps</sub> were comparable with that of Ti<sub>48</sub>Ni<sub>52</sub> used in medical devices. On the other hand, in case of the Ti-Ni-Cu alloy, their <i>i</i><sub>ps</sub> were similar to that of Ti<sub>48</sub>Ni<sub>52</sub> regardless of Cu content. We obtained Ti–Ni–Zr and Ti–Ni–Cu HFSMAs having a corrosion resistance equivalent to that of Ti<sub>48</sub>Ni<sub>52</sub>. Furthermore, we conducted XPS analysis to investigate the passive film of HFSMAs. The thin surface film of Ti-Ni-Zr alloys were composed of TiO<sub>2</sub> and ZrO<sub>2</sub>, while that of Ti-Ni-Cu alloys were composed of only TiO<sub>2</sub>. We have concluded that the formation of TiO<sub>2</sub> enriched protective thin surface film might have been responsible for the high corrosion resistance.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.207

    CiNii Research

  45. 手術シミュレータ用リアルタイム光弾性3次元応力測定系の開発

    山田 大地, 堀 史門, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: P01   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In recent years, minimally invasive treatment has attracted attention, and catheter surgery is one of them. On the other hand, in catheter surgery, visual information is limited to only a two-dimensional image by an X-ray camera. Therefore, there is a problem that stress is applied to the blood vessel wall and it is damaged, so doctors are required the skill of catheter surgery. In order to improve the surgeon's surgical technique, the authors have proposed a surgical simulator that realizes real-time visualization of stress by the photoelastic method. In this study, we propose a measurement system using a photoelastic method that can visualize stress in three dimensions and examine the blood vessel model shape applicable to the proposed measurement system.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.p01

    CiNii Research

  46. テクスチャ基板による色素増感太陽電池の変換効率の向上

    西保 裕司, 楊 娜, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: P04   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In this paper, we fabricated two types of optical textured glass substrates by a polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography (NIL) on the front glass to enhance conversion efficiency of dye-sensitized solar cells (DSSCs). Two types of master molds for nano-texture (N-Tx) and micro-nano-double texture (D-Tx) were prepared by an aluminum anodic oxidation. Both N-Tx and D-Tx showed higher total transmittance and lower reflectance than bare glass. Finally, we fabricated DSSCs with textured glass. The used dye was red N719. The cell size was 6 mm square. As the results, the conversion efficiency of DSSCs with textured glasses increased by 26% for N-Tx (<i>η</i> of 3.67%) and 19% for D-Tx (<i>η</i> of 3.47%) compared to DSSC with flat glass (<i>η</i> of 2.91%).</p>

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.p04

    CiNii Research

  47. Development and evaluation of the novel FAB gun

    Morisaki R., Hirai Y., Sakurai J., Mizoshiri M., Oka C., Hirai T., Takahashi T., Tsuji H., Hata S.

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019     頁: 104 - 105   2019年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019  

    Argon fast atom beam (FAB) gun is used as a neutral atom beam irradiation source for surface activated bonding (SAB). Since SAB does not require any heat treatments, stress due to difference in thermal expansion coefficients does not occur, and the bonding between not only the same material but also different materials is realizable. However, the conventional FAB gun can be used for only short time because carbon abrasion powders are generated from the worn part of the inside walls of the gun due to argon ion sputtering. We developed the novel FAB gun applied magnetic fields and new position of the anodes in the gun to control the motion of the argon ions and reduce the sputtering. The design concept is that the magnetic fields guide both argon ions and electrons to the irradiation port of the gun and the argon atoms for the irradiation increased. In this study, we investigated the influence of the positions of the magnetic fields and the anodes on the plasma generation, the argon irradiation and the sputtering. With the novel FAB gun, the stable plasma is generated in the vicinity of the irradiation port, and the maximum irradiation amount is 3 times in comparison with the conventional design. Less sputtering of the inside walls of the gun was observed after the irradiation for more than thousands of minutes, while the sputtering with the conventional gun is more observed at the same condition.

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  48. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

    Nakagawa Y., Yamada K., Mizoshiri M., Oka C., Sakurai J., Hata S.

    MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2018年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In micro electromechanical systems(MEMS) technology, lift-off processes are general patterning methods for the formation of amorphous alloy thick film structures. However, thicknesses of structures fabricated in this method are not uniform and cross-sectional shapes are not flat because sputtered particles are blocked by the sidewalls of the lift-off layer. In order to solve this problem, a reverse lift-off process is proposed as a new patterning method [1]. In the reverse lift-off process, the desired structure is formed on the top of the convex pattern such as the substrate. In contrast to the lift-off process, the thickness of the structure is uniform and the cross-sectional shape is rectangular because sputtered particles are not blocked by the sidewalls. In this research, thick film structures were fabricated in reverse lift-off processes from the width of the convex pattern on the order of micrometers. And the film thickness and the cross-sectional shape of the fabricated structure are measured, and the micro processing characteristics of the reverse lift-off process, which had not yet been elucidated, were investigated. This demonstrates the usefulness of fabricating the thick film micro structures in the reverse lift-off process.

    DOI: 10.1109/MHS.2018.8886962

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  49. Fabrication of miniaturized capacitive pressure sensor using thin film metallic glass

    Uejima S., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2018年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In this paper, we proposed the process of the diaphragm for miniaturizing MEMS capacitive pressure sensor and controlling its sensitivity. We fabricated micro diaphragm using a Ru65Zr30Al5(at.%) thin film metallic glass (TFMG). The as-sputtered TFMG on Si substrate were annealed at 315-440°C for 5 minutes in vacuum. After annealing, micro diaphragms were fabricated by an etching Si substrate using a reactive ion etching system. Although the diaphragm without annealing had dome structure, the diaphragm annealed above 340°C formed a flat structure. The deflection of the diaphragm against applied pressure depended on the annealing temperature and decreased at higher temperatures. The pressure sensor was modeled using this diaphragms. The pressure measurement range and sensitivity were 250 Pa and 6.4×10-3 pF/Pa, respectively, for annealed at 340°C, and 1800 Pa, and 8.1 × 10-4 pF/Pa, respectively for annealed at 440°C.

    DOI: 10.1109/MHS.2018.8887020

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  50. 自動車熱マネージメントに向けた高熱輸送 LoopHeatPipe の研究

    青野 慶忠, 岡 智絵美, 長野 方星, 山下 征士, 石切山 守, 星野 優

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 519   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.519

    CiNii Research

  51. 薄膜金属ガラスを用いたマイクロダイアフラムの作製

    一色 隆司, 上嶋 祥平, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 林 育菁, 秦 誠一

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220303   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>A diaphragm structure is a fundamental structure in a micro machine such as MEMS. Conventionally, Si has used as a diaphragm material. However, in recent years, in order to make the diaphragm structure more sophisticated and miniaturized, high sensitivity difficult to realize by using Si is required. Therefore, in this study, we aim to create a highly precise diaphragm structure by using the thin film metallic glass which is an amorphous alloy shown glass transition as a new material which meets these demands. Pd<sub>77</sub>Cu<sub>6</sub>Si<sub>17</sub> (at. %) and Ru<sub>65</sub>Zr<sub>30</sub>Al<sub>5</sub> (at. %) are used for thin film metallic glass. The thin film metallic glasses are deposited on the Si substrates by sputtering. Internal stress of each film is controlled by adjusting Ar pressure during sputtering and annealing after sputtering. The internal stress of the Pd<sub>77</sub>Cu<sub>6</sub>Si<sub>17</sub> (at. %) thin film is always tensile stress and it is minimum at an Ar pressure of 0.5 Pa, and its value is 23.6 MPa. Under this condition, we can create a highly precise diaphragm. On the contrary, the internal stress of Ru<sub>65</sub>Zr<sub>30</sub>Al<sub>5</sub> (at. %) thin film is always compressive stress in the range of sputtering Ar pressure. So, we try to relax the internal stress of Ru<sub>65</sub>Zr<sub>30</sub>Al<sub>5</sub> (at. %) thin film by annealing. In the proper annealing conditions, a diaphragm having the same flatness level as Pd<sub>77</sub>Cu<sub>6</sub>Si<sub>17</sub> (at. %) is realized.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220303

    CiNii Research

  52. 薄膜金属ガラスを用いた超小型静電容量型圧力センサの作製

    上嶋 祥平, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220304   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>Further miniaturization of the diaphragm for capacitive pressure sensor requires thinner structures to deform micro diaphragm sufficiently by small differential pressure. Since stiffness of thinner structures decrease, the influence of internal stress introduced during processing cannot be ignored. In this paper, we proposed methods of controlling the internal stress for micro diaphragm using thin film metallic glasses (TFMGs). We fabricated micro diaphragms using Ru67Zr25Al8 [at.%] TFMGs. The TFMGs were fabricated by a r.f. sputtering system, and then as sputtered TFMGs had compressive internal stress. Subsequently, the as-sputtered TFMGs on Si substrate were annealed at 315-440°C for 5 minutes in vacuum. After annealing, micro diaphragms were fabricated by etching Si substrate using a reactive ion etching system. Although annealing temperatures were lower than glass transition temperature, initial internal stress was relaxed partially by the structural relaxation of the TFMGs during annealing process. While the tensile thermal stress was induced during cooling process at the interface between the substrate and TFMG. Although micro diaphragm was not induced thermal stress at interface between the substrate and TFMG, the tensile stress applied to diaphragm in the radial direction at the edge. When annealing temperatures were between 320°C and 340°C, the internal stress changed from compressive to tensile. A flat diaphragm was obtained when annealed at 330°C or higher. The pressure sensor modeled by diaphragm annealed at 340°C and the virtual electrode plate showed a linearity of 6.48 [%F.S.]. By proposed method, we succeeded the flat diaphragm and showed the method of tension control of the diaphragm.</p>

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220304

    CiNii Research

  53. Ti-Ni系高成形性形状記憶合金の接合方法の検討

    青山 椋祐, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2018.26 巻 ( 0 ) 頁: 901   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2018.26.901

    CiNii Research

  54. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

    Nakagawa, Y; Yamada, K; Mizoshiri, M; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Web of Science

  55. Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass

    Uejima, S; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Web of Science

  56. Effect of wettability of a porous stainless steel on thermally induced liquid-vapor interface behavior

    Oka, C; Odagiri, K; Nagano, H

    SURFACE TOPOGRAPHY-METROLOGY AND PROPERTIES   5 巻 ( 4 )   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Surface Topography: Metrology and Properties  

    Control of thermally induced liquid-vapor interface behavior at the contact surface of porous media is crucial for development of two-phase heat transfer devices such as loop heat pipes. The behavior experiences three modes with increase of heat flux, and the middle mode possesses the highest heat transfer performance. In this paper, the effect of improving wettability of the porous media is demonstrated experimentally and numerically for the first time, in particular with regard to the effect on a domain of the middle mode. Ethanol wettability of a porous stainless steel was improved via a facile method, which was a simple acid treatment. As a result, the domain of the middle mode was extended as a consequence of the wettability improvement. The mode transfers from the middle to the last one when the pressure drop in the liquid supply exceeds the capillary pressure of liquid bridges formed between the heating plate and the porous medium. Hence, the extension of the domain suggested that the capillary pressure was increased by the wettability improvement. This was verified via numerical calculation. The calculated capillary pressure was increased by 7% after improving wettability, which resulted in the extension of the domain of the middle mode.

    DOI: 10.1088/2051-672X/aa9499

    Web of Science

    Scopus

  57. The role of Bgl2p in the transition to filamentous cells during biofilm formation by Candida albicans.

    Chen X, Zhang R, Takada A, Iwatani S, Oka C, Kitamoto T, Kajiwara S

    Mycoses   60 巻 ( 2 ) 頁: 96-103   2017年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1111/myc.12554

    PubMed

  58. Biodegradable and magnetic core-shell composite particle prepared by emulsion solvent diffusion method 査読有り

    Chiemi Oka, Kazunori Ushimaru, Nanao Horiishi, Takeharu Tsuge, Yoshitaka Kitamoto

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻   頁: 02BE01   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  59. Heat generation of core-shell particles composed of biodegradable polymer and iron oxide 査読有り

    C. Oka, K. Ushimaru, N. Horiishi, T. Tsuge, Y. Kitamoto

    Journal of the Magnetics Society of Japan   40 巻   頁: 126-131   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  60. Core-shell composite particles composed of biodegradable polymer particles and magnetic iron oxide nanoparticles for targeted drug delivery 査読有り

    Chiemi Oka, Kazunori Ushimaru, Nanao Horiishi, Takeharu Tsuge, Yoshitaka Kitamoto

    Journal of Magnetism and Magnetic Materials   381 巻   頁: 278-284   2015年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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講演・口頭発表等 78

  1. 磁性酸化鉄ナノ粒⼦の発熱特性と医療応⽤ 招待有り

    岡 智絵美

    東海 NFRW・若⼿チャプタージョイントワークショップ  2022年11月2日  応用物理学会東海地区若手チャプター

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

  2. がんを治癒する鉄さびナノ粒子

    岡 智絵美

    夢ナビ  2022年 

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    開催年月日: 2022年7月 - 現在

  3. 磁性ナノ粒子鎖形成の多孔体作製への応用

    岡智絵美,小林京貴,櫻井淳平,長野方星,秦誠一

    2022年度磁性流体連合講演会  2022年12月8日  磁性流体研究連絡会

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    開催年月日: 2022年12月

  4. 鉄さびナノ粒子を日常に 招待有り

    岡 智絵美

    若手からの研究紹介『アカデミックフラッシュ第8報』  2022年3月11日  名古屋大学 学術研究・産学官連携推進本部

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語  

    開催地:名古屋大学  

  5. Characteristics of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloy diaphragms annealed below crystallization temperature 国際会議

    F. Haga, T. Yamazaki, C. Oka, S. Hata, Y. Hoshino and J. Sakurai

    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021) 

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    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  6. Characterization of Ar beam from the new fast atom beam source 国際会議

    R. Morisaki, T. Yamazaki, C. Oka, J. Sakurai, T. Akao, T. Takahashi, H. Tsuji, N. Ohno, and S. Hata

    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021) 

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    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  7. 磁性ナノ粒子の特性を活用したデバイス・プロセス開発 招待有り

    岡智絵美

    東海NFRW・東海地区若手チャプタージョイントワークショップ  2021年10月19日 

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    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

  8. New Long Life Fast Atom Beam Source for Surface Activated Bonding 国際会議

    R. Morisaki, J. Sakurai, C. Oka, T. Yamazaki, T. Akao, T. Takahashi, H. Tsuji, N. Ohno, and S. Hata

    2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2021) 

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    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  9. 表面活性化接合用新形高速原子ビーム源内部のプラズマ解析

    森崎 諒,櫻井 淳平,岡 智絵美,山崎 貴大,赤尾 隆嘉,高橋 知典,辻 裕之,大野 哲靖,秦 誠一

    第82回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  10. 磁性ナノ粒子の自己組織化を利用した一方向性多孔体作製

    小林 京貴,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  11. HFSMAを用いたナノ繊毛構造体の作製

    佐藤 寛太,山崎 貴大,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  12. フルフリルアルコール樹脂/磁性ナノ粒子複合体の作製

    永易 大地,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  13. シリカ被覆磁性酸化鉄ナノ粒子の磁気発熱量評価

    木村 優介,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  14. MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定

    高瀬 駿,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  15. 反力可変受動形触覚ディスプレイ用新規アクチュエータの駆動特性

    村瀬正憲,南原圭汰,山崎貴大,岡智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  16. 温度応答性ゲルと磁性ナノ粒子からなる遠隔駆動マイクロバルブの特性評価

    谷平光一,秦 誠一,櫻井 淳平,岡 智絵美

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  17. コンビナトリアル手法を用いたTi-Ni-Hf高成形性形状記憶合金の探索

    井上 慎,山崎 貴大,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  18. 薄膜非晶質合金Ni-Nb-Zrの機械的特性に及ぼす構造緩和の影響

    羽賀 冬樹,山崎 貴大,岡 智絵美,秦 誠一,星野 雄斗,櫻井 淳平

    日本機械学会2021年度年次大会 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  19. シリカ被覆磁性ナノ粒子の磁気発熱量評価

    木村 優介,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    第45回 日本磁気学会学術講演会 

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    開催年月日: 2021年8月 - 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  20. ナノ結晶軟磁性材料の高磁歪化に向けた合金設計

    佐野 光哉,冨田 龍也,岡 智絵美,櫻井 淳平,山崎 貴大,秦 誠一

    第45回 日本磁気学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年8月 - 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  21. FABRICATION AND EVALUATION OF A NOVEL ACTUATOR FOR REACTION FORCE VARIABLE PASSIVE-TYPE TACTILE DISPLAYS 国際会議

    Masanori Murase, Keita Nambara, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Seiichi Hata, and Junpei Sakurai

    Transducers 2021 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  22. Simpler Microstructural Estimation Using Machine Learning-assisted Magnetic Barkhausen Noise Analysis 国際会議

    Kanna Omae, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Takahiro Yamazaki

    The Eighth International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO2021) 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  23. Production of unidirectional porous materials utilizing self-assembly of magnetic nanoparticles 国際会議

    Atsuki Kobayashi, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Chiemi Oka

    The Eighth International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO2021) 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  24. New soft magnetostrictive materials design based on nanocrystalline/amorphous mixed-phase structure 国際会議

    Kohya Sano, Tatsuya Tomita, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Takahiro Yamazaki

    The Eighth International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO2021) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  25. Microvalves Utilizing Heat Generation of Magnetic Nanoparticles 国際会議

    Daiki Miwa, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, and Chiemi Oka

    MHS2019 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  26. Enhanced conversion efficiency in dye-sensitized solar sells using optical textured glass substrates 国際会議

    Yuji Nishiyasu, Na Yang, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    MHS2019 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  27. Photoelastic stress measurement in real time for surgery simulator using gel materials 国際会議

    Daichi Yamada, Simon Hori, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    MHS2019 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  28. 高成形性形状記憶合金の耐食性のコンビナトリアル評価

    千須和 要,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会第27回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2019) 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  29. テクスチャ基板による色素増感太陽電池の変換効率の向上

    西保 裕司,楊 娜,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会第27回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2019) 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  30. 手術シミュレータ用リアルタイム光弾性3次元応力測定系の開発

    山田 大地,堀 史門,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    日本機械学会第27回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2019) 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  31. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製と評価

    南原 圭汰,伊木 啓一郎,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  32. 単ロール急冷凝固法により作製したTi-Ni-Cu高成形性形状記憶合金リボン材の特性評価

    西谷 健太,青山 椋祐,岡 智絵美,秦 誠一,馬伏 弘恭,網谷 健児,櫻井 淳平

    SMAシンポジウム2019 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  33. Combinatorial Evaluation for Corrosion Resistance of Ti-Ni-based High Formable Shape Memory Alloys 国際会議

    Kaname Chizuwa, Chiemi Oka, Seiichi Hata Junpei Sakurai and Hideki Hosoda

    ISBE2019 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  34. Heating efficiency and dipolar interaction in magnetic nanoparticle ensembles 国際会議

    Chiemi Oka, Horiishi Nanao and Yoshitaka Kitamoto

    12th International Conference on Ferrite (ICF12) 

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    開催年月日: 2019年10月 - 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

  35. 単ロール急冷凝固法により作製した高成形性形状記憶合金の特性評価

    西谷 健太,青山 椋祐,岡 智絵美,秦 誠一,馬伏 弘恭,網谷 健児,櫻井 淳平

    日本金属学会2019年秋期講演大会 

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    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  36. 逆リフトオフ法を用いたMEMSミラー構造体の作製

    山田 恭平,中川 優希,岡 智絵美,櫻井 淳平,吉田 沙織,清元 智文,秦 誠一

    日本機械学会2019年度年次大会 

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    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  37. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの提案

    三輪 大貴,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    日本機械学会2019年度年次大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  38. 薄膜金属ガラスの大気中結晶化評価法の基礎検討

    鬼頭 直希,櫻井 淳平,岡 智絵美,林 裕美,山崎 宏明,秦 誠一

    精密工学会2019年度秋季大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  39. 表面活性化接合用新規高速原子ビームガン

    森崎 諒,岡 智絵美,櫻井 淳平,平井 隆巳,高橋 知典,辻 裕之,秦 誠一

    精密工学会2019年度秋季大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  40. Combinatorial Evaluation for Biocompatibility of High Formable Shape Memory Alloys 国際会議

    Kaname Chizuwa, Chiemi Oka, Seiichi Hata and Junpei Sakurai

    PRICM10 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:中華人民共和国  

  41. Fabrication and Evaluation of Tactile Pins for Passive Type Tactile Displays using High Formability Shape Memory Alloys 国際会議

    Keita Nambara, Keiichirou Iki, Chiemi Oka, Seiichi Hata and Junpei Sakurai

    Transducers2019 

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    開催年月日: 2019年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:ドイツ連邦共和国  

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808618

    Scopus

  42. Development and evaluation of the novel FAB gun 国際会議

    Ryo Morisaki, Yuuki Hirai, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Takami Hirai, Tomonori Takahashi, Hiroyuki Tsuji and Seiichi Hata

    19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019 

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    開催年月日: 2019年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:スペイン  

    Scopus

  43. ナノインプリントテクスチャ基板の作製と色素増感型太陽電池への応用

    櫻井淳平,楊娜,岡智絵美,秦誠一

    精密工学会,2019年春季大会学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  44. ナノインプリント基板の色素増感太陽電池への適用

    櫻井淳平,楊娜,岡智絵美,秦誠一

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  45. 高成形性形状記憶合金の生体適合性のコンビナトリアル評価

    千須和 要,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平,細田 秀樹

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  46. 高精度マイクロダイアフラム構造体の作製とその特性

    一色 隆司,岡 智絵美,櫻井 淳平,林 育菁,秦 誠一

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  47. 高成形性形状記憶合金の接合法による接合強度評価

    青山 椋祐,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  48. エレクトレットと形状記憶合金を用いた静電振動型エナジーハーベスタの提案

    西谷健太,南原圭汰,岡智絵美,秦誠一,櫻井淳平

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  49. 表面活性化接合の問題解決を図る長寿命化新形高速原子ビーム源の開発

    森崎諒,平井友喜,岡智絵美,櫻井淳平,平井隆巳,高橋知典,辻裕之,秦誠一

    第4回日本機械学会イノベーション講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  50. Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass 国際会議

    Shohei Uejima, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    29th 2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  51. Fabrication of Foldable Pipe Structures Using Ti-Ni Based High Formable Shape Memory Alloys 国際会議

    Ryosuke Aoyama, Hiroto Watanabe, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    The 5th Asian Symposium on Material and Processing 2018 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:タイ王国  

  52. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process 国際会議

    Yuki Nakagawa, Kyohei Yamada, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th 2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  53. Internal stress control of diaphragm structure made of the thin film metallic glasses 国際会議

    Ryuji Ishiki,Chiemi Oka,Junpei Sakurai,Yu-Ching Lin,Seiichi Hata

    The 5th Asian Symposium on Material and Processing 2018 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:タイ王国  

  54. Combinatorial Evaluation for Biocompatibility of High Formable Shape Memory Alloys 国際会議

    Kaname Chizuwa, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Hideki Hosoda

    The 3rd International Symposium on Biomedical Engineering 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  55. 逆リフトオフ法のマイクロ加工特性

    中川優希,山田恭平,岡智絵美,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  56. Combinatorial Search for IrO2-RuO2-TiO2 system for Chlorine Evolution Electrode Catalyst 国際会議

    Junpei Sakurai, Shingo Takagi, Masashi Miyamoto, Kimihiko Sugiura, Chiemi Oka, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    10th International Workshop on Combinatorial Materials Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  57. Development of evaluation substrate for biocompatibility combinatorial evaluation of high formable shape memory alloys 国際会議

    Kaname Chizuwa, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology 

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    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  58. 熱輸送デバイスへの3Dプリント技術の適用と多孔体の濡れ性改善 招待有り

    岡智絵美,小田切公秀,長野方星,秦誠一

    第67回高分子討論会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  59. 薄膜金属を用いたマイクロダイアフラムの作製

    一色隆司,上嶋祥平,岡智絵美,櫻井淳平,林育菁,秦誠一

    日本機械学会2018年度年次大会 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  60. Thermo-fluid dynamics in a wettability-enhanced evaporator based on microscale infrared / visible observations 国際会議

    K. Odagiri, C. Oka, C. Kondou, H. Nagano

    Joint 19th International Heat Pipe Conference and 13th International Heat Pipe Symposium (Joint 19th IHPC and 13th IHPS) 

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    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:イタリア共和国  

  61. Improving water wettability of porous sintered stainless steel fibers for development of heat transfer performance 国際会議

    Chiemi Oka, Odagiri Kimihide, Hosei Nagano, Seiichi Hata

    The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:台湾  

  62. Processing characteristics of reverse lift-off process 国際会議

    Kyohei Yamada, Yuki Nakagawa, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, and Seiichi Hata

    The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:台湾  

  63. Improving Wettability of Porous Stainless Steel for Innovation of Heat Transfer Devices 国際会議

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:台湾  

  64. Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    形状記憶合金協会 第11期定時総会  2021年3月 

  65. 新規医療用Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎,岡 智絵美,秦 誠一,細田 秀樹 ,櫻井 淳平

    生体医歯工学共同研究拠点 令和2年度成果報告会  2021年3月 

  66. 逆リフトオフ法を用いた MEMS ミラーデバイスの作製

    高瀬 駿,山田 恭平,中川 優希,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月 

  67. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金のソフトアクチュエータへの基礎検討

    浅井 泰平,青山 椋佑,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月 

  68. 二層構造を有した手術シミュレータ用血管モデルの作製

    山田 大地,堀 史門,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月 

  69. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製及び駆動評価

    南原 圭汰,伊木 啓一郎,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月 

  70. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの作製

    三輪 大貴,櫻井 淳平,秦 誠一,岡 智絵美

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

  71. プラズマ解析による表面活性化接合用FAB源の高性能化

    森崎 諒,櫻井 淳平,岡 智絵美,山崎 貴大,平井 隆巳,高橋 知典,辻 裕之,大野 哲靖,秦 誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

  72. テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司,楊 娜,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

  73. 手術シミュレータ用3次元次元応力測定系の開発

    山田 大地,堀 史門,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

  74. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製

    南原 圭汰,伊木 啓一郎,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月 

  75. Plasma analysis of the FAB source for the SAB process by PIC-MCC simulation

    R. Morisaki, J. Sakurai, C. Oka, T. Yamazaki, T. Hirai, T. Takahashi, H. Tsuji, N. Ohno, and S. Hata

    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference  2020年11月 

  76. Photoelastic stress measurement in real-time for surgery simulator using gel materials

    2019年12月1日 

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  77. Microvalves Utilizing Heat Generation of Magnetic Nanoparticles

    2019年12月1日 

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  78. Enhanced conversion efficiency in dye-sensitized solar cells using optical textured glass substrates

    2019年12月1日 

     詳細を見る

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共同研究・競争的資金等の研究課題 6

  1. 大変形変位量可変マイクロアクチュエータ開発に向けた熱応答性ゲルの収縮挙動観察

    2022年8月 - 2023年7月

    2022年度研究助成金 

    岡 智絵美

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:1000000円

  2. 交流磁場暴露により収縮する磁性酸化鉄ナノ粒子混合熱応答性ゲルの収縮膨潤挙動解明

    2021年12月 - 2023年3月

    公益財団法人大倉和親記念財団  2021年度「研究助成」女性研究者部門 

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    担当区分:研究代表者 

  3. 一様磁場中における磁性ナノ粒子の鎖状自己配向を利用した無電力熱輸送デバイス用多孔体作製

    2021年11月 - 2023年3月

    公益財団法人 日東学術振興財団  第38回(2021年度)研究助成 

      詳細を見る

    担当区分:研究代表者 

  4. 磁性ナノ粒子を用いたマイクロバルブ制御技術の確立

    2019年9月 - 2021年2月

    立松財団2019年度研究助成 

    岡 智絵美

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    資金種別:競争的資金

  5. 高性能熱輸送デバイス開発にむけた研究-磁性ナノ粒子の自己配向を利用した多孔体作製-

    2017年4月 - 2018年2月

    平成29年度笹川科学研究助成 

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    資金種別:競争的資金

  6. 生分解性ポリマー粒子をコアとした磁性ナノ粒子複合体の作製

    2012年4月 - 2013年3月

    平成24年度公益財団法人加藤科学振興会研究奨励金 

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    資金種別:競争的資金

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科研費 5

  1. 次世代磁気記録媒体への応用を目指した磁性ナノ粒子直列体作製と高密度集積構造作製

    研究課題/研究課題番号:23K13648  2023年4月 - 2026年3月

    科学研究費助成事業  若手研究

    岡 智絵美

      詳細を見る

    担当区分:研究代表者 

    配分額:4550000円 ( 直接経費:3500000円 、 間接経費:1050000円 )

    社会のデジタル化に伴い,磁気記録媒体の更なる高密度化が求められているが,磁性材料の作製,加工,磁気異方性確保の困難さが問題となっている.磁気異方性が低いと,記録した情報が保たれず,消失してしまう.本研究では,形状磁気異方性が利用できる磁性ナノ粒子直列体に着目し,「次世代磁気記録媒体であるビットパターンメディア応用可能な磁性ナノ粒子直列体集積構造の常温付近大気圧中での作製は可能か」を学術的「問い」とし,直列体作製と高密度集積構造作製を行う.

  2. 磁性ナノ粒子磁気発熱量の実験的予測とその応用

    研究課題/研究課題番号:21K14512  2021年4月 - 2023年3月

    科学研究費助成事業  若手研究

    岡 智絵美

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:4680000円 ( 直接経費:3600000円 、 間接経費:1080000円 )

    磁性ナノ粒子は交流磁場中で発熱する特性を有しており,この発熱特性はがん温熱療法,ドラッグデリバリー,マイクロシステム遠隔駆動へ応用可能である.磁性ナノ粒子の発熱特性応用では,実際の発熱量を予測した粒子設計が重要となるが,発熱量を正確に予測する式はまだない.そこで本研究では,理論式では考慮されていない磁性ナノ粒子間距離および磁気的相互作用の大きさが,発熱量にどのような影響を及ぼすのかを解明し,理論式を補正した実験式の導出と,その応用を目指す.
    磁性ナノ粒子は交流磁場中で発熱する特性を有しており,がん磁気温熱療法,ドラッグデリバリー,マイクロシステム遠隔駆動への応用が期待されている.磁性ナノ粒子の発熱特性応用では,磁性ナノ粒子の発熱を正確に制御することが重要である.しかし,実在する磁性ナノ粒子の発熱量を正確に予測する方法はまだない.そこで本研究では,磁性ナノ粒子の発熱量を算出可能な実験式導出とその応用を着想した.そして,磁性ナノ粒子間磁気的相互作用の大きさを用いて,発熱量理論式を補正することで,実験式を導出できる可能性を見出した.
    磁性ナノ粒子間磁気的相互作用の大きさが,磁性ナノ粒子の交流磁場下における発熱に影響を及ぼすことは,シミュレーションを用いた研究などで報告されているが,実験的にそれを明らかにした例はほとんどない.また,本研究の成果は,磁性ナノ粒子の発熱量予測に貢献する成果であり,将来的に磁性ナノ粒子を用いたがん治療やマイクロデバイス開発の促進に繋がるものである.

  3. 化学修飾ポーラス界面の熱流体物理解明に基づく新しい熱輸送機能発現

    研究課題/研究課題番号:20H02085  2020年4月 - 2023年3月

    科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    長野 方星, 岡 智絵美

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    担当区分:研究分担者 

    化学修飾を多孔体に施すことで濡れ性が大きく制御できることに着目し,溶液プロセスによる多孔体の内部まで親水化する手法を構築するとともに,これまで確立されていないナノスケールでの濡れ性・熱伝達性能を評価できる手法を新たに構築する。次に構築した手法を用いて化学修飾キャピラリーの濡れ特性制御メカニズムを実験的に明らかにすることで,化学的濡れ性が蒸発熱伝達に与える影響を明らかにする。さらに,多孔体への浸透圧効果を直接観察し,熱輸送機構への効果を実験的に検証することで,多孔体界面での蒸発熱伝達の理論限界を超える新たな熱輸送メカニズムの創出を目指す。
    高性能な多孔体特性および相界面幾何学形状に基づいて多孔体を製作し,熱輸送デバイスに組み込むことでシステムとしての性能を明らかにした。熱輸送デバイスとしては薄型,小型,大型と異なるシステムに基づく最適条件を設定し,指針に基づくデバイス設計,製作を行った。また,新たな多孔体粒子配向制御方法として磁性ナノ粒子を鋳型とした一方向性多孔体製造方法を提案し,異なる樹脂および製造条件で複数の多孔体試作を行った。その結果,磁場の印加条件,磁性ナノ粒子鎖除去条件により多孔体特性が大きく異なることが明らかとなった。また,熱輸送デバイスとして好ましい特性が得られる多孔体製造条件を見出した。
    電力を用いることなく熱輸送が可能なループヒートパイプは次世代の熱輸送技術として中毛されている。しかしながら動作原理となる多孔体表面での気液相変化過程は明らかになっておらず性能向上指針も明らかではなかった。本研究は多孔体表面での気液相変化過程の理解に基づく表面改質と幾何学形状最適化により性能向上を図ることに成功した。また,化学的手法による高度に一次元配向した多孔体の製作も試行し,その実現性も検証することができた。

  4. コンビナトリアル技術を援用した薄膜金属ガラスの内部応力測定とその制御

    研究課題/研究課題番号:19H02040  2019年4月 - 2023年3月

    科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    秦 誠一, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 山崎 貴大

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    担当区分:研究分担者 

    本研究では,ナノからマイクロメートルオーダの膜厚を有する薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し,それを制御可能か?を研究課題の核心をなす学術的「問い」として,以下の研究目的にて本研究を進める.
    1)薄膜金属ガラスの内部応力を体系的に調査するためのコンビナトリアル技術の確立
    2)上記コンビナトリアル技術を用いて,膜厚10 nm~10 umのRu系およびTi系薄膜金属ガラスの成膜条件,アニール条件と内部応力の関係解明
    3)実証とし薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲,精度±2 MPaにて自在に制御された直径400 nm~800 umのダイアフラム構造を製作
    本研究の目的は,コンビナトリアル技術を用いた薄膜金属ガラスの内部応力の調査,薄膜金属ガラスの成膜条件と内部応力の関係解明と,その実証として直径400 nmから800 umのダイアフラム構造を製作し,内部応力を±200 MPaの範囲での制御である.具体的には,差動排気コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ装置の開発や,内部応力評価用薄膜ライブラリの作製,アニール条件と内部応力の関係の解明などを行った.研究成果としては,新たな内部応力測定法の開発に成功し,Ru系およびNi系薄膜金属ガラスの内部応力とアニール条件の関係の解明と,内部応力を自在に制御したダイアフラム構造の製作に成功した.
    MEMS構造の一部は基板から分離しており,材料内の応力により形状が変わり破壊されることがある.Si系材料は成膜条件等により内部応力を制御できるが,小型化や高機能化には限界があるため,代替材料が求められている.この状況に着目し,薄膜金属ガラスを利用したMEMS構造と内部応力制御を実現した.近年,薄膜金属ガラスをMEMSに適用する事例が増えてきたため,内部応力を解明し制御する必要性が浮かび上がってきた.この研究では,薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し,制御可能かを明らかにするために行われた.

  5. 無配線・遠隔制御可能な交流磁場応答アクチュエータ群の基礎研究

    研究課題/研究課題番号:19K21069  2018年8月 - 2020年3月

    科学研究費助成事業  研究活動スタート支援

    岡 智絵美

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:2990000円 ( 直接経費:2300000円 、 間接経費:690000円 )

    無配線・遠隔制御可能なマイクロアクチュエータの開発は,微小機械の小型化・高性能化に不可欠である.本研究では,磁性ナノ粒子の交流磁場中における発熱を駆動源とする,新規交流磁場応答アクチュエータ開発の基礎研究を行う.まず,粒子サイズと凝集状態の異なる磁性ナノ粒子を調製し,発熱量と交流磁場周波数の関係を明らかにする.そして,磁性ナノ粒子と熱応答性ゲルを組み合わせたアクチュエータを複数個作製し,交流磁場周波数により,複数のアクチュエータを1つのコイルで個別制御可能なシステムの開発を目指す.
    本研究では,無配線・遠隔制御可能な交流磁場応答マイクロバルブを考案し,開発に向けた基礎研究を実施した.そして,マイクロバルブ作製プロセスを確立し,マイクロバルブの試作を行い,交流磁場によるバルブの開閉駆動を確認した.その結果,マイクロバルブが交流磁場印加により実際に駆動することを確認した.今後更なる検討が必要ではあるが,本研究により無配線・遠隔制御可能な新規マイクロバルブの実現可能性が確認できた.
    本研究では,無配線・遠隔制御可能な交流磁場応答マイクロバルブを考案し,開発に向けた基礎研究を実施した.そして,今後更なる検討が必要ではあるが,本研究により無配線・遠隔制御可能な新規マイクロバルブの実現可能性が確認できた.今後引き続き研究を実施することにより,提案するマイクロバルブ群が実現すれば,バイオ・医療・環境分野で活躍するマイクロ流体システムのさらなる発展に貢献すると期待できる.

 

担当経験のある科目 (本学) 27

  1. ナノバイオ計測化学

    2023

  2. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習A

    2021

  3. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1C

    2021

  4. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1A

    2021

  5. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2E

    2021

  6. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2C

    2021

  7. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2A

    2021

  8. 機械・航空宇宙工学実験第1

    2021

  9. 機械・航空宇宙工学実験第2

    2021

  10. 電気回路工学及び演習

    2021

  11. マイクロ・ナノ機械理工学特別講義

    2021

  12. G30 学生実験

    2021

  13. 機械・航空宇宙工学実験第1

    2020

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    実験テーマ名:解析力学による回転体の力学

  14. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー(秋)

    2020

  15. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習(秋)

    2020

  16. マイクロ・ナノ機械理工学特別講義

    2020

  17. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習(春)

    2020

  18. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー(春)

    2020

  19. 機械・航空宇宙工学実験第2

    2020

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    実験テーマ名:解析力学による回転体の力学

  20. 電気回路工学及び演習

    2020

  21. G30 学生実験

    2020

  22. 機械・航空工学科学実験

    2019

  23. 電気回路工学演習

    2019

  24. G30 学生実験

    2019

  25. 機械・航空工学科学実験

    2018

  26. 電気回路工学演習

    2018

  27. G30 学生実験

    2018

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社会貢献活動 2

  1. テクノシンポジウム名大2023「女子学生のための工学フォーラム ~未来を拓く工学部女子学生~」座談会

    役割:司会

    2024年11月

  2. テクノWebinar名大 工学女子の人生デザイン,座談会パネリスト

    役割:パネリスト

    2020年11月