2023/05/18 更新

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ハタ　セイイチ
秦　誠一
HATA Seiichi
所属
大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム 教授
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 機械・航空宇宙工学科
職名
教授
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位 1

  1. 博士（工学） （ 2002年2月   東京工業大学 ） 

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研究キーワード 7

  1. コンビナトリアル技術

  2. マイクロ・ナノ加工

  3. 微細加工

  4. マイクロマシン

  5. MEMS

  6. 機械工学

  7. 微細加工

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研究分野 3

  1. その他 / その他  / ハイスループット評価

  2. その他 / その他  / コンビナトリアル技術

  3. その他 / その他  / MEMSおよびMEMS材料

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現在の研究課題とSDGs 11

  1. コンビナトリアル蒸着装置の開発​

  2. 新しいMEMS用機能性薄膜金属材料の探索

  3. マテリアルズ・インフォマティクスによる材料探索​

  4. 新形高速原子ビーム源の開発​

  5. 逆リフトオフ法を用いた金属ベースMEMSの製作​

  6. 磁性粒子の自己配向を利用した多孔体作製プロセス

  7. 静電容量形広帯域・高耐食圧力センサの製作​

  8. 反力可変触覚ディスプレイの製作​

  9. 光弾性材料を用いた手術シミュレータの開発​

  10. ナノインプリントによる太陽電池用光学基板の作成​

  11. 磁性ナノ粒子の特性を活かしたマイクロデバイスの開発​

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経歴 6

  1. 豊田工業大学   講師

    2017年9月 - 現在

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  2. 東京工業大学   精密工学研究所   兼任教員   客員教授

    2012年10月 - 2015年3月

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    国名：日本国

  3. 東京工業大学   精密工学研究所   准教授

    2007年4月 - 2012年9月

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    国名：日本国

  4. 東京工業大学   フロンティア研究センター   助教授

    2005年10月 - 2007年3月

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    国名：日本国

  5. 東京工業大学   精密工学研究所   助手

    1997年6月 - 2005年9月

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    国名：日本国

  6. オリンパス株式会社   研究員

    1994年4月 - 1997年5月

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    国名：日本国

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学歴 2

  1. 東京工業大学   総合理工学研究科   精密機械システム専攻

    - 1994年3月

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    国名： 日本国

  2. 群馬大学   工学部   機械システム工学科

    1988年4月 - 1992年3月

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    国名： 日本国

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所属学協会 6

  1. 日本機械学会   フェロー

    2016年1月 - 現在

  2. 精密工学会東海支部   幹事

    2018年3月 - 2019年3月

  3. 精密工学会   会誌編集委員会委員

    2011年3月 - 2013年3月

  4. 電気学会   Ｅ部門役員会委員

  5. 応用物理学会

  6. IEEE

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委員歴 24

  1. 応用物理学会　集積化MEMS技術研究会   委員長  

    2022年4月 - 現在   

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    団体区分：学協会

  2. 日本機械学会　第96期機械材料・材料加工部門   部門長  

    2018年4月 - 2019年3月   

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    団体区分：学協会

  3. 日本機械学会　第95期機械材料・材料加工部門   副部門長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

  4. 日本機械学会　第95期マイクロ・ナノ工学部門　運営委員会   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

  5. 日本機械学会　第95期機械材料・材料加工部門 総務委員会   副委員長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

  6. 日本機械学会　第95期機械材料・材料加工部門 ICM&Pワーキング   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

  7. 日本機械学会 第95期マイクロ・ナノ工学部門 運営委員会   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

    researchmap

  8. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門 ICM&Pワーキング   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分：学協会

    researchmap

  9. 精密工学会東海支部   幹事  

    2017年3月 - 2018年3月   

  10. 精密工学会東海支部   幹事  

    2017年3月 - 2018年3月   

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  11. 電気学会　E部門編修委員会   副委員長  

    2012年4月 - 現在   

  12. 日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門技術委員会   委員長  

    2012年4月 - 現在   

  13. 日本機械学会　機械材料・材料加工部門　第４技術委員会（国際交流関係）   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

  14. 電気学会 E部門編修委員会   副委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  15. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門技術委員会   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  16. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第４技術委員会（国際交流関係）   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  17. 電気学会　E部門役員会   委員  

    2011年4月 - 現在   

  18. 精密工学会　会誌編集委員会   委員  

    2011年4月 - 現在   

  19. 日本機械学会　マイクロ・ナノ工学専門会議   副委員長  

    2011年4月 - 2012年3月   

  20. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学専門会議   副委員長  

    2011年4月 - 2012年3月   

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  21. 電気学会 E部門役員会   委員  

    2011年4月 - 2012年3月   

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    団体区分：学協会

    researchmap

  22. 精密工学会 会誌編集委員会   委員  

    2011年4月 - 2012年3月   

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  23. 日本機械学会　第88期機械材料・材料加工部門　第１技術委員会（年次大会担当）   委員長  

    2010年4月 - 2011年3月   

  24. 日本機械学会　産学連携センター技術ロードマップ委員会   委員  

    2007年6月 - 現在   

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受賞 10

  1. 日本機械学会　機械材料・材料加工部門部門賞（功績賞）

    2020年9月   日本機械学会  

    秦　誠一

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    受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国：日本国

    日本機械学会機械材料・材料加工部門において，永年にわたり運営委員を務め，部門活動の活性化に努力し，第96期部門長として部門運営の中枢を担い部門の発展に貢献したことに対する受賞

  2. 教育優秀賞特別表彰

    2020年5月   豊田工業大学  

    秦　誠一

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    受賞国：日本国

    教育優秀賞を５年間のうち，３度受賞した者に対する特別表彰

  3. 2019年度教育優秀賞

    2020年5月   豊田工業大学  

    秦　誠一

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    受賞国：日本国

    創意・工夫をもって特色のある講義・実験・実習を行い、優れた教育を行った者に対してその業績を称え、さらなる発展を奨励する．

  4. 日本機械学会　機械材料・材料加工部門部門賞（国際賞）

    2019年9月   日本機械学会  

    秦　誠一

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    受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国：日本国

    日本機械学会機械材料・材料加工部門において，ICM&P2014をはじめとした部門の国際会議開催並びに運営に貢献したことに対する受賞

  5. 日本機械学会　機械材料・材料加工部門部門賞（業績賞）

    2010年8月   日本機械学会  

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    受賞国：日本国

    マイクロ・ナノ加工技術分野における先駆的な研究を推進し新しい研究分野を開拓すると共に産業界への応用にも主導的役割を果たしたことに対する受賞

  6. 日本機械学会　機械材料・材料加工部門一般表彰（優秀講演論文部門）

    2009年9月   日本機械学会  

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    受賞国：日本国

  7. 平成１８年度東工大挑戦的研究賞

    2006年12月   東京工業大学  

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    受賞国：日本国

  8. 平成１６年度財団法人ファナックＦＡロボット財団論文賞（特別賞）

    2005年12月   財団法人ファナックＦＡロボット財団  

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    受賞国：日本国

  9. 平成１５年度精密工学会論文賞

    2004年3月   精密工学会  

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    受賞国：日本国

  10. 平成１３年度（第３６回）日本塑性加工学会論文賞

    2001年2月   日本塑性加工学会  

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    受賞国：日本国

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論文 166

  1. Examination of Mechanical Properties and Photoelastic Properties of Gel Material for Blood Vesssel Mimics 査読有り 国際誌

    Yamada Daichi, Hori Simon, Abe Shuhe, Kumeno Yuki, Yamazaki Takahiro, Oka Chiemi, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    JOURNAL OF MEDICAL DEVICES-TRANSACTIONS OF THE ASME   15 巻 ( 3 )   2021年9月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1115/1.4051516

    Web of Science

  2. Combinatorial synthesis of nanocrystalline FeSiBPCuC-Ni-(Nb,Mo) soft magnetic alloys with high corrosion resistance 査読有り 国際誌

    Yamazaki Takahiro, Tomita Tatsuya, Uji Katsutoshi, Kuwata Hidenori, Sano Kohya, Oka Chiemi, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS   563 巻   頁： 120808   2021年7月

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    担当区分：最終著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.jnoncrysol.2021.120808

    Web of Science

  3. Particle-in-cell Monte Carlo collision simulation and experimental measurement of Ar plasma in a fast atom beam source for surface-activated bonding 査読有り 国際誌

    Morisaki Ryo, Yamazaki Takahiro, Oka Chiemi, Sakurai Junpei, Hirai Takami, Takahashi Tomonori, Tsuji Hiroyuki, Ohno Noriyasu, Hata Seiichi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 巻 ( SC )   2021年6月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.35848/1347-4065/abe683

    Web of Science

  4. Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding 査読有り 国際誌

    Morisaki Ryo, Hirai Yuuki, Oka Chiemi, Mizoshiri Mizue, Yamazaki Takahiro, Sakurai Junpei, Hirai Takami, Takahashi Tomonori, Tsuji Hiroyuki, Hata Seiichi

    PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY   62 巻   頁： 106 - 112   2020年3月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.precisioneng.2019.11.006

    Web of Science

  5. Fabrication of a Novel Nanoporous Film via Chemical Dealloying of a Cu-Cr Alloy for Sensing Moisture in Oil 査読有り 国際誌

    Yoshii Yusuke, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS   28 巻 ( 2 ) 頁： 279 - 289   2019年4月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JMEMS.2019.2895164

    Web of Science

  6. Combinatorial search for Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys 査読有り

    Inoue Shin, Yamazaki Takahiro, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Sakurai Junpei

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( 6 )   2022年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.35848/1347-4065/ac6a97

    Web of Science

  7. Effect of structural relaxation at bellow crystallization temperature on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys diaphragm for micro electromechanical systems sensors 査読有り

    Haga Fuyuki, Yamazaki Takahiro, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Hoshino Yuto, Sakurai Junpei

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( SD )   2022年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.35848/1347-4065/ac5d12

    Web of Science

  8. Stress-Driven Magnetic Barkhausen Noise Generation in FeCo Magnetostrictive Alloy 査読有り

    Yamazaki Takahiro, Furuya Yasubumi, Hata Seiichi, Nakao Wataru

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   58 巻 ( 1 )   2022年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/TMAG.2021.3126898

    Web of Science

  9. New Long Life Fast Atom Beam Source for Surface Activated Bonding 査読有り

    Morisaki R., Sakurai J., Oka C., Yamazaki T., Akao T., Takahashi T., Tsuji H., Ohno N., Hata S.

    2021 7TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)     頁： 8 - 8   2021年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/LTB-3D53950.2021.9598414

    Web of Science

  10. FABRICATION AND EVALUATION OF A NOVEL ACTUATOR FOR REACTION FORCE VARIABLE PASSIVE-TYPE TACTILE DISPLAYS 査読有り

    Murase Masanori, Nambara Keita, Yamazaki Takahiro, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Sakurai Junpei

    2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)     頁： 663 - 666   2021年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495608

    Web of Science

  11. Fabrication of textured substrates for dye-sensitized solar cells using polydimethylsiloxane nanoimprint lithography

    Yang Na, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Sakurai Junpei

    ADVANCED OPTICAL TECHNOLOGIES   8 巻 ( 6 ) 頁： 491 - 497   2019年12月

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  12. FABRICATION AND EVALUATION OF TACTILE PINS FOR PASSIVE TYPE TACTILE DISPLAYS USING HIGH FORMABILITY SHAPE MEMORY ALLOYS

    Nambara Keita, Iki Keiichirou, Oka Chiemi, Hata Seiichi, Sakurai Junpei

    2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)     頁： 1854 - 1857   2019年

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  13. Effect of Heat Accumulation on Femtosecond Laser Reductive Sintering of Mixed CuO/NiO Nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri Mizue, Nishitani Kenta, Hata Seiichi

    MICROMACHINES   9 巻 ( 6 )   2018年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.3390/mi9060264

    Web of Science

  14. Selective fabrication of p-type and n-type thermoelectric micropatterns by the reduction of CuO/NiO mixed nanoparticles using femtosecond laser pulses 査読有り

    Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING   124 巻 ( 1 )   2018年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s00339-017-1489-x

    Web of Science

  15. Fabrication of Novel Nanoporous Films in Moisture in-Oil Sensors via Chemical Dealloying of Cu-Cr using Combinatorial Search of Cu Cr Alloy Compositions 査読有り

    Yoshii Yusuke, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    MRS ADVANCES   3 巻 ( 4 ) 頁： 225-232   2018年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1557/adv.2018.198

    Web of Science

  16. FABRICATION OF FLEXIBLE THE OELECTRIC GENE A TORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING 査読有り

    Shimizu Y., Mizoshiri M., Mikami M., Ito Y., Sakurai J., Hata S.

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)     頁： 604-607   2018年

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    記述言語：英語  

    Web of Science

  17. FABRICATION OF A NOVEL NANOPOROUS FILM BY CHEMICAL DEALLOYING OF CU-CR AND ITS APPLICATION FOR A SENSOR 査読有り

    Yoshii Yusuke, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)     頁： 1104-1107   2018年

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    記述言語：英語  

    Web of Science

  18. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

    Nakagawa Yuki, Yamada Kyohei, Mizoshiri Mizue, Oka Chiemi, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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  19. Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu2O nanospheres

    Kondo Yukinari, Mizoshiri Mizue, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    LASER-BASED MICRO- AND NANOPROCESSING XII   10520 巻   2018年

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  20. Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass

    Uejima S., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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  21. FABRICATION OF COPPER/COPPER-NICKEL THIN-FILM THERMOELECTRIC GENERATORS WITH ENERGY STORAGE DEVICES

    Shimizu Y., Mizoshiri M., Mikami M., Sakurai J., Hata S.

    17TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2017)   1052 巻   2018年

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  22. Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles

    Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    LASER-BASED MICRO- AND NANOPROCESSING XII   10520 巻   2018年

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  23. Fabrication of thin-film thermoelectric generators with ball lenses for conversion of near-infrared solar light 査読有り

    Ito Yoshitaka, Mizoshiri Mizue, Mikami Masashi, Kondo Tasuku, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 6 )   2017年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.7567/JJAP.56.06GN06

    Web of Science

  24. Ni-based composite microstructures fabricated by femtosecond laser reductive sintering of NiO/Cr mixed nanoparticles 査読有り

    Tamura Kenki, Mizoshiri Mizue, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 6 )   2017年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.7567/JJAP.56.06GN08

    Web of Science

  25. Direct writing of three-dimensional Cu-based thermal flow sensors using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Arakane S., Mizoshiri M., Sakurai J., Hata S.

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING   27 巻 ( 5 )   2017年5月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa6820

    Web of Science

  26. Three-dimensional Cu microfabrication using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Applied Physics Express   10 巻   頁： 017201   2017年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    Three-dimensional Cu microstructures were formed using a combined process of dispensing coating and femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles. Layer-by-layer lamination of two-dimensional Cu micropatterns was performed by alternately coating with a CuO nanoparticle solution and using direct laser writing, followed by the removal of nonirradiated CuO nanoparticles. The resistance of the 3D microstructures decreased as the number of layers increased, indicating that each layer was electrically connected to the others. We also demonstrated the fabrication of a microbridge heater composed of electrode pads and a microbridge, and found that its heating characteristics are suitable for use in microsensors, such as thermal-type flow sensors.

    DOI： 1882-0786/10/1/017201

  27. Three-dimensional Cu microfabrication using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Arakane Shun, Mizoshiri Mizue, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   10 巻 ( 1 )   2017年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.7567/APEX.10.017201

    Web of Science

  28. Polymer-based blood vessel models with micro-temperature sensors in EVE 査読有り

    Mizoshiri Mizue, Ito Yasuaki, Hayakawa Takeshi, Maruyama Hisataka, Sakurai Junpei, Ikeda Seiichi, Arai Fumihito, Hata Seiichi

    NANOSENSORS, BIOSENSORS, INFO-TECH SENSORS AND 3D SYSTEMS 2017   10167 巻   2017年

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    記述言語：英語  

    DOI： 10.1117/12.2265050

    Web of Science

  29. Direct-writing of copper-based micropatterns on polymer substrates using femtosecond laser reduction of copper (II) oxide nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri Mizue, Ito Yasuaki, Sakurai Junpei, Hata Seiichi

    NANOSENSORS, BIOSENSORS, INFO-TECH SENSORS AND 3D SYSTEMS 2017   10167 巻   2017年

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    記述言語：英語  

    DOI： 10.1117/12.2261398

    Web of Science

  30. MICRO FOLDING STRUCTURE USING TI-NI-ZR HIGH FORMABLE SHAPE MEMORY ALLOYS

    Watanabe H., Mizoshiri M., Hata S., Sakurai J.

    2017 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2017年

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  31. Effect of different solvents on Cu micropatterns formed via femtosecond laser reduction patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    International Journal of Automation Technology   10 巻   頁： 934-940   2016年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    We investigated the effect of different solvents on the Cu micropatterns formed via femtosecond laser reduction patterning. Solvents such as ethylene glycol, 2-propanol, and glycerol were mixed with CuO nanoparticles and polyvinylpyrrolidone. The degree of reduction and the resistivity of the fabricated micropatterns depended on the solvent. Glycerol was the most effective reducing agent. This solution was used to fabricate Cu/Cu2O composite micro-temperature sensors. Cu-rich electrodes and Cu2O-rich sensors were selectively formed by controlling the laser scanning speed at 5 mm/s and 0.5 mm/s, respectively, when the pulse energy was 0.53 nJ. The temperature sensor exhibited a negative temperature coefficient of the resistance, which was consistent with the value for Cu2O.

    DOI： 10.20965/ijat.2016.p0934

  32. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences   4 巻 ( 4 ) 頁： 47-54   2016年10月

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    記述言語：英語  

    DOI： 10.4172/2321-6212.1000155

  33. Fabrication of a Cr Nanoporous Thin Film via Sputter Deposition and Investigation of Its Applicability as a Water-oil Separation Electrode in a MEMS Moisture Sensor 査読有り

    Yusuke Yoshii, Yuuki Fukagawa, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   137 巻 ( 1 ) 頁： 15-22   2016年10月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.15

  34. Fabrication of CuO-based anti-reflection structures using self-arranged submicron SiO2 spheres for thermoelectric solar generation 査読有り

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 6S1 )   2016年5月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 1347-4065/55/6S1/06GP07

  35. Direct fabrication of Cu/Cu2O composite micro-temperature sensor using femtosecond laser reduction patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Shun Arakane Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻   頁： 06GP05   2016年5月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    Micro-temperature sensors, which composed of a Cu2O-rich sensing part and two Cu-rich electrodes, were directly fabricated by femtosecond
    laser reduction patterning of CuO nanoparticles. Patterning of the microstructures was performed by laser scanning with pitches of 5, 10, and
    15 µm. Cu2O-rich micropatterns were formed at the laser scan speed of 1 mm/s, the pitch of 5 µm, and the pulse energy of 0.54 nJ. Cu-rich
    micropatterns that had high generation selectivity of Cu against Cu2O were fabricated at the laser scan speed of 15 mm/s, the pitch of 5 µm, and
    the pulse energy of 0.45 nJ. Electrical resistivities of the Cu2O- and Cu-rich micropatterns were approximately 10 Ω m and 9 µΩ m, respectively. The
    temperature coefficient of the resistance of the micro-temperature sensor fabricated under these laser irradiation conditions was %5.5 ' 10%3/°C.
    This resistance property with a negative value was consistent with that of semiconductor Cu2O. © 2016 The Japan Society of Applied Physics

    DOI： 1347-4065/55/6S1/06GP05

  36. 金属酸化物ナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法

    溝尻瑞枝，秦誠一

    OPTRONICS   35 巻 ( 413 ) 頁： 145-151   2016年5月

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    記述言語：日本語  

  37. 6. 機械材料・材料加工(<小特集>技術ロードマップから見る2030年の社会) 招待有り 査読有り

    秦 誠一, 大塚 年久, 古川 英光, 中尾 航

    日本機械学会誌   119 巻 ( 1170 ) 頁： 300 - 302   2016年

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    担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmemag.119.1170_300

    CiNii Research

  38. 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,<特集>機械工学年鑑) 招待有り

    秦 誠一

    日本機械学会誌   118 巻 ( 1161 ) 頁： 468   2015年

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    担当区分：筆頭著者,　最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmemag.118.1161_468_2

    CiNii Research

  39. Lift-off patterning of thermoelectric thick films deposited by a thermally assisted sputtering method 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, and Seiichi Hata

    Applied Physics Express   7 巻   頁： 057101   2014年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    We have demonstrated a patterning process for the fabrication of thermoelectric thick-film modules by a thermally assisted sputtering method
    (TASM) and a lift-off technique. Given the experimental requirements of TASM, poly(dimethylsiloxane) (PDMS) was used as the heat-resistant
    masks in the lift-off technique. After the film deposition, the PDMS lift-off mask was removed from the substrate. This process enables the
    fabrication of 30-µm-thick and 300-µm-wide Sb2Te3 and Bi2Te3 thick-film patterns. The increase in film thickness increased the power generated by
    the module, which was consistent with the theoretical value.

    DOI： 10.7567/APEX.7.057101

  40. Ni-Nb-Zr-Ti amorphous alloys for glass lens molding die materials 査読有り

    Jiang S., Abe M., Ando M., Aono Y., Sakurai J., Hata S.

    Journal of Microelectronic Engineering   116 巻   頁： 6-10   2014年3月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.mee.2013.11.008

  41. Thermoelectric thick film patterns formed by using thermally-assisted sputtering method and silicone lift-off masks 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Seiichi Hata

    Proceedings of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     頁： 100-106   2013年11月

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    記述言語：英語  

  42. Novel Combinatorial Method for Evaluation of Machinability for Glass Lens Mold Material 査読有り

    Shengxian Jiang, Junpei Sakurai, Yuko Aono and Seiichi Hata

    Proceedings of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     頁： 100-106   2013年11月

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    記述言語：英語  

  43. センサ用磁歪材料のコンビナトリアル探索 査読有り

    前谷卓也，中光　豊，桜井淳平，中川茂樹，秦　誠一

    電気学会論文誌E   133 巻 ( 8 ) 頁： 342-347   2013年8月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.133.342

  44. 薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法 査読有り

    青野祐子，川口龍太郎，桜井淳平，秦　誠一

    電気学会論文誌E   133 巻 ( 8 ) 頁： 348-353   2013年8月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.133.348

  45. PVDF Actuator for High-Frequency Fatigue Test of Thin-Film Metals 査読有り

    Nastaran Tamjidia, Kohei Sato, Junpei Sakurai, and Seiichi Hata

    IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING   8 巻 ( 2 ) 頁： 199-205   2013年1月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1002/tee.21840

  46. 研究室だより：名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻集積機械デバイス講座マイクロ・ナノプロセス工学グループ 招待有り

    秦 誠一

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   133 巻 ( 6 ) 頁： NL6_2 - NL6_2   2013年

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    担当区分：筆頭著者,　最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）   出版者・発行元：一般社団法人 電気学会  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.133.nl6_2

    CiNii Research

  47. 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,<特集>機械工学年鑑) 招待有り

    秦 誠一

    日本機械学会誌   116 巻 ( 1137 ) 頁： 534   2013年

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    担当区分：筆頭著者,　最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmemag.116.1137_534_2

    CiNii Research

  48. High-frequency fatigue test of sputtered metallic thin film using PVDF microactuator 査読有り

    Tamjidi N., Suzaki R., Sato K., Nakamitsu Y., Sakurai J., Hata S.

    IEICE Electronics Express   9 巻 ( 5 ) 頁： 403-409   2012年

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  49. Search for Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses exhibiting a shape memory effect after crystallization 査読有り

    Sakurai J., Hata S.

    Materials Science and Engineering: A   ( 541 ) 頁： 8–13   2012年

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  50. 電鋳Niパイプを用いた円筒形超音波リニアマイクロアクチュエータ 査読有り

    高垣輝多, 孫　東明, 汪　盛, 桜井淳平, 秦　誠一

    日本機械学会論文集C編   77 巻 ( 783 ) 頁： 4136-4143   2011年11月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  51. Searching for noble Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for optical glass device molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masahiro Ando, Yuko Aono and Seiichi Hata

    Precision Engineering   35 巻 ( 4 ) 頁： 537-546   2011年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  52. Novel Thermographic Method for Characterizing Transformation Temperatures of Thin Film Shape Memory Alloys Aimed at Combinatorial Approach 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   50 巻 ( 066601 ) 頁： 5   2011年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  53. CORROSION RESISTANCE CONSOLIDATION OF A DIAPHRAGM TYPE VACUUM SENSOR 査読有り

    H. Kozako, J. Sakurai, N. Mukai, Y. Ohnuma, T. Takahashii, and S. Hata

    Technical Digest of The 24th IEEE International Conference on MEMS     頁： 400-403   2011年1月

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    記述言語：英語  

  54. Driving mechanism, design, fabrication process and experiments of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Keebong Choi. Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEE Transactions on UFFC   58 巻 ( 1 ) 頁： 168-77   2011年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109

  55. Effect of sputtering method on characteristics of amorphous Ni-Nb-Zr alloys for glass lenses molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando, Yuko Aono, Shengxian Jiang, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata

    Journal Solid Mechanics and Materials Engineering   4 巻 ( 12 ) 頁： 1742-1753   2010年12月

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    担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299/jmmp.4.1742

  56. Combinatorial Technology on Searching for Novel Amorphous Alloys 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Y. Aono, N. Tamujidi, Y. Matsumoto and A. Shimokohbe

    The 6th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology     頁： CDROM   2010年10月

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    記述言語：英語  

  57. Temperature gradient heating system for high-throughput method for determining time-temperature-transformation diagram using thin film samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    The 6th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology     頁： CD-ROM   2010年10月

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    記述言語：英語  

  58. Combinatorial searching for Ni-Nb-Zr amorphous alloys as glass lens molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando and Seiichi Hata

    Key Eng. Mater.   447-448 巻   頁： 661-665   2010年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.4028

  59. Characteristics of Ti-Ni-Zr Thin Film Metallic Glasses Exhibiting a Shape Memory Effect after Crystallization 査読有り

    Junpei Sakurai, Yuko Aono, Yui Ishida and Seiichi Hata

    Technical Abstract of the 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing     頁： 78   2010年8月

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    記述言語：英語  

  60. High-throughput Evaluation of Crystallization Temperature of Pd-Cu-Si System Using Integrated Thin Film Samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    Technical Abstract of the 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, 90 (2010.8, Cairns, Australia)     頁： 90   2010年8月

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    記述言語：英語  

  61. Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Optical Glass Lenses Molding Materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamuchi, Mitsuhiro Abe, and Akira Shimokohbe

    Precision Engineering   34 巻 ( 3 ) 頁： 431-439   2010年7月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  62. A piezo-driven compliant stage with double mechanical amplification mechanisms arranged in parallel 査読有り

    Kee-Bong Choi, Jae Jong Lee, Seiichi Hata

    Sensors and Actuators A   161 巻 ( 1-2 ) 頁： 173-181   2010年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  63. High-throughput Evaluation of Crystallization Temperature of Pd-Cu-Si System Using Integrated Thin Film Samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    Materials Science Forum   654-656 巻   頁： 2426-2429   2010年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.4028

  64. Characteristics of Ti-Ni-Zr Thin Film Metallic Glasses Exhibiting Shape Memory Effect After Crystallization 査読有り

    Junpei Sakurai, Yuko Aono, Yui Ishida and Seiichi Hata

    Materials Science Forum   654-656 巻   頁： 1066-1069   2010年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.4028

  65. Evaluation of the validity of crystallization temperature measurements using thermograpy with different sample configurations 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata

    Jpn. J. Appl. Phys   49 巻 ( 7 ) 頁： 076601-076601-7   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  66. A piezoelectric linear ultrasonic motor with the structure of circular cylindrical stator and slider 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, J. Sakurai, K. B. Choi, A. Shimokohbe, S. Hata

    Smart Mater. Struct.   19 巻 ( 4 ) 頁： 045008   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1088/0964-1726/19/4/045008

  67. Axial vibration characteristics of a cylindrical 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, A. Shimokohbe,

    radially polarized piezoelectric transducer with different electrode patterns, Ultrasonics   50 巻 ( 3 ) 頁： 403-410   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  68. Theoretical and experimental investigation of the traveling wave propagation on a several-millimeter-long cylindrical pipe driven by piezoelectric ceramic tubes, 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe

    IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control   57 巻 ( 7 ) 頁： 1600-1611   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  69. ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索 査読有り

    秦　誠一，桜井淳平，阿部充博，安藤正将，青野祐子，下河邉明

    日本機械学会論文集(C編)   76 巻   頁： 682-684   2010年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  70. Effect of sputtering method on characteristics of amorphous Ni-Nb-Zr alloys for glass lenses molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando, Yuko Aono, Shengxian Jiang, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata,

    Journal Solid Mechanics and Materials Engineering   4 巻 ( 12 ) 頁： 1742-1753   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  71. High-Throughput Measurement Method for Time-Temperature-Transformation Diagram of Thin Film Amorphous Alloys 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata,

    Applied Physics Express   3 巻 ( 12 ) 頁： 125601-125601-3   2010年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  72. Development of high-performance vacuum sensor using joining method for thin film metallic glass 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Hiroshi Kozako, Yukiko Matsumoto, Akira Shimokohbe, Nobuyuki Mukai, Yoshinori Ohnuma, Tsutomu Takahashi, Yasunori Saotome, Hisamichi Kimura, Parmanand Sharma and Akihisa Inoue

    Proc. of ICCCI 2009     頁： CR-ROM   2009年9月

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    記述言語：英語  

  73. Fabrication of thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Sensor and Actuator A Physical   153 巻 ( 1 ) 頁： 120-126   2009年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  74. Novel Crystallization Temperature Measurement Method for Combinatorial Evaluation using Infrared Thermography 査読有り

    Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe

    Proc. of 2009 MRS Spring Meeting   ( 1159E ) 頁： G1-4 CD-ROM   2009年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  75. Vibration characteristics of a cylindrical shell with 25 µm thickness fabricated by the rotating sputtering system 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe,

    IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control   56 巻 ( 3 ) 頁： 622-630   2009年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  76. 単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアル蒸着法 査読有り

    秦　誠一，藤田敏充，桜井淳平，下河邉明

    材料   58 巻 ( 10 ) 頁： 821-826   2009年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.2472

  77. Laser Forming of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Masaaki OTSU, Yuki IDE, Junpei SAKURAI Seiichi HATA and Kazyaki TAKASHIMA

    Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering   3 巻 ( 2 ) 頁： 387-395   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  78. Characterization of the Pt-Hf-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Precise Optical Glass Lens Mold 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shinokohbe,

    J. Solid Mechanics and Mat. Eng   3 巻 ( 8 ) 頁： 1022-1032   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1299

  79. Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering,   86 巻 ( 4-6 ) 頁： 1262-1266   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  80. Characteristics of Cu-Zr Thin Film Metallic Glasses Fabricated by a Carousel-Type Sputtering System 査読有り

    Junpei SAKURAI, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys.   48 巻 ( 2 ) 頁： 025503   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143

  81. Measurement of Crystallization Temperature Using Thermography for Thin Film Amorphous Alloy Samples 査読有り

    Meiichi Hata, Yuko Aono, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Applied Physics Express   2 巻 ( 3 ) 頁： 036501   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143

  82. A traveling wave type of piezoelectric ultrasonic bidirectional linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Junpei Sakurai, Kee-Bong Choi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Applied Physics Express   2 巻 ( 4 ) 頁： 046503   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143

  83. Cylindrical ultrasonic linear microactuator based on quasi-traveling wave propagation on a thin film metallic glass pipe supported by a piezoelectric ceramic tube, Sensors and Actuators, 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe

    A: physical   156 巻 ( 2 ) 頁： 359-365   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  84. A cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008)     頁： CD-ROM   2008年10月

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    記述言語：英語  

  85. Search for Novel MEMS Materials using a Combinatorial Method 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Taiyo Ueshima, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008)     頁： CD-ROM   2008年10月

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    記述言語：英語  

  86. Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in 34th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2008)     頁： 117   2008年9月

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    記述言語：英語  

  87. Combinatorial evaluation of heat and oxidation resistances of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Mitsuhiro Abe, Yuko Aono and Akira Shimokohbe

    Processings of 5th International Conference on Combinatorial and High-Throughput Materials Science.     頁： 1035   2008年9月

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    記述言語：英語  

  88. New Measurement Method for Crystallization Temperature of Thin Film Amorphous Alloy 査読有り

    Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    JUNIOR EUROMAT 2008     頁： CD-ROM   2008年7月

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    記述言語：英語  

  89. A novel cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Wang Sheng, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology     頁： 456-459   2008年5月

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    記述言語：英語  

  90. Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    14. Masaaki Otsu, Yuki IDE, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima

    Proc. 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials     頁： 56   2008年5月

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    記述言語：英語  

  91. Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Masaaki Otsu, Yuki IDE, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima

    Proc. 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials     頁： 56   2008年5月

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    記述言語：英語  

  92. In situ analysis of the thermal behavior in the Zr-based multi-component metallic thin film by pulsed laser deposition combined with UHV-laser microscope system 査読有り

    Yuji Matsumoto, Miki Hiraoka, Masao Katayama, Seiichi Hata, Mikio Fukuhara, Takeshi Wada, Hisamichi Kimura and Akihisa Inoue

    Materials Science & Engineering B   148 巻 ( 1-3 ) 頁： 179-182   2008年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  93. Behavior of Joining Interface between Thin Film Metallic Glass and Silicon Nitride at Heating 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe,

    Materials Science & Engineering B   148 巻 ( 1-3 ) 頁： 149-153   2008年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  94. 積層型MEMS血球分析チップの開発 査読有り

    田邊力也， 秦 誠一， 下河邉 明，

    精密工学会誌   74 巻 ( 7 ) 頁： 746-751   2008年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  95. 新しいPt基アモルファス合金を用いたガラスレンズ成形用金型の試作 査読有り

    秦　誠一，桜井淳平，下河邉明

    日本機械学会論文集C編   74 巻 ( 3 ) 頁： 252-263   2008年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  96. ガラスレンズ成形金型用の新しいアモルファス合金のコンビナトリアル探索―結晶化開始温度，機械特性の評価― 査読有り

    山内隆介，秦　誠一，桜井淳平，下河邉明

    精密工学会誌   74 巻 ( 3 ) 頁： 252-263   2008年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  97. Search for Novel Amorphous Alloys with High Crystallization Temperature by Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Applied Surface Science,   254 巻 ( 3 ) 頁： 738-742   2007年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  98. Combinatorial Arc Plasma Deposition Search for Ru-based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Applied Surface Science   254 巻 ( 3 ) 頁： 720-724   2007年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016

  99. Combinatorial Searching for Nobel Metal-based Amorphous Alloy Thin Films for Glass Lens Mold 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A1.6     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  100. Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion 査読有り

    Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.8     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  101. Combinatorial Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Glass Lens Mold 査読有り

    M. Abe, S. Hata, R. Yamauchi, J. Sakurai and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.14     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  102. Combinatorial Searching for Nobel Metal-based Amorphous Alloy Thin Films for Glass Lens Mold 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A1.6     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  103. Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion 査読有り

    Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.8     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  104. Combinatorial Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Glass Lens Mold 査読有り

    M. Abe, S. Hata, R. Yamauchi, J. Sakurai and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.14     頁： CD-ROM   2007年11月

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    記述言語：英語  

  105. Characteristics of Thin Film Metallic Glasses for MEMS and Precise Part 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of Second TIT-BIT Joint Workshop on Mechanical Engineering     頁： CD-ROM   2007年8月

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    記述言語：英語  

  106. Characteristics of Thin Film Metallic Glasses for MEMS and Precise Part 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of Second TIT-BIT Joint Workshop on Mechanical Engineering     頁： CD-ROM   2007年8月

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    記述言語：英語  

  107. A Hemoglobin and Volum Measurement Sensor for Point of Care Testing Analyzer using MEMS Process 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   127 巻 ( 5 ) 頁： 267-271   2007年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541

  108. Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating 査読有り

    19. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Abstracts in1st International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC) and 2nd International Conference on Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (JTMC),     頁： 56   2007年5月

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    記述言語：英語  

  109. Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Abstracts in1st International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC) and 2nd International Conference on Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (JTMC     頁： 56   2007年5月

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    記述言語：英語  

  110. Searching for Novel Ru-Based Thin Film Metallic Glass by Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Jpn. J. Appl. Phys   46 巻 ( 4A ) 頁： 1590-1595   2007年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143

  111. A Disposable Concept Laminated MEMS Hematology Chip 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata, A. Shimokohbe

    Conference Proceedings of 7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology   ( 1 ) 頁： 45-48   2007年

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    記述言語：英語  

  112. A Disposable Concept Laminated MEMS Hematology Chip 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata, A. Shimokohbe

    Conference Proceedings of 7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology   ( 1 ) 頁： 45-48   2007年

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    記述言語：英語  

  113. Searching for Ru-based Amorphous Thin Film and Thin Film Metallic Glass with Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology, pp     頁： 41   2006年12月

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    記述言語：英語  

  114. The Search for Novel Amorphous Thin Films using Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁： pp63   2006年12月

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    記述言語：英語  

  115. Searching for Ru-based Amorphous Thin Film and Thin Film Metallic Glass with Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁： pp63   2006年12月

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    記述言語：英語  

  116. The Search for Novel Amorphous Thin Films using Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁： pp63   2006年12月

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    記述言語：英語  

  117. Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators 査読有り

    Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   126 巻 ( 9 ) 頁： 522-527   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  118. MEMS complete blood count sensors designed to reduce noises from electolysis gas 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering   83 巻 ( 4-9 ) 頁： 1646-1650   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  119. Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Films 査読有り

    Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys.   45 巻 ( 4A ) 頁： 2708-2713   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  120. Combinatorial Search for Low Resistivity PdCuSi Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Ryusuke YAMAUCHI, Seiichi HATA, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys   45 巻 ( 7 ) 頁： 5911-5919   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  121. A MEMS complete blood count sensor with vanes for reduction in influence of electrolysis gas 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   126 巻 ( 7 ) 頁： 297-301   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  122. Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  123. Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa and Akira Shimokohbe

    Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering (COBEM 2005)     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  124. Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses 査読有り

    Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  125. Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature 査読有り

    24. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  126. Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  127. Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁： CD-ROM   2005年11月

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    記述言語：英語  

  128. Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)     頁： pp12-13   2005年9月

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    記述言語：英語  

  129. A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata and A. Shimokohbe

    Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005)     頁： pp622-623   2005年9月

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    記述言語：英語  

  130. Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata, Takehiko Hayashi, and A. Shimokohbe

    Proc. IPACK2005     頁： CD-ROM, pp. IPACK2005-73145   2005年6月

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    記述言語：英語  

  131. Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005     頁： 479-482   2005年1月

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    記述言語：英語  

  132. A MEMS Conical Spring Actuator Array 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata, and A. Shimokohbe,

    IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems   14 巻 ( 2 ) 頁： 243-253   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  133. Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems II,     頁： 260-267   2004年12月

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    記述言語：英語  

  134. A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)     頁： 15-16   2004年6月

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    記述言語：英語  

  135. 2-DOF thin film metallic glass microactuator 査読有り

    S. Hata, H. W. JEONG and A. Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)     頁： 9-10   2004年6月

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    記述言語：英語  

  136. Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology,   5276 巻   頁： 240-248   2003年12月

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    記述言語：英語  

  137. Micro dome shape structures made of thin film metallic glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Jyunpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Micro System Technology 2003     頁： (MST '03), 180-187   2003年10月

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    記述言語：英語  

  138. Reduction of electrical resistivity in PdCuSi thin film metallic glass 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03)     頁： CD-ROM   2003年9月

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    記述言語：英語  

  139. On-Chip Variable Inductor Using Microelectromechanical Systems Technology 査読有り

    Yoshisato YOKOYAMA ,Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys   42 巻   頁： 2190-2192   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  140. Self-alignment of microparts using liquid surface tension - behavior of microparts and alignment characteristics 査読有り

    Kaiji Sato, Kentaro Ito, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Precision Engineering   27 巻   頁： 42-50   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  141. Microforming of Three-Dimensional Microstructures from Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Hee-Won Jeong, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems   12 巻 ( 1 ) 頁： 42-52   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  142. Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor 査読有り

    Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering   ( 67-68 ) 頁： 582-587   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  143. 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ 査読有り

    秦 誠一，加藤友和，福重孝志，下河邉 明

    精密工学会誌   69 巻 ( 3 ) 頁： 438-442   2003年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  144. Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Proceedings of CPT2002     頁： 162-167   2002年10月

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    記述言語：英語  

  145. Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass, 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Proceedings of CPT2002     頁： 162-167   2002年10月

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    記述言語：英語  

  146. Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor 査読有り

    Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002     頁： 210-211   2002年9月

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    記述言語：英語  

  147. Integrated Conical Soring Linear Actuator 査読有り

    Seiichi Hata, Tokokazu Kato, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002)     頁： 208-209   2002年9月

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    記述言語：英語  

  148. EMS Technology. Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials, 306-307 (2002.9. N 査読有り

    Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE

    Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE     頁： 306-307   2002年9月

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    記述言語：英語  

  149. Micro-Forming of Thin Film Metallic Glass by Local Laser Heating 査読有り

    Hee-Won JEONG, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002     頁： 372-375   2002年1月

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    記述言語：英語  

  150. A Micro Lens Actuator for Optical Flying Head 査読有り

    Seiichi HATA, Yutaka YAMADA, Junichi ICHIHARA and Akira SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002,     頁： 507-510   2002年1月

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    記述言語：英語  

  151. Three-Dimensional Micro-Forming Process of Thin Film Metallic Glass in the Supercooled Liquid Region 査読有り

    S. HATA, Y. LIU, T. KATO and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of 10th International Conference on Precision Engineering (ICPE)     頁： 37-41   2001年7月

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    記述言語：英語  

  152. Thin Film Metallic Glasses: Fabrication and Property Test. 査読有り

    Y. LIU, S. HATA, K. WADA and A. SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 14th IEEE International Conference on MEMS 2001     頁： 102-105   2001年1月

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    記述言語：英語  

  153. 薄膜金属ガラスの成膜と物性 査読有り

    秦　誠一，劉　永東，和田晃一，下河邉明

    精密工学会誌   67 巻 ( 10 ) 頁： 1708-1713   2001年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  154. 金属ガラスの精密・微細加工に関する基礎的研究（Zr基バルク金属ガラスの引張変形挙動） 査読有り

    秦　誠一，劉　永東，長峯靖之，下河邉明

    日本機械学会論文集Ｃ編   67 巻 ( 660 ) 頁： 313-318   2001年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  155. Thermal, Mechanical and Electrical Properties of Pd-based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    YONGDONG LIU, SEIICHI HATA, KOUICHI WADA and AKIRA SHIMOKOHBE

    J. Appl. Phys   40 巻   頁： 5382-5388   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  156. 超塑性複合加工によるマイクロ２段歯車の創製 査読有り

    早乙女康典，秦　誠一，坂口幸二

    塑性と加工   41 巻 ( 468 ) 頁： 49-53   2000年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  157. 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作－（第１報）薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形－ 査読有り

    秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 1 ) 頁： 96-101   2000年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  158. 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作－（第２報）薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作－ 査読有り

    秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 2 ) 頁： 287-291   2000年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  159. 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性 査読有り

    佐藤海二, 関　智紀, 秦　誠一, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 2 ) 頁： 282-286   2000年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  160. Self-alignment of Microparts Using Liquid Surface Tension - Examination of the Alignment Characteristics 査読有り

    K. SATO, K. ITO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of ASPE's 15th Annual Meeting     頁： 345-348   2000年

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    記述言語：英語  

  161. elf-alignment for Microparts Assembly using Water Surface Tension 査読有り

    K. SATO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99   3892 巻   頁： 321-328   1999年10月

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    記述言語：英語  

  162. Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator. 査読有り

    S. HATA, K. SATO and A. SHIMOKOHBE

    International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99   3892 巻   頁： 97-108   1999年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  163. 金属ガラスの精密・微細加工に関する研究（Ｚｒ基金属ガラスの過冷却液体域における成形性） 査読有り

    秦　誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久, 下河邉明

    日本機械学会論文集Ｃ編   65 巻 ( 633 ) 頁： 346-352   1999年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  164. Precision and Micro Machining of Metallic Glasses -Formability of Zr Based Metallic Glasses in the Supercooled Liquid State 査読有り

    S. HATA, N. YAMADA, Y. SAOTOME, A. INOUE and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of China-Japan Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering     頁： 81-86   1998年10月

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    記述言語：英語  

  165. 延性モード切削加工用の超精密変位台の開発 査読有り

    大塚二郎, 秦　誠一, 下河邉明, 越水重臣

    精密工学会誌   64 巻 ( 4 ) 頁： 546-551   1998年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  166. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences   4 巻 ( 4 ) 頁： 47-54   1016年10月

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    記述言語：英語  

    DOI： 10.4172/2321-6212.1000155

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書籍等出版物 4

  1. 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

    （監修）益　一哉、年吉　洋、町田　克之　（ 担当： 共著）

    シーエムシー出版  2012年11月  （ ISBN:978-4-7813-0586-8 ）

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    記述言語：日本語

    20世紀最大の発明は半導体デバイスと集積回路であろう。集積-integration-は単に組み合わせただけではなく、機能を産み出すことで工業的、産業的にインパクトを与えてきた。本書「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用」は、この分野の第一人者の方々の寄稿により上梓することになった。
    本書では異種機能集積化の重要性を強調しているが、微細化技術が必要ないとはいっていない。微細化高性能化技術開発なしに異種機能集積技術の未来は産業的には存在しないことを頭にたたき込んで欲しい。そうはいっても微細化技術の追求が研究、開発、製造、ビジネスのそれぞれのレベルで大きな困難を抱えていることは事実である。それを何とか克服するべく、単なる微細化だけでなく、単純なCMOS回路の組み合わせだけではなく、センサ、MEMS、エネルギーハーベスタ、通信機能などを集積回路と融合させることの期待が生まれてくる。
    本書は、種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術が述べられており、CMOS技術と融合することを想定すれば、研究としてもビジネスとしても想像できないような大きな可能性を拓くことにつながるであろう。

  2. 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

    監修)益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之（ 担当： 共著）

    シーエムシー出版  2012年11月  （ ISBN:9784781305868 ）

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    担当ページ：77-81   記述言語：日本語 著書種別：学術書

    20世紀最大の発明は半導体デバイスと集積回路であろう。集積-integration-は単に組み合わせただけではなく、機能を産み出すことで工業的、産業的にインパクトを与えてきた。本書「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用」は、この分野の第一人者の方々の寄稿により上梓することになった。
    本書では異種機能集積化の重要性を強調しているが、微細化技術が必要ないとはいっていない。微細化高性能化技術開発なしに異種機能集積技術の未来は産業的には存在しないことを頭にたたき込んで欲しい。そうはいっても微細化技術の追求が研究、開発、製造、ビジネスのそれぞれのレベルで大きな困難を抱えていることは事実である。それを何とか克服するべく、単なる微細化だけでなく、単純なCMOS回路の組み合わせだけではなく、センサ、MEMS、エネルギーハーベスタ、通信機能などを集積回路と融合させることの期待が生まれてくる。
    本書は、種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術が述べられており、CMOS技術と融合することを想定すれば、研究としてもビジネスとしても想像できないような大きな可能性を拓くことにつながるであろう。

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  3. これで使える機能性材料パーフェクトガイド

    大竹尚登他（ 担当： 共著）

    講談社  2012年 

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    記述言語：日本語

  4. 機械実用便覧（改訂第7版）

    日本機械学会編（ 担当： 単著）

    日本機械学会  2011年 

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    記述言語：日本語

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MISC 7

  1. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process 査読有り 国際誌

    Yuki Nakagawa, Kyohei Yamada, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata  

    MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2018年12月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（国際会議）   出版者・発行元：MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    © 2018 IEEE. In micro electromechanical systems(MEMS) technology, lift-off processes are general patterning methods for the formation of amorphous alloy thick film structures. However, thicknesses of structures fabricated in this method are not uniform and cross-sectional shapes are not flat because sputtered particles are blocked by the sidewalls of the lift-off layer. In order to solve this problem, a reverse lift-off process is proposed as a new patterning method [1]. In the reverse lift-off process, the desired structure is formed on the top of the convex pattern such as the substrate. In contrast to the lift-off process, the thickness of the structure is uniform and the cross-sectional shape is rectangular because sputtered particles are not blocked by the sidewalls. In this research, thick film structures were fabricated in reverse lift-off processes from the width of the convex pattern on the order of micrometers. And the film thickness and the cross-sectional shape of the fabricated structure are measured, and the micro processing characteristics of the reverse lift-off process, which had not yet been elucidated, were investigated. This demonstrates the usefulness of fabricating the thick film micro structures in the reverse lift-off process.

    DOI： 10.1109/MHS.2018.8886962

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  2. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製 査読有り

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2015 巻 ( 7 ) 頁： "28pm3 - F-7-1"-"28pm3-F-7-2"   2015年10月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    A thin-film thermoelectric generator with anti-reflection structures was fabricated to convert near-infrared solar light, which cannot be converted to electric energy by photovoltaic conversion, to electric energy. The anti-reflection structures were designed using Rigorous Coupled Wave Analysis, resulting that the anti-reflection structures which were formed by close-packed SiO_2 microspheres with 200 nm diameter and coated with CuO thin films estimated to be 6.7%. The anti-reflection structures were formed onto the SiO_2 glass substrate by dip coating method. When the SiO_2 microspheres were dispersed into deionized water and amphiphilic block copolymer F-127, the hexagonally close-packed microspheres were formed on the substrate by dip coating. Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (p-type) and Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (n-type) thin film elements were formed onto the glass substrate by lithography and sputtering method and serially connected by Cu thin films. After SiO_2 thin-film over-coating the thermoelectric elements, CuO-based anti-reflection structures were successfully formed onto the hot side of the generators.

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  3. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製 査読有り

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2015 巻 ( 7 ) 頁： "29pm1 - B-4-1"-"29pm1-B-4-2"   2015年10月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    Micro-temperature sensors consisting of Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were fabricated using femtosecond laser induced reduction of CuO nanoparticles. Cu_2O-rich and Cu-rich microstructures were selectively formed by controlling laser irradiation conditions. When the laser scanning pitch was 10 μm, Cu_2O-rich microstructures were formed under the condition that the laser scanning speed and pulse energy were 1 mm/s and 0.45 nJ, respectively. Cu-rich microstructures were fabricated by the scanning speed of 10 mm/s and the pulse energy of 0.28 nJ. The Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were formed using the evaluated conditions. The micro-temperature sensors composed of Cu_2O-rich and Cu-rich hybrid structures were successfully obtained.

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  4. 20am2-E2 酸化銅ナノ粒子還元を用いたフェムト秒レーザ直接描画プロセス

    溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2014 巻 ( 6 ) 頁： "20am2 - E2-1"-"20am2-E2-2"   2014年10月

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    担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    CuO nanoparticles were directly reduced to form Cu micropattems using femtosecond laser writing. CuO nanoparticles were dispersed into reductant agent and base polymers. When femtosecond laser pulses were focused and irradiated into the CuO nanoparticle based films on glass substrate, Cu micropattems were formed by reducing and sintering of CuO nanoparticles. X-ray diffraction spectra of the laser irradiated area shows Cu peaks although the Cup peaks were not observed in that of non-laser irradiated area. The width of the Cu micropattems was increased with decreasing laser pulse energy and scanning speed. Cu-rich patterns were obtained by laser irradiation with high laser scanning speed. The resistance of the line patterns were inversely proportional to the line width which indicated that the Cu micropattems have uniform electrical properties.

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  5. 21pm3-PM020 金属バッファ層を導入した熱電薄膜デバイスの発電特性 査読有り

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2014 巻 ( 6 ) 頁： "21pm3 - PM020-1"-"21pm3-PM020-2"   2014年10月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    The effect of Cr or Cu buffer layers on open-circuit voltage of thin-film thermoelectric generator was investigated. Thermoelectric thin films of Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (p-type) and Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (n-type) were deposited onto SiO_2 glass substrate using the Cr or Cu buffer layers. The buffer layer enabled to prevent the thermoelectric thin films from removing onto the substrate during the thin-film patterning process. X-ray diffraction patterns of the thermoelectric thin films were not affected by the underlying Cr or Cu buffer layers with 1 nm thickness. The open-circuit voltage of the thin-film thermoelectric devices with 1 nm-Cr buffer layers were approximately 50 mV higher than that of the devices with 1 nm-Cu buffer layers. This value is consistent with the estimated one by taking the current flow into the buffer layers.

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  6. 632 Ni-Nb-Ti 合金材料の切削性のコンビナトリアル探索

    姜 勝先, 桜井 淳平, 青野 裕子, 秦 誠一  

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集2013 巻 ( 21 ) 頁： "632 - 1"-"632-3"   2013年11月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    Abstract As mold material for glass lens with microstructures, it requires not only excellent mechanical properties, high thermal stability and oxidation resistance, but also satisfying machinability Using combinatorial arc plasma deposition, Ni-Nb-Ti thin film libraries were deposited for evaluations of some properties, such as, crystallization temperature, thermal stabilities, hardness, oxidation resistance and so on When Ni within 40-58 at %, Nb within 24-46 at %, Ti within 5-20 at %, the thin film exhibited excellent thermal stability However, for machinability, the conventional method can measure only one composition at each time which is both time-consuming and expensive Therefore, a novel combinatorial deposition and evaluation method for machinability are proposed In those methods, thin film samples with concentrically grading composition are sputter - deposited using combination targets The sample has grading compositions of which in the center Ti content is rich and becomes gradually decreasing from center to edge This means that each position on the surface of sample represents a particular composition Then this sample will be cut at different positions After that, cutting depth and the roughness of cutting surfaces will be measured It is clearly to see this new method is more efficient than conventional method, which is able to measure a lot of compositions' machinability at one time with one sample

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  7. 6AM2-A-7 ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の成膜とリフト・オフパターニング(6AM2-A マイクロナノプロセス技術I(センサシンポジウムとの合同セッション)) 査読有り

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 式田 光宏, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2013 巻 ( 5 ) 頁： 105 - 106   2013年11月

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    担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）   出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会  

    An increase of thermoelectric film thickness is important for thermoelectric film generators to convert thermal energy to electric energy with high efficiency. The aim of this study is to develop a patterning process of thermoelectric thick films. Thermoelectric thick films of Bi_2Te_3 materials were deposited by thermally-assisted sputtering method (TASM) and patterned using lift-off technique. The weight loss of polydimethylsiloxane (PDMS) was as small as 0.5% at 300℃ by thermogravimetry analysis. Therefore, PDMS was used as masks in the lift-off technique because the substrate temperature reached approximately 300℃ in TASM. The PDMS lift-off masks with 100 urn height were formed on the substrates using thick photoresist patterns as molds. After depositing the thick films, PDMS lift-off masks were removed from the substrates in acetone. Bi_2Te_3 thick film patterns with 300 μm width and 30 μm thickness were obtained. This patterning process can be applied to fabricate thermoelectric thick film generators.

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講演・口頭発表等 46

  1. Combinatorial search of new Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys 国際会議

    Shin Inoue, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Seiichi Hata and Junpei Sakurai

    32nd 2021 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2021)  2022年12月7日  IEEE

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    開催年月日： 2022年12月

    記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

    開催地：Nagoya  

  2. Effect of tactile pin height on driving characteristics using high formable shape-memory alloy for reaction force variable tactile displays 国際会議

    (4) Masanori Murase, Keita Nambara, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    International Conference on Materials & Processing 2022 (ICM&P 2022)  2022年11月7日  JSME

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    開催年月日： 2022年11月

    記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

    開催地：Okinawa   国名：日本国  

  3. Al addition to Fe- based nanocrystalline soft materials for large magnetostriction 国際会議

    (5) Kohya Sano, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Takahiro Yamazaki, Seiichi Hata

    International Conference on Materials & Processing 2022 (ICM&P 2022)  2022年11月7日  JSME

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    開催年月日： 2022年11月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Okinawa   国名：日本国  

  4. Unidirectional pores using magnetic-nanoparticle-chain template

    Atsuki Kobayashi, Junpei Sakurai, Hosei Nagano, Seiichi Hata, Chiemi Oka

    11th International Conference on Fine Particle Magnetism (ICFPM2022)  2022年10月17日 

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    開催年月日： 2022年10月

    記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

    開催地：Yokohama  

  5. Combinatorial Search for Chlorine Evolution Electrode Catalyst using Bayesian optimization 国際会議

    Junpei Sakurai, Kimihiko Sugiura, Chiemi Oka, Seiichi Hata

    11th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2022)  2022年9月30日 

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    開催年月日： 2022年9月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Colorado   国名：アメリカ合衆国  

  6. Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    形状記憶合金協会 第11期定時総会  2021年3月12日  形状記憶合金協会

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    開催年月日： 2021年3月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  7. 新規医療用Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    生体医歯工学共同研究拠点 令和2年度成果報告会  2021年3月5日  生体医歯工学共同研究拠点

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    開催年月日： 2021年3月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  8. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた，反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製及び駆動評価

    南原 圭汰，伊木 啓一郎，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  9. 逆リフトオフ法を用いた MEMS ミラーデバイスの作製

    高瀬 駿，山田 恭平，中川 優希，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  10. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金のソフトアクチュエータへの基礎検討

    浅井 泰平，青山 椋佑，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  11. 二層構造を有した手術シミュレータ用血管モデルの作製

    山田 大地，堀 史門，山崎貴大，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

  12. 高効率長寿命FABガンの開発 招待有り

    秦　誠一

    接合界面創成技術委員会第29回研究会  2020年11月19日  接合界面創成技術委員会

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

    国名：日本国  

  13. Plasma analysis of the FAB source for the SAB process by PIC-MCC simulation 国際会議

    R. Morisaki, T. Hirai, T. Takahashi, H. Tsuji, N. Ohno, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference  2020年11月9日 

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

  14. 材料創製・加工技術で拓くマイクロ・ナノの世界 招待有り

    秦　誠一

    長野県精密加工技術研究会　令和２年度技術講演会  2020年11月2日  長野県精密加工技術研究会

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    開催年月日： 2020年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

    国名：日本国  

  15. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた，反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製

    南原 圭汰，伊木 啓一郎，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日： 2020年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  16. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの作製

    三輪 大貴，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日： 2020年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  17. プラズマ解析による表面活性化接合用FAB源の高性能化

    森崎 諒，平井 隆巳，高橋 知典，辻 裕之，大野 哲靖，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日： 2020年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  18. テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司，楊 娜，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日： 2020年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  19. 手術シミュレータ用3次元次元応力測定系の開発

    山田 大地，堀 史門，山崎貴大，岡智絵美，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日： 2020年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  20. 機能性薄膜のコンビナトリアル探索とセンサ応用 招待有り

    秦　誠一

    新化学技術推進協会 電子情報技術部会 ナノフォトニクスエレクトロニクス交流会　講演会  2020年2月25日  新化学技術推進協会 電子情報技術部会 ナノフォトニクスエレクトロニクス交流会

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    開催年月日： 2020年2月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  21. マルチスケール、マルチマテリアル3D造形技術とCOMSOLへの期待 招待有り

    秦　誠一

    COMSOL CONFERENCE 2016 

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    開催年月日： 2016年12月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：東京   国名：日本国  

  22. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上への温度センサ作製

    伊藤恭章，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一

    第2回日本機械学会イノベーション講演会 

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    開催年月日： 2016年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：早稲田大学   国名：日本国  

  23. Fabrication of Ni/Cr2O3 Composite Microstructures Using Femtosecond Laser Reductive Sintering of NiO/Cr Mixed Nanoparticles 国際会議

    Kenki Tamura,Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2016) 

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    開催年月日： 2016年11月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Kyoto   国名：日本国  

  24. フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製

    田村健紀，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 

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    開催年月日： 2016年10月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：平戸   国名：日本国  

  25. 新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工 招待有り

    秦　誠一，溝尻瑞枝，櫻井淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジム 

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    開催年月日： 2016年10月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：平戸   国名：日本国  

  26. リアルメカトロニクスを目指すマルチマテリアル・マルチスケール３Ｄ造形技術 招待有り 国際会議

    秦　誠一

    第65回高分子討論会 

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    開催年月日： 2016年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：神奈川   国名：日本国  

  27. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上へのCu微細構造形成

    伊藤恭章，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会 

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    開催年月日： 2016年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：九州大学   国名：日本国  

  28. フェムト秒レーザ還元直接描画法による3次元微細Cuパターンの積層造形

    荒金駿，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会 

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    開催年月日： 2016年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：九州大学   国名：日本国  

  29. Three-dimensional Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 国際会議

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications 

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    開催年月日： 2016年8月 - 2016年9月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Brasov   国名：ルーマニア  

  30. Femtosecond laser-induced reductive sintering to fabricate Ni-based alloy micropatterns 国際会議

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications 

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    開催年月日： 2016年8月 - 2016年9月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Brasov   国名：ルーマニア  

  31. イノベーションを如何に起こすか？～マルチマテリアル３D造形を例として～ 招待有り

    秦　誠一

    ナノ物質集積複合化技術研究会 

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    開催年月日： 2016年7月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：名古屋   国名：日本国  

  32. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属微細パターニングとその応用 招待有り

    溝尻瑞枝，秦　誠一

    （社）溶接学会第114回マイクロ接合研究委員会 

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    開催年月日： 2016年7月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：京都   国名：日本国  

  33. 金属酸化物ナノ微粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り

    溝尻瑞枝，秦　誠一

    展示会OPIE'16＆月刊オプトロニクス　連動特別講演会 

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    開催年月日： 2016年5月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：パシフィコ横浜   国名：日本国  

  34. Spray-coating of CuO nanoparticles for femtosecond laser reduction patterning on nonplanar substrates 国際会議

    Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016) 

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    開催年月日： 2016年5月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Yokohama   国名：日本国  

  35. Cu micropatterning on poly(dimethylsiloxane) using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016) 

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    開催年月日： 2016年5月

    記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：Yokohama   国名：日本国  

  36. 機械と電気の真の融合を目指した新しい微細加工技術

    秦　誠一

    第５回集積化MEMS技術研究ワークショップ  

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    開催年月日： 2014年7月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

    開催地：豊橋技術科学大学   国名：日本国  

  37. Fe-Ni-Cr系磁歪材料のコンビナトリアル探索とその磁歪特性評価

    前谷卓哉，中光豊，桜井淳平，中川茂樹，秦　誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会 

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    開催年月日： 2013年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：岡山大学   国名：日本国  

  38. マイクロアクチュータを使用した薄膜金属材料疲労試験

    YapJeng Hua，佐藤康平，Tamjidi Nastaran，桜井淳平，中光豊，秦　誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会 

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    開催年月日： 2013年9月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：岡山大学   国名：日本国  

  39. 金属ガラス厚膜微細構造体の新しい微細加工法

    秦　誠一

    粉体粉末冶金協会講演　平成２４年度秋季大会 

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    開催年月日： 2012年11月

    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    開催地：滋賀・立命館大学びわこ・くさつキャンパス　エポック立命２１   国名：日本国  

  40. 微細加工を応用したAI時代の材料探索 招待有り

    秦 誠一

    年次大会  2021年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

    DOI： 10.1299/jsmemecj.2021.k041-01

    CiNii Research

  41. 機械と電気の真の融合を目指した新しい微細加工技術 招待有り

    秦 誠一

    第５回集積化MEMS技術研究ワークショップ  2014年7月11日  応用物理学会集積化MEMS技術研究会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

    開催地：豊橋技術科学大学  

    researchmap

  42. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2015年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    DOI： 10.1299/jsmemnm.2015.7._28pm3-f-7

    CiNii Research

  43. 635 NFTS成謨を用いた油中水分センサ

    吉井 雄侑, 中光 豊, 向井 信幸, 溝口 尚志, 高橋 勉, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    DOI： 10.1299/jsmemp.2013.21._635-1_

    CiNii Research

  44. 634 太陽光の熱利用のための薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 式田 光宏, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    DOI： 10.1299/jsmemp.2013.21._634-1_

    CiNii Research

  45. 632 Ni-Nb-Ti 合金材料の切削性のコンビナトリアル探索

    姜 勝先, 桜井 淳平, 青野 裕子, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    DOI： 10.1299/jsmemp.2013.21._632-1_

    CiNii Research

  46. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2015年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

    DOI： 10.1299/jsmemnm.2015.7._29pm1-b-4

    CiNii Research

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共同研究・競争的資金等の研究課題 1

  1. イノベーションソサエティを活用した中部発革新的機器製造技術の研究開発

    2014年10月 - 現在

    SIP（戦略的イノベーション創造プログラム）／革新的設計生産技術 

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    資金種別：競争的資金

    金属とポリマー材料や特性の異なるポリマー材料を任意に積層できるリアルマルチ材料積層造形技術を用い、超リアル手術シミュレータ実体モデル製造技術の基礎研究開発を行う。また、複雑な骨折箇所を迅速的確に固定を可能とするTiの金型フリー板材成形技術による即時オーダメイド体内固定用プレート製造技術の基礎研究開発を行う。
    　加えて、開発する技術や製品の社会実装や、研究開発から生まれた新技術やその分野横断的技術の体系化・規格化・標準化を進めるシステムを日本機械学会に構築する。

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科研費 6

  1. 集積化ＭＥＭＳを用いた超ハイスループット材料評価技術

    2016年4月 - 2019年3月

    科学研究費補助金  基盤研究(B)

    秦　誠一

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    本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．本研究期間では，数ミリ角，厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを，ＭＥＭＳ技術を応用し同時または別個に加振すると共に，その振動状態をセンシングすることで，各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作する．これを用いて広角スキャナ用高弾性高疲労強度材料や，超小型トルクセンサ用高性能磁歪材料などイノベーションに資する新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証する．

  2. ソフトマテリアルを用いたパッド型ドラッグデリバリーシステム

    2014年4月 - 2016年3月

    科学研究費補助金 

    秦　誠一

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    担当区分：研究代表者 

    本研究では，日常動作によるランダムな外力を駆動力とし，温度応答性ゲルを用いたマイクロバルブにより送液量と，そのタイミングの制御を可能とする全く新しいドラックデリバリーシステム（以下，DDS）の構築を目的とする． 本DDSは，従来のDDSに比べ，以下のような特徴を有する．
    ①小型の絆創膏程度の大きさ，柔軟性を有し，低価格で使い捨て可能
    ②マイクロニードルを含む経皮吸収型DDS以上の投与時間，投与量とその制御性
    ③マイクロポンプ型DDS以上の小型，柔軟，極低消費電力

  3. ガラス成形金型用Ｐｔフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索とそのナノ加工

    2008年4月 - 2013年3月

    科学研究費補助金  若手研究(S)

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    担当区分：研究代表者 

  4. 高機能金型材料の創成とそのナノ加工

    2007年4月 - 2008年3月

    科学研究費補助金  基盤研究(B)

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    担当区分：研究代表者 

  5. コンビナトリアル技術を援用した薄膜金属ガラスの内部応力測定とその制御

    研究課題/研究課題番号：19H02040  2019年4月 - 2023年3月

    科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    秦 誠一, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 山崎 貴大

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    配分額：17420000円 （ 直接経費：13400000円 、 間接経費：4020000円 ）

    本研究では，ナノからマイクロメートルオーダの膜厚を有する薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し，それを制御可能か？を研究課題の核心をなす学術的「問い」として，以下の研究目的にて本研究を進める．
    １）薄膜金属ガラスの内部応力を体系的に調査するためのコンビナトリアル技術の確立
    ２）上記コンビナトリアル技術を用いて，膜厚10 nm～10 umのRu系およびTi系薄膜金属ガラスの成膜条件，アニール条件と内部応力の関係解明
    ３）実証とし薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲，精度±2 MPaにて自在に制御された直径400 nm～800 umのダイアフラム構造を製作
    1) 内部応力評価用薄膜ライブラリを用いたコンビナトリアル評価：内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件（加熱温度，加熱時間）と内部応力の関係を体系的，効率的に解明した．薄膜金属ガラス製ダイアフラム構造と，Siと薄膜金属ガラスのバイモルフカンチレバー構造からなる内部応力評価用薄膜ライブラリでは，十分な内部応力測定結果を得られないということが判明したので，Siばね構造と両持はり構造サンプルを直列に接続した新しい形態の内部応力評価用薄膜ライブラリを試作し，圧縮の内部応力の測定に成功した．
    2) 薄膜金属ガラスの構造解析による内部応力制御の原理解明：上記のように，内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて蓄積したRu系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件と内部応力のデータを元に，特徴的な条件で作製したサンプルを，X線回折法による動径分布関数解析，陽電子消滅法による自由体積測定により構造解析を秦，櫻井を中心に行った．これにより，薄膜金属ガラスの内部応力変化のメカニズムついての知見を得た．
    3) 内部応力制御されたダイアフラム構造の製作とその応用：以上の検討により，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲，精度±2 MPaにて自在に制御することを目標に試作を行った．直径400 nm～800 umのダイアフラム構造を製作し，マイクロフォンや圧力センサへ応用し本技術の実証を試みた．
    以上の研究成果および関連する研究成果は，２件の査読付き雑誌論文と，２件の招待講演を含む７件の学会発表にて公表した．
    本年度は，1) 内部応力評価用薄膜ライブラリを用いたコンビナトリアル評価：内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件（加熱温度，加熱時間）と内部応力の関係を体系的，効率的に解明した．薄膜金属ガラス製ダイアフラム構造と，Siと薄膜金属ガラスのバイモルフカンチレバー構造からなる内部応力評価用薄膜ライブラリでは，十分な内部応力測定結果を得られないということが判明したので，Siばね構造と両持はり構造サンプルを直列に接続した新しい形態の内部応力評価用薄膜ライブラリを試作し，圧縮の内部応力の測定に成功した．
    2) 薄膜金属ガラスの構造解析による内部応力制御の原理解明：上記のように，内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて蓄積したRu系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件と内部応力のデータを元に，特徴的な条件で作製したサンプルを，X線回折法による動径分布関数解析，陽電子消滅法による自由体積測定により構造解析を秦，櫻井を中心に行った．これにより，薄膜金属ガラスの内部応力変化のメカニズムついての知見を得た．
    3) 内部応力制御されたダイアフラム構造の製作とその応用：以上の検討により，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲，精度±2 MPaにて自在に制御することを目標に試作を行った．直径400 nm～800 umのダイアフラム構造を製作し，マイクロフォンや圧力センサへ応用し本技術の実証を試みた．
    以上の研究成果および関連する研究成果は，２件の査読付き雑誌論文と，２件の招待講演を含む７件の学会発表にて公表した．以上の結果から本年度の進捗状況を「（２）おおむね順調に進展している」と自己評価した．
    最終年度である2022年度も引き続き，1) 内部応力評価用薄膜ライブラリを用いたコンビナトリアル評価として，内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件（加熱温度，加熱時間）と内部応力の関係を体系的，効率的に解明する．さらに，Ni系の薄膜金属ガラスも検討する．内部応力評価用薄膜ライブラリとしては，Siばね構造と両持はり構造サンプルを直列に接続した新しい形態の内部応力評価用薄膜ライブラリを引き続き検討し，圧縮の内部応力だけでなく，引張りの内部応力も測定できるように改良を行い，合わせてさらなる測定精度と測定分解能の向上を図る．
    2) 薄膜金属ガラスの構造解析による内部応力制御の原理解明として，上記のように，内部応力評価用薄膜ライブラリを用いて蓄積したRu系およびTi系薄膜金属ガラスのAr圧と，アニール条件と内部応力のデータを元に，特徴的な条件で作製したサンプルを，X線回折法による動径分布関数解析，陽電子消滅法による自由体積測定により構造解析を秦，櫻井を中心に行う．これにより，薄膜金属ガラスの内部応力変化のメカニズムついての知見を得る．
    3) 内部応力制御されたダイアフラム構造の製作とその応用として，以上の検討により，Ru系およびTi系薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲，精度±2 MPaにて自在に制御可能とする．その知見を元に直径400 nm～800 umのダイアフラム構造を製作し，マイクロフォンや圧力センサへ応用し本技術を実証する．
    4) 研究の総括と今後の課題の整理として，これまでの研究の総括を行い，薄膜金属ガラスの応力制御を体系的にまとめた論文，データベーベースを発表する．さらに，研究中に新たに発見された課題について整理し，今後の課題とする．

  6. 集積化ＭＥＭＳを用いた超ハイスループット材料評価技術

    研究課題/研究課題番号：16H04300  2016年4月 - 2019年3月

    秦 誠一

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    担当区分：研究代表者 

    配分額：17420000円 （ 直接経費：13400000円 、 間接経費：4020000円 ）

    本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．
    具体的には，数ミリ角，厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを，ＭＥＭＳ技術を応用し同時または別個に加振すると共に，その振動状態をセンシングすることで，各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作した．これを用いて磁歪材料など新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証した．
    本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．具体的には，微小なサンプルを一つの基板上に集積して製作し，それを基板または外部に設けたセンサで評価することで，これまで逐次行われていた材料開発を，高処理能力（ハイスループット）評価する技術を開発した．本研究では，その具体例として磁歪材料などをハイスループット評価できる技術を開発，実証した．

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産業財産権 1

  1. 磁歪材料およびそれを用いた磁歪式デバイス

    中村 太一，秦 誠一，岡 智絵美，山崎 貴大

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    出願人：パナソニック株式会社

    出願番号：特願2020-76871(P2020-76871)  出願日：2020年4月

    公開番号：特開2021-172850(P2021-172850A)  公開日：2021年11月

    出願国：国内   取得国：国内

    【課題】大きい磁歪量を発現できる磁歪材料を提供する。
    【解決手段】磁歪材料は、次式（１）：
    Ｆｅ（１００－ｘ－ｙ）ＧａｘＳｍｙ （１）
    （式中、合金を構成するＦｅ原子、Ｇａ原子およびＳｍ原子の総数を基準として、xはＧａ含有率（ａｔ％）、yはＳｍ含有率（ａｔ％）であり、ｘおよびｙは、ｘ－ｙ直交座標系において、不等式：ｙ≦０．３３ｘ－０．６７、ｙ≧１．５ｘ－２４およびｙ≧０．２５ｘ＋７．５を満たす）
    で表されるＦｅＧａＳｍ合金から成る。

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担当経験のある科目 (本学) 24

  1. 基礎セミナー

    2022

  2. 材料科学第２

    2022

  3. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2B

    2022

  4. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2D

    2022

  5. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2E

    2022

  6. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2C

    2022

  7. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2A

    2022

  8. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習A

    2022

  9. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1C

    2022

  10. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1A

    2022

  11. 材料科学・加工学特論

    2022

  12. 設計製図第３

    2022

  13. 設計基礎論

    2022

  14. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習B

    2022

  15. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1D

    2022

  16. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1B

    2022

  17. 設計基礎論

    2020

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    機械構造物の製作に際して必要となる機械設計法について，その基礎的知識を習得する．機械設計の基本的概念および材料選択に必要とされる諸特性を理解することによって，要素設計における問題点を把握するとともに，設計に際して必要とされる解析手法を学ぶ．本講座は選択科目であるが，機械系学生にとっては準必須科目ともいえる重要な講義である．
    達成目標
    １．機械設計の基本概念を理解し，説明できる．
    ２．機械材料の諸特性を理解し，説明できる．
    ３．耐用期間に応じた要素設計ができる．
    ４．稼働条件に応じた寿命評価ができる．

  18. 設計製図第３

    2020

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    設計製図第１，第２，専門科目等で学んだ知識を応用し，与えられたテーマに対してグループに
    てシステム設計，機械（電気）設計，製作，評価の一連を経験し，ものづくりの基礎を確立する．

  19. 材料科学第２

    2020

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    工業的に広く用いられている金属材料の機械的特性の理解を深めるため，転位等の内部構造の観点から学ぶ．まず，金属材料の種々の強度特性を概観する．次に，このような強度特性を内部構造に基づいて理解し，さらに強化の機構を微視的観点から学習することを目的とする．

  20. 加工学第２

    2020

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    工業製品の製造には，素材と加工技術が必要となります．
    本講義では，材料加工の基本原理（材料学，固体力学，伝熱学）を学び，個々の加工技術と関連づけることで各種加工技術の理解を深めます．

  21. マイクロマシニング特論

    2015

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    マイクロマシニング技術の入門編を学ぶ．微細な機械的および電子的デバイスを実現するための方法論を理解し、それらを組合わせて簡単なデバイス製作法を設計できる．さらにこれによって実現可能になるマイクロ・ナノシステムの特質を理解する．

  22. 超精密工学

    2015

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    高度な機械システムに必要な高精度メカニズムを実現する手段としての，先端的加工技術を総合的に学ぶ．
    達成目標
    基礎力：
    精密測定，精密加工にかかわる基礎的知識を理解し，説明できる．
    応用力：
    基礎的知識を応用し，超精密測定・加工の原理やその装置を理解し，説明できる．
    創造力・総合力：
    基礎的知識，超精密測定・加工法を総合的に理解し，高精度メカニズムを説明できる．

  23. 材料加工学

    2015

    　詳細を見る

    材料加工技術は，あらゆる工業製品の実現にかかわっている．材料加工プロセスが材料の機械的特性と関係して如何に工業製品の生産に適用されているかを理解する．
    達成目標
    基礎力：
    材料の強度，特性，加工性にかかわる基礎的知識，物理的意味を理解し，説明できる．
    応用力：
    基礎的知識を応用し，工業製品を製作するための各種加工手段を理解し，説明できる．
    創造力・総合力:
    基礎的知識，各種加工手段を総合的に理解し，工業製品の加工プロセスをイメージできる．

  24. 計測基礎論

    2015

    　詳細を見る

    　計測は，科学と工学の基盤であり基礎である．
    教科書的理論のみならず現実の計測，データおよび信号処理において注意すべき点や， データ収集など，卒業研究などにおいて自ら実験を行う際に基礎となる内容を講義する．
    達成目標
    　基礎力：計測と測定，誤差と精度など用語を正しく理解し，使用できる．誤差論，データ処理，計測法，信号処理など計測に関する基礎的知識を理解し，説明できる．
    　応用力：基礎的知識を，実際の計測を行うために応用できる．
    　創造力・総合力：実際の測定を行うために適切なセンサ及び計測回路と，信号処理，データ処理を適切に選択することができる．

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社会貢献活動 3

  1. 第４次産業革命を支える マイクロ・ナノ機械

    役割：講師

    株式会社フロムページ  夢ナビライブ  2019年7月

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    対象： 高校生

    種別：講演会

    マイクロ・ナノ機械によって、世界はどう変わるのか？

    目に見えないほど小さい機械って何？
    　1970年代の初頭から始まった、オートメーション化による第3次産業革命に続き、現代は技術が社会や人体の内部に組み込まれる第4次産業革命の真っ只中と言われています。そこでは使っていることすら気づかないほど微小な機械「マイクロ・ナノ機械」が活躍します。
    　マイクロ（メートル）とは1mmの1000分の1の長さの単位で、ナノ（メートル）は、さらにその1000分の1の長さを示す単位です。現在では、マイクロは加工精度などで使われることが多く、ナノはLSI（大規模集積回路）で、回路の線幅でよく用いられている長さの単位です。原子の大きさはおおよそ0.1ナノです。

    すでにマイクロ・ナノ機械は使われている
    　例えば、あなたが普段使っているスマートフォンには、モーションセンサが組み込まれています。スマホ本体を縦や横にすると画面もそれに合わせてくれる技術にマイクロ・ナノ機械の技術が使われています。1日の歩数や心拍数、睡眠時間を測る活動計、GPSと連動するジャイロなども同様です。機械といっても、あまりに小さいため、材料を加工して部品を組み立ててといった従来の方法での加工は困難で、あらかじめ一体となるように作っているのです。

    そして魔法のような世界がやってくる！
    　現在、この分野で最も普及しているのはMEMS（微小電気機械システム）です。これは材料にシリコンを使い、半導体加工技術で回路と共に機械を作ろうという発想です。ただシリコンで作ることにも限界があり、アモルファス合金という、特殊な金属を応用できないかというアプローチも始まっています。
    　マイクロ・ナノ機械の時代は、すでに始まっています。空間に情報を投影しているかのように目に表示したり、腕や指を動かすだけで家電製品が操作できたりするなど、漫画や映画の世界だと思っていたことも、まもなく現実になろうとしているのです。

  2. 韮山高校出張講義

    役割：講師

    静岡県立韮山高等学校  2017年12月

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    対象： 高校生

    大学レクチャー

  3. 工学教育の質保証に関するフォーラム（JABEE 新人審査委員研修を兼ねて）

    役割：パネリスト

    日本機械学会  2016年度日本機械学会年次大会　市民フォーラム  九州大学伊都キャンパスセンターゾーン  2016年9月

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    対象： 教育関係者,　研究者,　社会人・一般,　学術団体,　行政機関

    種別：セミナー・ワークショップ

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学術貢献活動 2

  1. 日本機械学会2020年度年次大会実行副委員長

    役割：企画立案・運営等

    日本機械学会  2020年9月

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    種別：学会・研究会等 

  2. Publication Co-Chair, 31st 2020 IEEE International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 国際学術貢献

    役割：企画立案・運営等

    IEEE  2020年12月

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    種別：学会・研究会等 

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