2024/03/28 更新

写真a

ハタ セイイチ
秦 誠一
HATA Seiichi
所属
大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム 教授
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 機械・航空宇宙工学科
職名
教授
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位 1

  1. 博士(工学) ( 2002年2月   東京工業大学 ) 

研究キーワード 12

  1. コンビナトリアル技術

  2. マイクロ・ナノ加工

  3. 微細加工

  4. マイクロマシン

  5. MEMS

  6. 機械工学

  7. 微細加工

  8. 機械工学

  9. マイクロ・ナノ加工

  10. マイクロマシン

  11. コンビナトリアル技術

  12. MEMS

研究分野 4

  1. その他 / その他  / ハイスループット評価

  2. その他 / その他  / コンビナトリアル技術

  3. その他 / その他  / MEMSおよびMEMS材料

  4. ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 加工学、生産工学

現在の研究課題とSDGs 11

  1. コンビナトリアル蒸着装置の開発​

  2. 新しいMEMS用機能性薄膜金属材料の探索

  3. マテリアルズ・インフォマティクスによる材料探索​

  4. 新形高速原子ビーム源の開発​

  5. 逆リフトオフ法を用いた金属ベースMEMSの製作​

  6. 磁性粒子の自己配向を利用した多孔体作製プロセス

  7. 静電容量形広帯域・高耐食圧力センサの製作​

  8. 反力可変触覚ディスプレイの製作​

  9. 光弾性材料を用いた手術シミュレータの開発​

  10. ナノインプリントによる太陽電池用光学基板の作成​

  11. 磁性ナノ粒子の特性を活かしたマイクロデバイスの開発​

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経歴 8

  1. 豊田工業大学   非常勤講師(機械加工学担当)

    2017年9月 - 現在

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  2. 東京工業大学   精密工学研究所   兼任教員   客員教授

    2012年10月 - 2015年3月

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    国名:日本国

  3. 東京工業大学

    2012年10月 - 2015年3月

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  4. 東京工業大学   精密工学研究所   准教授

    2007年4月 - 2012年9月

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    国名:日本国

  5. 東京工業大学

    2007年4月 - 2012年9月

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  6. 東京工業大学   フロンティア研究センター   助教授

    2005年10月 - 2007年3月

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    国名:日本国

  7. 東京工業大学   精密工学研究所   助手

    1997年6月 - 2005年9月

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    国名:日本国

  8. オリンパス株式会社   研究員

    1994年4月 - 1997年5月

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    国名:日本国

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学歴 2

  1. 東京工業大学   総合理工学研究科   精密機械システム専攻

    - 1994年3月

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    国名: 日本国

  2. 群馬大学   工学部   機械システム工学科

    1988年4月 - 1992年3月

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    国名: 日本国

所属学協会 11

  1. 日本機械学会   フェロー

    2016年1月 - 現在

  2. 精密工学会東海支部   幹事

    2018年3月 - 2019年3月

  3. 精密工学会   会誌編集委員会委員

    2011年3月 - 2013年3月

  4. 電気学会   E部門役員会委員

  5. 応用物理学会

  6. IEEE

  7. 精密工学会

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  8. 日本機械学会

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  9. 応用物理学会

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  10. 電気学会

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  11. IEEE

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委員歴 27

  1. 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会   委員長  

    2022年4月 - 現在   

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    団体区分:学協会

  2. 日本機械学会 第96期機械材料・材料加工部門   部門長  

    2018年4月 - 2019年3月   

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    団体区分:学協会

  3. 日本機械学会 第96期機械材料・材料加工部門   部門長  

    2018年4月 - 2019年3月   

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    団体区分:学協会

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  4. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門   副部門長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

  5. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門 ICM&Pワーキング   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

  6. 日本機械学会 第95期マイクロ・ナノ工学部門 運営委員会   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

  7. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門 総務委員会   副委員長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

  8. 日本機械学会 第95期マイクロ・ナノ工学部門 運営委員会   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

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  9. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門 ICM&Pワーキング   委員  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

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  10. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門 総務委員会   副委員長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

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  11. 日本機械学会 第95期機械材料・材料加工部門   副部門長  

    2017年4月 - 2018年3月   

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    団体区分:学協会

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  12. 精密工学会東海支部   幹事  

    2017年3月 - 2018年3月   

  13. 精密工学会東海支部   幹事  

    2017年3月 - 2018年3月   

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  14. 電気学会 E部門編修委員会   副委員長  

    2012年4月 - 現在   

  15. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門技術委員会   委員長  

    2012年4月 - 現在   

  16. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第4技術委員会(国際交流関係)   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

  17. 電気学会 E部門編修委員会   副委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  18. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第4技術委員会(国際交流関係)   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  19. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門技術委員会   委員長  

    2012年4月 - 2013年3月   

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  20. 電気学会 E部門役員会   委員  

    2011年4月 - 現在   

  21. 精密工学会 会誌編集委員会   委員  

    2011年4月 - 現在   

  22. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学専門会議   副委員長  

    2011年4月 - 2012年3月   

  23. 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学専門会議   副委員長  

    2011年4月 - 2012年3月   

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  24. 電気学会 E部門役員会   委員  

    2011年4月 - 2012年3月   

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    団体区分:学協会

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  25. 精密工学会 会誌編集委員会   委員  

    2011年4月 - 2012年3月   

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  26. 日本機械学会 第88期機械材料・材料加工部門 第1技術委員会(年次大会担当)   委員長  

    2010年4月 - 2011年3月   

  27. 日本機械学会 産学連携センター技術ロードマップ委員会   委員  

    2007年6月 - 現在   

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受賞 10

  1. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門部門賞(功績賞)

    2020年9月   日本機械学会  

    秦 誠一

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

    日本機械学会機械材料・材料加工部門において,永年にわたり運営委員を務め,部門活動の活性化に努力し,第96期部門長として部門運営の中枢を担い部門の発展に貢献したことに対する受賞

  2. 教育優秀賞特別表彰

    2020年5月   豊田工業大学  

    秦 誠一

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    受賞国:日本国

    教育優秀賞を5年間のうち,3度受賞した者に対する特別表彰

  3. 2019年度教育優秀賞

    2020年5月   豊田工業大学  

    秦 誠一

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    受賞国:日本国

    創意・工夫をもって特色のある講義・実験・実習を行い、優れた教育を行った者に対してその業績を称え、さらなる発展を奨励する.

  4. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門部門賞(国際賞)

    2019年9月   日本機械学会  

    秦 誠一

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

    日本機械学会機械材料・材料加工部門において,ICM&P2014をはじめとした部門の国際会議開催並びに運営に貢献したことに対する受賞

  5. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門部門賞(業績賞)

    2010年8月   日本機械学会  

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    受賞国:日本国

    マイクロ・ナノ加工技術分野における先駆的な研究を推進し新しい研究分野を開拓すると共に産業界への応用にも主導的役割を果たしたことに対する受賞

  6. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門一般表彰(優秀講演論文部門)

    2009年9月   日本機械学会  

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    受賞国:日本国

  7. 平成18年度東工大挑戦的研究賞

    2006年12月   東京工業大学  

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    受賞国:日本国

  8. 平成16年度財団法人ファナックFAロボット財団論文賞(特別賞)

    2005年12月   財団法人ファナックFAロボット財団  

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    受賞国:日本国

  9. 平成15年度精密工学会論文賞

    2004年3月   精密工学会  

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    受賞国:日本国

  10. 平成13年度(第36回)日本塑性加工学会論文賞

    2001年2月   日本塑性加工学会  

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    受賞国:日本国

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論文 291

  1. Soft magnetostrictive materials: Enhanced magnetostriction of Fe‐based nanocrystalline alloys via Ga doping 査読有り

    Sano K., Yamazaki T., Morisaki R., Oka C., Sakurai J., Hata S.

    Scripta Materialia   242 巻   2024年3月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Scripta Materialia  

    Soft magnetostrictive materials, having a combination of high soft magnetic properties and substantial magnetostriction, are highly sought for a wide range of applications. Nonetheless, a trade‐off relationship exists between soft magnetic properties and magnetostriction in single‐phase crystalline alloys due to their inherent magnetocrystalline anisotropy. In this study, we introduce the soft magnetostrictive material based on conventional Fe‐based nanocrystalline soft magnetic alloys whose structure quenches magnetocrystalline anisotropy, infused with Ga. All the samples exhibited nanocrystallization behavior and solid‐solution α‐Fe(Ga) was precipitated as a nanocrystalline phase. The net magnetostriction increased with increasing Ga content, concurrently maintaining high magnetic sensitivity with or without Ga addition. As a consequence of this compatibility of properties, the Ga‐doped sample exhibited a magnetostriction susceptibility 1.77 times higher than that of the base alloy. The soft magnetostrictive materials proposed in this study are poised for potential deployment in vibration energy harvesters and strain sensors.

    DOI: 10.1016/j.scriptamat.2023.115956

    Scopus

    その他リンク: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1359646223006772

  2. One-dimensional assemblies of magnetic iron-oxide nanoparticles 査読有り

    Shiojima T., Sakurai J., Hata S., Oka C.

    Japanese Journal of Applied Physics   63 巻 ( 3 )   2024年3月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Although high-aspect-ratio iron-oxide nanoparticles (IONPs) are known to have higher heating efficiency than spherical and cubic IONPs and focused in cancer treatment areas, their synthesis methods require high temperatures, vacuum, reduction conditions, and substantial time. In this study, we proposed and established a facile manufacturing method for one-dimensional assemblies of IONPs, expected to increase heating efficiency similar to high-aspect-ratio IONPs. We investigated how the fabrication conditions affect the length of the assemblies and found that the average length of the one-dimensional assemblies increased with the extension of magnetic-field-application time. This result demonstrates that the length could be controlled by adjusting the duration of the magnetic field application.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ad26bd

    Scopus

  3. The Fabrication and Evaluation of a Capacitive Pressure Sensor Using Ru-Based Thin Film Metallic Glass with Structural Relaxation by Heat Treatment 査読有り

    Otsuka H., Ninoseki T., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    Sensors   23 巻 ( 23 )   2023年12月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Sensors  

    Microelectromechanical systems (MEMS)-based capacitive pressure sensors are conventionally fabricated from diaphragms made of Si, which has a high elastic modulus that limits the control of internal stress and constrains size reduction and low-pressure measurements. Ru-based thin-film metallic glass (TFMG) exhibits a low elastic modulus, and the internal stress can be controlled by heat treatment, so it may be a suitable diaphragm material for facilitating size reduction of the sensor without performance degradation. In this study, a Ru-based TFMG was used to realize a flattened diaphragm, and structural relaxation was achieved through annealing at 310 °C for 1 h in a vacuum. The diaphragm easily deformed, even under low differential pressure, when reduced in size. A diaphragm with a diameter of 1.7 mm was then applied to successfully fabricate a capacitive pressure sensor with a sensor size of 2.4 mm2. The sensor exhibited a linearity of ±3.70% full scale and a sensitivity of 0.09 fF/Pa in the differential pressure range of 0–500 Pa.

    DOI: 10.3390/s23239557

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    PubMed

    その他リンク: https://www.mdpi.com/1424-8220/23/23/9557

  4. Thick film MEMS process using reverse lift-off 査読有り

    Takase S., Yamada K., Nakagawa Y., Oka C., Sakurai J., Hata S.

    Microelectronic Engineering   281 巻   2023年9月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    The lift-off process is a microfabrication technique that has the capability of forming thin film structures. However, several issues, such as structural shape and burr formation, arise when applying this method to the formation of thick film structures. Thick film structures formed through the lift-off process exhibit a mountainous cross-sectional shape and non-uniform film thickness due to variations in the width of the structure. These challenges make it difficult to apply the method to MEMS. While the reverse lift-off process addresses some of the structural shape problems, its initial development using metal molds makes it challenging to directly apply to MEMS without modification. Therefore, this paper proposes an adaptation to the Si process and presents a method to reduce burrs. The microfabrication characteristics are evaluated by comparing the cross-sectional shapes of thick metallic glass structures formed through both the lift-off and reverse lift-off processes. The structures formed through the reverse lift-off process exhibit a rectangular cross-sectional shape, and the film thickness remains consistent regardless of the structure's width. However, burrs persist on the backside edge of the structure, which hinders its application to MEMS. This paper confirms that pre-etching the underlying Si substrate into an inverse tapered shape effectively reduces burrs. As an illustration of the improved reverse lift-off process applied to MEMS, MEMS mirror structures are fabricated, and their resonance frequency closely aligns with the design value.

    DOI: 10.1016/j.mee.2023.112081

    Scopus

    その他リンク: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931723001466

  5. 反力可変触覚ディスプレイ用アクチュエータの反力特性に及ぼす触知ピン形状の影響 査読有り

    村瀨 正憲, 南原 圭汰, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   143 巻 ( 8 ) 頁: 236 - 241   2023年8月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.143.236

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    CiNii Research

  6. Stress measurement based on magnetic Barkhausen noise for thin films 査読有り

    Kanna Omae, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Microelectronic Engineering   279 巻   2023年7月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    Non-destructive testing methods based on magnetic Barkhausen noise (MBN) are expected to be applied to thin films. Recently, MBN analysis using machine learning has been performed on bulk materials and used as an in-situ stress and material evaluation method. However, for thin films, it is difficult to measure due to the weak MBN signal intensity, and few examples of its use as a stress and material evaluation method have been reported. This study acquired and analyzed MBN of Fe–Co polycrystalline thin films under bending stress. After pre-processing the acquired MBNs, two representative machine learning algorithms were used to learn the relationship between MBN and stress. By quantitatively comparing the prediction accuracy of each machine learning method, the characteristics of the MBN-based stress evaluation method were discussed from two perspectives: the need for domain knowledge and its applicability to unknown data. This study provides insight into machine learning-assisted MBN analysis as a stress evaluation method for thin films. The extension of MBN-based stress evaluation methods to thin films could be applied to the non-destructive stress evaluation of micro- and nanostructures, where stress state is critical, and could improve process development efficiency.

    DOI: 10.1016/j.mee.2023.112057

    Web of Science

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    その他リンク: https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0167931723001223

  7. Effect of Textured Classes on Conversion Efficiency in Dye-Sensitized Solar Cells 査読有り

    7) Ryutaro Kimura, Yuji Nishiyasu, Chiemi Oka, Seiichi Hata, and Junpei Sakurai

    Nanomanufacturing   3 巻 ( 3 ) 頁: 315 - 325   2023年6月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.3390/nanomanufacturing3030020

    その他リンク: https://www.mdpi.com/2673-687X/3/3/20

  8. Unidirectional Pore Formation in Resins Using a Magnetic-Nanoparticle-Chain Template 査読有り

    Atsuki Kobayashi, Kohya Sano, Junpei Sakurai, Hosei Nagano, Seiichi Hata, Chiemi Oka

    IEEE Magnetics Letters   14 巻   2023年4月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE Magnetics Letters  

    We present a novel manufacturing technique for generating unidirectional pores in ultraviolet (UV)-curable resins using self-assembled magnetic nanoparticles (MNPs) with chain-like structures. The method utilizes two templation mechanisms for pore formation: the UV-masking effect of the MNP chains and the physical presence of MNP chains themselves. Fe3O4 nanoparticles and PAK-01 were used as the template and UV-curable resin, respectively. Unidirectional pores formed only when resin/MNP mixtures were cured under a strong externally applied magnetic field. Water absorption tests indicated that some of the unidirectional pores were through-hole-type pores. The pores were cylindrical with an ellipsoidal cross-section. When the UV irradiation angle theta) was 30 degrees, the long and short diameters of the pores were approximately 9 and 8 mu m, respectively, before MNP removal, and 12 and 8 mu m, respectively, after removal. After MNP removal, the ellipticity of the pores in the samples increased from 1.5 to 2.4 with the increase in theta because of the increased UV-masking effect of the MNP chains.

    DOI: 10.1109/LMAG.2023.3268851

    Web of Science

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  9. 第4回 機械材料・材料加工(技術ロードマップから見る2030年の社会) 査読有り

    秦 誠一, 古川 英光, 中尾 航, 宮下 幸雄

    日本機械学会誌   126 巻 ( 1253 ) 頁: 38 - 41   2023年4月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemag.126.1253_38

    CiNii Research

  10. Novel measurement method of internal stress in thin films using micro spring structure 査読有り

    TAKASE Shun, YAMAZAKI Takahiro, OKA Chiemi, SAKURAI Junpei, HATA Seiichi

    Mechanical Engineering Journal   10 巻 ( 4 ) 頁: 23-00074 - 23-00074   2023年

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Mechanical Engineers  

    <p>As the application areas of MEMS (microelectromechanical systems) expand, more advanced functions and performance are being demanded from MEMS. To meet these demands, materials with various functionalities such as mechanical strength and shape memory, which are difficult to achieve with Si-based materials alone, are being used in MEMS. When applying new materials to MEMS, it is essential to establish micromachining techniques and control internal stresses in the same way as for Si-based thin films. In this research, a method for measuring the internal stress of thin film structures formed by microfabrication technology was developed. The thin film structure sample to be measured is in the form of a beam with fixed ends. The uniaxial strain due to internal stress is measured using a micro spring, and the internal stress is calculated. A process for fabricating a device that realizes the novel measurement method was devised and the device was fabricated. The microfabrication technique used was a reverse lift-off process, which can form thin film structures with rectangular cross-sections and uniform film thickness. Thin film metallic glass, an amorphous alloy with higher strength and lower Young's modulus than Si-based materials, was used as the new material to be measured. Using the developed measurement method, the internal stress change of the thin film was measured as a function of annealing temperature. As a result, it was confirmed that the internal stress of the thin film changed from the compressive direction to the tensile direction with increasing annealing temperature. The internal stress values measured by the novel method were compared with those measured by Stoney's equation, and the two measurement methods were close, demonstrating the usefulness of the new measurement method.</p>

    DOI: 10.1299/mej.23-00074

    Web of Science

    CiNii Research

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  11. Combinatorial search for Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys 査読有り

    Inoue, S; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( 6 )   2022年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac6a97

    Web of Science

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  12. Effect of structural relaxation at bellow crystallization temperature on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys diaphragm for micro electromechanical systems sensors 査読有り

    Haga, F; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Hoshino, Y; Sakurai, J

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( SD )   2022年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    In this paper, the effect of structural relaxation at temperatures below crystallization on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloy (including thin film metallic glass: TFMG) diaphragms was investigated. We fabiricated the Ni-Nb-Zr diaphragm samples with four compositions. Before fabrication of diaphragm structure by etching, Ni-Nb-Zr thin films on Si substrate were annealed at a temperature below crystallization (473, 523, and 573 K) for structural relaxation. By performing bulge tests on annealed Ni-Nb-Zr diaphragms, we were able to determine their mechanical properties. As the result, Young’s modulus of all samples increased slightly with increasing annealing temperature because of the decrease of the free volumes during structural relaxation. Based on the results of internal stress, structural relaxation of all samples occurred below 473 K. Moreover, the effects of annealing temperature on internal stress differed by compositions. They were thought to be caused by the rate of structural relaxation.

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac5d12

    Web of Science

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  13. Stress-Driven Magnetic Barkhausen Noise Generation in FeCo Magnetostrictive Alloy 査読有り

    Yamazaki, T; Furuya, Y; Hata, S; Nakao, W

    IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS   58 巻 ( 1 )   2022年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE Transactions on Magnetics  

    Stress-driven magnetic Barkhausen noise (MBN) can be potentially used to develop a high-sensitivity dynamic force sensor. MBN is a compositional pulse due to the domain wall movement in ferromagnetic material induced by the external field. In this study, we provide an in-depth understanding of the responsiveness of MBN to external stress using ferromagnetic materials with a high magnetostriction constant ( $\lambda $ ). We demonstrate stress-driven MBN from strong textured Fe29Co71 alloy wires ( $\lambda _{\mathrm {s}} =117$ ppm)/epoxy resin composite via uniaxial compression testing by changing the stress rate level from 0.55 to 28 GPa/s under a static bias magnetic field of 55 mT. The relationship between the stress rate of the external force and root-mean-square (rms) value of MBN output voltages showed high sensitivity, i.e., $V_{\mathrm {rms}}= 0.00441 (d\sigma /dt)$ , and acceptable linearity that could be used to quantitatively evaluate the dynamic force. This stress-driven MBN generation mechanism could be based on the domain wall movement induced by the inverse magnetostrictive effect of FeCo alloys. We believe that this study will aid in the research focusing on the dynamic magnetostrictive mechanism and development of novel applications for high-sensitivity force sensors that have no batteries.

    DOI: 10.1109/TMAG.2021.3126898

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  14. Examination of Mechanical Properties and Photoelastic Properties of Gel Material for Blood Vesssel Mimics 査読有り 国際誌

    Yamada, D; Hori, S; Abe, S; Kumeno, Y; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    JOURNAL OF MEDICAL DEVICES-TRANSACTIONS OF THE ASME   15 巻 ( 3 )   2021年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Medical Devices, Transactions of the ASME  

    Catheter surgery is a minimally invasive treatment in which visual information is limited to a two-dimensional image generated by an X-ray camera. This results in the possibility that stress applied by the catheter onto a blood vessel wall damages the vessel. Doctors must therefore be skillful at catheter surgery. We proposed a catheter surgery simulator that visualizes the stress applied to the blood vessel wall using photoelasticity. The manufacture of this simulator requires creating blood vessel mimics that reproduce the physical properties of blood vessel tissue using photoelasticity. This study investigated the mechanical and photoelastic properties of gel materials and selected a gel composition suitable for making blood vessel mimics. The mechanical properties of polyvinyl alcohol (PVA) hydrogel changed in the range 70–335 kPa by changing the composition ratio, and double network (DN) gel changed in the range 0.13–1.06 MPa by changing the composition ratio. These gels could be adjusted by changing the material composition to provide Young’s moduli similar to that of blood vessels. The photoelastic properties of PVA hydrogel changed in the range 1.38–2.76 109/Pa by changing the composition ratio, and DN gel changed in the range 0.012–0.029 109/Pa by changing the composition ratio.

    DOI: 10.1115/1.4051516

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  15. 反力可変受動形触覚ディスプレイ用アクチュエータの作製と評価

    南原 圭汰, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 巻 ( 9 ) 頁: 304 - 309   2021年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    In this paper, we report on the fabrication and evaluation of actuator for reaction force variable passive-type tactile display using high formable Ti-Ni-Cu shape memory alloy. This actuator is driven by the superelastic effect and superior in force expression, responsiveness, and miniaturization compared to conventional tactile displays using shape memory alloys. This actuator was fabricated in a convex shape by utilizing a viscous flow of Ti-Ni-Cu metallic glass. After crystallization, the metallic glass was changed to the shape memory alloy. In this manner, we successfully acquired the desired convex cross structure with a height of 123 μm at the center of cross. Additionally, while pushing 100 μm, we successfully varied the reaction force ranged from 40 to 80 mN, necessary to deform the skin and electrical resistance linearly by controlling the temperature. From these results, we showed that the actuator of this study can be used as tactile display that can express desired hardness and softness by temperature control. We also showed the possibility that the temperature of each actuator can be controlled individually by electrical heating using the linear relationship between temperature and electrical resistance.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.304

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  16. Combinatorial synthesis of nanocrystalline FeSiBPCuC-Ni-(Nb,Mo) soft magnetic alloys with high corrosion resistance 査読有り 国際誌

    Yamazaki, T; Tomita, T; Uji, K; Kuwata, H; Sano, K; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS   563 巻   頁: 120808   2021年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Non-Crystalline Solids  

    Fe-based nanocrystalline FeSiBPCuC alloys (NANOMET®) with a combination of high magnetic flux density, high permeability, and low iron loss have attracted much attention for use in magnetic core devices such as small power supplies, motors, and transformers. However, further improvement of the corrosion resistance is still required because surface oxidation during the water atomization process inevitably deteriorates the magnetic properties of these alloys. Here, we use a combinatorial magnetron sputtering system to fabricate new (FeSiBPCuC)100−x−yNix(Nb,Mo)y (0 ≤ x ≤ 10, 0 ≤ y ≤ 2 at%) amorphous thin films with enhanced corrosion resistance. We found that the co-presence of Ni (2–4 at%) and Mo (1–2 at%) in the FeSiBPCuC amorphous thin films promoted a further improvement of the corrosion resistance. The magnetic coercivity of (FeSiBPCuC)95.5Ni4.0Nb0.5 and (FeSiBPCuC)97.0Ni2.0Mo1.0 thin films was deteriorated compared with that of a FeSiBPCuC ribbon.

    DOI: 10.1016/j.jnoncrysol.2021.120808

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  17. Particle-in-cell Monte Carlo collision simulation and experimental measurement of Ar plasma in a fast atom beam source for surface-activated bonding 査読有り 国際誌

    Morisaki, R; Yamazaki, T; Oka, C; Sakurai, J; Hirai, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Ohno, N; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 巻 ( SC )   2021年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Ar plasma in a fast atom beam (FAB) source with magnetic fields, which was previously developed [Precis. Eng. 62, 106 (2020)] to achieve high-performance surface activated bonding, was analyzed by particle-in-cell-Monte Carlo collision simulation and experimental measurements. Simulation in the proposed FAB source with magnetic fields shows that higher electron density accumulation occurs near the irradiation port by E × B drift, and the potential gradient near the irradiation port steepens, which results in an increase in Ar+ flux to the irradiation port. The variation in the plasma distribution due to the effect of the magnetic field contributes to an increase in the amount of Ar-FAB irradiation, which reduces erosion of the carbon electrodes and suppresses the formation of carbon agglomerates. These simulation results were verified experimentally with Langmuir probe measurements and FAB irradiation experiments with oxide layer removal. The analysis results explain why high performance is achieved with the proposed FAB source.

    DOI: 10.35848/1347-4065/abe683

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  18. FABRICATION AND EVALUATION OF A NOVEL ACTUATOR FOR REACTION FORCE VARIABLE PASSIVE-TYPE TACTILE DISPLAYS 査読有り

    Murase, M; Nambara, K; Yamazaki, T; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)     頁: 663 - 666   2021年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021  

    In this paper, we report the fabrication and evaluation of an actuator for reaction force variable passive-type tactile displays using a highly formable Ti-Ni-Cu shape-memory alloy. The actuator relies on the superelastic effect of SMAs and can influence the applied reaction force. We successfully fabricated the desired convex cross structure with a height of 123 m, varied the reaction force between 40 and 80 mN at a depth of 100 m, and controlled the electrical resistance linearly with temperature.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495608

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  19. New Long Life Fast Atom Beam Source for Surface Activated Bonding 査読有り

    Morisaki, R; Sakurai, J; Oka, C; Yamazaki, T; Akao, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Ohno, N; Hata, S

    2021 7TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON LOW TEMPERATURE BONDING FOR 3D INTEGRATION (LTB-3D)     頁: 8 - 8   2021年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2021  

    We clarify a mechanism for longer lifetime of the fast atom beam (FAB) source for surface activated bonding proposed in our previous study. The new FAB source achieves highly efficient FAB irradiation and suppression of generation of fine carbon (C) particles. In this study, the distribution of sputtering and deposition on the inner wall of the C electrodes have been evaluated by measuring the thickness of the electrodes before and after long-time use. In the new source, the C erosion area due to sputtering is localized near the irradiation port and the sputtered C is deposited on other electrode surface, whereas in the conventional one, the erosion occurs on all surfaces of C electrodes. The reduction of electrode erosion due to sputtering contributes significantly to the extension of the lifetime of the new FAB source.

    DOI: 10.1109/LTB-3D53950.2021.9598414

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  20. MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定

    高瀬 駿, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2021 巻 ( 0 ) 頁: J221-07   2021年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2021.j221-07

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  21. 微細加工を応用したAI時代の材料探索

    秦 誠一

    年次大会   2021 巻 ( 0 ) 頁: K041-01   2021年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2021.k041-01

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  22. Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding 査読有り 国際誌

    Morisaki, R; Hirai, Y; Oka, C; Mizoshiri, M; Yamazaki, T; Sakurai, J; Hirai, T; Takahashi, T; Tsuji, H; Hata, S

    PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY   62 巻   頁: 106 - 112   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Precision Engineering  

    © 2019 Elsevier Inc. Surface-activated bonding (SAB), also called room-temperature bonding, is used in three-dimensional integration technology for semiconductor devices. An Ar fast atom beam (FAB) is used for SAB. However, conventional FAB guns must be replaced after hundreds of minutes of irradiation because carbon abrasion powders are generated by Ar ions sputtering in the gun. Therefore, this study develops a novel FAB gun with improved lifetime. The proposed FAB gun applies magnetic fields to guide Ar ions to reduce sputtering in the gun and improve irradiation efficiency. The proposed FAB gun indicates the possibility of improving gun lifetime.

    DOI: 10.1016/j.precisioneng.2019.11.006

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  23. Fabrication of novel microvalves driven by heat from magnetic nanoparticles

    Miwa D., Sakurai J., Hata S., Oka C.

    JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020     2020年

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    出版者・発行元:JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020  

    The present paper proposes novel microvalves remotely controlled without electrical wiring on each valve. The proposed microvalves are controlled utilizing heat from magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. A procedure for fabrication of the microvalves was established. the fabricated microvalves operated on a hotplate.

    DOI: 10.1115/LEMP2020-8529

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  24. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金のソフトアクチュエータへの基礎検討

    浅井 泰平, 青山 椋佑, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 267   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.267

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  25. 手術シミュレータ用3次元応力測定系の開発

    山田 大地, 堀 史門, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J24111   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j24111

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  26. 二層構造を有した手術シミュレータ用血管モデルの作製

    山田 大地, 堀 史門, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 156   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.156

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  27. プラズマ解析による表面活性化接合用FAB源の高性能化

    森崎 諒, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 山崎 貴大, 平井 隆巳, 高橋 知典, 辻 裕之, 大野 哲靖, 秦 誠一

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J13105   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j13105

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  28. テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司, 楊 娜, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22207   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22207

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  29. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製及び駆動評価

    南原 圭汰, 伊木 啓一郎, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 266   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.266

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  30. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製

    南原 圭汰, 伊木 啓一郎, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22210   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22210

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  31. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの作製

    三輪 大貴, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 岡 智絵美

    年次大会   2020 巻 ( 0 ) 頁: J22204   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2020.j22204

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  32. 逆リフトオフ法を用いたMEMSミラーデバイスの作製

    高瀬 駿, 山田 恭平, 中川 優希, 山崎 貴大, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2020.28 巻 ( 0 ) 頁: 158   2020年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2020.28.158

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  33. Enhanced conversion efficiency in dye-sensitized solar cells using optical textured glass substrates

    Nishiyasu Y., Yang N., Oka C., Hata S., Sakurai J.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In this paper, we fabricated optical textured glass substrates by a polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography (NIL) on the front glass to enhance conversion efficiency of dye-sensitized solar cells (DSSCs). Two types of nano-texture (N-Tx) and micro-nano-double texture (D-Tx) were prepared. Finally, we fabricated DSSCs with textured glass. The used dye was red N719. The cell size was 6 mm square. As the results, the conversion efficiency of DSSCs with textured glasses increased by 26% for N-Tx and 19% for D-Tx compared to DSSC with flat glass.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249295

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  34. Novel dynamic force sensing system using magnetostrictive energy harvester

    Yamazaki T., Furuya Y., Nakao W., Hata S.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    Dynamic force sensors play a key role in emerging smart technologies that can measure various types of human motions. Magnetostrictive force sensors are the most promising, lightweight, and reliable sensing technologies; however, an in-depth understanding of the sensing mechanism is still lacking. In this study, we focus on magnetic Barkhausen noise (MBN), which is generated by the inverse magnetostriction effect upon impact loading. Further, the stress-induced MBN characteristics of Fe-Co alloy/epoxy composites were investigated using a cyclic compression test. By measuring and analyzing MBN signals in magnetostrictive/epoxy resin composites, it was revealed that the root mean square value of MBN increased linearly with the increase in the stress rate. Additionally, we observed that the MBN outbreaks were affected by the magnetostriction constant. The proposed MBN force sensor system is expected to achieve high sensitivity, wide measurement range, and downsizing.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249081

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  35. Microvalves Utilizing Heat Generation of Magnetic Nanoparticles

    Miwa D., Sakurai J., Hata S., Oka C.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    Most microvalves need electrical wiring on each one, and the need prevents further integration and miniaturization of microfluidic systems. Hence, we propose novel microvalves remotely controlled without the wiring on each valve. The proposed microvalves are driven by heat from magnetic nanoparticles in an alternating magnetic field. The nano-scale magnetic particles, which possess superparamagnetic behavior, generate heat in the alternating magnetic field. There is a theoretical formula for the heat generation. However, few reports are available on comparing experimental values of the heat generation with theoretical values. In this study, the experimental heating power was compared with the theoretical values, and the possibility of the proposed microvalves was verified.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249321

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  36. Photoelastic stress measurement in real-time for surgery simulator using gel materials

    Yamada D., Hori S., Oka C., Sakurai J., Hata S.

    MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     2019年12月

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    出版者・発行元:MHS 2019 - 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    In recent years, minimally invasive treatment aimed at reducing the physical and mental burden of patients as well as treating diseases has attracted attention. Catheter surgery is one of the minimally invasive treatments. This surgical technique can reduce invasion compared to incision and replacement with artificial vessels. Furthermore, it is known to be superior in terms of safety. On the other hand, in catheter surgery, visual information is limited to only a two-dimensional image by an X-ray camera. Therefore, there is a problem that stress is applied to the blood vessel wall and it is damaged, so doctors are required the skill of catheter surgery. This study is proposed a catheter surgery simulator that visualizes the stress applied to the blood vessel wall in realtime using photoelasticity. The blood vessel model used for the surgery simulator focused on PVA hydrogel. Previous experiments by our group have shown that PVA hydrogel can be applied to a surgical simulator. This study has developed an image processing program to measure stress in real-time. It has verified that the application to a surgery simulator is possible by this image processing program.

    DOI: 10.1109/MHS48134.2019.9249277

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  37. Fabrication of textured substrates for dye-sensitized solar cells using polydimethylsiloxane nanoimprint lithography

    Yang, N; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    ADVANCED OPTICAL TECHNOLOGIES   8 巻 ( 6 ) 頁: 491 - 497   2019年12月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Advanced Optical Technologies  

    © 2019 THOSS Media &amp; De Gruyter, Berlin/Boston. We proposed a fabrication of nanoimprinted textures on a front glass/transparent conductive oxide interface for dye-sensitized solar cells (DSSCs). These textures were fabricated through polydimethylsiloxane (PDMS) nanoimprint lithography on organosilsesquioxane solution. The texture structures were estimated via optical simulation. Master molds were anodic aluminum oxide templates with nano-texture (N-Tx) and micro-nano double texture (D-Tx). Meanwhile, replicate molds used a hard PDMS. Fluorine-doped tin oxide and titanium dioxide were deposited on textured glass substrates to generate electrodes for DSSCs. Unlike the DSSCs without texture, textured DSSCs realized 11.4% (N-Tx) and 10% (D-Tx) improvement in conversion efficiency.

    DOI: 10.1515/aot-2019-0010

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  38. 薄膜金属ガラスの大気中結晶化評価の基礎検討

    鬼頭 直希, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 林 裕美, 山崎 宏明, 秦 誠一

    精密工学会学術講演会講演論文集   2019A 巻 ( 0 ) 頁: 5 - 6   2019年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>本研究では,サンプルとして,ガラス基板上に長さ4 mm,幅1 mm,厚さ500 nmの薄膜金属ガラスPd<sub>77</sub>Cu<sub>7</sub>Si<sub>16</sub> at.%を10 mm間隔に成膜し,試作した温度傾斜加熱装置により,543 K以下,471 K以上の異なる温度で同時加熱試験を行った.この時の各温度での大気中における結晶化度の時間変化を,放射率変化としてサーモグラフィで捉えることに成功し,XRDにより結晶化度を測定した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019a.0_5

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  39. 表面活性化接合用新規高速原子ビームガン

    森崎 諒, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 平井 隆巳, 高橋 知典, 辻 裕之, 秦 誠一

    精密工学会学術講演会講演論文集   2019A 巻 ( 0 ) 頁: 687 - 688   2019年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会  

    <p>表面活性化接合は半導体分野における三次元積層技術として利用されている.しかし,表面活性化接合に用いられる高速原子ビームガンは,短時間の使用で内部が磨耗してしまう.そこで,高速原子ビームの高効率な照射により,接合回数に対する相対的な長寿命化を目指す新規高速原子ビームガンの開発を行った.また,新規高速原子ビームガンを用いて,その照射特性を評価し,更なる高性能化を目指した設計指針の確立を目指した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019a.0_687

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  40. Preparation of Nonspherical Monodisperse Polydimethylsiloxane Microparticles for Self-assembly Fabrication of Periodic Structures

    Mizoshiri M., Iijima Y., Hata S.

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 巻 ( 6 ) 頁: 132 - 136   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    Nonspherical monodisperse polydimethylsiloxane (PDMS) microparticles were fabricated by lithography and ultraviolet ozone (UVO) treatment for self-assembly of periodic structures. PDMS solution was poured into photoresist molds on glass substrates, whereupon it was cured at 80°C. After irradiating ultraviolet to the surface of the PDMS, remaining thin PDMS films on the molds were eliminated using ultrasonic waves. Attenuated-total-reflection Fourier-transform infrared spectra indicated that the surface of the UVO treated PDMS was changed to glass SiO2-like materials, resulting that the remaining thin PDMS films could be ultrasonically removed by fracture. The PDMS microparticles were separated from the substrates using ultrasonic waves, and microparticles of a desired shaped were formed. A suspension was prepared by mixing the PDMS microparticles in deionized water, and a droplet of the suspension was placed on a hydrophobic template substrate. The PDMS microparticles self-assembled on the substrate along the template walls, leading to PDMS microparticles being closely packed. Such PDMS microfabrication would be useful for microdevices.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.132

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  41. Fabrication of a Novel Nanoporous Film via Chemical Dealloying of a Cu-Cr Alloy for Sensing Moisture in Oil 査読有り 国際誌

    Yoshii, Y; Sakurai, J; Mizoshiri, M; Hata, S

    JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS   28 巻 ( 2 ) 頁: 279 - 289   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Microelectromechanical Systems  

    © 1992-2012 IEEE. Based on our prior combinatorial analysis aimed at materials discovery, Cu82Cr18 and Cu80Cr20 were selected in chemical dealloying experiments as candidates for incorporation in sensors for the first time. The Cu82Cr18 film was Cu-dealloyed, altering its composition to Cu25Cr75 after 7 min of dealloying. The dealloyed Cu82Cr18 film exhibited a Cr-based nanoporous structure with 20-40-nm-diameter pores, indicating that Cu was sufficiently dealloyed. In contrast, the Cu80Cr20 film could not be sufficiently Cu-dealloyed, which was consistent with the results of the combinatorial analysis; the original composition was changed to Cu46Cr54 after 7 min, and the pores were not visible. Sensors A and B were fabricated via chemical dealloying of Cu82Cr18 and Cu80Cr20, respectively, and they were evaluated with respect to a reference sensor in both air and oil. The measured hysteresis in the air was 7.4% full scale (FS) for sensor A, which was below the acceptable limit of 10.0% FS, whereas that for sensor B was 13.3% FS. Moreover, the 90% response time in oil was 8 min for sensor A and 10 min for sensor B, as compared to 12 min for the reference sensor; thus, the response time of sensor A was below the acceptable limit of 10 min. [2018-0242]

    DOI: 10.1109/JMEMS.2019.2895164

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  42. Draft Genome Sequence of Ralstonia sp. Strain SET104, Isolated from Root Nodules of Aeschynomene indica.

    Tanaka A, Suzuki T, Uesaka K, Hata S

    Microbiology resource announcements   8 巻 ( 2 )   2019年1月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1128/MRA.01441-18

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  43. FABRICATION AND EVALUATION OF TACTILE PINS FOR PASSIVE TYPE TACTILE DISPLAYS USING HIGH FORMABILITY SHAPE MEMORY ALLOYS

    Nambara, K; Iki, K; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)     頁: 1854 - 1857   2019年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII  

    © 2019 IEEE. We report on the fabrication and evaluation of tactile pins for passive-type tactile displays using high formable Ti-Ni-Cu shape memory alloy. These pins were fabricated by utilizing a viscous flow of Ti-Ni-Cu metallic glass. After crystallization, the material transformed to a shape memory alloy and was driven by the superelastic effect. In this manner, we successfully acquired the desired three-dimensional structure and measured a reaction force of 20 mN or larger, necessary to deform the skin. Additionally, we successfully varied the reaction force by controlling the temperature and demonstrated the potential application of these tactile pins.

    DOI: 10.1109/transducers.2019.8808618

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  44. 高成形性形状記憶合金の耐食性のコンビナトリアル評価

    千須和 要, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: 207   2019年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.207

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  45. 手術シミュレータ用リアルタイム光弾性3次元応力測定系の開発

    山田 大地, 堀 史門, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: P01   2019年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.p01

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  46. テクスチャ基板による色素増感太陽電池の変換効率の向上

    西保 裕司, 楊 娜, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2019.27 巻 ( 0 ) 頁: P04   2019年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2019.27.p04

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  47. 逆リフトオフ法を用いたMEMSミラー構造体の作製

    山田 恭平, 中川 優希, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 吉田 沙織, 清元 智文, 秦 誠一

    年次大会   2019 巻 ( 0 ) 頁: J22208P   2019年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2019.j22208p

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  48. Effect of Heat Accumulation on Femtosecond Laser Reductive Sintering of Mixed CuO/NiO Nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri, M; Nishitani, K; Hata, S

    MICROMACHINES   9 巻 ( 6 )   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Micromachines  

    Direct laser-writing techniques have attracted attention for their use in two- and three-dimensional printing technologies. In this article, we report on a micropatterning process that uses femtosecond laser reductive sintering of mixed CuO/NiO nanoparticles. The writing speed, laser fluence, and incident total energy were varied to investigate the influence of heat accumulation on the micropatterns formed by these materials. Heat accumulation and the thermal history of the laser irradiation process significantly affected the material composition and the thermoelectric properties of the fabricated micropatterns. Short laser irradiation durations and high laser fluences decrease the amount of metal oxide in the micropatterns. Selective fabrication of p-type and n-type thermoelectric micropatterns was demonstrated to be possible with control of the reduction and reoxidization reactions through the control of writing speed and total irradiation energy.

    DOI: 10.3390/mi9060264

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  49. Fabrication of a novel nanoporous film by chemical dealloying of CU-CR and its application for a sensor

    Yoshii Y., Sakurai J., Mizoshiri M., Hata S.

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)   2018-January 巻   頁: 1104 - 1107   2018年4月

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    出版者・発行元:Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  

    In this study, novel transparent nanoporous films exhibiting insulating properties were fabricated by a new chemical dealloying method of Cu-Cr with no requirement of high-temperature annealing. Furthermore, for the first time to the best of our knowledge, the fabricated nanoporous film was successfully applied as a nanoporous electrode film filter of a moisture-in-oil sensor: The fabricated moisture-in-oil sensor exhibited outstanding sensitivity and a low hysteresis of 7.4% FS in air, which was less than the desired value of 10.0% FS. Furthermore, the sensor exhibited a favorable 90% response time in oil, which was 8 min and well less than the desired value of 10 min.

    DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346753

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  50. Selective fabrication of p-type and n-type thermoelectric micropatterns by the reduction of CuO/NiO mixed nanoparticles using femtosecond laser pulses 査読有り

    Mizoshiri, M; Hata, S

    APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING   124 巻 ( 1 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Applied Physics A: Materials Science and Processing  

    p-type and n-type thermoelectric micropatterns were selectively fabricated via the reduction and reoxidation of CuO/NiO mixed nanoparticles using femtosecond laser pulses. The micropatterns were formed by raster scanning focused femtosecond laser pulses on a solution film containing CuO and NiO nanoparticles, ethylene glycol, and polyvinylpyrrolidone, followed by the removal of the non-irradiated nanoparticles. Cu–Ni was generated by reductive sintering of the CuO/NiO mixed nanoparticles at laser scanning speeds ranging from 5 to 20 mm/s and a laser fluence of 0.055 J/cm2. In contrast, intense peaks corresponding to Cu2O and NiO were observed in the X-ray diffraction spectrum of the micropattern formed at a scanning speed of 1 mm/s, indicating that Cu2O and NiO were generated via the reoxidation of the reduced metals. The Seebeck coefficients of the micropatterns formed at a fluence of 0.055 J/cm2 and scanning speeds of 5–20 mm/s were between − 32 and − 16 µV/K, whereas that of the micropattern formed at a fluence of 0.055 J/cm2 and scanning speed of 1 mm/s was ~ 250 µV/K. These results suggest that the Seebeck coefficient depends on the generated n-type Cu–Ni and p-type Cu2O and NiO phases. A thermoelectric couple was fabricated by selectively fabricating p-type and n-type thermoelectric elements. The thermoelectric couple exhibited a thermoelectric voltage of 0.25 mV/K when a temperature gradient was applied between its hot and cold sides. The generated voltage was nearly consistent with the estimated voltage based on the Seebeck coefficient. The developed process for selective fabrication is expected to be useful for the direct writing of thermoelectric-type sensors.

    DOI: 10.1007/s00339-017-1489-x

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  51. Fabrication of Novel Nanoporous Films in Moisture in-Oil Sensors via Chemical Dealloying of Cu-Cr using Combinatorial Search of Cu Cr Alloy Compositions 査読有り

    Yoshii Yusuke, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    MRS ADVANCES   3 巻 ( 4 ) 頁: 225-232   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1557/adv.2018.198

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  52. FABRICATION OF FLEXIBLE THE OELECTRIC GENE A TORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING 査読有り

    Shimizu, Y; Mizoshiri, M; Mikami, M; Ito, Y; Sakurai, J; Hata, S

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)     頁: 604 - 607   2018年

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    記述言語:英語  

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  53. FABRICATION OF A NOVEL NANOPOROUS FILM BY CHEMICAL DEALLOYING OF CU-CR AND ITS APPLICATION FOR A SENSOR 査読有り

    Yoshii, Y; Sakurai, J; Mizoshiri, M; Hata, S

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)     頁: 1104 - 1107   2018年

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    記述言語:英語  

    Web of Science

  54. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

    Nakagawa, Y; Yamada, K; Mizoshiri, M; Oka, C; Sakurai, J; Hata, S

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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  55. Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu<sub>2</sub>O nanospheres

    Kondo, Y; Mizoshiri, M; Sakurai, J; Hata, S

    LASER-BASED MICRO- AND NANOPROCESSING XII   10520 巻   2018年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering  

    © Copyright SPIE. Cu-based fine patterns were directly fabricated using femtosecond laser reduction of Cu2O nanospheres (NSs) via nonlinear optical absorption. Cu2O NS solution films, containing Cu2O NSs, polyvinylpyrrolidone (PVP), and 2-propanol, were prepared by spin-coating of the Cu2O NS solution on glass substrates or Cu-coated glass substrates. Finer line patterns were formed by scanning the focused femtosecond laser pulses. The absorption of the Cu2O NS solution film at wavelength of the femtosecond laser pulses, 780 nm, was low, whereas the intense absorption at wavelength of 390 nm was observed. Finer patterns were obtained on the Cu-coated glass substrates than on the glass substrates. The minimum line width of 0.6 μm was obtained on the Cu-sputtered film, which was smaller than the focal spot diameter of 1.3 μm. The heat accumulation is lower on the Cu-sputtered films due to their high thermal conductivity, resulting that the line width with the sub diffraction limit was achieved. The electrical conductivity of the patterns on the glass substrates was evaluated to be 4.1×106S/m at scanning speed of 200 μm/s and pulse energy of 0.312 nJ, which is close to that of bulk copper.

    DOI: 10.1117/12.2287686

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  56. Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass

    Uejima, S; Oka, C; Hata, S; Sakurai, J

    2018 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2018年

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  57. FABRICATION OF COPPER/COPPER-NICKEL THIN-FILM THERMOELECTRIC GENERATORS WITH ENERGY STORAGE DEVICES

    Shimizu Y., Mizoshiri M., Mikami M., Sakurai J., Hata S.

    17TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2017)   1052 巻   2018年

  58. Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri, M; Hata, S

    LASER-BASED MICRO- AND NANOPROCESSING XII   10520 巻   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering  

    2D and 3D metal microstructures are directly written using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nanoparticles. CuO nanoparticle solutions including CuO nanoparticles, a reductant agent, and a dispersant, were coated on glass substrates. Then, focused femtosecond laser pulses were irradiated onto the solution film to write the microstructures in air. Finally, non-irradiated CuO nanoparticles were removed. Cu-rich and Cu2O-rich microstructures were selectively fabricated by controlling the laser irradiation conditions. We demonstrated direct-writing of 2D and 3D Cu-based microstructures using femtosecond laser-induced reduction of CuO NPs. Using respective appropriate femtosecond laser conditions, 3D Cu-rich microstructures were obtained by a combined process of the dispensing coating and laser irradiation. The Cu-rich hot-film flow sensor which had microbridge structure, were successfully produced. This direct-writing technique is useful for fabricating various sensors on arbitral shaped substrates in air.

    DOI: 10.1117/12.2290166

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  59. CuOナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法

    溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    レーザー研究   46 巻 ( 5 ) 頁: 257   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 レーザー学会  

    DOI: 10.2184/lsj.46.5_257

    CiNii Research

  60. 集積化 MEMS デバイスを用いた磁歪材料のハイスループット評価

    橋本 英明, 前谷 卓哉, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 208   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.208

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  61. 新形高速原子ビームガンの開発

    森崎 諒, 平井 友喜, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 平井 隆巳, 高橋 知典, 辻 裕之, 秦 誠一

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J1110203   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j1110203

    CiNii Research

  62. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた Cu-Ni 系熱電微細パターンの描画

    西谷 健太, 秦 誠一, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 701   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.701

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  63. フェムト秒レーザ還元を用いたフレキシブル基板上へのCuメッシュ電極の直接描画

    溝尻 瑞枝, 伊藤 恭章, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: S0410103   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.s0410103

    CiNii Research

  64. ナノインプリントによる色素増感型太陽電池用光学基板の作製

    楊 娜, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220204   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220204

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  65. Ti-Ni系高成形性形状記憶合金の接合方法の検討

    青山 椋祐, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2018.26 巻 ( 0 ) 頁: 901   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2018.26.901

    CiNii Research

  66. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な管形状の製作

    青山 椋祐, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220202   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220202

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  67. 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な構造体の製作

    青山 椋祐, 渡邊 寛人, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 224   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.224

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  68. 高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの駆動部の基礎検討

    伊木 啓一郎, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 223   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.223

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  69. 高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの駆動部の作製方法の検討

    伊木 啓一郎, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220305   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220305

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  70. 高成形性形状記憶合金の生体適合性のコンビナトリアル評価法の確立

    千須和 要, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 703   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.703

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  71. 高成形性形状記憶合金のアノード分極特性のコンビナトリアル評価

    千須和 要, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220201   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220201

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  72. 磁歪材料ハイスループット評価用 MEMS 集積化ライブラリ製作

    小林 義典, 本川 侑季, 前谷 卓哉, 秦 誠一

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 225   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.225

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  73. 金属ガラス3D プリンタの基礎研究

    赤田 哲平, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 219   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.219

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  74. 逆リフトオフ法のマイクロ加工特性の基礎研究

    中川 優希, 山田 恭平, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 216   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.216

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  75. 薄膜金属ガラスダイアフラム構造体の応力制御の基礎的研究

    一色 隆司, 上嶋 祥平, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 221   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.221

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  76. 薄膜金属ガラスを用いた超小型静電容量型圧力センサの作製

    上嶋 祥平, 岡 智絵美, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220304   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220304

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  77. 薄膜金属ガラスを用いたマイクロダイアフラムの作製

    一色 隆司, 上嶋 祥平, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 林 育菁, 秦 誠一

    年次大会   2018 巻 ( 0 ) 頁: J2220303   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.j2220303

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  78. 色素増感型太陽電池の光学基板の作製

    楊 娜, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    東海支部総会講演会講演論文集   2018.67 巻 ( 0 ) 頁: 702   2018年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmetokai.2018.67.702

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  79. Fabrication of thin-film thermoelectric generators with ball lenses for conversion of near-infrared solar light 査読有り

    Ito, Y; Mizoshiri, M; Mikami, M; Kondo, T; Sakurai, J; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 6 )   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    We designed and fabricated thin-film thermoelectric generators (TEGs) with ball lenses, which separated visible light and near-infrared (NIR) solar light using a chromatic aberration. The transmitted visible light was used as daylight and the NIR light was used for thermoelectric generation. Solar light was estimated to be separated into the visible light and NIR light by a ray tracing method. 92.7% of the visible light was used as daylight and 9.9% of the NIR light was used for thermoelectric generation. Then, the temperature difference of the pn junctions of the TEG surface was 0.71 K, determined by heat conduction analysis using a finite element method. The thin-film TEGs were fabricated using lithography and deposition processes. When the solar light (A.M. 1.5) was irradiated to the TEGs, the open-circuit voltage and maximum power were 4.5V/m2 and 51μW/m2, respectively. These TEGs are expected to be used as an energy supply for Internet of Things sensors.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06GN06

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  80. Ni-based composite microstructures fabricated by femtosecond laser reductive sintering of NiO/Cr mixed nanoparticles 査読有り

    Tamura, K; Mizoshiri, M; Sakurai, J; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 6 )   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Ni-based composite micropatterns were fabricated by the femtosecond laser reductive sintering of NiO/Cr mixed nanoparticles. A NiO/Cr mixed nanoparticle solution including ethylene glycol and polyvinylpyrrolidone was irradiated with focused femtosecond laser pulses. The X-ray diffraction spectra of the fabricated micropatterns indicated that NiO nanoparticles were well reduced under atmospheric conditions in the laser scanning speed range of 5-15mm/s. In contrast, micropatterns including NiO were formed at a laser scanning speed of 1mm/s, indicating that the reduced Ni was reoxidized by overheating. These results were supported by those of energy-dispersive X-ray spectrometry analysis and the electrical resistivity of the micropatterns. The compositions such as Ni, NiO, Cr2O3, and Ni-Cr in the fabricated micropatterns depended on laser scanning speed. The selective fabrication of a ferromagnetic free microgear from the substrate and an axis fixed on the substrate was demonstrated by controlling the laser scanning speed. The fabrication process for Ni-based composite microstructures is useful for the fabrication of ferromagnetic microdevices.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06GN08

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  81. Direct writing of three-dimensional Cu-based thermal flow sensors using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Arakane, S; Mizoshiri, M; Sakurai, J; Hata, S

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING   27 巻 ( 5 )   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Journal of Micromechanics and Microengineering  

    We have demonstrated the fabrication of two types of thermal flow sensors with Cu-rich and Cu2O-rich microheaters using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles. The microheaters in the shape of microbridge structures were formed to thermally isolate from the substrates by four layer-by-layer laminations of two-dimensional micropatterns. First, we evaluated the patterning properties such as dispensing coating conditions and degree of reduction for the selective fabrication of three-dimensional Cu-rich and Cu2O-rich microstructures. Then, a hot-film flow sensor with a Cu-rich microheater and a calorimetric flow sensor with a Cu2O-rich microheater were fabricated using their respective appropriate laser irradiation conditions. The hot-film sensor with the Cu-rich microbridge single heater enabled us to measure the flow rate in a wide range of 0-450 cc min-1. Although a large temperature dependence of the Cu2O-rich microbridge heaters caused a large error for the hot-film flow sensors with single heaters, they showed higher heat-resistance and generated heat with a lower drive power. The temperature coefficient of resistance of the Cu2O-rich microstructures had a semiconductor-like large absolute value and was less than -4.6 × 10-8 °C-1. The higher temperature sensitivity of the Cu2O-rich microstructures was useful for thermal detection. Based on these advantages, a calorimetric flow sensor composed of the Cu2O-rich microbridge single heater and two Cu2O-rich thermal detectors was proposed and fabricated. The calorimetric flow sensor was driven by a circuit for measuring the temperature difference. The Cu2O-rich flow sensor could detect bi-directional flow with a small output error.

    DOI: 10.1088/1361-6439/aa6820

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  82. Three-dimensional Cu microfabrication using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Applied Physics Express   10 巻   頁: 017201   2017年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Three-dimensional Cu microstructures were formed using a combined process of dispensing coating and femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles. Layer-by-layer lamination of two-dimensional Cu micropatterns was performed by alternately coating with a CuO nanoparticle solution and using direct laser writing, followed by the removal of nonirradiated CuO nanoparticles. The resistance of the 3D microstructures decreased as the number of layers increased, indicating that each layer was electrically connected to the others. We also demonstrated the fabrication of a microbridge heater composed of electrode pads and a microbridge, and found that its heating characteristics are suitable for use in microsensors, such as thermal-type flow sensors.

    DOI: 1882-0786/10/1/017201

  83. Fabrication of combinatorial evaluation substrates for chlorine evolution electrode catalyst

    Takagi S., Miyamoto M., Mizoshiri M., Hata S., Sakurai J.

    2016 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2016     2017年1月

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    出版者・発行元:2016 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2016  

    In this study, we proposed and demonstrated combinatorial evaluation substrates, which were fabricated by micro electro mechanical systems (MEMS) process, for brine electrolysis. Proposed evaluation substrate has 9 electrode catalyst samples on the glass substrate. Ir-Ru/Ti and Ir-Ru-Ti/Ti electrode catalyst samples were prepared by a combinatorial co-sputtering system. We evaluated the maximum current density of polarization curves and the durability during brine electrolysis. In the case of binary Ir-Ru/Ti evaluation substrate (composition of Ru ranged from 35.1 to 58.8 at.%.), the maximum current density increased with increasing Ru-content. From these results, we confirmed the usability of proposed combinatorial evaluation substrate for the brine electrolysis. Finally, we evaluated the electrochemical characteristics of 9 Ir-Ru-Ti/Ti samples. Their electrochemical characteristics depend on alloy composition.

    DOI: 10.1109/MHS.2016.7824159

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  84. Three-dimensional Cu microfabrication using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Arakane, S; Mizoshiri, M; Sakurai, J; Hata, S

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   10 巻 ( 1 )   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Applied Physics Express  

    Three-dimensional Cu microstructures were formed using a combined process of dispensing coating and femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles. Layer-by-layer lamination of two-dimensional Cu micropatterns was performed by alternately coating with a CuO nanoparticle solution and using direct laser writing, followed by the removal of nonirradiated CuO nanoparticles. The resistance of the 3D microstructures decreased as the number of layers increased, indicating that each layer was electrically connected to the others. We also demonstrated the fabrication of a microbridge heater composed of electrode pads and a microbridge, and found that its heating characteristics are suitable for use in microsensors, such as thermal-type flow sensors.

    DOI: 10.7567/APEX.10.017201

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  85. Fabrication of a Cr nanoporous thin film via sputter deposition and investigation of its applicability as a water-oil separation electrode in a MEMS moisture sensor

    Yoshii Y., Fukagawa Y., Mizoshiri M., Sakurai J., Hata S.

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 巻 ( 1 ) 頁: 15 - 22   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    A moisture-in-oil sensor, with a sandwich structure of Cr nanoporous thin film/polyimide film/Au electrode, was fabricated using a lithographic process, sputter deposition, and chemical dealloying. One of the Cr nanoporous thin films used as a molecular filter was made using oblique incidence film formation and sputter deposition at 2.5 Pa of argon and a 60 degree attaching angle. The fabricated Cr nanoporous thin film consisted of 30-50 nm pore sizes as a result of a "shadowing effect". A moisture-in-oil sensor made with this Cr nanoporous thin film showed favorable responsiveness in oil, with a response time of about 7 minutes, well within the desired maximum value of 10 minutes. To further improve the responsiveness of the sensor, another Cr nanoporous thin film was prepared using a chemical dealloying process, which facilitates control of the pore sizes. This process consists of co-sputtering Cu and Cr, annealing for 1 h at 573 K and dealloying for 15 h in 32.5% HNO3. The thin film pore sizes depend on the initial Cu-Cr compositions, which were researched using a combinatorial technique at various fabrication conditions. We investigated a wide compositional range between 32 and 22 at.% Cr. It was found that between 28 and 22 at.% Cr, chemical dealloying results in low residual Cu, less than 10 at.%. The pore sizes obtained were < 20 nm for 32 at.% Cr, 20-40 nm for 28 at.% Cr, 40- 60 nm for 25 at.% Cr and > 60 nm for 22 at.% Cr. The initial composition ratio of 28 at.% Cr was used to fabricate a Cr nanoporous electrode film filter for a moisture sensor. Unfortunately, the final residual Cu composition ratio was 17 at.%, which is more than the desired maximum of 10 at.%, because the thin film had a uniform composition. The changes in the electrostatic capacity of the moisture sensor as a function of relative humidity (50%RH-90%RH) in air were studied, and the sensor output followed changes in the relative humidity.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.15

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  86. Polymer-based blood vessel models with micro-temperature sensors in EVE 査読有り

    Mizoshiri, M; Ito, Y; Hayakawa, T; Maruyama, H; Sakurai, J; Ikeda, S; Arai, F; Hata, S

    NANOSENSORS, BIOSENSORS, INFO-TECH SENSORS AND 3D SYSTEMS 2017   10167 巻   2017年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering  

    Cu-based micro-temperature sensors were directly fabricated on poly(dimethylsiloxane) (PDMS) blood vessel models in EVE using a combined process of spray coating and femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles. CuO nanoparticle solution coated on a PDMS blood vessel model are thermally reduced and sintered by focused femtosecond laser pulses in atmosphere to write the sensors. After removing the non-irradiated CuO nanoparticles, Cu-based microtemperature sensors are formed. The sensors are thermistor-type ones whose temperature dependences of the resistance are used for measuring temperature inside the blood vessel model. This fabrication technique is useful for direct-writing of Cu-based microsensors and actuators on arbitrary nonplanar substrates.

    DOI: 10.1117/12.2265050

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  87. Direct-writing of copper-based micropatterns on polymer substrates using femtosecond laser reduction of copper (II) oxide nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri, M; Ito, Y; Sakurai, J; Hata, S

    NANOSENSORS, BIOSENSORS, INFO-TECH SENSORS AND 3D SYSTEMS 2017   10167 巻   2017年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering  

    Copper (Cu)-based micropatterns were fabricated on polymer substrates using femtosecond laser reduction of copper (II) oxide (CuO) nanoparticles. CuO nanoparticle solution, which consisted of CuO nanoparticles, ethylene glycol as a reductant agent, and polyvinylpyrrolidone as a dispersant, was spin-coated on poly(dimethylsiloxane) (PDMS) substrates and was irradiated by focused femtosecond laser pulses to fabricate Cu-based micropatterns. When the laser pulses were raster-scanned onto the solution, CuO nanoparticles were reduced and sintered. Cu-rich and copper (I)-oxide (Cu2O)-rich micropatterns were formed at laser scanning speeds of 15 mm/s and 0.5 mm/s, respectively, and at a pulse energy of 0.54 nJ. Cu-rich electrically conductive micropatterns were obtained without significant damages on the substrates. On the other hand, Cu2O-rich micropatterns exhibited no electrical conductivity, indicating that microcracks were generated on the micropatterns by thermal expansion and shrinking of the substrates. We demonstrated a direct-writing of Cu-rich micro-temperature sensors on PDMS substrates using the foregoing laser irradiation condition. The resistance of the fabricated sensors increased with increasing temperature, which is consistent with that of Cu. This direct-writing technique is useful for fabricating Cu-polymer composite microstructures.

    DOI: 10.1117/12.2261398

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  88. MICRO FOLDING STRUCTURE USING TI-NI-ZR HIGH FORMABLE SHAPE MEMORY ALLOYS

    Watanabe H., Mizoshiri M., Hata S., Sakurai J.

    2017 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2017年

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  89. CuO/NiO 混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いた pn 熱電対の選択描画

    溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2017.8 巻 ( 0 ) 頁: PN-17   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2017.8.pn-17

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  90. PDMS微小パーツの作製と周期構造形成のための自己配列特性評価

    飯嶋 勇樹, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220203   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220203

    CiNii Research

  91. PDMS 微小パーツの自己配列による二次元周期構造形成

    飯嶋 勇樹, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2017.8 巻 ( 0 ) 頁: PN-70   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2017.8.pn-70

    CiNii Research

  92. SOI-MEMSデバイスを用いた磁気特性のコンビナトリアル評価

    前谷 卓哉, 本川 侑季, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220103   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220103

    CiNii Research

  93. 新規Cu-Cr脱合金化法を用いたナノポーラス電極膜フィルタの製作とセンサへの応用

    吉井 雄佑, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220201   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220201

    CiNii Research

  94. 塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索

    高木 進吾, 宮本 将志, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220101   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220101

    CiNii Research

  95. 光弾性法によるデザイナブルゲルの応力測定

    粂野 勇貴, 安部 修平, 池田 誠一, 齊藤 梓, 川上 勝, 古川 英光, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J0470305   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j0470305

    CiNii Research

  96. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた Cu メッシュ型温度センサの作製

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2017.8 巻 ( 0 ) 頁: PN-16   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2017.8.pn-16

    CiNii Research

  97. フェムト秒レーザ還元直接描画法におけるCu微細パターンのデフォーカス描画特性評価

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: S0460101   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.s0460101

    CiNii Research

  98. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のマイクロ折りたたみ構造の作製

    渡邊 寛人, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220105   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220105

    CiNii Research

  99. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    櫻井 淳平, 村上 元規, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220104   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220104

    CiNii Research

  100. 環境発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製

    清水 悠希, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220202   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220202

    CiNii Research

  101. 磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作

    本川 侑季, 前谷 卓哉, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J2220102   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j2220102

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  102. 画像処理を用いたPVAハイドロゲルの光弾性応力測定

    安部 修平, 粂野 勇貴, 池田 誠一, 齊藤 梓, 川上 勝, 古川 英光, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2017 巻 ( 0 ) 頁: J0470302   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.j0470302

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  103. Effect of different solvents on Cu micropatterns formed via femtosecond laser reduction patterning

    Mizoshiri M., Arakane S., Sakurai J., Hata S.

    International Journal of Automation Technology   10 巻 ( 6 ) 頁: 934 - 940   2016年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:富士技術出版株式会社  

    We investigated the effect of different solvents on the Cu micropatterns formed via femtosecond laser reduction patterning. Solvents such as ethylene glycol, 2-propanol, and glycerol were mixedwith CuO nanoparticles and polyvinylpyrrolidone. The degree of reduction and the resistivity of the fabricated micropatterns depended on the solvent. Glycerol was the most effective reducing agent. This solution was used to fabricate Cu/Cu2O composite micro-temperature sensors. Cu-rich electrodes and Cu2O-rich sensors were selectively formed by controlling the laser scanning speed at 5 mm/s and 0.5 mm/s, respectively, when the pulse energy was 0.53 nJ. The temperature sensor exhibited a negative temperature coefficient of the resistance, which was consistent with the value for Cu2O.

    DOI: 10.20965/ijat.2016.p0934

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  104. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences   4 巻 ( 4 ) 頁: 47-54   2016年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.4172/2321-6212.1000155

  105. Direct fabrication of Cu/Cu<sub>2</sub>O composite micro-temperature sensor using femtosecond laser reduction patterning

    Mizoshiri, M; Ito, Y; Arakane, S; Sakurai, J; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 巻 ( 6 ) 頁: 06GP05   2016年6月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:IOP publishing  

    Micro-temperature sensors, which composed of a Cu<inf>2</inf>O-rich sensing part and two Cu-rich electrodes, were directly fabricated by femtosecond laser reduction patterning of CuO nanoparticles. Patterning of the microstructures was performed by laser scanning with pitches of 5, 10, and 15 µm. Cu<inf>2</inf>O-rich micropatterns were formed at the laser scan speed of 1 mm/s, the pitch of 5 µm, and the pulse energy of 0.54 nJ. Cu-rich micropatterns that had high generation selectivity of Cu against Cu<inf>2</inf>O were fabricated at the laser scan speed of 15 mm/s, the pitch of 5 µm, and the pulse energy of 0.45 nJ. Electrical resistivities of the Cu<inf>2</inf>O- and Cu-rich micropatterns were approximately 10 Ω m and 9 µΩ m, respectively. The temperature coefficient of the resistance of the micro-temperature sensor fabricated under these laser irradiation conditions was −5.5 × 10<sup>−3</sup>/°C. This resistance property with a negative value was consistent with that of semiconductor Cu<inf>2</inf>O.

    DOI: 10.7567/JJAP.55.06GP05

    Web of Science

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  106. Fabrication of CuO-based antireflection structures using self-arranged submicron SiO<sub>2</sub> spheres for thermoelectric solar generation

    Kondo, T; Mizoshiri, M; Mikami, M; Itou, Y; Sakurai, J; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 巻 ( 6 ) 頁: 06GP07   2016年6月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:IOP publishing  

    We fabricated antireflection structures (ARSs) on the hot side of a thermoelectric generator (TEG) to absorb near-infrared (NIR) solar light with low reflective energy loss. First, the ARSs, composed of a CuO thin-film coated hemisphere array were designed using rigorous coupled wave analysis. Reflective loss was reduced to 6.7% at a grating period of 200 nm, as determined by simulation. Then, the ARSs were fabricated on a glass substrate using self-arranged submicron SiO<inf>2</inf>spheres, following the coating of a CuO thin film. Finally, the effect of the ARSs on NIR solar light generation was investigated by evaluating the generation properties of the TEG with the ARSs on the hot side. In comparison with the TEG with the CuO flat thin film on the hot side, the ARSs increased the temperature difference between the hot and cold sides by approximately 1.4 times. The CuO-based ARSs absorbed NIR solar light effectively.

    DOI: 10.7567/JJAP.55.06GP07

    Web of Science

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  107. Fabrication of CuO-based anti-reflection structures using self-arranged submicron SiO2 spheres for thermoelectric solar generation 査読有り

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 6S1 )   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 1347-4065/55/6S1/06GP07

  108. Direct fabrication of Cu/Cu2O composite micro-temperature sensor using femtosecond laser reduction patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Shun Arakane Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻   頁: 06GP05   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Micro-temperature sensors, which composed of a Cu2O-rich sensing part and two Cu-rich electrodes, were directly fabricated by femtosecond
    laser reduction patterning of CuO nanoparticles. Patterning of the microstructures was performed by laser scanning with pitches of 5, 10, and
    15 µm. Cu2O-rich micropatterns were formed at the laser scan speed of 1 mm/s, the pitch of 5 µm, and the pulse energy of 0.54 nJ. Cu-rich
    micropatterns that had high generation selectivity of Cu against Cu2O were fabricated at the laser scan speed of 15 mm/s, the pitch of 5 µm, and
    the pulse energy of 0.45 nJ. Electrical resistivities of the Cu2O- and Cu-rich micropatterns were approximately 10 Ω m and 9 µΩ m, respectively. The
    temperature coefficient of the resistance of the micro-temperature sensor fabricated under these laser irradiation conditions was %5.5 ' 10%3/°C.
    This resistance property with a negative value was consistent with that of semiconductor Cu2O. © 2016 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 1347-4065/55/6S1/06GP05

  109. 金属酸化物ナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法

    溝尻瑞枝,秦誠一

    OPTRONICS   35 巻 ( 413 ) 頁: 145-151   2016年5月

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    記述言語:日本語  

  110. Combinatorial searching system for electrolysis catalytic materials 査読有り

    Miyamoto M., Suzuki A., Mizoshiri M., Sakurai J., Hata S.

    2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2015     2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2015  

    In this study, we proposed to search for new electrode catalyst for the electrolysis of brine using a combinatorial method. The evaluation substrate consisting of 72 catalyst samples and 9 Pt reference electrodes was designed and fabricated by micro electro mechanical system (MEMS) techniques. The thin film electrode catalyst library on the evaluation substrate was prepared by a combinatorial multi target sputtering system. To evaluation the characteristics of catalyst samples, the polarization curves (current density/potential curves) of catalyst samples were measured by the potential sweep method. Surface poisoning and elution of catalysis samples were observed by an optical microscopy. Finally, we confirmed that the proposed combinatorial method was useful to search for new electrode catalytic materials.

    DOI: 10.1109/MHS.2015.7438321

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  111. Thin-film thermoelectric generator with ball lens for using near-infrared solar energy 査読有り

    Ito Y., Mizoshiri M., Mikami M., Kondou T., Sakurai J., Hata S.

    2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2015     2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2015  

    A thin-film thermoelectric generator (TEG) with ball lenses which enable the visible light to pass through was designed and fabricated. When diameters of the ball lens and the pinhole were 6 mm and 200 μm, respectively, 76% of the visible light and 36% of the infrared light were transmissive to the TEG under the condition that the ball lens position from the device substrate was 0 μm. Thin-film TEGs were fabricated using lithography and thermoelectric thin film deposition processes. The thin film thermoelectric elements were formed on the glass substrate without removal by inserting the Cr buffer layers between the thermoelectric thin films and the substrate. The width of the elements were up to 10 μm greater than that of the designed one. The difference between the fabricated and the designed one was less than 10%, which is negligible value for the internal resistance of the TEGs.

    DOI: 10.1109/MHS.2015.7438318

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  112. Direct writing of Cu -based micro -temperature detectors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Mizoshiri, M; Arakane, S; Sakurai, J; Hata, S

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   9 巻 ( 3 ) 頁: 36701 - 36701   2016年3月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Institute of Physics  

    Cu-based micro-temperature detectors were fabricated using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles. Cu-based microstructures were directly created by laser scanning on a CuO nanoparticle solution film. Cu-rich and Cu<inf>2</inf>O-rich microstructures were selectively formed to electrically connect two Cu thin-film electrodes for use in temperature detectors. Cu-rich and Cu<inf>2</inf>O-rich micro-temperature detectors were fabricated at scanning speeds of 500 and 1000 µm/s, respectively, at a pulse energy of 1.2 nJ. The temperature coefficient of resistance values of the Cu-rich and Cu<inf>2</inf>O-rich microstructures were positive and negative, respectively; these temperature behaviors are typical of metal and semiconductor materials, respectively.

    DOI: 10.7567/APEX.9.036701

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  113. 6. 機械材料・材料加工(<小特集>技術ロードマップから見る2030年の社会) 招待有り 査読有り

    秦 誠一, 大塚 年久, 古川 英光, 中尾 航

    日本機械学会誌   119 巻 ( 1170 ) 頁: 300 - 302   2016年

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemag.119.1170_300

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  114. Fabrication of Combinatorial Evaluation Substrates for Chlorine Evolution Electrode Catalyst 査読有り

    Takagi, S; Miyamoto, M; Mizoshiri, M; Hata, S; Sakurai, J

    2016 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  115. 高成形性形状記憶合金の熱的特性のハイスループット評価法

    村上 元規, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240101   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240101

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  116. 塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル評価基板の作製

    高木 進吾, 宮本 将志, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240103   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240103

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  117. 受動型ドラッグデリバリーシステムの薬液投与特性

    粂野 勇貴, 高桑 暁, 伊藤 啓太郎, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 新井 史人, 秦 誠一

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2230101   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2230101

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  118. ボールレンズを用いた可視光透過型薄膜熱電発電デバイスの作製

    伊藤 嘉崇, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240204   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240204

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  119. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のマイクロ成形加工

    渡邊 寛人, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240105   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240105

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  120. 脱合金化法を用いたナノポーラス電極膜フィルタの製作とセンサへの応用

    吉井 雄佑, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240203   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240203

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  121. 薄膜金属ガラスを用いたマイクロ構造体の内部応力制御

    安部 修平, 前谷 卓哉, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240102   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240102

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  122. 自己組織化による3次元微細周期構造形成のための微小パーツの作製

    飯嶋 勇樹, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2016 巻 ( 0 ) 頁: J2240201   2016年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2016.j2240201

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  123. Characteristics of Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses / thin film shape memory alloys for micro actuators with three-dimensional structures

    Sakurai J., Hata S.

    International Journal of Automation Technology   9 巻 ( 6 ) 頁: 662 - 667   2015年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:富士技術出版株式会社  

    In this paper, we investigate the characteristics of Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses (TFMGs)/shape memory alloys (SMAs) for microelectromechanical systems (MEMS) applications with three-dimensional structures. The amorphous Ti-Ni-Zr thin films having a Ni content of more than 50 at.% and Zr content of more than 11 at.% undergo glass transitions and are TFMGs. The Ti39Ni50Zr11 TFMG has the lowest glass transition temperature Tg of 703 K and a wide supercooled liquid region ΔT of 57 K. Moreover, it has high thermal stability at Tg. However, the apparent viscosity of the Ti39Ni50Zr11 is higher than those of other Ti-Ni-Zr TFMGs. Moreover, the Ti-Ni-Zr TFMG exhibits higher viscosity than conventional TFMGs because the alloy composition of Ti-Ni-Zr TFMGs/SMAs is far from the eutectic point.

    DOI: 10.20965/ijat.2015.p0662

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  124. Reverse lift-off process and application for Cu-Zr-Ti metallic glass thick film structures

    Watanabe S., Sakurai J., Mizoshiri M., Hata S.

    International Journal of Automation Technology   9 巻 ( 6 ) 頁: 646 - 654   2015年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:富士技術出版株式会社  

    In technologies involving micro electromechanical systems, lift-off processes combined with sputter deposition are general patterning methods for the formation of amorphous alloy thick film structures. However, the thicknesses of structures fabricated in this manner are not uniform because sputtered particles are blocked by the sidewalls of the lift-off layer. In this paper, a reverse lift-off process is proposed as a new patterning method for fabricating amorphous alloy thick film structures of uniform thickness. In the reverse lift-off process, a template of the desired structure is formed on top of the chosen substrate. The thick film structure is then formed by sputter deposition on the top surface of the template. In contrast to a conventional liftoff process, here the thickness of the structure is uniform because there is nothing to hinder the sputtered particles. To demonstrate this process, we successfully fabricated a Cu-Zr-Ti metallic glass thick film structure with a uniform film thickness and a rectangular cross section across different target structure widths and thicknesses. This demonstrates that the reverse lift-off process is more suitable than conventional liftoff processes for the fabrication of metallic glass thick film structures.

    DOI: 10.20965/ijat.2015.p0646

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  125. Direct patterning of Cu microstructures using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 査読有り

    Arakane, S; Mizoshiri, M; Hata, S

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 巻 ( 6 )   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics  

    Cu-based microstructures were directly patterned using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction. CuO nanoparticle-based solution, consisting CuO nanoparticles, ethylene glycol, and polyvinylpyrrolidone, was spin-coated on glass substrates. Microstructures were formed by irradiating focused femtosecond laser pulses. Cu and Cu2O peak intensities were observed in the X-ray diffraction (XRD) spectra of the microstructures. Compared to single scan, the Cu peak intensities increased by double scan. This result suggests that double scan is effective for increasing the amount of Cu from CuO nanoparticle solution. Cu- and Cu2O-rich microstructures were formed selectively by controlling laser irradiation conditions. The resistivity of the Cu-rich microstructures was estimated by 528 μΩm which was 104 times and 10 times larger than the values of Cu and Cu2O, respectively. This large resistivity could be applied for microheaters.

    DOI: 10.7567/JJAP.54.06FP07

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  126. REDUCTION PROPERTIES OF NICKEL MICROSTRUCTURES FABRICATED BY DIRECT FEMTOSECOND LASER REDUCTION PATTERNING 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kenki Tamura, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of 2015 ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment     頁: MoB-2-2   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1299/jsmemipe.2015._MoB-2-2-1

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  127. Fabrication of Cu-Zr-Ti thick film metallic glass structure by double metal mask lift-off process 査読有り

    Watanabe, S; Sakurai, J; Hata, S

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   135 巻   頁: 45 - 51   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    In micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology, one of the conventional patterning methods used for metallic thin films is the lift-off process using a photoresist material. However, there is concern regarding the photoresist material generating gas due to the long-term annealing or the high power used in sputter deposition. Thin-film amorphous alloys, such as thin-film metallic glass (TFMG), when used in the device, become crystallized by such heating and outgassing during sputtering. Unlike photoresist material, a metal mask does not generate gas during sputtering. However, a metal mask is subject to deformation by the stress in the sputtered film on the mask. The pattern shape of the TFMG structure can thus collapse due to this mask deformation. Its cross-sectional shape then deviates significantly from a rectangle. We propose a novel lift-off process using a double metal mask for reducing changes in the cross-sectional shape, and maintaining the amorphous nature of the TFMG structure. The characteristic of the double metal mask lift-off process is duplication of the metal mask for restraint of the lower metal mask deformation. Since nearly all of the sputtered material is deposited on the upper metal mask, the material is only minimally deposited onto the lower metal mask. In this work, the double metal mask lift-off process was compared with the conventional lift-off process, and important points for using the double metal mask lift-off process were elucidated. Using the double metal mask lift-off process, a very thick amorphous TFMG structure could be obtained, as compared to the conventional lift-off process. To maintain the rectangular cross-sectional shape of the structure, it was found to be necessary to decrease the height of the double metal mask, as compared to the conventional lift-off process, in anticipation of upper metal mask deformation.

    DOI: 10.1016/j.mee.2015.02.041

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  128. Influence of target-target distance for composition distribution in new facing targets sputtering

    Maetani T., Nakamitsu Y., Sakurai J., Hata S.

    2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2014     2015年1月

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    出版者・発行元:2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2014  

    Combinatorial New-Facing Targets Sputtering (combi-NFTS) is one of the co-sputtering method applied to the combinatorial method. Combi-NFTS could easily control the composition range by changing the distance from substrate to targets. Furthermore composition gradient is relatively linear comparing to other thin film deposition method. In this paper, the influence of the distance between target and target gives for the composition distribution is investigated. As a result, it was elucidated that composition distribution and gradient increase as the TT distance increase. This is caused by the peak position of amount of deposited sputtering atom on the substrate change by the TT distance.

    DOI: 10.1109/MHS.2014.7006100

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  129. 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,<特集>機械工学年鑑) 招待有り

    秦 誠一

    日本機械学会誌   118 巻 ( 1161 ) 頁: 468   2015年

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemag.118.1161_468_2

    CiNii Research

  130. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2015.7 巻 ( 0 ) 頁: _28pm3-F-7 - _28pm3-F-7   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2015.7._28pm3-f-7

    CiNii Research

  131. MoB-2-1 CHARACTERISTICS OF TI-NI-ZR THIN FILM METALLIC GLASSES FOR MEMS WITH THREE DIMENSIONAL STRUCTURE

    Proceedings of JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE   2015 巻 ( 0 ) 頁: _MoB-2-1-1 - _MoB-2-1-3   2015年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemipe.2015._mob-2-1-1

    CiNii Research

  132. J2220305 バイオレジストを用いたマイクロバブルの流量特性

    高桑 暁, 伊藤 啓太郎, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 新井 史人, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220305- - _J2220305-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220305-

    CiNii Research

  133. J2220302 ナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサの評価

    深川 雄貴, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220302- - _J2220302-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220302-

    CiNii Research

  134. J2220201 シリカ微小球の自己組織化を利用した熱電発電用反射防止構造の作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 裕史, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220201- - _J2220201-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220201-

    CiNii Research

  135. J2220105 水素発生触媒用ハイスループット評価基板の作製

    宮本 将志, 鈴木 慧, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220105- - _J2220105-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220105-

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  136. J2220102 磁歪・比透磁率のハイスループット評価用デバイスの製作

    前谷 卓哉, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220102- - _J2220102-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220102-

    CiNii Research

  137. J2220101 Ti-Ni-Cu薄膜金属ガラス/形状記憶合金の特性評価

    櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _J2220101- - _J2220101-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._j2220101-

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  138. Combinatorial search of Fe-Ni-Cr system magnetostrictive alloys for force sensors

    Maetani Takuya, Nakamitsu Yutaka, Sakurai Junpei, Nakagawa Shigeki, Hata Seiichi

    Mechanical Engineering Journal   2 巻 ( 1 ) 頁: 14-00462 - 14-00462   2015年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    Magnetostrictive materials of the Fe-Ni-Cr ternary system for sensitivity enhancement of force sensors were searched by using a combinatorial method. Magnetostrictive materials for force sensors require large magnetostriction, high relative permeability, and high resistivity. This research is an attempt to find composition ranges that satisfy the following requirements: magnetostriction greater than 20×10 <sup>-6</sup>, relative permeability greater than 4,000, and resistivity over 90 μΩ cm. A novel combinatorial deposition method, known as Combinatorial New Facing Targets Sputtering (Combi-NFTS) method was applied to fabricate libraries of samples with various compositions. Samples for measurement of the relative permeability and resistivity were synthesized with a composition distribution by using Combi-NFTS onto a 108 mm×76 mm glass substrate. After deposition of thin film, each sample is divided into 10 mm×10 mm. The relative permeability and resistivity were measured by using a vibrating sample magnetometer and the four probe method, respectively. Bilayer cantilever samples for evaluation of magnetostriction were fabricated onto a 6 mm×20 mm×0.1 mm Si substrate, whereby deflection of the samples changes when a magnetic field is applied. The laser lever method was used to measure the cantilever deflection. The results indicate that the composition range with an Fe content of 26-36.5 at.%, a Ni content of 61-66 at.%, and a Cr content of 7.5-9.5 at.% satisfy the requirement criteria.

    DOI: 10.1299/mej.14-00462

    Web of Science

    CiNii Research

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  139. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2015.7 巻 ( 0 ) 頁: _29pm1-B-4 - _29pm1-B-4   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2015.7._29pm1-b-4

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  140. S0440102 フェムト秒レーザ直接還元描画法による微細Cuパターンの導電特性

    荒金 駿, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _S0440102- - _S0440102-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._s0440102-

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  141. S0440103 酸化ニッケルナノ粒子のフェムト秒レーザ還元微細パターニング

    田村 健紀, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2015 巻 ( 0 ) 頁: _S0440103- - _S0440103-   2015年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2015._s0440103-

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  142. Study on passive momentum exchange landing gear using two-dimensional analysis

    Watanabe, T; Hata, S; Otsuki, M

    ACTA ASTRONAUTICA   105 巻 ( 2 ) 頁: 407 - 416   2014年12月

  143. Combinatorial Search of Magnetostrictive Materials for Sensors 査読有り

    Maetani, T; Nakamitsu, Y; Sakurai, J; Nakagawa, S; Hata, S

    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN   97 巻 ( 9 ) 頁: 342 - U3   2014年9月

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    出版者・発行元:Electronics and Communications in Japan  

    Combinatorial search is one of the useful methods that could search for optimal composition of alloy materials or novel alloy materials. Combinatorial sputtering provides sample group (library) having different compositions in a limited place. Then, the properties of the samples can be scanned in an efficient way. In this research, magnetostrictive material with high magnetostriction, relative permeability, and resistivity was studied. Desired value of magnetostriction is more than 20 × 10-6, relative permeability is more than 4000, and resistivity is more than 100 μΩ·cm. As a result, composition that Cr content is less than 14 at.% fill the desired value of relative permeability, and more than 10 at.% fill the desired value of resistivity. There is possibility to fill the desired value of magnetostriction. © 2014 Wiley Periodicals, Inc.

    DOI: 10.1002/ecj.11681

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  144. Lift-off patterning of thermoelectric thick films deposited by a thermally assisted sputtering method 査読有り

    Mizoshiri, M; Mikami, M; Ozaki, K; Shikida, M; Hata, S

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   7 巻 ( 5 ) 頁: 057101   2014年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Applied Physics Express  

    We have demonstrated a patterning process for the fabrication of thermoelectric thick-film modules by a thermally assisted sputtering method (TASM) and a lift-off technique. Given the experimental requirements of TASM, poly(dimethylsiloxane) (PDMS) was used as the heat-resistant masks in the lift-off technique. After the film deposition, the PDMS lift-off mask was removed from the substrate. This process enables the fabrication of 30-μm-thick and 300-μm-wide Sb2Te3 and Bi 2Te3 thick-film patterns. The increase in film thickness increased the power generated by the module, which was consistent with the theoretical value. © 2014 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.7567/APEX.7.057101

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  145. Ni-Nb-Zr-Ti amorphous alloys for glass lens molding die materials 査読有り

    Jiang, SX; Abe, M; Ando, M; Aono, Y; Sakurai, J; Hata, S

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   116 巻   頁: 6 - 10   2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Microelectronic Engineering  

    Mold materials for glass lenses with microstructures, such as gratings, require not only excellent mechanical properties, high thermal stability and oxidation resistance, but also sufficient machinability by Single-Point Diamond Turning (SPDT). Our research on Ni-Nb-Zr alloys has shown that one amorphous alloy composition (Ni35Nb40Zr25 at.%) met almost all the requirements for glass lens mold materials. Unfortunately, when fabricating gratings on the mold, the immense wear on the bit, which may be caused by the high hardness of the alloy (more than 10 GPa by the nano-indentation method), made it impossible to cut precise gratings. Consequently, the addition of a fourth element was considered to decrease the hardness. After several experiments, the addition of Ti was found to decrease the hardness. At first, Ti was added to substitute 10% Zr, to give Ni 35Nb40Zr15Ti10 at.%. Although this alloy had a lower hardness (9.5 GPa) than Ni35Nb40Zr 25 at.%, it still cannot be micro-cut by SPDT. It was then decided to substitute Ti for Ni-Nb instead of Zr. Three samples: Ni30Nb 35Zr25Ti10 at.%, Ni28Nb 32Zr25Ti15 at.% and Ni25Nb 30Zr25Ti20 at.%, were fabricated for evaluation. Finally, the Ni28Nb32Zr25Ti 15 at.% and Ni25Nb30Zr25Ti 20 at.% were found to have a low enough hardness to allow for precision machining. © 2013 Elsevier B.V. All rights reserved.

    DOI: 10.1016/j.mee.2013.11.008

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  146. Design of CuO anti-reflection structure for thin-film thermoelectric generator

    Kondou T., Mizoshiri M., Hata S.

    2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2014     2014年1月

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    出版者・発行元:2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2014  

    Copper oxide anti-reflection structures were designed by rigorous coupled wave analysis for thin-film thermoelectric solar generator. We proposed thin-film thermoelectric generator with the anti-reflection structure on the hot side of pn junction. When infrared solar light from 800 to 1200 nm wavelength is irradiated to the thermoelectric generator, the anti-reflection structure on the hot side generates the temperature gradient between the hot side and cold side of pn junction. When the cross-sectional geometry of the anti-reflection structures was hemisphere which was geometrically approximated pyramid one, the reflectance from 800 to 1200 nm wavelength was reduced than flat and binary ones. The reflectance of solar light was obtained by considering the solar light spectra and its polarization. By assuming that the average of TM and TE polarized light was the reflectance of solar light, the reflectance was reduced to be 9.6% when the period of the anti-reflection structure was 700 nm. Taking into account of the reflectance of Cu on cold side 99%, this large reflectance difference is expected to generate a large temperature gradient between hot side and cold side.

    DOI: 10.1109/MHS.2014.7006118

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  147. Design of CuO anti-reflection structure for thin-film thermoelectric generator 査読有り

    Kondou, T; Mizoshiri, M; Hata, S

    2014 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  148. J2220203 斜入射スパッタリングによるCr薄膜を用いた静電容量形水分センサ([J222-02]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(2))

    深川 雄貴, 溝尻 瑞枝, 吉井 雄祐, 向井 伸幸, 溝口 尚志, 高橋 勉, 秦 誠一

    年次大会   2014 巻 ( 0 ) 頁: _J2220203- - _J2220203-   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._j2220203-

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  149. J2220202 Fe-Ni-Cr系センサ用磁歪材料のコンビナトリアル探索([J222-02]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(2))

    前谷 卓哉, 中光 豊, 桜井 淳平, 中川 茂樹, 秦 誠一

    年次大会   2014 巻 ( 0 ) 頁: _J2220202- - _J2220202-   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._j2220202-

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  150. J2220102 薄膜金属ガラスCu-Zr-Tiを用いた二軸駆動マイクロミラーデバイスの製作と駆動([J222-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))

    渡辺 茂高, 中光 豊, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会   2014 巻 ( 0 ) 頁: _J2220102- - _J2220102-   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._j2220102-

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  151. F041003 金属系材料と高分子系材料融合を可能とする新しい積層加工技術([F04100]機械材料・材料加工部門,マイクロ・ナノ工学部門,設計工学・システム部門企画,次世代3Dプリンティングと関連技術)

    秦 誠一

    年次大会   2014 巻 ( 0 ) 頁: _F041003-1 - _F041003-3   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._f041003-1

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  152. S0440101 酸化銅ナノ粒子のレーザ直接還元を利用した銅細線パターニング([S044]次世代3Dプリンティング,機械材料・材料加工部門)

    溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 前谷 卓哉, 式田 光宏, 秦 誠一

    年次大会   2014 巻 ( 0 ) 頁: _S0440101- - _S0440101-   2014年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._s0440101-

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  153. Two-axis Scanning Micro Mirror Device with Thick Film Metallic Glass Cu-Zr-Ti and Parylene-C 査読有り

    Watanabe, S; Nakamitsu, Y; Junpei, S; Mizojiri, M; Hata, S

    2014 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  154. Thermoelectric thick film patterns formed by using thermally-assisted sputtering method and silicone lift-off masks 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Seiichi Hata

    Proceedings of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     頁: 100-106   2013年11月

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    記述言語:英語  

  155. Novel Combinatorial Method for Evaluation of Machinability for Glass Lens Mold Material 査読有り

    Shengxian Jiang, Junpei Sakurai, Yuko Aono and Seiichi Hata

    Proceedings of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science     頁: 100-106   2013年11月

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    記述言語:英語  

  156. PVDF actuator for high-frequency fatigue test of thin-film metals 査読有り

    Tamjidi, N; Sato, K; Sakurai, J; Hata, S

    IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING   8 巻 ( 2 ) 頁: 199 - 205   2013年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  

    This paper suggests a poly(vinylidene fluoride) (PVDF) piezoelectric diaphragm actuator used in a novel fatigue test method for thin metal films. A thin-film metal specimen is stamped on top of the actuator using a stamping epoxy. As the actuator vibrates, the stress in the specimen increases until it fails under fatigue. A finite element model of the actuator is built, and its vibration amplitude is confirmed to be in a good agreement with experiment. Then, a model of the specimen is added to this model to simulate the vibration of the specimen for fatigue test. Stress analysis of the specimen at a driving voltage of 200 V0-p confirms that this actuator can increase the stress in the specimen to near 1 GPa, which is high enough for the fatigue test of metals such as titanium. In the experiment, a thin-film titanium specimen is stamped on top of the actuator which is then vibrated. The stress in the fatigue gauge on thin-film specimen increased until the specimen failed under fatigue. This shows that the proposed PVDF actuator is suitable for the fatigue test of thin-film metals such as titanium. © 2012 Institute of Electrical Engineers of Japan.

    DOI: 10.1002/tee.21840

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  157. 薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法

    青野 祐子, 川口 龍太郎, 桜井 淳平, 秦 誠一

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   133 巻 ( 8 ) 頁: 348 - 353   2013年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    Thin film shape memory alloys (SMAs) are promising materials for micro-machines because of their high-output power, large strain, and actuation without high voltage. To search for compositions of suitable thin film SMAs for each application, combinatorial technique is useful tool, however the technique requires high-throughput characterization method for thermal property which is an important property of thin film SMAs such as two way martensitic transformation temperature and thermal hysteresis. In this paper, novel high-throughput characterization method for such properties using thermography is proposed and demonstrated. Compositionally integrated thin film SMA samples (TiNiPd) with only 1mm2 of each area are characterized at once. The difference of martensitic and reverse martensitic transformation temperature against those temperatures measured by a conventional method, differential scanning calorimetry, is about 5K.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.133.348

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  158. センサ用磁歪材料のコンビナトリアル探索

    前谷 卓哉, 中光 豊, 桜井 淳平, 中川 茂樹, 秦 誠一

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   133 巻 ( 8 ) 頁: 342 - 347   2013年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    Combinatorial search is one of the useful methods that could search for optimal composition of alloy materials or novel alloy materials. Combinatorial sputtering provides sample group (library) having different compositions in a limited place. Then, the properties of the samples can be scanned in an efficient way. In this research, it was studied that magnetostrictive material with high magnetostriction, relative permeability and resistivity. Desired value of magnetostriction is more than 20×10-6, relative permeability is more than 4000, and resistivity is more than 100 µΩ·cm. As a result, composition that Cr content is less than 14 at.% fill the desired value of relative permeability, and more than 10 at.% fill the desired value of resistivity. There is possibility to fill the desired value of magnetostriction.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.133.342

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  159. 研究室だより:名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻集積機械デバイス講座マイクロ・ナノプロセス工学グループ 招待有り

    秦 誠一

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   133 巻 ( 6 ) 頁: NL6_2 - NL6_2   2013年

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)   出版者・発行元:一般社団法人 電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.133.nl6_2

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  160. 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,<特集>機械工学年鑑) 招待有り

    秦 誠一

    日本機械学会誌   116 巻 ( 1137 ) 頁: 534   2013年

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemag.116.1137_534_2

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  161. 632 Ni-Nb-Ti 合金材料の切削性のコンビナトリアル探索

    姜 勝先, 桜井 淳平, 青野 裕子, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集   2013.21 巻 ( 0 ) 頁: _632-1_ - _632-3_   2013年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2013.21._632-1_

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  162. Novel Combinatorial Method for Evaluation of Machinability for Glass Lens Mold Material

    Jiang, SX; Sakurai, J; Aono, Y; Hata, S

    2013 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2013年

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  163. J212036 耐環境性に優れた油中水分センサ([J212-03]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(3))

    吉井 雄侑, 中光 豊, 向井 伸幸, 溝口 尚志, 高橋 勉, 秦 誠一

    年次大会   2013 巻 ( 0 ) 頁: _J212036-1 - _J212036-3   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._j212036-1

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  164. J212021 薄膜金属ガラスCu-Zr-Tiを用いた二軸駆動マイクロミラーデバイスの複合マイクロ加工([J212-02]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(2))

    渡辺 茂高, 中光 豊, 桜井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2013 巻 ( 0 ) 頁: _J212021-1 - _J212021-5   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._j212021-1

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  165. J212017 マイクロアクチュータを使用した薄膜金属材料疲労試験([J212-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))

    佐藤 康平, 桜井 淳平, 秦 誠一

    年次大会   2013 巻 ( 0 ) 頁: _J212017-1 - _J212017-2   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._j212017-1

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  166. J212012 Fe-Ni-Cr系磁歪材料のコンビナトリアル探索とその磁歪特性評価([J212-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))

    前谷 卓哉, 中光 豊, 桜井 淳平, 中川 茂樹, 秦 誠一

    年次大会   2013 巻 ( 0 ) 頁: _J212012-1 - _J212012-3   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._j212012-1

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  167. F113004 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータ(【F11300】静電アクチュエータの現状と将来展望,機素潤滑設計部門企画,先端技術フォーラム)

    秦 誠一

    年次大会   2013 巻 ( 0 ) 頁: _F113004-1 - _F113004-5   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._f113004-1

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  168. Thermoelectric thick film patterns formed by using thermally-assisted sputtering method and silicone lift-off masks

    Mizoshiri, M; Mikami, M; Ozaki, K; Shikida, M; Hata, S

    2013 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS)     2013年

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  169. 「身の回りのマイクロ・ナノ技術」特集号発刊に際して(<特集>身の回りのマイクロ・ナノ技術)

    秦 誠一

    日本機械学会誌   116 巻 ( 1130 ) 頁: 11 - 11   2013年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    DOI: 10.1299/jsmemag.116.1130_11

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  170. Combinatorial new facing targets sputtering

    Maetani T., Mori N., Nakamitsu Y., Hata S.

    Materials Research Society Symposium Proceedings   1427 巻   頁: 50 - 55   2012年12月

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    出版者・発行元:Materials Research Society Symposium Proceedings  

    Combinatorial sputtering is one of the useful methods that can be used to search for optimal composition of alloy materials or for new alloy materials. To search materials more efficiently, it is required that compositions and their distribution on samples can be easily controlled for the evaluation of their properties. Moreover, it is desirable that compositions change linearly to search for novel materials systematically. In conventional combinatorial sputtering method, it is difficult to fabricate samples having linear compositions distribution without moving hard masks or rotating substrate. In this paper, a novel combinatorial sputtering method with New Facing Targets Sputtering (Combi-NFTS) of material search is introduced. In this method, several sputtering targets are placed in opposite direction, and substrates are placed in vertical direction of these targets. From this structure, thin film with binary/ternary composition distribution could be synthesized onto one single substrate. Moreover, it can fabricate samples having relatively linear composition distribution without moving hard masks or rotating substrate. As an example, Cu, Zr and Ti pure targets were used to confirm the performance of Combi-NFTS. Binary system of Cu-Zr and ternary system of Cu-Zr-Ti thin films were fabricated by using Combi-NFTS. After deposition, compositions of the films were characterized by the energy dispersive X-ray spectroscopy. As a result of Cu-Zr binary system, the composition of the thin film was changed as the power of targets was changed. Moreover, composition distribution was expanded as the distance from substrate to targets was decreased. In the Cu-Zr-Ti ternary system, it was obtained similar trend for composition distribution. Moreover, the composition changed two dimensional by changing the substrate position. These results indicate that combi-NFTS can easily control the composition and composition distribution of thin films by changing the power of targets or the distance from substrate to targets which make combi-NFTS very suitable for combinatorial materials search. © 2012 Materials Research Society.

    DOI: 10.1557/opl.2012.1403

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  171. Search for Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses exhibiting a shape memory effect after crystallization

    Sakurai, J; Hata, S

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   541 巻 ( 541 ) 頁: 8 - 13   2012年4月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Materials Science and Engineering: A  

    We conducted a search for Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses (TFMGs) exhibiting a shape memory effect after crystallization. We investigated the possibility of (Ti, Zr)(100-x)-Nix thin film amorphous alloys exhibiting a glass transition. All prepared samples were classified into three groups such as Ti-rich (x<50), equiatomic (50<x<51) and Ni-rich (x>51) samples. Equiatomic Ti-Ni-Zr thin film amorphous alloys with Zr content ranging from 11 to 17at.% showed a glass transition, and thus were concluded to be TFMGs. Several Ni-rich samples exhibit glass transition and were also TFMGs. On the other hand, Ti-rich samples did not exhibit a glass transition irrespective of the Zr content. Moreover, we investigated the shape memory behavior of crystallized TiNiZr TFMGs. Ti39Ni50Zr11 TFMGs annealed at 973K for 3.6ks exhibited a martensitic transformation from the B2 to the B19' phase upon cooling and heating. The martensitic phase start temperature and reverse martensitic phase start temperature were 296 and 352K, respectively. In addition, this alloy showed good shape memory behavior, achieving recovery strain of 2.5% and a critical stress for slip of 500MPa. © 2012 Elsevier B.V.

    DOI: 10.1016/j.msea.2012.01.075

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  172. High-frequency fatigue test of metallic thin films using PVDF microactuator

    Tamjidi, N; Sato, K; Suzaki, R; Nakamitsu, Y; Sakurai, J; Hata, S

    IEICE ELECTRONICS EXPRESS   9 巻 ( 5 ) 頁: 403 - 409   2012年3月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:IEICE Electronics Express  

    Novel high-frequency bending fatigue test method for sputtered metallic thin films using PVDF microactuator is proposed. Thin film titanium specimen as an example and a PVDF piezoelectric microactuator are fabricated. The specimen is stamped on this actuator and the actuator is vibrated at its resonance frequency until the specimen fails by fatigue. The stress in the specimen is calculated from vibration amplitude. By using the proposed method, the stress-fatigue life cycle (S-N) curve of the thin film titanium is obtained over 50 times faster than conventional method. © IEICE 2012.

    DOI: 10.1587/elex.9.403

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  173. High-frequency fatigue test of sputtered metallic thin film using PVDF microactuator 査読有り

    Tamjidi N., Suzaki R., Sato K., Nakamitsu Y., Sakurai J., Hata S.

    IEICE Electronics Express   9 巻 ( 5 ) 頁: 403-409   2012年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  174. Search for Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses exhibiting a shape memory effect after crystallization 査読有り

    Sakurai J., Hata S.

    Materials Science and Engineering: A   ( 541 ) 頁: 8–13   2012年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  175. 電鋳Niパイプを用いた円筒形超音波リニアマイクロアクチュエータ 査読有り

    高垣輝多, 孫 東明, 汪 盛, 桜井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会論文集C編   77 巻 ( 783 ) 頁: 4136-4143   2011年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  176. Searching for noble Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for optical glass device molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masahiro Ando, Yuko Aono and Seiichi Hata

    Precision Engineering   35 巻 ( 4 ) 頁: 537-546   2011年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  177. Novel Thermographic Method for Characterizing Transformation Temperatures of Thin Film Shape Memory Alloys Aimed at Combinatorial Approach 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics   50 巻 ( 066601 ) 頁: 5   2011年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  178. CORROSION RESISTANCE CONSOLIDATION OF A DIAPHRAGM TYPE VACUUM SENSOR 査読有り

    H. Kozako, J. Sakurai, N. Mukai, Y. Ohnuma, T. Takahashii, and S. Hata

    Technical Digest of The 24th IEEE International Conference on MEMS     頁: 400-403   2011年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  179. Driving mechanism, design, fabrication process and experiments of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Keebong Choi. Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEE Transactions on UFFC   58 巻 ( 1 ) 頁: 168-77   2011年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109

  180. Effect of sputtering method on characteristics of amorphous Ni-Nb-Zr alloys for glass lenses molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando, Yuko Aono, Shengxian Jiang, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata

    Journal Solid Mechanics and Materials Engineering   4 巻 ( 12 ) 頁: 1742-1753   2010年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1299/jmmp.4.1742

  181. Combinatorial Technology on Searching for Novel Amorphous Alloys 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Y. Aono, N. Tamujidi, Y. Matsumoto and A. Shimokohbe

    The 6th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology     頁: CDROM   2010年10月

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    記述言語:英語  

  182. Temperature gradient heating system for high-throughput method for determining time-temperature-transformation diagram using thin film samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    The 6th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology     頁: CD-ROM   2010年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  183. Combinatorial searching for Ni-Nb-Zr amorphous alloys as glass lens molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando and Seiichi Hata

    Key Eng. Mater.   447-448 巻   頁: 661-665   2010年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028

  184. Characteristics of Ti-Ni-Zr Thin Film Metallic Glasses Exhibiting a Shape Memory Effect after Crystallization 査読有り

    Junpei Sakurai, Yuko Aono, Yui Ishida and Seiichi Hata

    Technical Abstract of the 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing     頁: 78   2010年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  185. High-throughput Evaluation of Crystallization Temperature of Pd-Cu-Si System Using Integrated Thin Film Samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    Technical Abstract of the 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, 90 (2010.8, Cairns, Australia)     頁: 90   2010年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  186. Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Optical Glass Lenses Molding Materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamuchi, Mitsuhiro Abe, and Akira Shimokohbe

    Precision Engineering   34 巻 ( 3 ) 頁: 431-439   2010年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  187. A piezo-driven compliant stage with double mechanical amplification mechanisms arranged in parallel 査読有り

    Kee-Bong Choi, Jae Jong Lee, Seiichi Hata

    Sensors and Actuators A   161 巻 ( 1-2 ) 頁: 173-181   2010年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  188. High-throughput Evaluation of Crystallization Temperature of Pd-Cu-Si System Using Integrated Thin Film Samples 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata

    Materials Science Forum   654-656 巻   頁: 2426-2429   2010年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028

  189. Characteristics of Ti-Ni-Zr Thin Film Metallic Glasses Exhibiting Shape Memory Effect After Crystallization 査読有り

    Junpei Sakurai, Yuko Aono, Yui Ishida and Seiichi Hata

    Materials Science Forum   654-656 巻   頁: 1066-1069   2010年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028

  190. Evaluation of the validity of crystallization temperature measurements using thermograpy with different sample configurations 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata

    Jpn. J. Appl. Phys   49 巻 ( 7 ) 頁: 076601-076601-7   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  191. A piezoelectric linear ultrasonic motor with the structure of circular cylindrical stator and slider 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, J. Sakurai, K. B. Choi, A. Shimokohbe, S. Hata

    Smart Mater. Struct.   19 巻 ( 4 ) 頁: 045008   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0964-1726/19/4/045008

  192. Axial vibration characteristics of a cylindrical 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, A. Shimokohbe,

    radially polarized piezoelectric transducer with different electrode patterns, Ultrasonics   50 巻 ( 3 ) 頁: 403-410   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  193. Theoretical and experimental investigation of the traveling wave propagation on a several-millimeter-long cylindrical pipe driven by piezoelectric ceramic tubes, 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe

    IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control   57 巻 ( 7 ) 頁: 1600-1611   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  194. ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索 査読有り

    秦 誠一,桜井淳平,阿部充博,安藤正将,青野祐子,下河邉明

    日本機械学会論文集(C編)   76 巻   頁: 682-684   2010年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  195. Effect of sputtering method on characteristics of amorphous Ni-Nb-Zr alloys for glass lenses molding die materials 査読有り

    Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando, Yuko Aono, Shengxian Jiang, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata,

    Journal Solid Mechanics and Materials Engineering   4 巻 ( 12 ) 頁: 1742-1753   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  196. High-Throughput Measurement Method for Time-Temperature-Transformation Diagram of Thin Film Amorphous Alloys 査読有り

    Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata,

    Applied Physics Express   3 巻 ( 12 ) 頁: 125601-125601-3   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  197. Development of high-performance vacuum sensor using joining method for thin film metallic glass 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Hiroshi Kozako, Yukiko Matsumoto, Akira Shimokohbe, Nobuyuki Mukai, Yoshinori Ohnuma, Tsutomu Takahashi, Yasunori Saotome, Hisamichi Kimura, Parmanand Sharma and Akihisa Inoue

    Proc. of ICCCI 2009     頁: CR-ROM   2009年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  198. Fabrication of thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Sensor and Actuator A Physical   153 巻 ( 1 ) 頁: 120-126   2009年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  199. Novel Crystallization Temperature Measurement Method for Combinatorial Evaluation using Infrared Thermography 査読有り

    Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe

    Proc. of 2009 MRS Spring Meeting   ( 1159E ) 頁: G1-4 CD-ROM   2009年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  200. Vibration characteristics of a cylindrical shell with 25 µm thickness fabricated by the rotating sputtering system 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe,

    IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control   56 巻 ( 3 ) 頁: 622-630   2009年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  201. 単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアル蒸着法 査読有り

    秦 誠一,藤田敏充,桜井淳平,下河邉明

    材料   58 巻 ( 10 ) 頁: 821-826   2009年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.2472

  202. Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering,   86 巻 ( 4-6 ) 頁: 1262-1266   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  203. Characteristics of Cu-Zr Thin Film Metallic Glasses Fabricated by a Carousel-Type Sputtering System 査読有り

    Junpei SAKURAI, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys.   48 巻 ( 2 ) 頁: 025503   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143

  204. Measurement of Crystallization Temperature Using Thermography for Thin Film Amorphous Alloy Samples 査読有り

    Meiichi Hata, Yuko Aono, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Applied Physics Express   2 巻 ( 3 ) 頁: 036501   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143

  205. A traveling wave type of piezoelectric ultrasonic bidirectional linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Junpei Sakurai, Kee-Bong Choi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Applied Physics Express   2 巻 ( 4 ) 頁: 046503   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143

  206. Cylindrical ultrasonic linear microactuator based on quasi-traveling wave propagation on a thin film metallic glass pipe supported by a piezoelectric ceramic tube, Sensors and Actuators, 査読有り

    D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe

    A: physical   156 巻 ( 2 ) 頁: 359-365   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  207. Characterization of the Pt-Hf-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Precise Optical Glass Lens Mold 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shinokohbe,

    J. Solid Mechanics and Mat. Eng   3 巻 ( 8 ) 頁: 1022-1032   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1299

  208. Laser Forming of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Masaaki OTSU, Yuki IDE, Junpei SAKURAI Seiichi HATA and Kazyaki TAKASHIMA

    Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering   3 巻 ( 2 ) 頁: 387-395   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  209. A cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008)     頁: CD-ROM   2008年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  210. Search for Novel MEMS Materials using a Combinatorial Method 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Taiyo Ueshima, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008)     頁: CD-ROM   2008年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  211. Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in 34th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2008)     頁: 117   2008年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  212. Combinatorial evaluation of heat and oxidation resistances of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Mitsuhiro Abe, Yuko Aono and Akira Shimokohbe

    Processings of 5th International Conference on Combinatorial and High-Throughput Materials Science.     頁: 1035   2008年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  213. New Measurement Method for Crystallization Temperature of Thin Film Amorphous Alloy 査読有り

    Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    JUNIOR EUROMAT 2008     頁: CD-ROM   2008年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  214. A novel cylindrical ultrasonic linear microactuator 査読有り

    Wang Sheng, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology     頁: 456-459   2008年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  215. Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    14. Masaaki Otsu, Yuki IDE, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima

    Proc. 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials     頁: 56   2008年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  216. Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Masaaki Otsu, Yuki IDE, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima

    Proc. 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials     頁: 56   2008年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  217. In situ analysis of the thermal behavior in the Zr-based multi-component metallic thin film by pulsed laser deposition combined with UHV-laser microscope system 査読有り

    Yuji Matsumoto, Miki Hiraoka, Masao Katayama, Seiichi Hata, Mikio Fukuhara, Takeshi Wada, Hisamichi Kimura and Akihisa Inoue

    Materials Science & Engineering B   148 巻 ( 1-3 ) 頁: 179-182   2008年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  218. Behavior of Joining Interface between Thin Film Metallic Glass and Silicon Nitride at Heating 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe,

    Materials Science & Engineering B   148 巻 ( 1-3 ) 頁: 149-153   2008年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  219. 積層型MEMS血球分析チップの開発 査読有り

    田邊力也, 秦 誠一, 下河邉 明,

    精密工学会誌   74 巻 ( 7 ) 頁: 746-751   2008年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  220. ガラスレンズ成形金型用の新しいアモルファス合金のコンビナトリアル探索―結晶化開始温度,機械特性の評価― 査読有り

    山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河邉明

    精密工学会誌   74 巻 ( 3 ) 頁: 252-263   2008年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  221. 新しいPt基アモルファス合金を用いたガラスレンズ成形用金型の試作 査読有り

    秦 誠一,桜井淳平,下河邉明

    日本機械学会論文集C編   74 巻 ( 3 ) 頁: 252-263   2008年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  222. Search for Novel Amorphous Alloys with High Crystallization Temperature by Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Applied Surface Science,   254 巻 ( 3 ) 頁: 738-742   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  223. Combinatorial Arc Plasma Deposition Search for Ru-based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Applied Surface Science   254 巻 ( 3 ) 頁: 720-724   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016

  224. Combinatorial Searching for Nobel Metal-based Amorphous Alloy Thin Films for Glass Lens Mold 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A1.6     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  225. Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion 査読有り

    Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.8     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  226. Combinatorial Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Glass Lens Mold 査読有り

    M. Abe, S. Hata, R. Yamauchi, J. Sakurai and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.14     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  227. Combinatorial Searching for Nobel Metal-based Amorphous Alloy Thin Films for Glass Lens Mold 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A1.6     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  228. Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion 査読有り

    Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.8     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  229. Combinatorial Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Glass Lens Mold 査読有り

    M. Abe, S. Hata, R. Yamauchi, J. Sakurai and A. Shimokohbe

    Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.14     頁: CD-ROM   2007年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  230. Characteristics of Thin Film Metallic Glasses for MEMS and Precise Part 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of Second TIT-BIT Joint Workshop on Mechanical Engineering     頁: CD-ROM   2007年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  231. Characteristics of Thin Film Metallic Glasses for MEMS and Precise Part 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of Second TIT-BIT Joint Workshop on Mechanical Engineering     頁: CD-ROM   2007年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  232. A Hemoglobin and Volum Measurement Sensor for Point of Care Testing Analyzer using MEMS Process 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   127 巻 ( 5 ) 頁: 267-271   2007年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541

  233. Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating 査読有り

    19. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Abstracts in1st International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC) and 2nd International Conference on Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (JTMC),     頁: 56   2007年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  234. Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Abstracts in1st International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC) and 2nd International Conference on Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (JTMC     頁: 56   2007年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  235. Searching for Novel Ru-Based Thin Film Metallic Glass by Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Jpn. J. Appl. Phys   46 巻 ( 4A ) 頁: 1590-1595   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143

  236. A Disposable Concept Laminated MEMS Hematology Chip 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata, A. Shimokohbe

    Conference Proceedings of 7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology   ( 1 ) 頁: 45-48   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  237. A Disposable Concept Laminated MEMS Hematology Chip 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata, A. Shimokohbe

    Conference Proceedings of 7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology   ( 1 ) 頁: 45-48   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  238. Searching for Ru-based Amorphous Thin Film and Thin Film Metallic Glass with Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology, pp     頁: 41   2006年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  239. The Search for Novel Amorphous Thin Films using Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁: pp63   2006年12月

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    記述言語:英語  

  240. Searching for Ru-based Amorphous Thin Film and Thin Film Metallic Glass with Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁: pp63   2006年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  241. The Search for Novel Amorphous Thin Films using Combinatorial Arc Plasma Deposition 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology     頁: pp63   2006年12月

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    記述言語:英語  

  242. Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators 査読有り

    Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   126 巻 ( 9 ) 頁: 522-527   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  243. MEMS complete blood count sensors designed to reduce noises from electolysis gas 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering   83 巻 ( 4-9 ) 頁: 1646-1650   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  244. Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Films 査読有り

    Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys.   45 巻 ( 4A ) 頁: 2708-2713   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  245. Combinatorial Search for Low Resistivity PdCuSi Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Ryusuke YAMAUCHI, Seiichi HATA, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys   45 巻 ( 7 ) 頁: 5911-5919   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  246. A MEMS complete blood count sensor with vanes for reduction in influence of electrolysis gas 査読有り

    Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   126 巻 ( 7 ) 頁: 297-301   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  247. Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  248. Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa and Akira Shimokohbe

    Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering (COBEM 2005)     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  249. Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses 査読有り

    Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  250. Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature 査読有り

    24. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  251. Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy 査読有り

    Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  252. Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature 査読有り

    Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe

    Proc. of 2005 MRS Fall Meeting     頁: CD-ROM   2005年11月

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    記述言語:英語  

  253. Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)     頁: pp12-13   2005年9月

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    記述言語:英語  

  254. A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas 査読有り

    R. Tanabe, S. Hata and A. Shimokohbe

    Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005)     頁: pp622-623   2005年9月

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    記述言語:英語  

  255. Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata, Takehiko Hayashi, and A. Shimokohbe

    Proc. IPACK2005     頁: CD-ROM, pp. IPACK2005-73145   2005年6月

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    記述言語:英語  

  256. Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials 査読有り

    Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005     頁: 479-482   2005年1月

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    記述言語:英語  

  257. A MEMS Conical Spring Actuator Array 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata, and A. Shimokohbe,

    IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems   14 巻 ( 2 ) 頁: 243-253   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  258. Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems II,     頁: 260-267   2004年12月

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    記述言語:英語  

  259. A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)     頁: 15-16   2004年6月

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    記述言語:英語  

  260. 2-DOF thin film metallic glass microactuator 査読有り

    S. Hata, H. W. JEONG and A. Shimokohbe

    Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)     頁: 9-10   2004年6月

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    記述言語:英語  

  261. Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array 査読有り

    T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology,   5276 巻   頁: 240-248   2003年12月

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    記述言語:英語  

  262. Micro dome shape structures made of thin film metallic glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Jyunpei Sakurai and Akira Shimokohbe

    Micro System Technology 2003     頁: (MST '03), 180-187   2003年10月

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    記述言語:英語  

  263. Reduction of electrical resistivity in PdCuSi thin film metallic glass 査読有り

    J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe

    Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03)     頁: CD-ROM   2003年9月

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    記述言語:英語  

  264. On-Chip Variable Inductor Using Microelectromechanical Systems Technology 査読有り

    Yoshisato YOKOYAMA ,Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE

    Jpn. J. Appl. Phys   42 巻   頁: 2190-2192   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  265. Self-alignment of microparts using liquid surface tension - behavior of microparts and alignment characteristics 査読有り

    Kaiji Sato, Kentaro Ito, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    Precision Engineering   27 巻   頁: 42-50   2003年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  266. Microforming of Three-Dimensional Microstructures from Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Hee-Won Jeong, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe

    IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems   12 巻 ( 1 ) 頁: 42-52   2003年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  267. Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor 査読有り

    Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe

    Microelectronic Engineering   ( 67-68 ) 頁: 582-587   2003年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  268. 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ 査読有り

    秦 誠一,加藤友和,福重孝志,下河邉 明

    精密工学会誌   69 巻 ( 3 ) 頁: 438-442   2003年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  269. Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Proceedings of CPT2002     頁: 162-167   2002年10月

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    記述言語:英語  

  270. Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass, 査読有り

    Seiichi Hata, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Proceedings of CPT2002     頁: 162-167   2002年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  271. Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor 査読有り

    Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002     頁: 210-211   2002年9月

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    記述言語:英語  

  272. Integrated Conical Soring Linear Actuator 査読有り

    Seiichi Hata, Tokokazu Kato, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe

    Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002)     頁: 208-209   2002年9月

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    記述言語:英語  

  273. EMS Technology. Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials, 306-307 (2002.9. N 査読有り

    Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE

    Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE     頁: 306-307   2002年9月

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    記述言語:英語  

  274. Micro-Forming of Thin Film Metallic Glass by Local Laser Heating 査読有り

    Hee-Won JEONG, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002     頁: 372-375   2002年1月

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    記述言語:英語  

  275. A Micro Lens Actuator for Optical Flying Head 査読有り

    Seiichi HATA, Yutaka YAMADA, Junichi ICHIHARA and Akira SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002,     頁: 507-510   2002年1月

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    記述言語:英語  

  276. Three-Dimensional Micro-Forming Process of Thin Film Metallic Glass in the Supercooled Liquid Region 査読有り

    S. HATA, Y. LIU, T. KATO and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of 10th International Conference on Precision Engineering (ICPE)     頁: 37-41   2001年7月

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    記述言語:英語  

  277. Thin Film Metallic Glasses: Fabrication and Property Test. 査読有り

    Y. LIU, S. HATA, K. WADA and A. SHIMOKOHBE

    Technical Digest of The 14th IEEE International Conference on MEMS 2001     頁: 102-105   2001年1月

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    記述言語:英語  

  278. 薄膜金属ガラスの成膜と物性 査読有り

    秦 誠一,劉 永東,和田晃一,下河邉明

    精密工学会誌   67 巻 ( 10 ) 頁: 1708-1713   2001年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  279. 金属ガラスの精密・微細加工に関する基礎的研究(Zr基バルク金属ガラスの引張変形挙動) 査読有り

    秦 誠一,劉 永東,長峯靖之,下河邉明

    日本機械学会論文集C編   67 巻 ( 660 ) 頁: 313-318   2001年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  280. Thermal, Mechanical and Electrical Properties of Pd-based Thin Film Metallic Glass 査読有り

    YONGDONG LIU, SEIICHI HATA, KOUICHI WADA and AKIRA SHIMOKOHBE

    J. Appl. Phys   40 巻   頁: 5382-5388   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  281. 超塑性複合加工によるマイクロ2段歯車の創製 査読有り

    早乙女康典,秦 誠一,坂口幸二

    塑性と加工   41 巻 ( 468 ) 頁: 49-53   2000年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  282. 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-(第1報)薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形- 査読有り

    秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 1 ) 頁: 96-101   2000年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  283. 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-(第2報)薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作- 査読有り

    秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 2 ) 頁: 287-291   2000年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  284. 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性 査読有り

    佐藤海二, 関 智紀, 秦 誠一, 下河邉明

    精密工学会誌   66 巻 ( 2 ) 頁: 282-286   2000年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  285. Self-alignment of Microparts Using Liquid Surface Tension - Examination of the Alignment Characteristics 査読有り

    K. SATO, K. ITO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of ASPE's 15th Annual Meeting     頁: 345-348   2000年

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    記述言語:英語  

  286. elf-alignment for Microparts Assembly using Water Surface Tension 査読有り

    K. SATO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99   3892 巻   頁: 321-328   1999年10月

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    記述言語:英語  

  287. Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator. 査読有り

    S. HATA, K. SATO and A. SHIMOKOHBE

    International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99   3892 巻   頁: 97-108   1999年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  288. 金属ガラスの精密・微細加工に関する研究(Zr基金属ガラスの過冷却液体域における成形性) 査読有り

    秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久, 下河邉明

    日本機械学会論文集C編   65 巻 ( 633 ) 頁: 346-352   1999年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  289. Precision and Micro Machining of Metallic Glasses -Formability of Zr Based Metallic Glasses in the Supercooled Liquid State 査読有り

    S. HATA, N. YAMADA, Y. SAOTOME, A. INOUE and A. SHIMOKOHBE

    Proceedings of China-Japan Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering     頁: 81-86   1998年10月

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    記述言語:英語  

  290. 延性モード切削加工用の超精密変位台の開発 査読有り

    大塚二郎, 秦 誠一, 下河邉明, 越水重臣

    精密工学会誌   64 巻 ( 4 ) 頁: 546-551   1998年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  291. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences   4 巻 ( 4 ) 頁: 47-54   1016年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.4172/2321-6212.1000155

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書籍等出版物 5

  1. 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

    (監修)益 一哉、年吉 洋、町田 克之 ( 担当: 共著)

    シーエムシー出版  2012年11月  ( ISBN:978-4-7813-0586-8

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    記述言語:日本語

    20世紀最大の発明は半導体デバイスと集積回路であろう。集積-integration-は単に組み合わせただけではなく、機能を産み出すことで工業的、産業的にインパクトを与えてきた。本書「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用」は、この分野の第一人者の方々の寄稿により上梓することになった。
    本書では異種機能集積化の重要性を強調しているが、微細化技術が必要ないとはいっていない。微細化高性能化技術開発なしに異種機能集積技術の未来は産業的には存在しないことを頭にたたき込んで欲しい。そうはいっても微細化技術の追求が研究、開発、製造、ビジネスのそれぞれのレベルで大きな困難を抱えていることは事実である。それを何とか克服するべく、単なる微細化だけでなく、単純なCMOS回路の組み合わせだけではなく、センサ、MEMS、エネルギーハーベスタ、通信機能などを集積回路と融合させることの期待が生まれてくる。
    本書は、種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術が述べられており、CMOS技術と融合することを想定すれば、研究としてもビジネスとしても想像できないような大きな可能性を拓くことにつながるであろう。

  2. 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

    監修)益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之( 担当: 共著)

    シーエムシー出版  2012年11月  ( ISBN:9784781305868

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    担当ページ:77-81   記述言語:日本語 著書種別:学術書

    20世紀最大の発明は半導体デバイスと集積回路であろう。集積-integration-は単に組み合わせただけではなく、機能を産み出すことで工業的、産業的にインパクトを与えてきた。本書「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用」は、この分野の第一人者の方々の寄稿により上梓することになった。
    本書では異種機能集積化の重要性を強調しているが、微細化技術が必要ないとはいっていない。微細化高性能化技術開発なしに異種機能集積技術の未来は産業的には存在しないことを頭にたたき込んで欲しい。そうはいっても微細化技術の追求が研究、開発、製造、ビジネスのそれぞれのレベルで大きな困難を抱えていることは事実である。それを何とか克服するべく、単なる微細化だけでなく、単純なCMOS回路の組み合わせだけではなく、センサ、MEMS、エネルギーハーベスタ、通信機能などを集積回路と融合させることの期待が生まれてくる。
    本書は、種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術が述べられており、CMOS技術と融合することを想定すれば、研究としてもビジネスとしても想像できないような大きな可能性を拓くことにつながるであろう。

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  3. これで使える機能性材料パーフェクトガイド

    大竹尚登他( 担当: 共著)

    講談社  2012年 

     詳細を見る

    記述言語:日本語

  4. これで使える機能性材料パーフェクトガイド

    大竹尚登他( 担当: 共著)

    講談社  2012年 

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    担当ページ:63-67   記述言語:日本語

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  5. 機械実用便覧(改訂第7版)

    日本機械学会編( 担当: 単著)

    日本機械学会  2011年 

     詳細を見る

    記述言語:日本語

MISC 33

  1. Development and evaluation of the novel FAB gun

    Ryo Morisaki, Yuuki Hirai, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Takami Hirai, Tomonori Takahashi, Hiroyuki Tsuji, Seiichi Hata  

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019   頁: 104 - 105   2019年1月

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    出版者・発行元:European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019  

    © 2019 European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019. All rights reserved. Argon fast atom beam (FAB) gun is used as a neutral atom beam irradiation source for surface activated bonding (SAB). Since SAB does not require any heat treatments, stress due to difference in thermal expansion coefficients does not occur, and the bonding between not only the same material but also different materials is realizable. However, the conventional FAB gun can be used for only short time because carbon abrasion powders are generated from the worn part of the inside walls of the gun due to argon ion sputtering. We developed the novel FAB gun applied magnetic fields and new position of the anodes in the gun to control the motion of the argon ions and reduce the sputtering. The design concept is that the magnetic fields guide both argon ions and electrons to the irradiation port of the gun and the argon atoms for the irradiation increased. In this study, we investigated the influence of the positions of the magnetic fields and the anodes on the plasma generation, the argon irradiation and the sputtering. With the novel FAB gun, the stable plasma is generated in the vicinity of the irradiation port, and the maximum irradiation amount is 3 times in comparison with the conventional design. Less sputtering of the inside walls of the gun was observed after the irradiation for more than thousands of minutes, while the sputtering with the conventional gun is more observed at the same condition.

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  2. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process 国際誌

    Yuki Nakagawa, Kyohei Yamada, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata  

    MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(国際会議)   出版者・発行元:MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    © 2018 IEEE. In micro electromechanical systems(MEMS) technology, lift-off processes are general patterning methods for the formation of amorphous alloy thick film structures. However, thicknesses of structures fabricated in this method are not uniform and cross-sectional shapes are not flat because sputtered particles are blocked by the sidewalls of the lift-off layer. In order to solve this problem, a reverse lift-off process is proposed as a new patterning method [1]. In the reverse lift-off process, the desired structure is formed on the top of the convex pattern such as the substrate. In contrast to the lift-off process, the thickness of the structure is uniform and the cross-sectional shape is rectangular because sputtered particles are not blocked by the sidewalls. In this research, thick film structures were fabricated in reverse lift-off processes from the width of the convex pattern on the order of micrometers. And the film thickness and the cross-sectional shape of the fabricated structure are measured, and the micro processing characteristics of the reverse lift-off process, which had not yet been elucidated, were investigated. This demonstrates the usefulness of fabricating the thick film micro structures in the reverse lift-off process.

    DOI: 10.1109/MHS.2018.8886962

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  3. Fabrication of miniaturized capacitive pressure sensor using thin film metallic glass

    S. Uejima, C. Oka, S. Hata, J. Sakurai  

    MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2018年12月

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    出版者・発行元:MHS 2018 - 2018 29th International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    © 2018 IEEE. In this paper, we proposed the process of the diaphragm for miniaturizing MEMS capacitive pressure sensor and controlling its sensitivity. We fabricated micro diaphragm using a Ru65Zr30Al5(at.%) thin film metallic glass (TFMG). The as-sputtered TFMG on Si substrate were annealed at 315-440°C for 5 minutes in vacuum. After annealing, micro diaphragms were fabricated by an etching Si substrate using a reactive ion etching system. Although the diaphragm without annealing had dome structure, the diaphragm annealed above 340°C formed a flat structure. The deflection of the diaphragm against applied pressure depended on the annealing temperature and decreased at higher temperatures. The pressure sensor was modeled using this diaphragms. The pressure measurement range and sensitivity were 250 Pa and 6.4×10-3 pF/Pa, respectively, for annealed at 340°C, and 1800 Pa, and 8.1 × 10-4 pF/Pa, respectively for annealed at 440°C.

    DOI: 10.1109/MHS.2018.8887020

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  4. Micro folding structure using Ti-Ni-Zr high formable shape memory alloys

    H. Watanabe, M. Mizoshiri, S. Hata, J. Sakurai  

    MHS 2017 - 28th 2017 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science2018-January 巻   頁: 1 - 4   2018年2月

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    出版者・発行元:MHS 2017 - 28th 2017 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science  

    © 2017 IEEE. In this study, we proposed the fabrication process of the micro folding structures such as foldable pipe structures using Ti-Ni-Zr high formable shape memory alloys (HFSMAs). We investigated microforming ability, shape memory behaviors of Ti38Ni50Zr12 (at.%) HFSMAs. We succeeded to fabricate folded samples without crystallization. Their folding angles 0were approximately 60° and 90°. Finally, folded samples were annealed at 873 K for 1 hour, and then they became SMAs. To investigate their shape memory behaviors, bending tests during several thermal cycles were conducted. As these results, both folded samples showed good shape memory behaviors, and could recover their initial shapes without plastic deformation, even if they were deformed to straight shape (0=180°).

    DOI: 10.1109/MHS.2017.8305191

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  5. Fabrication of Novel Nanoporous Films in Moisture-in-Oil Sensors via Chemical Dealloying of Cu-Cr using Combinatorial Search of Cu-Cr Alloy Compositions 査読有り

    Yoshii Y., Sakurai J., Mizoshiri M., Hata S.  

    MRS Advances3 巻 ( 4 ) 頁: 225 - 232   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:速報,短報,研究ノート等(学術雑誌)   出版者・発行元:MRS Advances  

    An as-deposited film with a Cr compositional gradient (22-15 at.% Cr) was immersed in 22.5% HNO3 for 15 hours. In the part of the film with initial Cr content in the range of 22-18 at.%, Cu dealloying resulted in sufficient Cu dealloying (final Cr content = 33-80 at.%) without film dissolution. Using the film with optimal initial composition Cu82Cr18, we successfully fabricated a nanoporous film with a pore size in the range of 20-40 nm. As a result of the formation of Cr2O3 during dealloying, this film was transparent and exhibited an insulation state. The novel nanoporous film is expected to be applied as a nanofilter in moisture-in-oil sensors.

    DOI: 10.1557/adv.2018.198

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  6. FABRICATION OF FLEXIBLE THE OELECTRIC GENE A TORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING 査読有り

    Shimizu Y, Mizoshiri M, Mikami M, Ito Y, Sakurai J, Hata S  

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)2018-January 巻   頁: 604-607 - 607   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  

    A flexible thermoelectric generator with a lens array that converts near-infrared (NIR) solar light, was fabricated using lithography and thin-film deposition processes. The generator comprised serially connected 270 pairs of thin-film thermocouples and a polydimethylsiloxane (PDMS) lens array. It possessed the flexibility to be easily placed on glass windows. The thermoelectric elements of Cu (p-type) and Cu-Ni (n-type) thin films were used in thermoelectric generators. The thermoelectric thin films were deposited on flexible polyimide substrates using sputtering method and were formed using lift-off techniques. When solar light (A.M. 1.5) was irradiated onto the fabricated generator, the open-circuit voltage and the maximum power were 7.4 V/m2 and 11 μW/m2 respectively. The flexible thermoelectric generator can be placed on arbitral hard materials, such as glass windows, for energy harvesting.

    DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346626

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  7. FABRICATION OF A NOVEL NANOPOROUS FILM BY CHEMICAL DEALLOYING OF CU-CR AND ITS APPLICATION FOR A SENSOR 査読有り

    Yoshii Yusuke, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi  

    2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   頁: 1104-1107   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)  

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  8. Erratum: Fabrication of novel nanoporous films in moisturein- oil sensors via chemical dealloying of Cu-Cr using combinatorial search of Cu-Cr alloy compositions (MRS Advances (2018) 3 (225-232) DOI: 10.1557/adv.2018.198)

    Yoshii Y., Sakurai J., Mizoshiri M., Hata S.  

    MRS Advances3 巻 ( 45-46 ) 頁: 2841 - 2843   2018年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:MRS Advances  

    Due to a technical error in the original publication of Yoshii et al.,1 numerical values given in in Figs. 1, 3, and 5-7 were either cut off or illegible. The online version of the article has been updated, and the correct figures are given below. (Figure Presented).

    DOI: 10.1557/adv.2018.492

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  9. Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製

    清水 悠希, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]34 巻   頁: 1 - 3   2017年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  10. 高感度磁区観察をめざしたAuギャップ光学フィルタの作製

    長谷川 拓己, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 高木 健太, 尾崎 公洋  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]34 巻   頁: 3p   2017年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  11. 電解式塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索

    高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]34 巻   頁: 3p   2017年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  12. Cu₂Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

    溝尻 瑞枝, 近藤 幸成, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    電気学会研究会資料. MSS2017 巻 ( 1 ) 頁: 1 - 4   2017年6月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:電気学会  

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  13. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata  

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences4 巻 ( 4 ) 頁: 47-54   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)  

    DOI: 10.4172/2321-6212.1000155

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  14. MEMS技術を応用したリチウム電池正極材料のハイスループット評価の基礎研究 (第8回 集積化MEMSシンポジウム)

    平井 友喜, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]33 巻   頁: 1 - 4   2016年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  15. 水素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索法の確立

    高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]33 巻   頁: 1 - 4   2016年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  16. 水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索

    吉井 雄佑, 深川 雄貴, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]33 巻   頁: 1 - 5   2016年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  17. Fabrication of CuO-based anti-reflection structures using self-arranged submicron SiO2 spheres for thermoelectric solar generation 査読有り

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata  

    Japanese Journal of Applied Physics55 巻 ( 6S1 )   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:速報,短報,研究ノート等(学術雑誌)  

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  18. Direct fabrication of Cu/Cu2O composite micro-temperature sensor using femtosecond laser reduction patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Shun Arakane Junpei Sakurai, Seiichi Hata  

    Japanese Journal of Applied Physics55 巻   頁: 06GP05   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:速報,短報,研究ノート等(学術雑誌)  

    Micro-temperature sensors, which composed of a Cu2O-rich sensing part and two Cu-rich electrodes, were directly fabricated by femtosecond<br />
    laser reduction patterning of CuO nanoparticles. Patterning of the microstructures was performed by laser scanning with pitches of 5, 10, and<br />
    15 µm. Cu2O-rich micropatterns were formed at the laser scan speed of 1 mm/s, the pitch of 5 µm, and the pulse energy of 0.54 nJ. Cu-rich<br />
    micropatterns that had high generation selectivity of Cu against Cu2O were fabricated at the laser scan speed of 15 mm/s, the pitch of 5 µm, and<br />
    the pulse energy of 0.45 nJ. Electrical resistivities of the Cu2O- and Cu-rich micropatterns were approximately 10 Ω m and 9 µΩ m, respectively. The<br />
    temperature coefficient of the resistance of the micro-temperature sensor fabricated under these laser irradiation conditions was %5.5 &#039; 10%3/°C.<br />
    This resistance property with a negative value was consistent with that of semiconductor Cu2O. © 2016 The Japan Society of Applied Physics

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  19. MEMSデバイスを用いた磁気特性評価に関する研究

    前谷 卓哉, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一  

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]32 巻   頁: 1 - 4   2015年10月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

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  20. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製 査読有り

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2015 巻 ( 7 ) 頁: "28pm3 - F-7-1"-"28pm3-F-7-2"   2015年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    A thin-film thermoelectric generator with anti-reflection structures was fabricated to convert near-infrared solar light, which cannot be converted to electric energy by photovoltaic conversion, to electric energy. The anti-reflection structures were designed using Rigorous Coupled Wave Analysis, resulting that the anti-reflection structures which were formed by close-packed SiO_2 microspheres with 200 nm diameter and coated with CuO thin films estimated to be 6.7%. The anti-reflection structures were formed onto the SiO_2 glass substrate by dip coating method. When the SiO_2 microspheres were dispersed into deionized water and amphiphilic block copolymer F-127, the hexagonally close-packed microspheres were formed on the substrate by dip coating. Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (p-type) and Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (n-type) thin film elements were formed onto the glass substrate by lithography and sputtering method and serially connected by Cu thin films. After SiO_2 thin-film over-coating the thermoelectric elements, CuO-based anti-reflection structures were successfully formed onto the hot side of the generators.

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  21. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製 査読有り

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2015 巻 ( 7 ) 頁: "29pm1 - B-4-1"-"29pm1-B-4-2"   2015年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    Micro-temperature sensors consisting of Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were fabricated using femtosecond laser induced reduction of CuO nanoparticles. Cu_2O-rich and Cu-rich microstructures were selectively formed by controlling laser irradiation conditions. When the laser scanning pitch was 10 μm, Cu_2O-rich microstructures were formed under the condition that the laser scanning speed and pulse energy were 1 mm/s and 0.45 nJ, respectively. Cu-rich microstructures were fabricated by the scanning speed of 10 mm/s and the pulse energy of 0.28 nJ. The Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were formed using the evaluated conditions. The micro-temperature sensors composed of Cu_2O-rich and Cu-rich hybrid structures were successfully obtained.

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  22. MoB-1-1 COMPARISON OF NOVEL REVERSED LIFT-OFF PROCESS WITH CONVENTIONAL LIFT-OFF PROCESS IN CROSS-SECTIONAL SHAPE ON PATTERNED STRUCTURES

    Watanabe Shigetaka, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi  

    Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE2015 巻   頁: "MoB - 1-1-1"-"MoB-1-1-3"   2015年6月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    In Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology, a lift-off process with sputter deposition is one general patterning method for amorphous alloy thick film structure. However, a thickness of the structure is not uniform because sputtered particles are hindered by side a wall of the lift-off layer. In this paper, a new patterning method of amorphous alloy thick film structure with uniform thickness was proposed. Moreover, this patterning method was defined as "Reversed lift-off process". In reversed lift-off process, convex parts with the desired structure shape is formed on a top of a substrate. Thick film structure is deposited by the sputter deposition on the top surface of convex parts. A thickness of the structure is uniform because there is nothing which hinders sputtered particles in contrast to a conventional lift-off process. As a practical experiment of reversed lift-off process, we successfully fabricated Cu-Zr-Ti metallic glass thick film structure which has uniform film thickness, rectangular cross-sectional shape, and noncrystalline in a different width of the structure. Moreover, it was confirmed that reversed lift-off process is suitable for the fabrication of metallic glass thick film structure in the comparison with the conventional lift-off process.

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  23. 20am2-E2 酸化銅ナノ粒子還元を用いたフェムト秒レーザ直接描画プロセス

    溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2014 巻 ( 6 ) 頁: "20am2 - E2-1"-"20am2-E2-2"   2014年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    CuO nanoparticles were directly reduced to form Cu micropattems using femtosecond laser writing. CuO nanoparticles were dispersed into reductant agent and base polymers. When femtosecond laser pulses were focused and irradiated into the CuO nanoparticle based films on glass substrate, Cu micropattems were formed by reducing and sintering of CuO nanoparticles. X-ray diffraction spectra of the laser irradiated area shows Cu peaks although the Cup peaks were not observed in that of non-laser irradiated area. The width of the Cu micropattems was increased with decreasing laser pulse energy and scanning speed. Cu-rich patterns were obtained by laser irradiation with high laser scanning speed. The resistance of the line patterns were inversely proportional to the line width which indicated that the Cu micropattems have uniform electrical properties.

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  24. 21pm3-PM020 金属バッファ層を導入した熱電薄膜デバイスの発電特性 査読有り

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2014 巻 ( 6 ) 頁: "21pm3 - PM020-1"-"21pm3-PM020-2"   2014年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    The effect of Cr or Cu buffer layers on open-circuit voltage of thin-film thermoelectric generator was investigated. Thermoelectric thin films of Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (p-type) and Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (n-type) were deposited onto SiO_2 glass substrate using the Cr or Cu buffer layers. The buffer layer enabled to prevent the thermoelectric thin films from removing onto the substrate during the thin-film patterning process. X-ray diffraction patterns of the thermoelectric thin films were not affected by the underlying Cr or Cu buffer layers with 1 nm thickness. The open-circuit voltage of the thin-film thermoelectric devices with 1 nm-Cr buffer layers were approximately 50 mV higher than that of the devices with 1 nm-Cu buffer layers. This value is consistent with the estimated one by taking the current flow into the buffer layers.

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  25. F041003 金属系材料と高分子系材料融合を可能とする新しい積層加工技術([F04100]機械材料・材料加工部門,マイクロ・ナノ工学部門,設計工学・システム部門企画,次世代3Dプリンティングと関連技術)

    秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2014 巻   頁: "F041003 - 1"-"F041003-3"   2014年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    When suitable materials in the right place are able to place freely anywhere, it can be produced with microactuators, sensors, and signal processing circuit to freely also inside as well as the surface of mechanical parts. Although they are basic research, two new processes indicating the possibility are introduced in this presentation. One is novel lift-off process using die. The other is direct reduction Cu patterning process by femtosecond laser pulses. These new processes show the potential to allow any arrangement of a polymeric material and metal in any place.

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  26. 632 Ni-Nb-Ti 合金材料の切削性のコンビナトリアル探索

    姜 勝先, 桜井 淳平, 青野 裕子, 秦 誠一  

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集2013 巻 ( 21 ) 頁: "632 - 1"-"632-3"   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    Abstract As mold material for glass lens with microstructures, it requires not only excellent mechanical properties, high thermal stability and oxidation resistance, but also satisfying machinability Using combinatorial arc plasma deposition, Ni-Nb-Ti thin film libraries were deposited for evaluations of some properties, such as, crystallization temperature, thermal stabilities, hardness, oxidation resistance and so on When Ni within 40-58 at %, Nb within 24-46 at %, Ti within 5-20 at %, the thin film exhibited excellent thermal stability However, for machinability, the conventional method can measure only one composition at each time which is both time-consuming and expensive Therefore, a novel combinatorial deposition and evaluation method for machinability are proposed In those methods, thin film samples with concentrically grading composition are sputter - deposited using combination targets The sample has grading compositions of which in the center Ti content is rich and becomes gradually decreasing from center to edge This means that each position on the surface of sample represents a particular composition Then this sample will be cut at different positions After that, cutting depth and the roughness of cutting surfaces will be measured It is clearly to see this new method is more efficient than conventional method, which is able to measure a lot of compositions' machinability at one time with one sample

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  27. 634 太陽光の熱利用のための薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 式田 光宏, 秦 誠一  

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集2013 巻 ( 21 ) 頁: "634 - 1"-"634-3"   2013年11月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    We fabricated thin-film thermoelectric generators and evaluated their generation properties using focused solar light Thin-film thermoelectric elements of Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_<0.3> (p-type) and Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (n-type), were deposited on glass substrates by radiofrequency magnetron sputtering, and patterned using lift-off techniques After patterning the module, annealing treatment was carried out in a vacuum at 300℃ for 1 h Solar light was focused onto the hot side of the thin-film thermoelectric module with 10 pn junctions using convex lens The focal spot was approximately 2 mm with solar concentration of 156 suns The temperature difference between the hot and cold sides of pn junctions was approximately 90℃ Under this condition, the open circuit voltage and maximum generation power were 245 mV and 1.2 μW, respectively This value of the open circuit voltage of the module was consistent with the calculated value using Seebeck coefficient of thermoelectric thin films and the temperature difference of the module

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  28. 6AM2-A-7 ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の成膜とリフト・オフパターニング(6AM2-A マイクロナノプロセス技術I(センサシンポジウムとの合同セッション)) 査読有り

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 式田 光宏, 秦 誠一  

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム2013 巻 ( 5 ) 頁: 105 - 106   2013年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    An increase of thermoelectric film thickness is important for thermoelectric film generators to convert thermal energy to electric energy with high efficiency. The aim of this study is to develop a patterning process of thermoelectric thick films. Thermoelectric thick films of Bi_2Te_3 materials were deposited by thermally-assisted sputtering method (TASM) and patterned using lift-off technique. The weight loss of polydimethylsiloxane (PDMS) was as small as 0.5% at 300℃ by thermogravimetry analysis. Therefore, PDMS was used as masks in the lift-off technique because the substrate temperature reached approximately 300℃ in TASM. The PDMS lift-off masks with 100 urn height were formed on the substrates using thick photoresist patterns as molds. After depositing the thick films, PDMS lift-off masks were removed from the substrates in acetone. Bi_2Te_3 thick film patterns with 300 μm width and 30 μm thickness were obtained. This patterning process can be applied to fabricate thermoelectric thick film generators.

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  29. F113004 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータ(【F11300】静電アクチュエータの現状と将来展望,機素潤滑設計部門企画,先端技術フォーラム)

    秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2013 巻   頁: "F113004 - 1"-"F113004-5"   2013年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    This paper introduces driven methods for curled-up type electrostatic micro actuator made of thin film metallic glasses. One of the methods achieves analog motion over the full range of its stroke without closed loop control system. The device consists of a curled-up moving electrode that delivers large deflection in the out-of-plane direction and a taper-shaped base electrode. A prototype device achieves analog motion for 70% by rectangular AC voltage from 0V to 400V. Another method removes remnant charge that can cause a moving electrode to "stick" to its insulator and demonstrates the effectiveness of the method experimentally. The method is applicable to many types of MEMS because it does not require any change to the actuator fabrication process, structure, dimensions or materials. The only modification is to the waveform of the applied voltage.

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  30. F041006 マイクロ・ナノ材料開発最前線 : MEMSでマイクロ・ナノ材料を評価する

    秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2012 巻   頁: "F041006 - 1"-"F041006-4"   2012年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    In the exploitation of micro-nano materials, there is a problem that is difficult to evaluate their properties than bulk materials. Recently, to solve the problem, fabrication of sample group which can be evaluated efficiently and high throughput evaluation using MEMS are studied by integrating MEMS and combinatorial technology. In this report, high throughput evaluation using integration of MEMS technology and combinatorial technology including the example of research in overseas is reviewed.

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  31. J164034 新対向ターゲット式スパッタ法を用いた磁性薄膜のコンビナトリアル成謨

    前谷 卓哉, 中光 豊, 桜井 淳平, 秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2012 巻   頁: "J164034 - 1"-"J164034-3"   2012年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    Combinatorial sputtering is one of the useful methods that could search for optimal composition of alloy materials or novel alloy materials. Combinatorial sputtering provides sample group (library) having different compositions in a limited space. Then, the properties of the samples can be scanned in an efficient way. The combinatorial New Facing Targets Sputtering (Combi-NFTS) is one of the co-sputtering methods to synthesize libraries. In the previous research, CuZrTi (nonmagnetic materials) was studied to confirm the performance of Combi-NFTS. As a result, composition distributions of samples are influenced a great deal by the power supply to targets, distance from substrate to targets and substrate position. In this research, Fe, Co and Ni were used as sputtering targets to confirm the effect of these parameters m magnetic materials. Thin film libraries were synthesized by using Comb-NFTS onto a single glass substrate. After deposition, compositions of libraries were measured by using EDX. As a result, compositions of library have linear relation with power supply to targets, and compositions changed two dimensionally by changing the substrate position.

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  32. J164033 Ni-Nb-Zr系におけるガラス成形金型用コーティング材料の探索

    高橋 直也, 桜井 淳平, 中光 豊, 秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2012 巻   頁: "J164033 - 1"-"J164033-3"   2012年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    Many optical glass lenses are made with glass molding. To improve durability of molds, it is one way that molds are coated with high durability materials such as noble alloys. Conventional coating materials with high hardness are needed because damage of coating causes deterioration of quality of glass lenses. To enable amorphous alloys to use as coating of optical glass molds, they must have a high mechanical strength and high thermal stabilities below the molding temperature. This research evaluates hardness and thermal stability of the Ni-Nb-Zr alloy samples and selects several compositions as candidate materials efficiently with combinatorial method. At first, with combinatorial arc plasma deposition, compositionally spread Ni-Nb-Zr libraries were fabricated on the substrate which was separated into 1089 samples by a MEMS grid and a lift-off process. After that, the samples on the thin film libraries were evaluated by measuring the thickness, compositions and phases. The thickness of the samples was measured with a white light interferometer. The compositions of the samples were identified with EDX. The phases of the samples were ascertained with XRD. These results brought out the amorphous compositions in the Ni-Nb-Zr alloy systems. Then, hardness of the several amorphous samples was measured with nanoindentation measurement. Based on these results and results about thermal stabilities in previous research which Ni-Nb-Zr alloy samples were heated at 723 K for 100h, several typical alloy compositions having high hardness and high thermal stabilities were selected as candidate materials.

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  33. J164022 薄膜金属ガラスCu-Zr-Ti超厚膜構造体の製作

    渡辺 茂高, 桜井 淳平, 秦 誠一  

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan2012 巻   頁: "J164022 - 1"-"J164022-4"   2012年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    In Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology, structure of amorphous alloy thin film is manufactured by sputter deposition and lift-off process. But its thickness is not uniform because lift-off masking material block off. The structure thickness of amorphous alloy thin film is low in the vicinity of lift-off masking material, and its cross-sectional shape is not rectangular. In this paper, we propose new fabrication method of thick film structure of metallic glass with the sputtering jig, which combines projection surfaces and spacers. In the new fabrication method, since thick film structure of metallic glass is formed on the projection plane, the film thickness does not decrease as compared with lift-off process. That structure is separated from the sputtering jig by removal of sacrificial layers and pacers. By removing the extra burr, thick film structure of metallic glass that has rectangular cross section and uniform thickness is made. In this way, we have successfully fabricated Cu-Zr-Ti thick film structure of metallic glass, which have uniform film thickness and rectangular cross-sectional shape.

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講演・口頭発表等 65

  1. The characteristics evaluation of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for ultrasonic sensor 国際会議

    Jinglan Xie, Fuyuki, Haga, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    34th 2023 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2023)  2023年11月20日  IEEE

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Nagoya   国名:日本国  

  2. Combinatorial search of new Ti-Ni-Hf high formable shape memory alloys 国際会議

    Shin Inoue, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Seiichi Hata and Junpei Sakurai

    32nd 2021 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2021)  2022年12月7日  IEEE

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya  

  3. Effect of tactile pin height on driving characteristics using high formable shape-memory alloy for reaction force variable tactile displays 国際会議

    (4) Masanori Murase, Keita Nambara, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    International Conference on Materials & Processing 2022 (ICM&P 2022)  2022年11月7日  JSME

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Okinawa   国名:日本国  

  4. Al addition to Fe- based nanocrystalline soft materials for large magnetostriction 国際会議

    (5) Kohya Sano, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Takahiro Yamazaki, Seiichi Hata

    International Conference on Materials & Processing 2022 (ICM&P 2022)  2022年11月7日  JSME

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Okinawa   国名:日本国  

  5. Unidirectional pores using magnetic-nanoparticle-chain template

    Atsuki Kobayashi, Junpei Sakurai, Hosei Nagano, Seiichi Hata, Chiemi Oka

    11th International Conference on Fine Particle Magnetism (ICFPM2022)  2022年10月17日 

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    開催年月日: 2022年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Yokohama  

  6. Combinatorial Search for Chlorine Evolution Electrode Catalyst using Bayesian optimization 国際会議

    Junpei Sakurai, Kimihiko Sugiura, Chiemi Oka, Seiichi Hata

    11th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2022)  2022年9月30日 

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    開催年月日: 2022年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Colorado   国名:アメリカ合衆国  

  7. Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    形状記憶合金協会 第11期定時総会  2021年3月12日  形状記憶合金協会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  8. 新規医療用Ti-Ni-Hf高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    井上 慎,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    生体医歯工学共同研究拠点 令和2年度成果報告会  2021年3月5日  生体医歯工学共同研究拠点

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  9. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製及び駆動評価

    南原 圭汰,伊木 啓一郎,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  10. 逆リフトオフ法を用いた MEMS ミラーデバイスの作製

    高瀬 駿,山田 恭平,中川 優希,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  11. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金のソフトアクチュエータへの基礎検討

    浅井 泰平,青山 椋佑,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  12. 二層構造を有した手術シミュレータ用血管モデルの作製

    山田 大地,堀 史門,山崎貴大,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    第28回機械材料・材料加工技術講演会  2020年11月19日  日本機械学会機械材料・材料加工部門

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  13. 高効率長寿命FABガンの開発 招待有り

    秦 誠一

    接合界面創成技術委員会第29回研究会  2020年11月19日  接合界面創成技術委員会

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  14. Plasma analysis of the FAB source for the SAB process by PIC-MCC simulation 国際会議

    R. Morisaki, T. Hirai, T. Takahashi, H. Tsuji, N. Ohno, Takahiro Yamazaki, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference  2020年11月9日 

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  15. 材料創製・加工技術で拓くマイクロ・ナノの世界 招待有り

    秦 誠一

    長野県精密加工技術研究会 令和2年度技術講演会  2020年11月2日  長野県精密加工技術研究会

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    開催年月日: 2020年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  16. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた,反力可変受動形触覚ディスプレイ用触知ピンの作製

    南原 圭汰,伊木 啓一郎,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  17. 磁性ナノ粒子の発熱を利用した新規マイクロバルブの作製

    三輪 大貴,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  18. プラズマ解析による表面活性化接合用FAB源の高性能化

    森崎 諒,平井 隆巳,高橋 知典,辻 裕之,大野 哲靖,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  19. テクスチャ基板による色素増感太陽電池における変換効率への影響

    西保 裕司,楊 娜,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  20. 手術シミュレータ用3次元次元応力測定系の開発

    山田 大地,堀 史門,山崎貴大,岡智絵美,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2020年度年次大会  2020年9月13日  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  21. 機能性薄膜のコンビナトリアル探索とセンサ応用 招待有り

    秦 誠一

    新化学技術推進協会 電子情報技術部会 ナノフォトニクスエレクトロニクス交流会 講演会  2020年2月25日  新化学技術推進協会 電子情報技術部会 ナノフォトニクスエレクトロニクス交流会

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    開催年月日: 2020年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

  22. マルチスケール、マルチマテリアル3D造形技術とCOMSOLへの期待 招待有り

    秦 誠一

    COMSOL CONFERENCE 2016 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京   国名:日本国  

  23. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上への温度センサ作製

    伊藤恭章,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

    第2回日本機械学会イノベーション講演会 

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    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  24. Fabrication of Ni/Cr2O3 Composite Microstructures Using Femtosecond Laser Reductive Sintering of NiO/Cr Mixed Nanoparticles 国際会議

    Kenki Tamura,Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2016) 

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    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kyoto   国名:日本国  

  25. フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製

    田村健紀,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 

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    開催年月日: 2016年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸   国名:日本国  

  26. 新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工 招待有り

    秦 誠一,溝尻瑞枝,櫻井淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジム 

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    開催年月日: 2016年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸   国名:日本国  

  27. リアルメカトロニクスを目指すマルチマテリアル・マルチスケール3D造形技術 招待有り 国際会議

    秦 誠一

    第65回高分子討論会 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川   国名:日本国  

  28. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上へのCu微細構造形成

    伊藤恭章,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  29. フェムト秒レーザ還元直接描画法による3次元微細Cuパターンの積層造形

    荒金駿,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  30. Three-dimensional Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 国際会議

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications 

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    開催年月日: 2016年8月 - 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Brasov   国名:ルーマニア  

  31. Femtosecond laser-induced reductive sintering to fabricate Ni-based alloy micropatterns 国際会議

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications 

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    開催年月日: 2016年8月 - 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Brasov   国名:ルーマニア  

  32. イノベーションを如何に起こすか?~マルチマテリアル3D造形を例として~ 招待有り

    秦 誠一

    ナノ物質集積複合化技術研究会 

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    開催年月日: 2016年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋   国名:日本国  

  33. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属微細パターニングとその応用 招待有り

    溝尻瑞枝,秦 誠一

    (社)溶接学会第114回マイクロ接合研究委員会 

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    開催年月日: 2016年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:京都   国名:日本国  

  34. 金属酸化物ナノ微粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り

    溝尻瑞枝,秦 誠一

    展示会OPIE'16&月刊オプトロニクス 連動特別講演会 

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    開催年月日: 2016年5月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:パシフィコ横浜   国名:日本国  

  35. Spray-coating of CuO nanoparticles for femtosecond laser reduction patterning on nonplanar substrates 国際会議

    Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016) 

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    開催年月日: 2016年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Yokohama   国名:日本国  

  36. Cu micropatterning on poly(dimethylsiloxane) using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016) 

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    開催年月日: 2016年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Yokohama   国名:日本国  

  37. 機械と電気の真の融合を目指した新しい微細加工技術

    秦 誠一

    第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ  

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    開催年月日: 2014年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  38. Fe-Ni-Cr系磁歪材料のコンビナトリアル探索とその磁歪特性評価

    前谷卓哉,中光豊,桜井淳平,中川茂樹,秦 誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会 

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    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学   国名:日本国  

  39. マイクロアクチュータを使用した薄膜金属材料疲労試験

    YapJeng Hua,佐藤康平,Tamjidi Nastaran,桜井淳平,中光豊,秦 誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会 

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    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学   国名:日本国  

  40. 金属ガラス厚膜微細構造体の新しい微細加工法

    秦 誠一

    粉体粉末冶金協会講演 平成24年度秋季大会 

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    開催年月日: 2012年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:滋賀・立命館大学びわこ・くさつキャンパス エポック立命21   国名:日本国  

  41. 微細加工を応用したAI時代の材料探索 招待有り

    秦 誠一

    年次大会  2021年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2021.k041-01

    CiNii Research

  42. 機械と電気の真の融合を目指した新しい微細加工技術 国際会議

    秦 誠一

    第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ  2014年7月11日  応用物理学会集積化MEMS技術研究会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:豊橋技術科学大学  

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  43. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2015年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2015.7._28pm3-f-7

    CiNii Research

  44. 635 NFTS成謨を用いた油中水分センサ

    吉井 雄侑, 中光 豊, 向井 信幸, 溝口 尚志, 高橋 勉, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2013.21._635-1_

    CiNii Research

  45. 634 太陽光の熱利用のための薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 式田 光宏, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2013.21._634-1_

    CiNii Research

  46. 632 Ni-Nb-Ti 合金材料の切削性のコンビナトリアル探索

    姜 勝先, 桜井 淳平, 青野 裕子, 秦 誠一

    機械材料・材料加工技術講演会講演論文集  2013年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    DOI: 10.1299/jsmemp.2013.21._632-1_

    CiNii Research

  47. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2015年  一般社団法人 日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    DOI: 10.1299/jsmemnm.2015.7._29pm1-b-4

    CiNii Research

  48. Cu micropatterning on poly(dimethylsiloxane) using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016)  2016年5月17日 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Yokohama  

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  49. 金属ガラス厚膜微細構造体の新しい微細加工法 国際会議

    秦 誠一

    粉体粉末冶金協会講演 平成24年度秋季大会  2012年11月20日  粉体粉末冶金協会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:滋賀・立命館大学びわこ・くさつキャンパス エポック立命21  

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  50. 新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工 招待有り 国際会議

    秦 誠一, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジム  2016年10月24日  日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸  

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  51. リアルメカトロニクスを目指すマルチマテリアル・マルチスケール3D造形技術 招待有り

    秦 誠一

    第65回高分子討論会  2016年9月14日  高分子学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川  

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  52. マルチスケール、マルチマテリアル3D造形技術とCOMSOLへの期待 招待有り 国際会議

    秦 誠一

    COMSOL CONFERENCE 2016  2016年12月9日  計測エンジニアリング社

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京  

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  53. マイクロアクチュータを使用した薄膜金属材料疲労試験 国際会議

    YapJeng Hua, 佐藤康平, Tamjidi Nastaran, 桜井淳平, 中光豊, 秦 誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会  2013年9月8日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学  

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  54. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属微細パターニングとその応用 招待有り 国際会議

    溝尻瑞枝, 秦 誠一

    (社)溶接学会第114回マイクロ接合研究委員会  2016年7月22日  (社)溶接学会マイクロ接合研究委員会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:京都  

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  55. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上への温度センサ作製 国際会議

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第2回日本機械学会イノベーション講演会  2016年11月23日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学  

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  56. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上へのCu微細構造形成 国際会議

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月11日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学  

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  57. フェムト秒レーザ還元直接描画法による3次元微細Cuパターンの積層造形 国際会議

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月11日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学  

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  58. フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製 国際会議

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月24日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸  

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  59. イノベーションを如何に起こすか?~マルチマテリアル3D造形を例として~ 招待有り 国際会議

    秦 誠一

    ナノ物質集積複合化技術研究会  2016年7月29日  ナノ物質集積複合化技術研究会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

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  60. Three-dimensional Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications  2016年8月29日 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Brasov  

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  61. 金属酸化物ナノ微粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り 国際会議

    溝尻瑞枝, 秦 誠一

    展示会OPIE'16&月刊オプトロニクス 連動特別講演会  2016年5月18日  オプトロニクス社

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:パシフィコ横浜  

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  62. Spray-coating of CuO nanoparticles for femtosecond laser reduction patterning on nonplanar substrates

    Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016)  2016年5月17日 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Yokohama  

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  63. Femtosecond laser-induced reductive sintering to fabricate Ni-based alloy micropatterns

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications  2016年8月29日 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Brasov  

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  64. Fe-Ni-Cr系磁歪材料のコンビナトリアル探索とその磁歪特性評価 国際会議

    前谷卓哉, 中光豊, 桜井淳平, 中川茂樹, 秦 誠一

    日本機械学会 2013年度年次大会  2013年9月8日 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学  

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  65. Fabrication of Ni/Cr2O3 Composite Microstructures Using Femtosecond Laser Reductive Sintering of NiO/Cr Mixed Nanoparticles

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2016)  2016年11月8日 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kyoto  

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共同研究・競争的資金等の研究課題 1

  1. イノベーションソサエティを活用した中部発革新的機器製造技術の研究開発

    2014年10月 - 現在

    SIP(戦略的イノベーション創造プログラム)/革新的設計生産技術 

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    資金種別:競争的資金

    金属とポリマー材料や特性の異なるポリマー材料を任意に積層できるリアルマルチ材料積層造形技術を用い、超リアル手術シミュレータ実体モデル製造技術の基礎研究開発を行う。また、複雑な骨折箇所を迅速的確に固定を可能とするTiの金型フリー板材成形技術による即時オーダメイド体内固定用プレート製造技術の基礎研究開発を行う。
     加えて、開発する技術や製品の社会実装や、研究開発から生まれた新技術やその分野横断的技術の体系化・規格化・標準化を進めるシステムを日本機械学会に構築する。

科研費 9

  1. 集積化MEMSを用いた超ハイスループット材料評価技術

    2016年4月 - 2019年3月

    科学研究費補助金  基盤研究(B)

    秦 誠一

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    本研究の目的は,MEMS技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し,新エネルギー,省エネルギーや耐環境材料,医療技術,細胞観察などグリーン/ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである.本研究期間では,数ミリ角,厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを,MEMS技術を応用し同時または別個に加振すると共に,その振動状態をセンシングすることで,各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化MEMS薄膜ライブラリを製作する.これを用いて広角スキャナ用高弾性高疲労強度材料や,超小型トルクセンサ用高性能磁歪材料などイノベーションに資する新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証する.

  2. ソフトマテリアルを用いたパッド型ドラッグデリバリーシステム

    2014年4月 - 2016年3月

    科学研究費補助金 

    秦 誠一

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    担当区分:研究代表者 

    本研究では,日常動作によるランダムな外力を駆動力とし,温度応答性ゲルを用いたマイクロバルブにより送液量と,そのタイミングの制御を可能とする全く新しいドラックデリバリーシステム(以下,DDS)の構築を目的とする. 本DDSは,従来のDDSに比べ,以下のような特徴を有する.
    ①小型の絆創膏程度の大きさ,柔軟性を有し,低価格で使い捨て可能
    ②マイクロニードルを含む経皮吸収型DDS以上の投与時間,投与量とその制御性
    ③マイクロポンプ型DDS以上の小型,柔軟,極低消費電力

  3. ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索とそのナノ加工

    2008年4月 - 2013年3月

    科学研究費補助金  若手研究(S)

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    担当区分:研究代表者 

  4. 高機能金型材料の創成とそのナノ加工

    2007年4月 - 2008年3月

    科学研究費補助金  基盤研究(B)

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    担当区分:研究代表者 

  5. コンビナトリアル技術を援用した薄膜金属ガラスの内部応力測定とその制御

    研究課題/研究課題番号:19H02040  2019年4月 - 2023年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    秦 誠一, 櫻井 淳平, 岡 智絵美, 山崎 貴大

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

    配分額:17420000円 ( 直接経費:13400000円 、 間接経費:4020000円 )

    本研究では,ナノからマイクロメートルオーダの膜厚を有する薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し,それを制御可能か?を研究課題の核心をなす学術的「問い」として,以下の研究目的にて本研究を進める.
    1)薄膜金属ガラスの内部応力を体系的に調査するためのコンビナトリアル技術の確立
    2)上記コンビナトリアル技術を用いて,膜厚10 nm~10 umのRu系およびTi系薄膜金属ガラスの成膜条件,アニール条件と内部応力の関係解明
    3)実証とし薄膜金属ガラスの内部応力を±200 MPaの範囲,精度±2 MPaにて自在に制御された直径400 nm~800 umのダイアフラム構造を製作
    本研究の目的は,コンビナトリアル技術を用いた薄膜金属ガラスの内部応力の調査,薄膜金属ガラスの成膜条件と内部応力の関係解明と,その実証として直径400 nmから800 umのダイアフラム構造を製作し,内部応力を±200 MPaの範囲での制御である.具体的には,差動排気コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ装置の開発や,内部応力評価用薄膜ライブラリの作製,アニール条件と内部応力の関係の解明などを行った.研究成果としては,新たな内部応力測定法の開発に成功し,Ru系およびNi系薄膜金属ガラスの内部応力とアニール条件の関係の解明と,内部応力を自在に制御したダイアフラム構造の製作に成功した.
    MEMS構造の一部は基板から分離しており,材料内の応力により形状が変わり破壊されることがある.Si系材料は成膜条件等により内部応力を制御できるが,小型化や高機能化には限界があるため,代替材料が求められている.この状況に着目し,薄膜金属ガラスを利用したMEMS構造と内部応力制御を実現した.近年,薄膜金属ガラスをMEMSに適用する事例が増えてきたため,内部応力を解明し制御する必要性が浮かび上がってきた.この研究では,薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し,制御可能かを明らかにするために行われた.

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  6. 集積化MEMSを用いた超ハイスループット材料評価技術

    研究課題/研究課題番号:16H04300  2016年4月 - 2019年3月

    秦 誠一

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:17420000円 ( 直接経費:13400000円 、 間接経費:4020000円 )

    本研究の目的は,MEMS技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し,新エネルギー,省エネルギーや耐環境材料,医療技術,細胞観察などグリーン/ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである.
    具体的には,数ミリ角,厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを,MEMS技術を応用し同時または別個に加振すると共に,その振動状態をセンシングすることで,各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化MEMS薄膜ライブラリを製作した.これを用いて磁歪材料など新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証した.
    本研究の目的は,MEMS技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し,新エネルギー,省エネルギーや耐環境材料,医療技術,細胞観察などグリーン/ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである.具体的には,微小なサンプルを一つの基板上に集積して製作し,それを基板または外部に設けたセンサで評価することで,これまで逐次行われていた材料開発を,高処理能力(ハイスループット)評価する技術を開発した.本研究では,その具体例として磁歪材料などをハイスループット評価できる技術を開発,実証した.

  7. 集積化MEMSを用いた超ハイスループット材料評価技術

    2016年4月 - 2019年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(B)

    秦 誠一

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    担当区分:研究代表者  資金種別:競争的資金

    配分額:17420000円 ( 直接経費:13400000円 、 間接経費:4020000円 )

    本研究の目的は,MEMS技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し,新エネルギー,省エネルギーや耐環境材料,医療技術,細胞観察などグリーン/ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである.本研究期間では,数ミリ角,厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを,MEMS技術を応用し同時または別個に加振すると共に,その振動状態をセンシングすることで,各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化MEMS薄膜ライブラリを製作する.これを用いて広角スキャナ用高弾性高疲労強度材料や,超小型トルクセンサ用高性能磁歪材料などイノベーションに資する新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証する.

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  8. ソフトマテリアルを用いたパッド型ドラッグデリバリーシステム

    研究課題/研究課題番号:26630095  2014年4月 - 2016年3月

    科学研究費助成事業  挑戦的萌芽研究

    秦 誠一, 溝尻 瑞枝, 新井 史人, 式田 光宏

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:4030000円 ( 直接経費:3100000円 、 間接経費:930000円 )

    本研究では以下の研究を行い,成果を得た.
    薬液タンクを兼ねた柔軟パッドの材料として,メチルポリシロキサン(PDMS)を選定した.また,感光性温度応答性ゲルを用いたマイクロバルブを設計,製作した.製作したパッド型DDSは,従来のマイクロポンプ型DDSに比べ,約1/10の低消費電力であることを実証した.
    提案したパッド型DDSの原理を確認するため,薬液タンクに想定する日常生活の接触圧力20 kPaを作用させ,そのときの投与量を計測した.計測結果から本DDSは,想定通りの繰り返し投与が可能であることを確認した.また1回の投与量はほぼ一定であり,投与時間は1分以内であることを確認した.

  9. ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索とそのナノ加工

    研究課題/研究課題番号:20676002  2008年 - 2012年

    科学研究費助成事業  若手研究(S)

    秦 誠一, 桜井 淳平, 早乙 女康典

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    担当区分:研究代表者 

    配分額:106730000円 ( 直接経費:82100000円 、 間接経費:24630000円 )

    本研究では,ガラスレンズ成形の発展に寄与する以下の研究成果を得た.(1)ガラス成形金型に適したPtフリーの新しいアモルファス合金として,Ni_35Nb_40Zr_25(at.%)の探索に成功した.(2)サーモグラフィを用いた放射率変化による結晶化開始温度(Tx)測定方法を考案し,これを用いてTxや時間温度変態線図のハイスループット評価に成功した.(3)切削性に優れるNi51Nb33Ti16をマスター金型としてNi_35Nb_40Zr_25をナノ成形し,クローン金型とすることに成功した.

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産業財産権 1

  1. 磁歪材料およびそれを用いた磁歪式デバイス

    中村 太一,秦 誠一,岡 智絵美,山崎 貴大

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    出願人:パナソニック株式会社

    出願番号:特願2020-76871(P2020-76871)  出願日:2020年4月

    公開番号:特開2021-172850(P2021-172850A)  公開日:2021年11月

    出願国:国内   取得国:国内

    【課題】大きい磁歪量を発現できる磁歪材料を提供する。
    【解決手段】磁歪材料は、次式(1):
    Fe(100-x-y)GaxSmy (1)
    (式中、合金を構成するFe原子、Ga原子およびSm原子の総数を基準として、xはGa含有率(at%)、yはSm含有率(at%)であり、xおよびyは、x-y直交座標系において、不等式:y≦0.33x-0.67、y≧1.5x-24およびy≧0.25x+7.5を満たす)
    で表されるFeGaSm合金から成る。

 

担当経験のある科目 (本学) 24

  1. 基礎セミナー

    2022

  2. 材料科学第2

    2022

  3. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2E

    2022

  4. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2C

    2022

  5. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2A

    2022

  6. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習A

    2022

  7. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1C

    2022

  8. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1A

    2022

  9. 材料科学・加工学特論

    2022

  10. 設計製図第3

    2022

  11. 設計基礎論

    2022

  12. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2B

    2022

  13. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー2D

    2022

  14. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習B

    2022

  15. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1D

    2022

  16. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1B

    2022

  17. 設計基礎論

    2020

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    機械構造物の製作に際して必要となる機械設計法について,その基礎的知識を習得する.機械設計の基本的概念および材料選択に必要とされる諸特性を理解することによって,要素設計における問題点を把握するとともに,設計に際して必要とされる解析手法を学ぶ.本講座は選択科目であるが,機械系学生にとっては準必須科目ともいえる重要な講義である.
    達成目標
    1.機械設計の基本概念を理解し,説明できる.
    2.機械材料の諸特性を理解し,説明できる.
    3.耐用期間に応じた要素設計ができる.
    4.稼働条件に応じた寿命評価ができる.

  18. 設計製図第3

    2020

     詳細を見る

    設計製図第1,第2,専門科目等で学んだ知識を応用し,与えられたテーマに対してグループに
    てシステム設計,機械(電気)設計,製作,評価の一連を経験し,ものづくりの基礎を確立する.

  19. 材料科学第2

    2020

     詳細を見る

    工業的に広く用いられている金属材料の機械的特性の理解を深めるため,転位等の内部構造の観点から学ぶ.まず,金属材料の種々の強度特性を概観する.次に,このような強度特性を内部構造に基づいて理解し,さらに強化の機構を微視的観点から学習することを目的とする.

  20. 加工学第2

    2020

     詳細を見る

    工業製品の製造には,素材と加工技術が必要となります.
    本講義では,材料加工の基本原理(材料学,固体力学,伝熱学)を学び,個々の加工技術と関連づけることで各種加工技術の理解を深めます.

  21. 計測基礎論

    2015

     詳細を見る

     計測は,科学と工学の基盤であり基礎である.
    教科書的理論のみならず現実の計測,データおよび信号処理において注意すべき点や, データ収集など,卒業研究などにおいて自ら実験を行う際に基礎となる内容を講義する.
    達成目標
     基礎力:計測と測定,誤差と精度など用語を正しく理解し,使用できる.誤差論,データ処理,計測法,信号処理など計測に関する基礎的知識を理解し,説明できる.
     応用力:基礎的知識を,実際の計測を行うために応用できる.
     創造力・総合力:実際の測定を行うために適切なセンサ及び計測回路と,信号処理,データ処理を適切に選択することができる.

  22. マイクロマシニング特論

    2015

     詳細を見る

    マイクロマシニング技術の入門編を学ぶ.微細な機械的および電子的デバイスを実現するための方法論を理解し、それらを組合わせて簡単なデバイス製作法を設計できる.さらにこれによって実現可能になるマイクロ・ナノシステムの特質を理解する.

  23. 超精密工学

    2015

     詳細を見る

    高度な機械システムに必要な高精度メカニズムを実現する手段としての,先端的加工技術を総合的に学ぶ.
    達成目標
    基礎力:
    精密測定,精密加工にかかわる基礎的知識を理解し,説明できる.
    応用力:
    基礎的知識を応用し,超精密測定・加工の原理やその装置を理解し,説明できる.
    創造力・総合力:
    基礎的知識,超精密測定・加工法を総合的に理解し,高精度メカニズムを説明できる.

  24. 材料加工学

    2015

     詳細を見る

    材料加工技術は,あらゆる工業製品の実現にかかわっている.材料加工プロセスが材料の機械的特性と関係して如何に工業製品の生産に適用されているかを理解する.
    達成目標
    基礎力:
    材料の強度,特性,加工性にかかわる基礎的知識,物理的意味を理解し,説明できる.
    応用力:
    基礎的知識を応用し,工業製品を製作するための各種加工手段を理解し,説明できる.
    創造力・総合力:
    基礎的知識,各種加工手段を総合的に理解し,工業製品の加工プロセスをイメージできる.

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担当経験のある科目 (本学以外) 1

  1. 機械加工学

    2014年4月 - 現在 豊田工業大学)

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    科目区分:学部専門科目 

 

社会貢献活動 3

  1. 第4次産業革命を支える マイクロ・ナノ機械

    役割:講師

    株式会社フロムページ  夢ナビライブ  2019年7月

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    対象: 高校生

    種別:講演会

    マイクロ・ナノ機械によって、世界はどう変わるのか?

    目に見えないほど小さい機械って何?
     1970年代の初頭から始まった、オートメーション化による第3次産業革命に続き、現代は技術が社会や人体の内部に組み込まれる第4次産業革命の真っ只中と言われています。そこでは使っていることすら気づかないほど微小な機械「マイクロ・ナノ機械」が活躍します。
     マイクロ(メートル)とは1mmの1000分の1の長さの単位で、ナノ(メートル)は、さらにその1000分の1の長さを示す単位です。現在では、マイクロは加工精度などで使われることが多く、ナノはLSI(大規模集積回路)で、回路の線幅でよく用いられている長さの単位です。原子の大きさはおおよそ0.1ナノです。

    すでにマイクロ・ナノ機械は使われている
     例えば、あなたが普段使っているスマートフォンには、モーションセンサが組み込まれています。スマホ本体を縦や横にすると画面もそれに合わせてくれる技術にマイクロ・ナノ機械の技術が使われています。1日の歩数や心拍数、睡眠時間を測る活動計、GPSと連動するジャイロなども同様です。機械といっても、あまりに小さいため、材料を加工して部品を組み立ててといった従来の方法での加工は困難で、あらかじめ一体となるように作っているのです。

    そして魔法のような世界がやってくる!
     現在、この分野で最も普及しているのはMEMS(微小電気機械システム)です。これは材料にシリコンを使い、半導体加工技術で回路と共に機械を作ろうという発想です。ただシリコンで作ることにも限界があり、アモルファス合金という、特殊な金属を応用できないかというアプローチも始まっています。
     マイクロ・ナノ機械の時代は、すでに始まっています。空間に情報を投影しているかのように目に表示したり、腕や指を動かすだけで家電製品が操作できたりするなど、漫画や映画の世界だと思っていたことも、まもなく現実になろうとしているのです。

  2. 韮山高校出張講義

    役割:講師

    静岡県立韮山高等学校  2017年12月

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    対象: 高校生

    大学レクチャー

  3. 工学教育の質保証に関するフォーラム(JABEE 新人審査委員研修を兼ねて)

    役割:パネリスト

    日本機械学会  2016年度日本機械学会年次大会 市民フォーラム  九州大学伊都キャンパスセンターゾーン  2016年9月

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    対象: 教育関係者, 研究者, 社会人・一般, 学術団体, 行政機関

    種別:セミナー・ワークショップ

学術貢献活動 2

  1. 日本機械学会2020年度年次大会実行副委員長

    役割:企画立案・運営等

    日本機械学会  2020年9月

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    種別:学会・研究会等 

  2. Publication Co-Chair, 31st 2020 IEEE International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 国際学術貢献

    役割:企画立案・運営等

    IEEE  2020年12月

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    種別:学会・研究会等