科研費 - 豊田　浩孝

ボロンコーティング膜のリムーバルの高速化

1989年4月 - 1990年3月

科学研究費補助金  奨励研究(A)

豊田 浩孝

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担当区分：研究代表者 

ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

1987年4月 - 1989年3月

科学研究費補助金  試験研究

菅井 秀郎

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担当区分：研究分担者