高温液体スズの水素プラズマとの表面相互作用解析

名古屋大学助手（工学部）   助手

1988年4月 - 1992年3月

International　Symposium　on　Advanced　Plasma　Science　and　its　Application　to　Nitorides　and　Nanomaterials   International Organizing Committee  

2021年3月 - 2022年3月   

International　Symposium　on　Advanced　Plasma　Science　and　its　Application　to　Nitrides　and　Nanomaterials   Chair of Executive Committee  

2021年3月 - 2022年3月   

International Program Committee  

2021年3月 - 2022年3月   

International Symposium on Dry Process   International Organizing Committee  

2021年1月 - 2021年12月   

International Symposium on Dry Process   Vice Chair of Publication Committee  

2021年1月 - 2021年12月   

International Symposium on Advanced Plasma Science and its application to nitride and nanomaterials   International Organizing Committee  

2020年4月 - 2021年3月   

International Symposium on Dry Process   Organizing Committee  

2020年3月 - 2020年11月   

応用物理学会東海支部   企画幹事  

2019年4月 - 2020年4月   

プラズマ・核融合学会   副会長  

2018年6月 - 2020年5月   

電気学会   理事・東海支部支部長  

2018年6月 - 2020年5月   

Microwave Discharge Workshop   International Organizing Committee  

2018年3月 - 現在   

プラズマ・核融合学会   理事  

2014年6月 - 2018年5月   

第5回プラズマエレクトロニクス賞

2007年3月   応用物理学会　プラズマエレクトロニクス分科会  

講演奨励賞

2022年10月   応用物理学会   二周波重畳容量結合型プラズマから 電極へ入射する高速粒子の イメージング法を用いた角度分布計測

市川景太,　鈴木陽香,　飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

キオクシア優秀研究賞　

2022年8月   キオクシア（株）  

豊田浩孝

Best Poster Presentation Award

2022年3月   ISPlasma2022/IC-PLANTS2022   Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma

電気学会優秀論文発表賞

2022年1月   令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会   イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

市川景太，鈴木陽香，豊田浩孝

APEX/JJAP編集貢献賞

2016年4月   応用物理学会  

Best Poster Presentation Award (Poster)

2014年3月   ISPlasma2014 Organizing Committee  

応用物理学会講演奨励賞

2000年  

応用物理学会講演奨励賞

1998年  

Measurement of energy-resolved ion angular distribution in a dual-frequency capacitively coupled argon plasma 査読有り

Kim, Dohan; Kawamura, Shunya; Naito, Masayoshi; Iino, Daiki; Fukumizu, Hiroyuki; KURIHARA, Kazuaki; Suzuki, Haruka; TOYODA, Hirotaka

Japanese Journal of Applied Physics   64 巻   頁： 05SP15-1 - 05SP15-7   2025年5月

Angular distribution measurement of high-energy ions and neutrals impinging on an RF electrode in a dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma 招待有り 査読有り

Shunya Kawamura, Dohan Kim, Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara and Hirotaka Toyoda

Plasma Sources Science and Technology     2025年5月

Dry Process 2023 Open Access

Koga K., Takeda K., Toyoda H., Ishikawa K., Ichiki T., Nunomura S., Kurihara K., Kuboi N., Ohta T., Takenaka K.

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers   63 巻 ( 8 )   2024年8月

Influence of bias voltage on the Ar/CH₂F₂/O₂ plasma etching of Si₃N₄ films 査読有り

Kuboi, S; Kataoka, J; Iino, D; Kurihara, K; Toyoda, H; Fukumizu, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 8 )   2024年8月

Evaluation of the spatial structure of multiline emission in a capacitively coupled plasma using tomographic reconstruction 査読有り

Kyuzo, M; Harada, K; Izumi, R; Suzuki, H; Toyoda, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 5 )   2024年5月

Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C₄F₈/O₂ dual-frequency capacitively coupled plasma 査読有り

Kuboi, S; Kato, H; Akatsuka, Y; Suzuki, H; Toyoda, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 1 ) 頁： 016001   2024年1月

Mass spectroscopic measurement of time-varying ion composition in a pulse-modulated Ar/C₄F₈/O₂ dual-frequency capacitively coupled plasma 国際誌

Kuboi, S; Kato, H; Seki, Y; Suzuki, H; Toyoda, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 巻 ( SI ) 頁： SI1003   2023年7月

Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet

Tran, TN; Hu, M; Ogasawara, T; Iwata, Y; Suzuki, H; Sakamoto, J; Akiyoshi, M; Toyoda, H; Matsuura, H

PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY   25 巻 ( 3 )   2023年3月

Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner 国際誌

Kyuzo, M; Chiba, Y; Suzuki, H; Toyoda, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   62 巻 ( SA ) 頁： SA1008-1 - SA1008-7   2023年1月

Experimental study on boron distribution and transport at plasma-facing components during impurity powder dropping in the Large Helical Device 査読有り Open Access

Kawate T., Ashikawa N., Goto M., Oishi T., Kawamoto Y., Toyoda H., Shoji M., Kawamura G., Masuzaki S., Nespoli F., Gilson E. P., Lunsford R., Suzuki C., Nagy A., Gates D.

NUCLEAR FUSION   62 巻 ( 12 ) 頁： 126052-1 - 126052-9   2022年12月

Bubbling phenomenon of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 査読有り

Tamura Kota, Miyazawa Junichi, Masuzaki Suguru, Tokitani Masayuki, Hamaji Yukinori, Toyoda Hirotaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( 10 ) 頁： 106005   2022年10月

Dry Process

Japanese Journal of Applied Physics   61 巻 ( SI )   2022年7月

High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O-2 atmospheric-pressure microwave line plasma 査読有り

Japanese Journal of Applied Physics   61 巻 ( SI ) 頁： 1008-1 - 1008-5   2022年7月

Enhancement of the ion flux to the substrate through high-voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film 査読有り

Bae Hansin, Hamaguchi Ikumi, Sasai Kensuke, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   60 巻 ( 12 )   2021年12月

Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 査読有り

Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki KURIHARA and Hirotaka TOYODA

Applied Physics Express   14 巻 ( 126001 ) 頁： 126001-1 - 126001-5   2021年11月

High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C6H6 surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing 査読有り

Bae Hansin, Sasai Kensuke, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

VACUUM   192 巻   頁： 110429-1 - 110429-8   2021年10月

Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma 査読有り

Kota Tamura,Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa,Suguru Masuzaki,Hirotaka Toyoda

Fusion Engineering and Design   170 巻 ( September 112532 ) 頁： 112532-1 - 112532-6   2021年9月

Spatial Uniformity Evaluation of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Wide-Area Surface Treatment 査読有り

Suzuki Haruka, Koma Hirotsugu, Ogasawara Tomohiro, Koike Yosuke, Toyoda Hirotaka

Plasma and Fusion Research   16 巻 ( 0 ) 頁： 1406046 - 1406046   2021年4月

Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma 査読有り

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 016001 ) 頁： 016001-1 - 016001-5   2021年1月

長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用

豊田　浩孝、鈴木　陽香

表面技術   71 巻 ( 10 ) 頁： 624-628   2020年10月

Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma

Makoto Moriyama1*, Naoya Nakahara1, Akihiro Mitsuya1, Haruka Suzuki1 , Kazuaki Kurihara2, Daiki Iino2, Hiroyuki Fukumizu2, and Hirotaka Toyoda1,3

Japanese Journal of Applied Physics   59 巻   頁： SJJB03   2020年4月

Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N2 plasma production

Haruka Suzuki1, Yuto Tamura1, Manh Hung Chu2 and Hirotaka Toyoda1

Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 016002 ) 頁： 016002-1-016002-6   2020年1月

Microwave plasma

Toyoda H.

RF Power Semiconductor Generator Application in Heating and Energy Utilization     頁： 181 - 194   2020年1月

高密度表面波励起プラズマによるフッ素樹脂の表面改質

豊田浩孝

機能材料   ( 12月 ) 頁： PP   2019年12月

Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O2 plasma

Hirotaka Toyoda1, Shota Ishikawa1, Haruka Suzuki1 and Takeshi Honda2

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( 12 ) 頁： 126001-1-4   2019年11月

大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ 査読有り

豊田浩孝、鈴木陽香

応用物理   88 巻 ( 2 ) 頁： 101-104   2019年2月

Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow 査読有り

Hikaru Senba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SA ) 頁： pp.SAAC05-1～SAAC05-5   2018年12月

Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment

Sasai Kensuke, Keyamura Kazuki, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 6 )   2018年6月

液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成

豊田　浩孝

表面と真空   61 巻 ( 3 ) 頁： 113-118   2018年3月

Effectiveness of plasma and radical control for the low temperature synthesis and properties of a-SiNx:H films using RF-near microwave PECVD

Sahu Bibhuti Bhusan, Toyoda Hirotaka, Han Jeon Geon

PHYSICS OF PLASMAS   25 巻 ( 2 ) 頁： 023511-1-14(2018)   2018年2月

Development and plasma characterization of an 850 MHz surface-wave plasma source 査読有り

B. B. Sahu, S. Koga, H. Toyoda, and Jeon G. Han

AIP Advances   7 巻   頁： 105213-1-17(2017)   2017年10月

Quantitative evaluation of high-energy O- ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target

Suyama Taku, Bae Hansin, Setaka Kenta, Ogawa Hayato, Fukuoka Yushi, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 44 ) 頁： 445201   2017年10月

An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge

Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 11 )   2017年9月

液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成 査読有り

豊田浩孝

表面と真空   61 巻 ( 3 ) 頁： 113-118   2017年2月

Enhancement of Liquid Treatment Efficiency by Microwave Plasma under Flow-Induced Reduced Pressure 査読有り

Michiko Ito, Tomohiro Takahashi, Sho Takitou, Seigo Takashima, Norio Nomura, Tominori Kitagawa, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   56 巻   頁： 026201-1-6   2017年1月

Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition 査読有り

K. Sasai, T. Hagihara, T. Noda, H. Suzuki, H. Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.,   55 巻   頁： 086202 -1-5(2016)   2016年7月

Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma 査読有り

Takafumi Takaba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Journal of Physics D: Applied Physics, Volume 49, Number 29   49 巻 ( 29 ) 頁： 295202   2016年6月

Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave 査読有り

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.   ( 55 ) 頁： Article ID: 01AH09-1-6(2016)   2015年12月

Low pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler 査読有り

Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.   ( 55 ) 頁： Article ID: 016203-1-5(2016)   2015年12月

New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure 査読有り

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

  8 巻 ( 3 ) 頁： 036001   2015年2月

Synergistic effect of microwave plasma and ultrasonic wave on decomposition of organic compounds in water 査読有り

Tomohiro Takahashi, Noriharu Takada, and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   53 巻 ( 7S ) 頁： 07KE01   2014年6月

酸化物ターゲットを用いたRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動 招待有り 査読有り

豊田浩孝

Journal of the Vacuum Society of Japan   57 巻 ( 3 ) 頁： 80-83   2014年3月

Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface Reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma

D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda

JPS Conf. Proc.   1 巻   頁： 015070-1-4 (2014)   2014年3月

Influence of Oxygen Addition and Wafer Bias Voltage on Bromine Atom Surface Reaction in a HBr/Ar Inductively Coupled Plasma 査読有り

Daiki Iino , Yasuhiro Nojiri, Keiji Suzuki, Takumi Oike, Yoshitaka Fujii, and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   52 巻 ( 11 ) 頁： 11NC01-1-6   2013年11月

High H Radical Density Produced by 1-m-Long Atmospheric Pressure Microwave Plasma System 査読有り

Hitoshi Itoh, Yusuke Kubota, Yusaku Kashiwagi, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hirotaka Toyoda and Masaru Hori

Jpn. J. Appl. Phys.   52 巻   頁： 11NE01   2013年11月

A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink

H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, H. Toyoda and M. Hori

Journal ofPhysics:ConferenceSeries   441 巻   頁： 012019   2013年6月

Rapid Plasma Treatment of Polyimide for Adhesive and Durable Copper Film Deposition

K. Usami, T. Ishijima, H. Toyoda

Thin Solid Films   521 巻   頁： 22-26   2012年10月

High performance of carbon nanowall supported Pt catalyst for methanol electro-oxidation

Chengxu Zhang , Jue Hu , Xiangke Wang , Xiaodong Zhang , Hirotaka Toyoda , Masaaki Nagatsu , Yuedong Meng

CARBON   50 巻   頁： 3731–3738   2012年4月

Nitriding of Polymer by Low Energy Nitrogen Neutral Beam Source 査読有り

Yasuhiro Hara , Keigo Takeda, Koji Yamakawa, Shoji Den, Hirotaka Toyoda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Applied Physics Express   5 巻   頁： 035801   2012年2月

Characterization of a steam plasma jet at atmospheric pressure

Guohua Ni, Peng Zhao, Cheng Cheng, Ye Song, Hirotaka Toyoda and Yuedong Meng

Plasma Sources Sci. Technol.   21 巻   頁： 015009 (12pp)   2012年1月

Microphase separated hydroxide exchange membrane synthesis by a novel plasma copolymerization approach

Chengxu Zhang, Jue Hua, Xiangke Wang, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsu, Xiaodong Zhang, Yuedong Meng

Journal of Power Sources   198 巻   頁： 112– 116   2011年10月

Spatial Profile Measurement of SiH₃ Radical Flux in SiH₄/H₂ Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry 査読有り

Toshiyuki Kuroda, Masahira Ikeda, Tatsuo Ishijima, and Hirotaka Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.   50 巻   頁： 08JB05   2011年8月

High-Performance Plasma-Polymerized Alkaline Anion-Exchange Membranes for Potential Application in Direct Alcohol Fuel Cells

Chengxu Zhang, Jue Hu, Masaaki Nagatsu, Yuedong Meng, Wei Shen, Hirotaka Toyoda, Xingsheng Shu

Plasma Process. Polym.   8 巻   頁： 1024–1032   2011年8月

Preparation of high-performance hydroxide exchange membrane by a novel ablation restriction plasma polymerization approach

Chengxu Zhang, Jue Hu, Yuedong Meng, Masaaki Nagatsu and Hirotaka Toyoda

Chem. Commun.   47 巻   頁： 10230–10232   2011年5月

Magnetron sputtering of platinum nanoparticles onto vertically aligned carbon nanofibers for electrocatalytic oxidation of methanol

Chengxu Zhang, Jue Hu, Masaaki Nagatsu, Xingsheng Shu, Hirotaka Toyoda, Shidong Fang, Yuedong Meng

Electrochimica Acta   56 巻   頁： 6033– 6040   2011年5月

Refractory Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma 査読有り

Tatsuo Ishijima, Ryota Saito, Hiroyasu Sugihara, and Hirotaka Toyoda

Transactions of the Materials Research Society of Japan   36 巻 ( 3 ) 頁： 475-478   2011年3月

Influence of temperature and pressure on solute decomposition efficiency by microwave-excited plasma 査読有り

R. Saito , H. Sugiura , T. Ishijima, H. Toyoda

Current Applied Physics   11 巻 ( 5 ) 頁： S195-S198   2011年3月

Pulsed plasma-polymerized alkaline anion-exchange membranes for potential application in direct alcohol fuel cells

Chengxu Zhang, Jue Hu, Jie Cong, Yanping Zhao, Wei Shen, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsuc, Yuedong Menga

Journal of Power Sources   196 巻   頁： 5386–5393   2011年2月

Effect of O Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions 査読有り

Kazunaga Ono, Norikazu Ohshima, Kazuya Goto, Hiroki Yamamoto, Tadashi Morita, Keizo Kinoshita, Tatsuo Ishijima, and Hirotaka Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 023001   50 巻   頁： 023001   2011年2月

Plasma-grafted alkaline anion-exchange membranes based on polyvinyl chloride for potential application in direct alcohol fuel cell

Jue Hu, Chengxu Zhang, Jie Cong, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsu, Yuedong Meng

  196 巻   頁： 4483–4490   2011年1月

Novel Antenna Coupler Design for Production of Meter-ScaleHigh-Density Planar Surface Wave Plasma 査読有り

Tatsuo Ishijima, Yasunori Nojiri, Hirotaka Toyoda, Hideo Sugai

  49 巻   頁： 086002   2010年8月

Efficient production of microwave bubble plasma in water for plasma processing in liquid 査読有り

T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito, H. Toyoda, H. Sugai

Plasma Sources Sci. Technol. 015010   19 巻   頁： 015010   2010年

Spatial Variation of Negative Oxygen Ion Energy Distribution in RF Magnetron Plasma with Oxide Target 査読有り

T. Ishijima, K. Goto, N. Ohshima, K. Kinoshita, and H. Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.   48 巻   頁： 116004   2009年11月

メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向

豊田浩孝（分担執筆）

電気学会技術報告書   1162 巻   頁： pp.11~14   2009年7月

Rapid treatment of polyimide film surfaces using high-density microwave plasma for enhancement of Cu layer adhesion 査読有り

Y. Takagi , Y. Gunjo , H. Toyoda , H. Sugai

Vacuum,   83 巻   頁： 501–505   2008年10月

Effect of Sputtering Deposition Process on Magnetic Properties on Magnetic Multilayers 査読有り

Y. Maeda, Y. Suzuki, Y. Sakashita, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, H. Toyoda and H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   47 巻 ( 10 ) 頁： 7879-7885   2008年10月

Surface Modification of Fluorocarbon Polymer Film by High Density Microwave Plasma 査読有り

K. Ishikawa, T. ishijima, K. Sasai, H. Toyoda and H. Sugai

Transactions of the Materials Research Society of Japan   33 巻 ( 3 ) 頁： 683-686   2008年9月

Characteristics of Low-energy Atom and Molecule Beams Generated by the Charge Exchange Reaction 査読有り

Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Sekine, M. Hori

J. Appl. Phys.   103 巻 ( 5 ) 頁： 053301 1-5   2008年5月

Deposition of polycrystalline SiGe by surface wave excited plasma 査読有り

Y. Takanishi, T. Okayasu, H. Toyoda, H. Sugai

Thin Solid Films Vol., pp.   516 巻   頁： 3554-3557   2008年4月

スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御 査読有り

豊田浩孝

真空   51 巻 ( 4 ) 頁： 258-263   2008年4月

Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma 査読有り

Y. Sakashita, Y. Takagi, T. Kato, H. Toyoda, S. Iwata, S. Tsunashima and H. Sugai

Transaction of Materials Research Society of Japan   32 巻 ( 2 ) 頁： 481-484   2007年12月

Suppression of High-Energy Backscattered Particles in Magnetron Plasma 査読有り

Yusuke Takagi, Hirotaka Toyoda, and Hideo Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   46 巻 ( 12 ) 頁： 7865-7869   2007年12月

Tunable Low-energy Ar Fast Atom Source with Large Diameter 査読有り

Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Hori

Appl. Phys.Lett.   91 巻 ( 23 ) 頁： 23502 1-3   2007年12月

High-Speed μc-Si Films Deposition and Large-Grain Poly-Si Films Deposition by Surface Wave Discharge 査読有り

Y. Hotta, H. Toyoda and H. Sugai

Thin Solid Films   515 巻   頁： 4983-4987   2007年4月

Role of atomic nitrogen during GaN growth by plasma-assisted molecular beam epitaxy revealed by appearance mass spectrometry 査読有り

J. Osaka, M. Senthil Kumar, H. Toyoda, T. Ishijima, H. Sugai and T. Mizutani

APPLIED PHYSICS LETTERS   90 巻   頁： 172114 1-3   2007年4月

Investigation of the ion dese non-uniformity caused by sheath-lens focusing effect on silicon wafers 査読有り

N. Holtzer , E. Stamate, H. toyoda and H. Sugai

Thin Solid Films   515 巻   頁： 4887-4891   2007年4月

Dependence of Giant Magnetoresitance in Cn/Cu Multilayers on Sputtering Condition 査読有り

Changchuan Chen, Y. Suzuki, T. Kato. S. Iwata, S. Tsunashima, H. Toyoda, H. Sugai

Japanese Juenal of Applied Physics   45 巻 ( 10B ) 頁： 8466-8468   2006年10月

Generation processes of super-high-energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma 査読有り

Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda, and H. Sugai

Vacuum   80 巻 ( 6 ) 頁： 581-587   2006年3月

バイアス光プローブによる反応性プラズマのEEDF測定 査読有り

豊田浩孝

プラズマ・核融合学会誌   81 巻 ( 7 ) 頁： 496-501   2005年

High-energy ions and atoms sputtered and reflected from magnetron source for deposition of magnetic thin films 査読有り

H. Matsui, H. Toyoda and H. Sugai

J. Vac. Sci. Technol. A   23 巻 ( 4 ) 頁： 671-675   2005年

Evidence of Direct SiO2 Etching by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り

N. Takada, H. Toyoda, I. Murakami and H. Sugai

Journal of Applied Physics   97 巻 ( 1 ) 頁： 013534 1-5   2005年

Evidence of Radical-free Etching of SiO2 by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り

N. Takada, H. Toyoda and H. Sugai

Transacitons of the Materials Research Society of Japan   30 巻 ( 1 ) 頁： 319-322   2005年

Beam Study of the Si and SiO₂ Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions 査読有り

H. Toyoda, H. Morishima, R. Fukute, Y. Hori, I .Murakami and H. Sugai

J. Appl. Phys.   95 巻   頁： 5172-5179   2004年

Dramatic Reduction of Chemical Sputtering of Graphite under Intercalation of Lithium 査読有り

H. Yagi, H. Toyoda, H. Sugai

J. Nucl. Mater.   313-316 巻   頁： 284-287   2003年

Wall Heating Effect on Crystallization of Low-Temperature Deposited Silicon Films from an Inductively-Coupled Plasma 査読有り

T. Kojima, A. Ohishi, H. Toyoda, M. Goto, M. Nishitani and H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   40 巻 ( 1 ) 頁： 322-325   2001年

Rapid Diffusion of Lithium into Bulk Graphite in Lithium Conditioning 査読有り

N. Itou, H. Toyoda, K. Morita and H. Sugai

J. Nucl. Mater.   290-293 巻   頁： 381-385   2001年

Radial Density Profile of Microwave Plasma for Wall Conditioning in a Purely Toroidal Magnetic Field 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda, J. Ihde and J. Winter

J. Plasma and Fusion Research   77 巻 ( 2 ) 頁： 130-136   2001年

Electron Energy Distribution Function and the Influence on Fluorocarbon Plasma Chemistry 査読有り

H. Sugai, I. Ghanashev, M. Hosokawa, K. Mizuno, K. Nakamura, H. Toyoda and K. Yamauchi

Plasma Sources Sci. Technol   10 巻   頁： 378-385   2001年

Measurement of Electron-Impact-Dissociation Cross Section for Neutral Products 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda

AIP Conf. Proc.   500 巻   頁： 349-358   2000年

Laboratory Experiment on Lithium Chemistry and its Application to Effective Wall Conditioning 査読有り

S. Kato, M. Watanabe, H. Toyoda, H. Sugai

J. Nucl. Mater.   266-269 巻   頁： 406-411   1999年

壁コンディショニングの機能と将来の展望

豊田浩孝

プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 4 ) 頁： 403-408   1999年

Lower Temperature Deposition of Poly-Crystalline Silicon Films from a Modified Inductively-Coupled Silane Plasma

K. Goshima, H. Toyoda, T. Kojima, M. Nishitani, M. Kitagawa, H. Yamazoe, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   38 巻 ( 6A ) 頁： 3655-3659   1999年

オプティカルマルチチャンネルアナライザによる高感度吸収分光計測 査読有り

豊田浩孝

応用物理   68 巻 ( 5 ) 頁： 551-552   1999年

気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 査読有り

豊田浩孝、菅井秀郎

プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 7 ) 頁： 779-784   1999年

リチウムコンディショニングによる炭素不純物の抑制機構 査読有り

豊田浩孝、加藤伸一、菅井秀郎

プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 4 ) 頁： 459-466   1999年

代替エッチングガスC₃HF₇Oの電子衝突解離断面積 査読有り

Jpn.J.Appl.Phys.   37 巻 ( 9A ) 頁： 5053-5059   1998年

プラズマプロセスに関連した低エネルギー多原子イオンの表面解離の観察

J.Vac.Sci.Technol.   16 巻 ( 1 ) 頁： 290-293   1998年

電子サイクロトロン共鳴放電によるその場磁化ボロナイゼーションの基礎研究 査読有り

J.Nucl.Mater.   241-243 巻   頁： 1217-1221   1997年

改良型誘導結合プラズマによるアモルファスおよび多結晶シリコン膜の低温形成 査読有り

応用物理学会欧文誌   36 巻 ( 6A ) 頁： 3714-3720   1997年

C₄F₈の電子衝突解離による中性およびイオン化ラジカル種の生成断面積 査読有り

応用物理学会欧文誌   36 巻 ( 6A ) 頁： 3730-3735   1997年

リチウム堆積環境下における水素および不純物挙動の実験室実験

  241-243 巻   頁： 1031-1035   1997年

Diagnostics for Advanced Plasma Control of Materials Processing 査読有り

H. Sugai, T.H. Ahn, I. Ghanashev, M. Goto, H. Toyoda, N. Nagatsu, K. Nakamura, K. Suzuki

Plasma Phys. Control. Fusion   39 巻   頁： A445-458   1997年

熱料および不純物制御のためのリチウム壁コンディショニング 査読有り

真室   47 巻 ( 6-9 ) 頁： 981-984   1996年

誘導結合シランプラズマを用いた水素化アモルファスシリコン膜の低温形成

応用物理学会欧文誌   35 巻 ( 8A ) 頁： L1009-1011   1996年

低エネルギーフロロカーボンイオンを照射された金属表面からの解離イオンイールド 査読有り

  34 巻 ( 11A ) 頁： L1486-1489   1995年

リチウム蒸着による壁のコンディショニング 査読有り

  220-222 巻   頁： 254   1995年

紫外透過分光法を用いたシランプラズマ中におけるSiH3ラジカルと微粒子の簡便直接測定 査読有り

  34 巻 ( 4A ) 頁： L448-451   1995年

プラズマ中の電子エネルギー分布測定の為のバイアス光プローブ法

  4 巻   頁： 366372   1995年

LHDへの応用をめざしたボロニゼーション研究

  220-222 巻   頁： 623-626   1995年

SF₆のSF_X(X=1-3)ラジカルへの電子衝突解離の相対断面積測定 査読有り

  35 巻 ( 4-5 ) 頁： 405-413   1995年

電子衝突によるCF₄およびCHF₃のCF_X(X=1-3)ラジカルへの解離断面積の絶対測定 査読有り

  35 巻 ( 4-5 ) 頁： 415-420   1995年

ダイアモンド成長DC放電中におけるCH₃およびCHラジカル密度 査読有り

  35 巻 ( 4-5 ) 頁： 359-373   1995年

低エネルギ炭化水素イオンを照射された金属表面からのイオン散乱の観測 査読有り

  34 巻 ( 4B ) 頁： L516-519   1995年

ポロニゼーションにおける水蒸量と同位体置換 査読有り

  220-222 巻   頁： 743-747   1995年

Measurement of CH3 and CH Densities in a Diamond Growth d. c. Discharge 査読有り

M.A. Childs, K.L. Menningen, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Europhys. Lett.   25 巻 ( 9 ) 頁： 729-734   1994年

Cross Section Measurements for Electron-Impact Dissociation of CHF3 into Neutral and Ionic Radicals, 査読有り

M. Goto, K. Nakamura, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.,   33 巻 ( 6A ) 頁： 3602-3607   1994年

Measurement of Absolute Hydrogen Dissociation in a Diamond Deposition System 査読有り

M.A. Childs, K.L. Menningen, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Phys. Lett. A   194 巻   頁： 119123   1994年

Ultraviolet Spectroscopy of Gaseous Spacies in a Hot Filament Diamond Deposition System When C2H2 and H2 are the Input Gases. 査読有り

H. Toyoda, M.A. Childs, K.L. Menningen, L.W. Anderson, J.E. Lawler

J. Appl. Phys.   75 巻 ( 6 ) 頁： 3142-3150   1994年

Absolute Radical Density Measurements in a CH4-H2 d.c. Discharge 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Diamond and Related Mater   3 巻   頁： 422-425   1994年

Evaluation of a Substrate Pretreatment for Hot Filament CVD 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

J. Mater. Res.   9 巻 ( 4 ) 頁： 915-920   1994年

プラズマによる表面改質とラジカル計測 査読有り

  200 巻   頁： 403-411   1993年

Methyl Radical Production in a Hot Filament CVD System 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, P. Chevako, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Chem. Phys. Lett   204 巻 ( 5-6 ) 頁： 573-577   1993年

CF₄エッチングプラズマにおけるCF₃ CF₂ラジカルの空間分布と表面損失 査読有り

  32 巻 ( 3A ) 頁： L353-L356   1993年

CF₄エッチングプラズマへの水素添加によるCF₂,CF₃のふるまいの劇的変化 査読有り

  32 巻 ( 5A ) 頁： L690-L693   1993年

Appearance Mass Spectrometry of Neutral Radicals in Radio Frequency Plasmas 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda

Journal of Vacuum Science and Technology   A10 巻 ( 4 ) 頁： 1193-12004   1992年

In-situ Boron Nitride Coating and Comparison with Existing Boronization 査読有り

M. Yamage, T. Ejima, H. Toyoda, H. Sugai

J. Nucl. Mater.   196-198 巻   頁： 618-621   1992年

プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション 査読有り

片寄恭一, 豊田浩孝, 菅井秀郎

核融合研究   67 巻 ( 1 ) 頁： 51-61   1992年

High Speed Cleaning of Boronized Wall with a CF₄ Containing Plasma 査読有り

H. Toyoda, A. Hanami, M. Yamage, H. Sugai

Japanese Journal of Applied Physics   30 巻 ( 3B ) 頁： L514-517   1991年

Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, II. Absolute Cross Sections 査読有り

T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   30 巻 ( 11A ) 頁： 2912-2915   1991年

Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, I. Relative Cross Sections 査読有り

T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   30 巻 ( 11A ) 頁： 2908-2911   1991年

Interactions of Bulk-Boronized Graphites with Deuterium Plasmas in the PISCES-B Facility 査読有り

Y. Hirooka, R.W. Conn, H. Toyoda, H. Sugai et al.

Fusion Technol   19 巻   頁： 2059-2069   1991年

Spatial Distribution of CH₂ and CH₂ Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り

H. Sugai, H. Kojima, A. Ishida, H. Toyoda

Applied Physics Letters   56 巻 ( 26 ) 頁： 2616-2618   1990年

Rapid Cleaning of Boronized Walls with a Chlorine/Hydrogen Glow Discharge 査読有り

H. Toyoda, A. Hanami, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   29 巻 ( 7 ) 頁： 1322-1323   1990年

RF Plasma Production at Ultralow Pressure with Surface Magnetic Confinement 査読有り

T. Shirakawa, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   29 巻 ( 6 ) 頁： L1015-1018   1990年

Ion-Induced Radical Production on Surfaces during Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon 査読有り

Y. Yamashita, K. Katayose, H. Toyoda, H. Sugai

Journal of Applied Physics   68 巻 ( 7 ) 頁： 3735-3737   1990年

Effects of Carbon Wall on the Bahaviour of Heliotron-E Plasmas 査読有り

N. Noda, T. Mizuuchi, H. Toyoda, S. Yoshida, H. Sugai et al.

J. Nucl. Mater.   162-164 巻   頁： 769-775   1989年

Hydrogen Release and Retention Dynamics of Amorphous Carbon Layers Exposed to a Hydrogen/Helium Plasma 査読有り

S. Yoshida, H. Sugai, H. Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys   28 巻 ( 6 ) 頁： 1101-1108   1989年

Genaration of a Large Electron Beam for Plasma Processing, 査読有り

H. Sugai, N. Yabuoshi, H. Toyoda

Jpn. J. Appl. Phys.   28 巻 ( 5 ) 頁： L868-870   1989年

Hydrogen Recycling Control by Helium Ion Bombardment onto Carbonized Surfaces 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda, S. Ohshita, S. Yoshida, A. Sagara

J. Nucl. Meter.   162-164 巻   頁： 1035-1039   1989年

Carbonization Experiment by ECR Discharge in JIPPT-IIU 査読有り

Y.Sakamoto, H. Amemiya, H. Toyoda, H. Sugai et al.

J. Nucl. Mater.   162-164 巻   頁： 783-786   1989年

Mass Spectroscopic Investigation of the CH₃ Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り

H. Toyoda, H. Kojima, H. Sugai

Applied Physics Letters   54 巻 ( 16 ) 頁： 1507-1509   1989年

Hydrogen Retention and Release Dynamics of Amorphous Carbon Filsm Exposed to a Hydrogen Plasma 査読有り

H. Sugai, S. Yoshida, H. Toyoda

Applied Physics Letters   54 巻 ( 15 ) 頁： 1412-1414   1989年

In situ Boron Coating and its Removal by Glow Discharge Processes 査読有り

H. Toyoda, T. Isozumi, H. Sugai, T. Okuda

Journal of Nuclear Materials   162-164 巻   頁： 732-736   1989年

Observation of CH2 Radical and Comparison with CH3 Radical in a RF Methane Discharge 査読有り

H. Kojima, H. Toyoda, H. Sugai

Applied Physics Letters   55 巻 ( 13 ) 頁： 1292-1294   1989年

Formation of CH Radical by Surface Bombardment in a Methane/Argon DC Discharge 査読有り

Y. Yamashita, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys.   28 巻 ( 9 ) 頁： L1647-1650   1989年

Control of Hydrogen Content of Boron Films Produced by a DC Toroidal Discharge 査読有り

H. Toyoda, H. Sugai, T. Isozumi, T. Okuda

Applied Physics Letters   51 巻 ( 11 ) 頁： 798-800   1987年

イオン束を制御した水素化アモルファスシリコンの生成と成膜過程 査読有り

豊田浩孝, 菅井秀郎, 吉田　明, 奥田孝美

応用物理   55 巻 ( 7 ) 頁： 718-726   1986年

Hydrogenated Amorphous Silicon Formation by Flux Control and Hydrogen Effects on the Growth Mechanism 査読有り

H. Toyoda, H. Sugai, K. Kato, A. Yoshida, T. Okuda

Appl. Phys. Lett.   48 巻 ( 24 ) 頁： 1648-1650   1986年

Ion and Radical Contributions to a Si : H Film Formation in a DC Toroidal Discharge 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda, A. Yoshida, T. Okuda

Applied Physics Letters   46 巻 ( 11 ) 頁： 1048-1050   1985年

プラズマイオン分析器の開発 査読有り

菅井秀郎, 小島啓明, 森　直生, 豊田浩孝, 奥田孝美

核融合研究   51 巻 ( 3 ) 頁： 221-240   1984年

A Mass Spectrometer for Boundary Plasma Diagnostics 査読有り

H. Kojima, H. Sugai, T. Mori, H. Toyoda, T. Okuda

J. Nucl. Mater   128-129 巻   頁： 965-968   1984年

Reconstruction of three-dimensional plasma emission strucuture based on multi-view images 国際会議

Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2025/IC-PLANTS2025  2025年3月 

Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film 国際会議

Tomoya Murase, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2025/IC-PLANTS2025  2025年3月 

二周波容量結合型プラズマにおける電極入射高エネルギーイオンのエネルギー分解角度分布計測 招待有り

豊田浩孝

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究集会  2025年2月27日  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会

流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス

高辻乃輔，柚木健吾，鈴木陽香，笹井建典，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会  2025年1月  応用物理学会

電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション

菊池拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会  2025年1月  応用物理学会

入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発

渡邉　隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会  2025年1月  応用物理学会

Charging simulation of high-aspect ratio hole by method of fundamental solutions 国際会議

T. Kikuchi1, H. Suzuki, and H. Toyoda

2024年12月18日 

High-speed Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition of Conductive Carbon Film Using Microwave Plasmas 国際会議

H. Suzuki H. Bae, I. Hamaguchi, K. Sasai, and H. Toyoda

2024年12月18日 

多視点画像を用いたプラズマの３次元構造解析

泉　涼太,　鈴木　陽香,　藤井　俊彰,　豊田　浩孝

第41回プラズマ核融合学会年会  2024年11月17日  プラズマ核融合学会

Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode 国際会議

S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

45th International Symposium on Dry Process  2024年11月15日 

Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議

Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda

45th International Symposium on Dry Process  2024年11月15日 

Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics  2024年11月 

プラズマの魅力 招待有り

豊田浩孝

あいちサイエンスフェスタ  2024年9月28日 

多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築

鈴木 陽香, 泉 涼太, 久蔵 学, 豊田 浩孝

応用物理学会秋季学術講演会  2024年9月20日  応用物理学会

磁場閉じ込めプラズマにおける水素化ホウ素分子の形成・放射過程 招待有り 国際共著

川手朋子, 芦川直子, 後藤基志, 大石鉄太郎, 川本靖子,豊田浩孝, 庄司主, 河村学思, 増崎貴, F. Nespoli, E.P.Gilson, R. Lunsford, 鈴木千尋, A. Nagy，D. Gates, 村上泉

日本物理学会第79次年次大会  2024年9月16日  日本物理学会

Development of new plasma process sources using microwave power 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda

19th International Conference on Plasma Surface Engineering 

表面波プラズマ照射による金属ナノ粒子の合成

髙辻　乃輔，鈴木　陽香, 笹井 建典, 豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会  2024年8月29日 

電荷重畳法によるトレンチ内のチャージングシミュレーション

菊池　拓哉，鈴木　陽香，豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会  2024年8月29日 

多視点画像を基にした不均一プラズマ分布の再構築

泉　涼太, 久蔵　学, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会  2024年8月29日 

入射エネルギー及び入射角度可変プラズマ引き出し型イオンビーム源の開発

渡邉　隆斗，鈴木　陽香，豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会  2024年8月29日 

高密度マイクロ波プラズマを用いた液体処理とナノ粒子合成への応用 招待有り

豊田浩孝

第73回　プラズマが拓くものづくり研究会  2024年6月25日  名古屋産業振興公社

プラズマ生成と半導体微細加工の基礎 招待有り

豊田浩孝

講習会  2024年5月21日 

Plasma processing: Key technology for the next-generation semiconductor device fabrication 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda

The 1ST Global Forum and International Workshop on Industrial Plasma Plasma Processes and Diagnostics 2024  2024年5月9日 

Angular distribution measurement of high-energy argon neutrals and ions incident on RF electrode of a capacitively-coupled plasma 招待有り 国際会議

H. Toyoda, S. Kawamura, D.H. Kim, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara

Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics  2024年5月1日 

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価 招待有り

市川景太,Manh Hung Chu,森山誠,鈴木陽香, 飯野大輝,福水裕之,栗原一彰,豊田浩孝

第71回応用物理学会春季講演会  2024年3月  応用物理学会

On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響

赤塚 勇大，鈴木 陽香，森山 誠，飯野 大輝， 福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝

第71回応用物理学会春季講演会  2024年3月  応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村 隼也，Kim Dohan, 鈴木 陽香，飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝

第71回応用物理学会春季講演会  2024年3月  応用物理学会

Plasma Science: achievements and future impact on semiconductor technologies 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda

Nano Fabrication Technologies for Semiconductor Industry and Quantum Computing  2024年3月15日  Japan Alumni and Researcher Assembly

Interaction of liquid tin with hydrogen plasma 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji

US-Japan and International Workshop on Power and Particle Control in DEMO Fusion Reactor by Liquid Metal Plasma-Facing Components  2024年3月7日  National Institute for Fusion Science

テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価

鈴木陽香，原田健汰，久蔵学，泉涼太，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会  2024年1月  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会  2024年1月  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村隼也，金度漢，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会  2024年1月  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

プラズマ材料科学賞基礎部門賞受賞講演 招待有り

豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会  2024年1月  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

高アスペクト比エッチングプラズマにおけるイオン挙動 招待有り

豊田浩孝

サタデーモーニング講座  2023年12月9日  名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討

小川泰那, 中林賢二, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第40回　プラズマ・核融合学会　年会  2023年11月29日  プラズマ・核融合学会

多⽅向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価

鈴木陽香, 原田健太, 久蔵学, 豊田浩孝

第40回　プラズマ・核融合学会　年会  2023年11月30日  プラズマ・核融合学会

Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

S. Kawamura, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process 

Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP 国際会議

S. Kuboi, Y. Akatsuka, H. Kato, H. Suzuki and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process 

Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates 国際会議

H. Kato, Y. Akatuka, S. Kuboi, H. Suzuki and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process 

Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

13th Asia European International Conference on Plasma Surface Engineering  2023年11月 

高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測

豊田浩孝，市川景太，Manh Hung Chu，森山誠， 鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会　プラズマエレクトロニクス賞受賞講演  2023年9月20日  応用物理学会

複数視野像をもとにしたプラズマ3次元構造評価の試み

原田健汰, 久蔵学, 大舘暁, 鈴木陽香、豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月21日  応用物理学会

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子合成における生成性能評価

柚木健吾, 鈴木陽香, 豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月19日  応用物理学会

Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける 放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

加藤閣人, 赤塚勇大, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月22日  応用物理学会

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション

中林　賢二，小川　泰那，鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会  2023年8月29日 

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測

赤塚　勇大，加藤　閣人，久保井　宗一, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会  2023年8月29日 

トリチウムプラズマ照射による固体・液体スズ中水素分布の高精度評価

豊田浩孝

核融合科学研究所-富山大学研究推進機構水素同位体科学研究センター 双方向型共同研究　研究会  2023年7月17日 

Time-dependent measurement of ion composition in a capacitively-coupled Ar/C4F8/O2 power-modulated VHF plasma 国際会議

H. Toyoda, H. Kato, Y. Seki, S. Kuboi, Y. Akatsuka, and H. Suzuki

International Conference on Phenomena of Ionized Gases  2023年7月10日 

Influence of Pulse-off Time on Time-varying Ion Composition in a Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively Coupled Plasma 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

International Symposium on Plasma Chemistry  2023年5月22日 

高アスペクト比加工におけるチャージング現象 招待有り

豊田浩孝

グリーンDXプラズマコンソーシアム２０２３年度第1回講習会  2023年4月21日  名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

川村 隼也，市川 景太，鈴木 陽香,　飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月17日  応用物理学会

発光イメージをもとにしたプラズマ構造の評価

原田健汰, 久蔵学, 大館暁, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月16日  応用物理学会

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

加藤閣人，関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月17日  応用物理学会

高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

小川泰那，岩田悠輝，鈴木陽香，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月15日  応用物理学会

旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護

柚木 健吾，鈴木 陽香，笹井 建典，増崎 貴，林 浩 己，村瀬 尊則，中川 翔，柳原 悠人，豊田 浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月18日  応用物理学会

大気圧プラズマによるラジカル生成に及ぼす酸素ガス混合の効果

松浦寛人、トラントラングエン、岡本陽太、胡敏、仲野匠、岩田悠輝、鈴木陽香、豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月15日  応用物理学会

C2F4の電子物性とPTFEの生成機構

林俊雄、石川健治、関根誠、堀勝、兒玉直人，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会  2023年3月17日  応用物理学会

Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process 国際会議

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure 国際会議

Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Time Variation of Ion Composition in Dual-frequency Capacitively-Coupled Ar/C4F8/O2 Pulsed Plasma 国際会議

Haruhito Kato, Yuto Seki, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Development of a tomography calculation code for three-dimensional emission profile reconstruction 国際会議

Kenta Harada, Manabu Kyuzo, Satoshi Ohdachi, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Atomic composition of droplet ejected from liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 国際会議

Kota Tamura, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月6日 

Hydrogen bubble formation on liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議

Hirotaka Toyoda

US-Japan and International Workshop on Power and Particle Control in DEMO Fusion Reactor by Liquid Metal Plasma-Facing Components  2023年3月1日 

未来社会を担うクリーンエネルギー生成研究の最先端 招待有り

豊田浩孝

グリーンDXプラズマコンソーシアム第4回講習会  2023年2月24日  名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

Sn-Bi-Li-Er液体合金への水素プラズマ照射における気泡中への水素吸蔵量定量評価

豊田浩孝

2023年2月17日 

パルス変調Ar/C4F8/O2二周波容量結合型プラズマにおけるイオン組成時間変化のメカニズム 招待有り

久保井宗一，加藤閣人，関悠斗， 鈴木陽香, 豊田浩孝

第242回シリコンテクノロジー分科会研究集会  2023年2月17日  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会

Quantitative Evaluation of Hydrogen Accumulation into Bubble Occurred in Liquidized Sn-Bi-Li-Er under H2 Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura

The 7th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LIQUID METALS APPLICATIONS FOR FUSION 

Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode 国際会議

K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process  2022年11月24日  Japan Society of Applied Physics

Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C4F8/O2 DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process  2022年11月24日  Japan Society of Applied Physics

マイクロ波プラズマ技術による大気圧プラズマ生成と液体処理 招待有り

豊田浩孝

第16回日本電磁波エネルギー応用学会  2022年10月14日  日本電磁波エネルギー応用学会

Microwave plasma source development and applications from low pressure to atmospheric pressure 招待有り 国際会議

2022年10月13日  Association of Asia Pacific Physical Societies, Division of Plasma Physics

Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Conference on Reactive Plasmas/75th Annual Gaseous Electronics Conference  2022年10月6日  Japan Society of Applied Physics

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

関 悠斗、加藤 閣人、久保井 宗一，鈴木 陽香,　豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月22日  応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測 招待有り

市川 景太，鈴木 陽香,　飯野大輝， 福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月22日  応用物理学会

化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化

松浦寛人、トラントラングエン、胡敏、仲野匠、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月20日  応用物理学会

Angular distribution of high-energy species on RF-biased electrode of a capacitively-coupled plasma 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda

cLPS Global Plasma Forum  2022年9月8日  Center for Low-temperature Plasma Sciences

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測

加藤　閣人, 関　悠斗，久保井　宗一, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和４年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会  2022年8月29日 

Experimental Study on boron distribution and transport at plasma-facing components during impurity powder dropping 国際共著 国際会議

T. Kawate, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, H. Toyoda, M. Shoji, G. Kawamura, S. Masuzaki, F. Nespoli, E.P. Gilson, R. Lunsford, C. Suzuki, A. Nagy, D. Gates

15th Asia Pacific Physics Conference  Association of Asia Pacific Physical Societies

二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月25日 

質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C4F8/O2 パルスプラズマ中イオンの時分解計測

関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月25日 

電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加

濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月22日 

水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用 招待有り

鈴木陽香、豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月23日 

Ar/O2 大気圧マイクロ波プラズマにより処理した ポリイミドフィルムの表面分析

岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月26日 

高周波容量結合型プラズマにおける高アスペクト比キャピラリーホール底部のチャージアップ現象 招待有り

豊田 浩孝

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第234回研究集会  2022年3月15日 

Bubbling Phenomenon on Liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy Surface under H-Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, Hirotaka Toyoda

The 2nd US-Japan Workshop on Power and Particle Control in a Steady State Magnetic Fusion DEMO Reactor by Liquid Metal PFCs  2022年3月11日 

Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 国際会議

Keita Ichikawa, Haruka suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　09aC05O  2022年3月9日 

RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07P-14  2022年3月7日 

Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　08P-14  2022年3月8日 

Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　08P-21  2022年3月8日 

O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressure 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07pC09O  2022年3月7日 

Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07pC08O  2022年3月7日 

高電圧バイアス印加Ar/C6H6ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響

濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセッシングシンポジウム 

水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融合金の発泡現象

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第39回プラズマプロセッシングシンポジウム  2022年1月25日 

容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測

市川景太，チュマンフン、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセッシングシンポジウム  2022年1月25日 

超高周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける イオンおよび中性ラジカル種の測定

関悠斗，加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセッシングシンポジウム  2022年1月24日 

液体スズ合金の水素プラズマ照射における発泡現象

田村晃汰、豊田浩孝

「ダイバータの学理と応用」研究会  2022年1月21日 

大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化

豊田浩孝、鈴木陽香

「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」 「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会  2021年12月24日 

High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device 国際会議

Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Materials Research Meeting2021(MRM2021)  2021年12月14日 

Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Materials Research Meeting2021(MRM2021)  2021年12月16日 

Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy 国際会議

Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12)  2021年12月10日 

Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12)  2021年12月9日 

パルスマイクロ波励起大気圧長尺酸素添加アルゴンプラズマ源の性能評価

小笠原知裕、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日 

水素プラズマ照射下でのスズおよびスズ合金からのスパッタリング計測

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日 

高密度表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の溶融

疋田　和也，笹井　健典，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日 

Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner 国際会議

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

Investigation of Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing 国際会議

H. Suzuki, T. Ogasawara1, Y. Iwata and H. Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

High Speed sp2-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma 国際会議

H. Bae, H. Suzuki, K. Sasai and H. Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research(Germany, Online)  2021年11月25日 

Microwave application to liquid process in reduced pressure environment 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年10月29日 

Oxygen radical measurement in Ar/O2 atmospheric pressure microwave line plasma 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年11月25日 

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年11月25日 

Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Haruka Suzuki,Makoto Moriyama,Naoya Nakahara,Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月7日 

Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition 国際会議

Hansin Bae,Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月5日 

Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO3 solution* 国際会議

Haruka Suzuki,Kazuya Yamaguchi,Kensuke Sasai,Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月5日 

Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021)  2021年9月28日 

Large A rea Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O 2 国際会議

T.Ogasawara, Y.Iwata, H.Suzuki and H.Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021) 

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成

〇山口 和也1、鈴木 陽香1、笹井 建典1、豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.核融合研)

第82回応用物理学会秋季学術講演会、22a-P08-2  2021年9月22日  応用物理学会

ECRプラズマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜

ベ ハンシン,濱 口 育未,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

第82回応用物理学会秋季学術講演会、12p-N102-13  2021年9月12日  応用物理学会

イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

○市川景太，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-7  2021年9月7日 

二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測

○関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-6  2021年9月7日 

表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積

○濱口育未，BaeHansin，笹井建典，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-5  2021年9月7日 

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理

○岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-4  2021年9月7日 

BH and BD molecular spectroscopy during the Impurity Powder Dropper experiments 国際会議

T. KAWATE, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, and H. Toyoda

15th International Workshop on Hydrogen Isotopes in Fusion Reactor Materials（HWS2020） 

ＬＨＤにおけるボロンを使った水素リサイクリング抑制実験

芦川直子（核融合研、総研大）、川手朋子（核融合研、総研大）、豊田浩孝（名古屋大学）、Zhen SUN（ASIPP、PPPL）

日本原子力学会　春の年会（2021）オンライン（早稲田大学）  2021年3月17日 

表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜

BAE Hansin,疋田 和也,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4  2021年3月18日  応用物理学会

プラズマエレクトロニクス分科会の国際展開 　-GECとの連携- 招待有り

豊田　浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会17p-Z03-3  2021年3月17日  応用物理学会

液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成

山口 和也,鈴木 丈,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-6  2021年3月19日 

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

小笠原 知裕 ，岩田 悠揮 ，鈴木 陽香 ，豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会、18p-Z17-11  2021年3月19日  応用物理学会

絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動

千葉 行徳,久蔵 学,鈴木 陽香,豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4  2021年3月19日  応用物理学会

Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　09aB05O  2021年3月9日 

Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議

Manabu Kyuzo*, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

2021年3月8日 

Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議

Kota Tamura,Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki,Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08P-38  2021年3月8日 

Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa,Manh Hung Chu,Haruka Suzuki* and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08pB14O  2021年3月8日 

Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O2 国際会議

2Haruka Suzuki*, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08pB07O  2021年3月8日 

表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積

ベ ハンシン，鈴木陽香，笹井建典，豊田浩孝

第58回プラズマプロセッシングシンポジウム 

パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化

森山誠，中原尚哉，市川景太，Chu Manh Hung，鈴木陽香，豊田浩孝

第58回プラズマプロセッシングシンポジウム 

グロー放電水素プラズマを用いたスズ-水素プラズマ相互作用の基礎研究

田村　晃汰

ダイバータの学理と応用 NIFS 

重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定

田村晃汰1)，鈴木陽香1)，増崎貴2)，時谷政行2)，宮澤順一2)，豊田浩孝1,2) (1)名大，2)核融合研

プラズマ・核融合学会　第37回年会 

High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma.

H.Bae 1), K.Hikita 1), H.Suzuki 1) 2), K.Sasai 2), H.Toyoda 1) 2) 3) (1) Department of electronics, Nagoya univ., (2) Center for Low-temperature Plasma Sciences(cLPS), Nagoya univ., (3) National Institute for Fusion Science(NIFS)

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理

小笠原知裕 1)、鈴木陽香 1)、豊田浩孝 1,2)　(1)名大、2)核融合科学研究所)

プラズマ・核融合学会　第37回年会 

パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価 国際会議

中原尚哉1)、森山誠1)、鈴木陽香1,2)、豊田浩孝1,2,3) (1)名大、2)名大低温プラズマ、3)核融合研)

プラズマ・核融合学会　第37回年会,中継本部愛媛大学 

大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用

鈴木 陽香1,2, 小笠原知裕1, Chu Manh Hung1, 岩田 悠揮1, 豊田 浩孝1,2,3

プラズマ・核融合学会　第37回年会,中継本部愛媛大学  2020年12月3日 

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University

The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 

Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate 国際会議

MAKOTO MORIYAMA, NAOYA NAKAHARA, HARUKA SUZUKI,HIROTAKA TOYODA

GEC20 Meeting of The American Physical Society、RW3.4 

Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

GEC20 Meeting of The American Physical Society、LT3.00007  2020年10月6日 

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

中原 尚哉 ,森山 誠 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

第81回応用物理学会秋季学術講演会 

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測

中原 尚哉 ,森山 誠 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動

疋田　和也*, べ　ハンシン, 鈴木　陽香, 笹井　建典（名古屋大学）, 豊田　浩孝 (名古屋大学, 核融合科学研究所)

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理

小笠原 知裕，小間 浩嗣，鈴木 陽香 (名古屋大学)，本田 剛（株式会社ニッシン） 豊田 浩孝 (名古屋大学, 核融合科学研究所)

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

(M2) Manh Hung Chu1, Haruka Suzuki1, Hirotaka Toyoda1

アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制

鈴木 丈 鈴木 陽香，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価

(D)森山 誠，中原 尚哉，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

M1 中原 尚哉 森山 誠 三矢 晶洋 鈴木 陽香 ，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma 国際会議

ISPlasma/IC-PLANTS2020 

Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave 国際会議

Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020 

Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source 国際会議

Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020 

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

ISPlasma/IC-PLANTS2020 

Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation 国際会議

Yoshiki Baba*, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020 

容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

森⼭ 誠、中原 尚哉、三⽮ 晶洋、鈴⽊ 陽⾹、豊⽥ 浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会 

核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会 

potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

2019 International Symposium on DryProcess 

Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap 国際会議

HIROTAKA TOYODA, HIROTSUGU KOMA, YOSHIKI BABA, MANH HUNG CHU, HANSIN BAE, HARUKA SUZUKI

GEC19 Meeting of The American Physical Society 

Space-resolved oxygen radical measurement of atmo- spheric pressure microwave line plasma using vacuum ul- traviolet absorption spectroscopy 国際会議

HANSIN BAE, HIROTSUGU KOMA, HARUKA SUZUKI, HIROTAKA TOYODA

GEC19 Meeting of The American Physical Society 

パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測

チュー マン フン，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における 絶縁表面電位の時間変化

福田 奨, 鈴木 陽香, 村田祐也, 山本兼司,豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

三矢晶洋、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香、豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

電磁界シミュレーションによる 進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

小間 浩嗣, 鈴木 陽香 ，豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

森⼭ 誠、三⽮ 晶洋、中原 尚哉、鈴⽊ 陽⾹、豊⽥ 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O2/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測

馬場 賀己、鈴木 陽 香、豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

二周波重畳容量結合型プラズマにおける キャピラリープレート内の電位構造解析

中原 尚哉*, 森山 誠，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝 (名大工) 栗原 一彰，飯野 大輝，福水 裕之，林 久貴，鈴木 啓之 (東芝メモリ)

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測　

馬場 賀己＊，鈴木 陽香，豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

"二周波重畳容量結合型プラズマ装置における ファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定"

三矢 晶洋*，森山 誠，中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察

福田 奨＊，鈴木 陽香(名古屋大学)，村田 祐也，山本 兼司(神戸製鋼)，豊田 浩孝(名古屋大学)

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki and H. Toyoda

AEPSE2019 

Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide 国際会議

S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

XXXIV ICPIG & ICRP-10 

Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

XXXIV ICPIG & ICRP-10 

Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization 国際会議

T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Kobe Steel, Ltd., Japan H. Toyoda, H. Suzuki, Nagoya University, Japan

International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019) 

Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, and Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

革新的プラズマ源開発とエネルギー科学応用 招待有り 国際会議

豊田浩孝

第82回マテリアルズテーラリング研究会 

長尺大気圧マイクロ波プラズマ生成と表面処理の応用 招待有り

豊田浩孝

表面技術協会　第139回講演大会 

Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

Manh Hung Chu,Haruka Suzuki ,Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna 国際会議

Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

Hydrogen Recycling Properties of Tin wall in DC Glow Hydrogen Plasma 国際会議

Kota Tamura*, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda and Junichi Miyazawa

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

小間 浩嗣 ，杉山 敦士 ，鈴木 陽香，本田 剛 ，豊田 浩

第66回応用物理学会春季学術講演会 

マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

福田 奨,宇田川 洸, 鈴木 陽香, 田内 裕基, 豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

液体流形マイクロ波プラズマによるナノ粒子の高速合成

第66回応用物理学会春季学術講演会 

Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価 の実験的評価 の実験的評価

三矢 晶洋， 森山 誠，鈴木 ，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

森山 誠，三矢 晶洋，中原 尚哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測

馬場 賀己，鈴木陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda,馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウムC3-119-007 

シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析

チュー　マン・フン、鈴木　陽香、豊田　浩孝

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

小間　浩嗣、小池　洋右、鈴木　陽香、豊田　浩孝、

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

スロット励起マイクロ波プラズマを用いた水蒸気プラズマ処理プロセス 招待有り

鈴木陽香、豊田浩孝

第28回 日本MRS年次大会 

大気圧マイクロ波O2/CF4プラズマを用いた有機物除去処理

石川翔太、鈴木陽香、本田剛、豊田浩孝

第28回 日本MRS年次大会 

新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 招待有り

鈴木陽香、豊田浩孝

高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会 

直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価

田村晃汰，鈴木陽香，豊田浩孝，宮澤順一

プラズマ核融合学会 第35回年会 

二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価

森山誠，三矢晶洋，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝

プラズマ核融合学会 第35回年会 

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測

BAE Hansin，小池洋右，小間浩嗣，鈴木陽香，豊田浩孝

プラズマ核融合学会 第35回年会 

大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用 招待有り

鈴木陽香、豊田浩孝

プラズマ核融合学会 第35回年会 

Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda, Ko Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki

2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 

High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma 国際会議

Shota Ishikaw1, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis 招待有り 国際会議

S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge 国際会議

Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki

71st Annual Gaseous Electronics Conference  

Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

Ivan Ganachev,Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018) 

Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target 招待有り 国際会議

Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

International Symposium on Sputtering & Plasma Processes Pre session (ISSP2018) 

流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成

藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝

応用物理学会秋季学術講演会 

大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理

(M2)石川 翔太1、鈴木 陽香1、本田 剛2、豊田 浩孝1 (1.名大工、2.ニッシン)

応用物理学会秋季学術講演会 

メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測 招待有り

鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝

応用物理学会秋季学術講演会