2021/11/11 更新

写真a

トヨダ ヒロタカ
豊田 浩孝
TOYODA, Hirotaka
所属
大学院工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス創造 教授
大学院担当
大学院工学研究科
学部担当
工学部 電気電子情報工学科
職名
教授
連絡先
メールアドレス

学位 1

  1. 工学博士 ( 1988年3月   名古屋大学 ) 

研究キーワード 1

  1. プラズマ理工学

研究分野 2

  1. その他 / その他  / プラズマ科学

  2. その他 / その他  / 原子・分子・量子エレクトロニクス・プラズマ

現在の研究課題とSDGs 6

  1. マイクロ波プラズマ流体処理装置を用いた水浄化と新材料生成

  2. 長尺大気圧マイクロ波プラズマを用いた大面積高速処理

  3. エッチングプラズマにおける高アスペクト比ホール底電荷蓄積過程の解析

  4. エッチングプラズマにおける高エネルギー粒子角度分布解析

  5. 誘導結合および容量結合型プラズマにおけるプラズマ挙動

  6. 高温液体スズの水素プラズマとの表面相互作用解析

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経歴 5

  1. 名古屋大学教授(工学研究科)

    2007年4月

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    国名:日本国

  2. 名古屋大学助教授(工学研究科プラズマナノ工学研究センター)

    2006年10月 - 2007年3月

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    国名:日本国

  3. 名古屋大学助教授(工学研究科)

    2000年4月 - 2006年9月

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    国名:日本国

  4. 名古屋大学講師(工学部)

    1992年4月 - 2000年3月

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    国名:日本国

  5. 名古屋大学助手(工学部)

    1988年4月 - 1992年3月

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    国名:日本国

学歴 2

  1. 名古屋大学   工学研究科   電気工学専攻

    - 1988年

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    国名: 日本国

  2. 名古屋大学   工学部   電気工学電気工学第二および電子工学科

    - 1983年

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    国名: 日本国

所属学協会 3

  1. 電気学会

  2. 応用物理学会

  3. プラズマ・核融合学会

委員歴 12

  1. 名古屋大学プラズマ研究60年記念シンポジウム   オーガナイザー  

    2021年7月 - 2021年9月   

  2. 応用物理学会東海支部   幹事  

    2021年4月 - 2022年3月   

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    団体区分:学協会

  3. International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application to Nitorides and Nanomaterials   International Organizing Committee  

    2021年3月   

  4. International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application to Nitrides and Nanomaterials   Chair of Executive Committee  

    2021年3月   

  5. International Symposium on Dry Process   International Symposium on Dry Process  

    2021年1月   

  6. International Symposium on Dry Process   Vice Chair of Publication Committee  

    2021年1月   

  7. International Symposium on Advanced Plasma Science and its application to nitride and nanomaterials   International Organizing Committee  

    2020年4月 - 2021年3月   

  8. International Symposium on Dry Process   Organizing Committee  

    2020年3月 - 2020年11月   

  9. 応用物理学会東海支部   企画幹事  

    2019年4月 - 2020年4月   

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    団体区分:学協会

  10. プラズマ・核融合学会   副会長  

    2018年6月 - 2020年5月   

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    団体区分:学協会

  11. 電気学会   理事・東海支部支部長  

    2018年6月 - 2020年5月   

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    団体区分:学協会

  12. Microwave Discharge Workshop   International Organizing Committee  

    2018年3月 - 現在   

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    団体区分:学協会

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受賞 7

  1. 応用物理学会フェロー表彰

    2020年9月   公益社団法人 応用物理学会   プロセスプラズマの気相・表面解析と新規プロセスプラズマ源創出

    豊田浩孝

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    受賞国:日本国

  2. APEX/JJAP編集貢献賞

    2016年4月   応用物理学会  

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    受賞国:日本国

  3. Best Poster Presentation Award (Poster)

    2014年3月   ISPlasma2014 Organizing Committee  

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    受賞国:日本国

  4. 平成22年度第4回貢献賞

    2010年11月   (社)プラズマ・核融合学会  

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    受賞国:日本国

    「平成22年度作成のプラズママップに対して」

  5. 第5回プラズマエレクトロニクス賞

    2007年3月   応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会  

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    受賞国:日本国

  6. 応用物理学会講演奨励賞

    2000年  

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    受賞国:日本国

  7. 応用物理学会講演奨励賞

    1998年  

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    受賞国:日本国

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論文 143

  1. *Fine Structure of O Kinetic Energy Distribution in RF Plasma and Its Formation Mechanism 査読有り

    H.Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kinoshita

    Appl. Phys. Express   2 巻 ( 12 ) 頁: 126001-(1-3)   2009年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  2. Design of Large-Area Surface Wave Plasma Excited by Slotted Waveguide Antennas with Novel Power Divider 査読有り

    Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda, Yudai Takanishi, and Hideo Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   50 巻   頁: 036002   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  3. *Generation processes of super-high-energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma 査読有り

    Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda, and H. Sugai

    Vacuum   80 巻 ( 6 ) 頁: 581-587   2006年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  4. *Evidence of Radical-free Etching of SiO2 by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り

    N. Takada, H. Toyoda and H. Sugai

    Transacitons of the Materials Research Society of Japan   30 巻 ( 1 ) 頁: 319-322   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  5. *Suppression of Oxygen Impurity Incorporation into Silicon Films Prepared from Surface-Wave Excited H2/SiH4 Plasma 査読有り

    S. Somiya, H. Toyoda, Y. Hotta and H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   43 巻 ( 11A ) 頁: 7696-7700   2004年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  6. Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 査読有り

    Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki KURIHARA and Hirotaka TOYODA

    Applied Physics Express   14 巻 ( 126001 ) 頁: 126001-1 - 126001-5   2021年11月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ac33c4

  7. Enhancement of the ion flux to the substrate by high voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film 招待有り 査読有り

    Bae, Hansin; Hamaguchi, Ikumi; Sasai, Kensuke; Suzuki, Haruka; TOYODA, Hirotaka

    Japanese Journal of Applied Physics     2021年10月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  8. Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma 査読有り

    Kota Tamura,Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa,Suguru Masuzaki,Hirotaka Toyoda

    Fusion Engineering and Design   170 巻 ( September 112532 ) 頁: 112532-1 - 112532-6   2021年9月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.fusengdes.2021.112532

    Scopus

  9. High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C6H6 surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing 査読有り

    Hansin BAE,Kensuke Sasai,Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda

    Vacuum   192 巻   頁: 110429-1 - 110429-8   2021年8月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110429

    Scopus

  10. Spatial Uniformity Evaluation of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Wide-Area Surface Treatment

    Suzuki Haruka, Koma Hirotsugu, Ogasawara Tomohiro, Koike Yosuke, Toyoda Hirotaka

    Plasma and Fusion Research   16 巻 ( 0 ) 頁: 1406046 - 1406046   2021年4月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:一般社団法人 プラズマ・核融合学会  

    <p>Spatial uniformity of an atmospheric-pressure microwave line plasma is evaluated from surface hydrophilicity treatment of polyethylene terephthalate film as well as observation of optical emission from the plasma. Prior to the experiments, the structure of the waveguide-based plasma source is optimized using a three-dimensional electromagnetic simulation to suppress standing-wave generation for the uniformity of plasma production. The spatial distribution in the longitudinal direction of the Argon (Ar) plasma is investigated by operating the microscope parallel to the slot and by irradiating film with the plasma to improve surface wettability of the film. Uniform profile of water contact angle is obtained in 40cm with very high-speed processing.</p>

    DOI: 10.1585/pfr.16.1406046

    Web of Science

    CiNii Article

  11. Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma 査読有り

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 016001 ) 頁: 016001-1 - 016001-5   2021年1月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    harging and discharging behavior of high aspect-ratio (AR) hole capillary plate (CP) exposed to a pulse-modulated very high frequency (VHF) capacitively-coupled plasma is investigated. From an equivalent circuit model, time-dependent charge density on the bottom of the CP is quantitatively evaluated. AR of the CP plays very important role for the charging current, although the discharge current is dominated by the leakage current of the CP. Importance of electron current flowing into the CP bottom during the VHF pulse-on phase is suggested at higher self-bias voltages.

    DOI: 10.35848/1347-4065/abd0ca

  12. 長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用

    豊田 浩孝、鈴木 陽香

    表面技術   71 巻 ( 10 ) 頁: 624-628   2020年10月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  13. Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma

    Makoto Moriyama1*, Naoya Nakahara1, Akihiro Mitsuya1, Haruka Suzuki1 , Kazuaki Kurihara2, Daiki Iino2, Hiroyuki Fukumizu2, and Hirotaka Toyoda1,3

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻   頁: SJJB03   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  14. Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N2 plasma production

    Haruka Suzuki1, Yuto Tamura1, Manh Hung Chu2 and Hirotaka Toyoda1

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 016002 ) 頁: 016002-1-016002-6   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  15. Microwave plasma

    Toyoda H.

    RF Power Semiconductor Generator Application in Heating and Energy Utilization     頁: 181 - 194   2020年1月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:RF Power Semiconductor Generator Application in Heating and Energy Utilization  

    DOI: 10.1007/978-981-15-3548-2_8

    Scopus

  16. 高密度表面波励起プラズマによるフッ素樹脂の表面改質

    豊田浩孝

    機能材料   ( 12月 ) 頁: PP   2019年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

    DOI: PP01

  17. Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O2 plasma

    Hirotaka Toyoda1, Shota Ishikawa1, Haruka Suzuki1 and Takeshi Honda2

    Japanese Journal of Applied Physics   158 巻 ( 12 ) 頁: 126001-1-4   2019年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  18. 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ 査読有り

    豊田浩孝、鈴木陽香

    応用物理   88 巻 ( 2 ) 頁: 101-104   2019年2月

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    記述言語:英語  

  19. Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow 査読有り

    Hikaru Senba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SA ) 頁: pp.SAAC05-1~SAAC05-5   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  20. Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment

    Sasai Kensuke, Keyamura Kazuki, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 6 )   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.066201

    Web of Science

  21. 液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成

    豊田 浩孝

    表面と真空   61 巻 ( 3 ) 頁: 113-118   2018年3月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  22. Effectiveness of plasma and radical control for the low temperature synthesis and properties of a-SiNx:H films using RF-near microwave PECVD

    Sahu Bibhuti Bhusan, Toyoda Hirotaka, Han Jeon Geon

    PHYSICS OF PLASMAS   25 巻 ( 2 ) 頁: 023511-1-14(2018)   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5016618

    Web of Science

  23. Development and plasma characterization of an 850 MHz surface-wave plasma source 査読有り

    B. B. Sahu, S. Koga, H. Toyoda, and Jeon G. Han

    AIP Advances   7 巻   頁: 105213-1-17(2017)   2017年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4995442

  24. Quantitative evaluation of high-energy O- ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target

    Suyama Taku, Bae Hansin, Setaka Kenta, Ogawa Hayato, Fukuoka Yushi, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 44 )   2017年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa87a1

    Web of Science

  25. An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge

    Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 巻 ( 11 )   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.116001

    Web of Science

  26. 液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成 査読有り

    豊田浩孝

    表面と真空   61 巻 ( 3 ) 頁: 113-118   2017年2月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  27. Enhancement of Liquid Treatment Efficiency by Microwave Plasma under Flow-Induced Reduced Pressure 査読有り

    Michiko Ito, Tomohiro Takahashi, Sho Takitou, Seigo Takashima, Norio Nomura, Tominori Kitagawa, Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻   頁: 026201-1-6   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  28. Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition 査読有り

    K. Sasai, T. Hagihara, T. Noda, H. Suzuki, H. Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.,   55 巻   頁: 086202 -1-5(2016)   2016年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  29. Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma 査読有り

    Takafumi Takaba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    Journal of Physics D: Applied Physics, Volume 49, Number 29   49 巻 ( 29 ) 頁: 295202   2016年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  30. Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave 査読有り

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 55 ) 頁: Article ID: 01AH09-1-6(2016)   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  31. Low pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler 査読有り

    Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 55 ) 頁: Article ID: 016203-1-5(2016)   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  32. New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure 査読有り

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

      8 巻 ( 3 ) 頁: 036001   2015年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  33. Synergistic effect of microwave plasma and ultrasonic wave on decomposition of organic compounds in water 査読有り

    Tomohiro Takahashi, Noriharu Takada, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   53 巻 ( 7S ) 頁: 07KE01   2014年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  34. 酸化物ターゲットを用いたRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動 招待有り 査読有り

    豊田浩孝

    Journal of the Vacuum Society of Japan   57 巻 ( 3 ) 頁: 80-83   2014年3月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  35. Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface Reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma

    D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda

    JPS Conf. Proc.   1 巻   頁: 015070-1-4 (2014)   2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  36. Influence of Oxygen Addition and Wafer Bias Voltage on Bromine Atom Surface Reaction in a HBr/Ar Inductively Coupled Plasma 査読有り

    Daiki Iino , Yasuhiro Nojiri, Keiji Suzuki, Takumi Oike, Yoshitaka Fujii, and Hirotaka Toyoda

    Japanese Journal of Applied Physics   52 巻 ( 11 ) 頁: 11NC01-1-6   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  37. High H Radical Density Produced by 1-m-Long Atmospheric Pressure Microwave Plasma System 査読有り

    Hitoshi Itoh, Yusuke Kubota, Yusaku Kashiwagi, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hirotaka Toyoda and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   52 巻   頁: 11NE01   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  38. A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink

    H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, H. Toyoda and M. Hori

    Journal ofPhysics:ConferenceSeries   441 巻   頁: 012019   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  39. Rapid Plasma Treatment of Polyimide for Adhesive and Durable Copper Film Deposition

    K. Usami, T. Ishijima, H. Toyoda

    Thin Solid Films   521 巻   頁: 22-26   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  40. High performance of carbon nanowall supported Pt catalyst for methanol electro-oxidation

    Chengxu Zhang , Jue Hu , Xiangke Wang , Xiaodong Zhang , Hirotaka Toyoda , Masaaki Nagatsu , Yuedong Meng

    CARBON   50 巻   頁: 3731–3738   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  41. Nitriding of Polymer by Low Energy Nitrogen Neutral Beam Source 査読有り

    Yasuhiro Hara , Keigo Takeda, Koji Yamakawa, Shoji Den, Hirotaka Toyoda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Applied Physics Express   5 巻   頁: 035801   2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  42. Characterization of a steam plasma jet at atmospheric pressure

    Guohua Ni, Peng Zhao, Cheng Cheng, Ye Song, Hirotaka Toyoda and Yuedong Meng

    Plasma Sources Sci. Technol.   21 巻   頁: 015009 (12pp)   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  43. Microphase separated hydroxide exchange membrane synthesis by a novel plasma copolymerization approach

    Chengxu Zhang, Jue Hua, Xiangke Wang, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsu, Xiaodong Zhang, Yuedong Meng

    Journal of Power Sources   198 巻   頁: 112– 116   2011年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  44. Spatial Profile Measurement of SiH3 Radical Flux in SiH4/H2 Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry 査読有り

    Toshiyuki Kuroda, Masahira Ikeda, Tatsuo Ishijima, and Hirotaka Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.   50 巻   頁: 08JB05   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  45. High-Performance Plasma-Polymerized Alkaline Anion-Exchange Membranes for Potential Application in Direct Alcohol Fuel Cells

    Chengxu Zhang, Jue Hu, Masaaki Nagatsu, Yuedong Meng, Wei Shen, Hirotaka Toyoda, Xingsheng Shu

    Plasma Process. Polym.   8 巻   頁: 1024–1032   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  46. Preparation of high-performance hydroxide exchange membrane by a novel ablation restriction plasma polymerization approach

    Chengxu Zhang, Jue Hu, Yuedong Meng, Masaaki Nagatsu and Hirotaka Toyoda

    Chem. Commun.   47 巻   頁: 10230–10232   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  47. Magnetron sputtering of platinum nanoparticles onto vertically aligned carbon nanofibers for electrocatalytic oxidation of methanol

    Chengxu Zhang, Jue Hu, Masaaki Nagatsu, Xingsheng Shu, Hirotaka Toyoda, Shidong Fang, Yuedong Meng

    Electrochimica Acta   56 巻   頁: 6033– 6040   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  48. Refractory Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma 査読有り

    Tatsuo Ishijima, Ryota Saito, Hiroyasu Sugihara, and Hirotaka Toyoda

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   36 巻 ( 3 ) 頁: 475-478   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  49. Influence of temperature and pressure on solute decomposition efficiency by microwave-excited plasma 査読有り

    R. Saito , H. Sugiura , T. Ishijima, H. Toyoda

    Current Applied Physics   11 巻 ( 5 ) 頁: S195-S198   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  50. Pulsed plasma-polymerized alkaline anion-exchange membranes for potential application in direct alcohol fuel cells

    Chengxu Zhang, Jue Hu, Jie Cong, Yanping Zhao, Wei Shen, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsuc, Yuedong Menga

    Journal of Power Sources   196 巻   頁: 5386–5393   2011年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  51. Effect of O Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions 査読有り

    Kazunaga Ono, Norikazu Ohshima, Kazuya Goto, Hiroki Yamamoto, Tadashi Morita, Keizo Kinoshita, Tatsuo Ishijima, and Hirotaka Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 023001   50 巻   頁: 023001   2011年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  52. Plasma-grafted alkaline anion-exchange membranes based on polyvinyl chloride for potential application in direct alcohol fuel cell

    Jue Hu, Chengxu Zhang, Jie Cong, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsu, Yuedong Meng

      196 巻   頁: 4483–4490   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  53. Novel Antenna Coupler Design for Production of Meter-ScaleHigh-Density Planar Surface Wave Plasma 査読有り

    Tatsuo Ishijima, Yasunori Nojiri, Hirotaka Toyoda, Hideo Sugai

      49 巻   頁: 086002   2010年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  54. Efficient production of microwave bubble plasma in water for plasma processing in liquid 査読有り

    T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito, H. Toyoda, H. Sugai

    Plasma Sources Sci. Technol. 015010   19 巻   頁: 015010   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  55. Spatial Variation of Negative Oxygen Ion Energy Distribution in RF Magnetron Plasma with Oxide Target 査読有り

    T. Ishijima, K. Goto, N. Ohshima, K. Kinoshita, and H. Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.   48 巻   頁: 116004   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  56. メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向

    豊田浩孝(分担執筆)

    電気学会技術報告書   1162 巻   頁: pp.11~14   2009年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  57. Rapid treatment of polyimide film surfaces using high-density microwave plasma for enhancement of Cu layer adhesion 査読有り

    Y. Takagi , Y. Gunjo , H. Toyoda , H. Sugai

    Vacuum,   83 巻   頁: 501–505   2008年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  58. Effect of Sputtering Deposition Process on Magnetic Properties on Magnetic Multilayers 査読有り

    Y. Maeda, Y. Suzuki, Y. Sakashita, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, H. Toyoda and H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   47 巻 ( 10 ) 頁: 7879-7885   2008年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  59. Surface Modification of Fluorocarbon Polymer Film by High Density Microwave Plasma 査読有り

    K. Ishikawa, T. ishijima, K. Sasai, H. Toyoda and H. Sugai

    Transactions of the Materials Research Society of Japan   33 巻 ( 3 ) 頁: 683-686   2008年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  60. Characteristics of Low-energy Atom and Molecule Beams Generated by the Charge Exchange Reaction 査読有り

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Sekine, M. Hori

    J. Appl. Phys.   103 巻 ( 5 ) 頁: 053301 1-5   2008年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  61. Deposition of polycrystalline SiGe by surface wave excited plasma 査読有り

    Y. Takanishi, T. Okayasu, H. Toyoda, H. Sugai

    Thin Solid Films Vol., pp.   516 巻   頁: 3554-3557   2008年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  62. スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御 査読有り

    豊田浩孝

    真空   51 巻 ( 4 ) 頁: 258-263   2008年4月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  63. Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma 査読有り

    Y. Sakashita, Y. Takagi, T. Kato, H. Toyoda, S. Iwata, S. Tsunashima and H. Sugai

    Transaction of Materials Research Society of Japan   32 巻 ( 2 ) 頁: 481-484   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  64. Suppression of High-Energy Backscattered Particles in Magnetron Plasma 査読有り

    Yusuke Takagi, Hirotaka Toyoda, and Hideo Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 巻 ( 12 ) 頁: 7865-7869   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  65. Tunable Low-energy Ar Fast Atom Source with Large Diameter 査読有り

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Hori

    Appl. Phys.Lett.   91 巻 ( 23 ) 頁: 23502 1-3   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  66. High-Speed μc-Si Films Deposition and Large-Grain Poly-Si Films Deposition by Surface Wave Discharge 査読有り

    Y. Hotta, H. Toyoda and H. Sugai

    Thin Solid Films   515 巻   頁: 4983-4987   2007年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  67. Role of atomic nitrogen during GaN growth by plasma-assisted molecular beam epitaxy revealed by appearance mass spectrometry 査読有り

    J. Osaka, M. Senthil Kumar, H. Toyoda, T. Ishijima, H. Sugai and T. Mizutani

    APPLIED PHYSICS LETTERS   90 巻   頁: 172114 1-3   2007年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  68. Investigation of the ion dese non-uniformity caused by sheath-lens focusing effect on silicon wafers 査読有り

    N. Holtzer , E. Stamate, H. toyoda and H. Sugai

    Thin Solid Films   515 巻   頁: 4887-4891   2007年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  69. Dependence of Giant Magnetoresitance in Cn/Cu Multilayers on Sputtering Condition 査読有り

    Changchuan Chen, Y. Suzuki, T. Kato. S. Iwata, S. Tsunashima, H. Toyoda, H. Sugai

    Japanese Juenal of Applied Physics   45 巻 ( 10B ) 頁: 8466-8468   2006年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  70. Generation processes of super-high-energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma 査読有り

    Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda, and H. Sugai

    Vacuum   80 巻 ( 6 ) 頁: 581-587   2006年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  71. Evidence of Direct SiO2 Etching by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り

    N. Takada, H. Toyoda, I. Murakami and H. Sugai

    Journal of Applied Physics   97 巻 ( 1 ) 頁: 013534 1-5   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  72. バイアス光プローブによる反応性プラズマのEEDF測定 査読有り

    豊田浩孝

    プラズマ・核融合学会誌   81 巻 ( 7 ) 頁: 496-501   2005年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  73. High-energy ions and atoms sputtered and reflected from magnetron source for deposition of magnetic thin films 査読有り

    H. Matsui, H. Toyoda and H. Sugai

    J. Vac. Sci. Technol. A   23 巻 ( 4 ) 頁: 671-675   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  74. Evidence of Radical-free Etching of SiO2 by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り

    N. Takada, H. Toyoda and H. Sugai

    Transacitons of the Materials Research Society of Japan   30 巻 ( 1 ) 頁: 319-322   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  75. Beam Study of the Si and SiO2 Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions 査読有り

    H. Toyoda, H. Morishima, R. Fukute, Y. Hori, I .Murakami and H. Sugai

    J. Appl. Phys.   95 巻   頁: 5172-5179   2004年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  76. Dramatic Reduction of Chemical Sputtering of Graphite under Intercalation of Lithium 査読有り

    H. Yagi, H. Toyoda, H. Sugai

    J. Nucl. Mater.   313-316 巻   頁: 284-287   2003年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  77. Wall Heating Effect on Crystallization of Low-Temperature Deposited Silicon Films from an Inductively-Coupled Plasma 査読有り

    T. Kojima, A. Ohishi, H. Toyoda, M. Goto, M. Nishitani and H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   40 巻 ( 1 ) 頁: 322-325   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  78. Rapid Diffusion of Lithium into Bulk Graphite in Lithium Conditioning 査読有り

    N. Itou, H. Toyoda, K. Morita and H. Sugai

    J. Nucl. Mater.   290-293 巻   頁: 381-385   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  79. Radial Density Profile of Microwave Plasma for Wall Conditioning in a Purely Toroidal Magnetic Field 査読有り

    H. Sugai, H. Toyoda, J. Ihde and J. Winter

    J. Plasma and Fusion Research   77 巻 ( 2 ) 頁: 130-136   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  80. Electron Energy Distribution Function and the Influence on Fluorocarbon Plasma Chemistry 査読有り

    H. Sugai, I. Ghanashev, M. Hosokawa, K. Mizuno, K. Nakamura, H. Toyoda and K. Yamauchi

    Plasma Sources Sci. Technol   10 巻   頁: 378-385   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  81. Measurement of Electron-Impact-Dissociation Cross Section for Neutral Products 査読有り

    H. Sugai, H. Toyoda

    AIP Conf. Proc.   500 巻   頁: 349-358   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  82. Laboratory Experiment on Lithium Chemistry and its Application to Effective Wall Conditioning 査読有り

    S. Kato, M. Watanabe, H. Toyoda, H. Sugai

    J. Nucl. Mater.   266-269 巻   頁: 406-411   1999年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  83. リチウムコンディショニングによる炭素不純物の抑制機構 査読有り

    豊田浩孝、加藤伸一、菅井秀郎

    プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 4 ) 頁: 459-466   1999年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  84. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 査読有り

    豊田浩孝、菅井秀郎

    プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 7 ) 頁: 779-784   1999年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  85. 壁コンディショニングの機能と将来の展望

    豊田浩孝

    プラズマ・核融合学会誌   75 巻 ( 4 ) 頁: 403-408   1999年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  86. Lower Temperature Deposition of Poly-Crystalline Silicon Films from a Modified Inductively-Coupled Silane Plasma

    K. Goshima, H. Toyoda, T. Kojima, M. Nishitani, M. Kitagawa, H. Yamazoe, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   38 巻 ( 6A ) 頁: 3655-3659   1999年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  87. オプティカルマルチチャンネルアナライザによる高感度吸収分光計測 査読有り

    豊田浩孝

    応用物理   68 巻 ( 5 ) 頁: 551-552   1999年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  88. 代替エッチングガスC3HF7Oの電子衝突解離断面積 査読有り

    Jpn.J.Appl.Phys.   37 巻 ( 9A ) 頁: 5053-5059   1998年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  89. プラズマプロセスに関連した低エネルギー多原子イオンの表面解離の観察

    J.Vac.Sci.Technol.   16 巻 ( 1 ) 頁: 290-293   1998年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  90. 電子サイクロトロン共鳴放電によるその場磁化ボロナイゼーションの基礎研究 査読有り

    J.Nucl.Mater.   241-243 巻   頁: 1217-1221   1997年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  91. Diagnostics for Advanced Plasma Control of Materials Processing 査読有り

    H. Sugai, T.H. Ahn, I. Ghanashev, M. Goto, H. Toyoda, N. Nagatsu, K. Nakamura, K. Suzuki

    Plasma Phys. Control. Fusion   39 巻   頁: A445-458   1997年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  92. 改良型誘導結合プラズマによるアモルファスおよび多結晶シリコン膜の低温形成 査読有り

    応用物理学会欧文誌   36 巻 ( 6A ) 頁: 3714-3720   1997年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  93. C4F8の電子衝突解離による中性およびイオン化ラジカル種の生成断面積 査読有り

    応用物理学会欧文誌   36 巻 ( 6A ) 頁: 3730-3735   1997年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  94. リチウム堆積環境下における水素および不純物挙動の実験室実験

      241-243 巻   頁: 1031-1035   1997年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  95. 熱料および不純物制御のためのリチウム壁コンディショニング 査読有り

    真室   47 巻 ( 6-9 ) 頁: 981-984   1996年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  96. 誘導結合シランプラズマを用いた水素化アモルファスシリコン膜の低温形成

    応用物理学会欧文誌   35 巻 ( 8A ) 頁: L1009-1011   1996年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  97. 低エネルギーフロロカーボンイオンを照射された金属表面からの解離イオンイールド 査読有り

      34 巻 ( 11A ) 頁: L1486-1489   1995年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  98. ポロニゼーションにおける水蒸量と同位体置換 査読有り

      220-222 巻   頁: 743-747   1995年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  99. 低エネルギ炭化水素イオンを照射された金属表面からのイオン散乱の観測 査読有り

      34 巻 ( 4B ) 頁: L516-519   1995年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  100. リチウム蒸着による壁のコンディショニング 査読有り

      220-222 巻   頁: 254   1995年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  101. 紫外透過分光法を用いたシランプラズマ中におけるSiH3ラジカルと微粒子の簡便直接測定 査読有り

      34 巻 ( 4A ) 頁: L448-451   1995年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  102. プラズマ中の電子エネルギー分布測定の為のバイアス光プローブ法

      4 巻   頁: 366372   1995年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  103. LHDへの応用をめざしたボロニゼーション研究

      220-222 巻   頁: 623-626   1995年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  104. SF6のSFX(X=1-3)ラジカルへの電子衝突解離の相対断面積測定 査読有り

      35 巻 ( 4-5 ) 頁: 405-413   1995年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  105. 電子衝突によるCF4およびCHF3のCFX(X=1-3)ラジカルへの解離断面積の絶対測定 査読有り

      35 巻 ( 4-5 ) 頁: 415-420   1995年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  106. ダイアモンド成長DC放電中におけるCH3およびCHラジカル密度 査読有り

      35 巻 ( 4-5 ) 頁: 359-373   1995年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  107. Measurement of CH3 and CH Densities in a Diamond Growth d. c. Discharge 査読有り

    M.A. Childs, K.L. Menningen, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    Europhys. Lett.   25 巻 ( 9 ) 頁: 729-734   1994年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  108. Cross Section Measurements for Electron-Impact Dissociation of CHF3 into Neutral and Ionic Radicals, 査読有り

    M. Goto, K. Nakamura, H. Toyoda, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.,   33 巻 ( 6A ) 頁: 3602-3607   1994年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  109. Measurement of Absolute Hydrogen Dissociation in a Diamond Deposition System 査読有り

    M.A. Childs, K.L. Menningen, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    Phys. Lett. A   194 巻   頁: 119123   1994年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  110. Ultraviolet Spectroscopy of Gaseous Spacies in a Hot Filament Diamond Deposition System When C2H2 and H2 are the Input Gases. 査読有り

    H. Toyoda, M.A. Childs, K.L. Menningen, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    J. Appl. Phys.   75 巻 ( 6 ) 頁: 3142-3150   1994年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  111. Absolute Radical Density Measurements in a CH4-H2 d.c. Discharge 査読有り

    K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    Diamond and Related Mater   3 巻   頁: 422-425   1994年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  112. Evaluation of a Substrate Pretreatment for Hot Filament CVD 査読有り

    K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    J. Mater. Res.   9 巻 ( 4 ) 頁: 915-920   1994年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  113. プラズマによる表面改質とラジカル計測 査読有り

      200 巻   頁: 403-411   1993年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  114. Methyl Radical Production in a Hot Filament CVD System 査読有り

    K.L. Menningen, M.A. Childs, P. Chevako, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

    Chem. Phys. Lett   204 巻 ( 5-6 ) 頁: 573-577   1993年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  115. CF4エッチングプラズマにおけるCF3 CF2ラジカルの空間分布と表面損失 査読有り

      32 巻 ( 3A ) 頁: L353-L356   1993年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  116. CF4エッチングプラズマへの水素添加によるCF2,CF3のふるまいの劇的変化 査読有り

      32 巻 ( 5A ) 頁: L690-L693   1993年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  117. Appearance Mass Spectrometry of Neutral Radicals in Radio Frequency Plasmas 査読有り

    H. Sugai, H. Toyoda

    Journal of Vacuum Science and Technology   A10 巻 ( 4 ) 頁: 1193-12004   1992年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  118. In-situ Boron Nitride Coating and Comparison with Existing Boronization 査読有り

    M. Yamage, T. Ejima, H. Toyoda, H. Sugai

    J. Nucl. Mater.   196-198 巻   頁: 618-621   1992年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  119. プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション 査読有り

    片寄恭一, 豊田浩孝, 菅井秀郎

    核融合研究   67 巻 ( 1 ) 頁: 51-61   1992年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  120. High Speed Cleaning of Boronized Wall with a CF4 Containing Plasma 査読有り

    H. Toyoda, A. Hanami, M. Yamage, H. Sugai

    Japanese Journal of Applied Physics   30 巻 ( 3B ) 頁: L514-517   1991年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  121. Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, II. Absolute Cross Sections 査読有り

    T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   30 巻 ( 11A ) 頁: 2912-2915   1991年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  122. Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, I. Relative Cross Sections 査読有り

    T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   30 巻 ( 11A ) 頁: 2908-2911   1991年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  123. Interactions of Bulk-Boronized Graphites with Deuterium Plasmas in the PISCES-B Facility 査読有り

    Y. Hirooka, R.W. Conn, H. Toyoda, H. Sugai et al.

    Fusion Technol   19 巻   頁: 2059-2069   1991年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  124. Spatial Distribution of CH2 and CH2 Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り

    H. Sugai, H. Kojima, A. Ishida, H. Toyoda

    Applied Physics Letters   56 巻 ( 26 ) 頁: 2616-2618   1990年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  125. Rapid Cleaning of Boronized Walls with a Chlorine/Hydrogen Glow Discharge 査読有り

    H. Toyoda, A. Hanami, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   29 巻 ( 7 ) 頁: 1322-1323   1990年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  126. RF Plasma Production at Ultralow Pressure with Surface Magnetic Confinement 査読有り

    T. Shirakawa, H. Toyoda, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   29 巻 ( 6 ) 頁: L1015-1018   1990年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  127. Ion-Induced Radical Production on Surfaces during Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon 査読有り

    Y. Yamashita, K. Katayose, H. Toyoda, H. Sugai

    Journal of Applied Physics   68 巻 ( 7 ) 頁: 3735-3737   1990年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  128. Effects of Carbon Wall on the Bahaviour of Heliotron-E Plasmas 査読有り

    N. Noda, T. Mizuuchi, H. Toyoda, S. Yoshida, H. Sugai et al.

    J. Nucl. Mater.   162-164 巻   頁: 769-775   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  129. Hydrogen Release and Retention Dynamics of Amorphous Carbon Layers Exposed to a Hydrogen/Helium Plasma 査読有り

    S. Yoshida, H. Sugai, H. Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys   28 巻 ( 6 ) 頁: 1101-1108   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  130. Genaration of a Large Electron Beam for Plasma Processing, 査読有り

    H. Sugai, N. Yabuoshi, H. Toyoda

    Jpn. J. Appl. Phys.   28 巻 ( 5 ) 頁: L868-870   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  131. Hydrogen Recycling Control by Helium Ion Bombardment onto Carbonized Surfaces 査読有り

    H. Sugai, H. Toyoda, S. Ohshita, S. Yoshida, A. Sagara

    J. Nucl. Meter.   162-164 巻   頁: 1035-1039   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  132. Carbonization Experiment by ECR Discharge in JIPPT-IIU 査読有り

    Y.Sakamoto, H. Amemiya, H. Toyoda, H. Sugai et al.

    J. Nucl. Mater.   162-164 巻   頁: 783-786   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  133. Mass Spectroscopic Investigation of the CH3 Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り

    H. Toyoda, H. Kojima, H. Sugai

    Applied Physics Letters   54 巻 ( 16 ) 頁: 1507-1509   1989年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  134. Hydrogen Retention and Release Dynamics of Amorphous Carbon Filsm Exposed to a Hydrogen Plasma 査読有り

    H. Sugai, S. Yoshida, H. Toyoda

    Applied Physics Letters   54 巻 ( 15 ) 頁: 1412-1414   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  135. In situ Boron Coating and its Removal by Glow Discharge Processes 査読有り

    H. Toyoda, T. Isozumi, H. Sugai, T. Okuda

    Journal of Nuclear Materials   162-164 巻   頁: 732-736   1989年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  136. Observation of CH2 Radical and Comparison with CH3 Radical in a RF Methane Discharge 査読有り

    H. Kojima, H. Toyoda, H. Sugai

    Applied Physics Letters   55 巻 ( 13 ) 頁: 1292-1294   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  137. Formation of CH Radical by Surface Bombardment in a Methane/Argon DC Discharge 査読有り

    Y. Yamashita, H. Toyoda, H. Sugai

    Jpn. J. Appl. Phys.   28 巻 ( 9 ) 頁: L1647-1650   1989年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  138. Control of Hydrogen Content of Boron Films Produced by a DC Toroidal Discharge 査読有り

    H. Toyoda, H. Sugai, T. Isozumi, T. Okuda

    Applied Physics Letters   51 巻 ( 11 ) 頁: 798-800   1987年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  139. イオン束を制御した水素化アモルファスシリコンの生成と成膜過程 査読有り

    豊田浩孝, 菅井秀郎, 吉田 明, 奥田孝美

    応用物理   55 巻 ( 7 ) 頁: 718-726   1986年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  140. Hydrogenated Amorphous Silicon Formation by Flux Control and Hydrogen Effects on the Growth Mechanism 査読有り

    H. Toyoda, H. Sugai, K. Kato, A. Yoshida, T. Okuda

    Appl. Phys. Lett.   48 巻 ( 24 ) 頁: 1648-1650   1986年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  141. Ion and Radical Contributions to a Si : H Film Formation in a DC Toroidal Discharge 査読有り

    H. Sugai, H. Toyoda, A. Yoshida, T. Okuda

    Applied Physics Letters   46 巻 ( 11 ) 頁: 1048-1050   1985年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  142. プラズマイオン分析器の開発 査読有り

    菅井秀郎, 小島啓明, 森 直生, 豊田浩孝, 奥田孝美

    核融合研究   51 巻 ( 3 ) 頁: 221-240   1984年

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  143. A Mass Spectrometer for Boundary Plasma Diagnostics 査読有り

    H. Kojima, H. Sugai, T. Mori, H. Toyoda, T. Okuda

    J. Nucl. Mater   128-129 巻   頁: 965-968   1984年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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書籍等出版物 4

  1. RF Power Semiconductor Generator Application in Heating and Energy Utilization

    Hirotaka Toyoda( 担当: 共著)

    2020年  ( ISBN:978-981-15-3547-5

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    記述言語:英語 著書種別:学術書

  2. メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向

    ( 担当: 共著)

    電気学会技術報告書 第1162号2009年7月 pp.11~14  2009年7月 

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    記述言語:日本語

  3. スパッタ実務(Q&A集)

    ( 担当: 共著)

    ㈱技術情報協会  2009年1月 

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    記述言語:日本語

  4. 最新プラズマプロセスのモニタリング技術と解析・制御

    豊田浩孝( 担当: 共著)

    リアライズ社  1997年 

     詳細を見る

    記述言語:日本語

講演・口頭発表等 766

  1. Large volume liquid treatment with high-density microwave plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    Plasma Thin Film International Meeting (PLATHINUM2021)  2021年9月13日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(基調)  

    開催地:Virtual Meeting(France)  

  2. High-energy Negative Ions in Sputtering Plasma - Energy Distribution and Its Spatial Variation - 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(基調)  

    国名:中華人民共和国  

  3. Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner 国際会議

    Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

    DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  4. Investigation of Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing 国際会議

    H. Suzuki, T. Ogasawara1, Y. Iwata and H. Toyoda

    DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:英語  

  5. High Speed sp2-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma 国際会議

    H. Bae, H. Suzuki, K. Sasai and H. Toyoda

    DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  6. Microwave application to liquid process in reduced pressure environment 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai

    Japan Ruhr University Bochum Workshop Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年10月28日  Ruhr University Bochum

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年10月 - 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:On line  

    その他リンク: https://www.ep5.ruhr-uni-bochum.de/index.php/en/japan-rub-workshop

  7. Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

    Haruka Suzuki,Makoto Moriyama,Naoya Nakahara,Hirotaka Toyoda

    74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月7日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  8. Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO3 solution* 国際会議

    Haruka Suzuki,Kazuya Yamaguchi,Kensuke Sasai,Hirotaka Toyoda

    74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月5日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  9. Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition 国際会議

    Hansin Bae,Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

    74th Annual Gaseous Electronics Conference  2021年10月5日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  10. Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma 招待有り 国際会議

    Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

    5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021)  2021年9月28日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月 - 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

  11. Large A rea Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O 2 国際会議

    T.Ogasawara, Y.Iwata, H.Suzuki and H.Toyoda

    5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月 - 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  12. 流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成

    〇山口 和也1、鈴木 陽香1、笹井 建典1、豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.核融合研)

    第82回応用物理学会秋季学術講演会、22a-P08-2  2021年9月22日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

  13. ECRプラズマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜

    ベ ハンシン,濱 口 育未,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

    第82回応用物理学会秋季学術講演会、12p-N102-13  2021年9月12日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  14. 大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理

    ○岩田悠揮,小笠原知裕,鈴木陽香(名大), 豊田浩孝(名大/ 核融合研)

    令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-4  2021年9月7日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  15. イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

    ○市川景太,鈴木陽香(名大),豊田浩孝(名大/ 核融合研)

    令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-7  2021年9月7日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  16. 二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測

    ○関悠斗,久保井宗一,鈴木陽香(名大), 豊田浩孝(名大/ 核融合研)

    令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-6  2021年9月7日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  17. 表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積

    ○濱口育未,BaeHansin,笹井建典,鈴木陽香(名大), 豊田浩孝(名大/ 核融合研)

    令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-5  2021年9月7日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  18. BH and BD molecular spectroscopy during the Impurity Powder Dropper experiments 国際会議

    T. KAWATE, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, and H. Toyoda

    15th International Workshop on Hydrogen Isotopes in Fusion Reactor Materials(HWS2020) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:zoom  

  19. LHDにおけるボロンを使った水素リサイクリング抑制実験

    芦川直子(核融合研、総研大)、川手朋子(核融合研、総研大)、豊田浩孝(名古屋大学)、Zhen SUN(ASIPP、PPPL)

    日本原子力学会 春の年会(2021)オンライン(早稲田大学)  2021年3月17日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催   国名:日本国  

  20. 絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動

    千葉 行徳,久蔵 学,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4  2021年3月19日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

  21. 液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成

    山口 和也,鈴木 丈,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-6  2021年3月19日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

  22. パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

    小笠原 知裕 ,岩田 悠揮 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会、18p-Z17-11  2021年3月19日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  23. 表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜

    BAE Hansin,疋田 和也,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4  2021年3月18日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

  24. プラズマエレクトロニクス分科会の国際展開  -GECとの連携- 招待有り

    豊田 浩孝

    第68回応用物理学会春季学術講演会17p-Z03-3  2021年3月17日  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:オンライン開催  

  25. Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議

    Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 09aB05O  2021年3月9日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  26. Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議

    Manabu Kyuzo*, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    2021年3月8日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  27. Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議

    Kota Tamura,Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki,Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08P-38  2021年3月8日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  28. Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議

    Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa,Manh Hung Chu,Haruka Suzuki* and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08pB14O  2021年3月8日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  29. Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O2 国際会議

    2Haruka Suzuki*, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08pB07O  2021年3月8日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  30. 表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積

    ベ ハンシン,鈴木陽香,笹井建典,豊田浩孝

    第58回プラズマプロセッシングシンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  31. パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化

    森山誠,中原尚哉,市川景太,Chu Manh Hung,鈴木陽香,豊田浩孝

    第58回プラズマプロセッシングシンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  32. グロー放電水素プラズマを用いたスズ-水素プラズマ相互作用の基礎研究

    田村 晃汰

    ダイバータの学理と応用 NIFS 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  33. 重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定

    田村晃汰1),鈴木陽香1),増崎貴2),時谷政行2),宮澤順一2),豊田浩孝1,2) (1)名大,2)核融合研

    プラズマ・核融合学会 第37回年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

    DOI: 02P99

  34. High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma.

    H.Bae 1), K.Hikita 1), H.Suzuki 1) 2), K.Sasai 2), H.Toyoda 1) 2) 3) (1) Department of electronics, Nagoya univ., (2) Center for Low-temperature Plasma Sciences(cLPS), Nagoya univ., (3) National Institute for Fusion Science(NIFS)

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    DOI: 03Ba06

  35. パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理

    小笠原知裕 1)、鈴木陽香 1)、豊田浩孝 1,2) (1)名大、2)核融合科学研究所)

    プラズマ・核融合学会 第37回年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

    DOI: 02P31

  36. パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価 国際会議

    中原尚哉1)、森山誠1)、鈴木陽香1,2)、豊田浩孝1,2,3) (1)名大、2)名大低温プラズマ、3)核融合研)

    プラズマ・核融合学会 第37回年会,中継本部愛媛大学 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  37. 大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用

    鈴木 陽香1,2, 小笠原知裕1, Chu Manh Hung1, 岩田 悠揮1, 豊田 浩孝1,2,3

    プラズマ・核融合学会 第37回年会,中継本部愛媛大学  2020年12月3日 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  38. Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

    Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University

    The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:zoom   国名:日本国  

  39. Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

    GEC20 Meeting of The American Physical Society、LT3.00007  2020年10月6日 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  40. Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate 国際会議

    MAKOTO MORIYAMA, NAOYA NAKAHARA, HARUKA SUZUKI,HIROTAKA TOYODA

    GEC20 Meeting of The American Physical Society、RW3.4 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  41. パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

    中原 尚哉 ,森山 誠 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

    第81回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    DOI: 11p-Z0310

  42. パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測

    中原 尚哉 ,森山 誠 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    DOI: 02Ba07

  43. 誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動

    疋田 和也*, べ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典(名古屋大学), 豊田 浩孝 (名古屋大学, 核融合科学研究所)

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    DOI: B5-4

  44. 大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理

    小笠原 知裕,小間 浩嗣,鈴木 陽香 (名古屋大学),本田 剛(株式会社ニッシン) 豊田 浩孝 (名古屋大学, 核融合科学研究所)

    令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    DOI: B5-6

  45. Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

    (M2) Manh Hung Chu1, Haruka Suzuki1, Hirotaka Toyoda1

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  46. アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制

    鈴木 丈 鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:上智大学 四谷キャンパス   国名:日本国  

  47. パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価

    (D)森山 誠,中原 尚哉,三矢 晶洋,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:上智大学 四谷キャンパス   国名:日本国  

  48. 容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

    M1 中原 尚哉 森山 誠 三矢 晶洋 鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

    第67回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:上智大学 四谷キャンパス   国名:日本国  

  49. Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma 国際会議

    ISPlasma/IC-PLANTS2020 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Nagoya University   国名:日本国  

  50. Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave 国際会議

    Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2020 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University   国名:日本国  

  51. Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source 国際会議

    Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2020 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  52. Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

    ISPlasma/IC-PLANTS2020 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University   国名:日本国  

  53. Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation 国際会議

    Yoshiki Baba*, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2020 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University   国名:日本国  

  54. 容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

    森⼭ 誠、中原 尚哉、三⽮ 晶洋、鈴⽊ 陽⾹、豊⽥ 浩孝

    プラズマ・核融合学会 第36回年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月 - 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学 春日井キャンパス   国名:日本国  

  55. 核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

    田村晃汰,鈴木陽香,宮澤順一,豊田浩孝

    プラズマ・核融合学会 第36回年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月 - 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学 春日井キャンパス   国名:日本国  

  56. potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma 国際会議

    M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

    2019 International Symposium on DryProcess 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:JMS Aster Plaza,Hiroshima,Japan   国名:日本国  

  57. Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap 国際会議

    HIROTAKA TOYODA, HIROTSUGU KOMA, YOSHIKI BABA, MANH HUNG CHU, HANSIN BAE, HARUKA SUZUKI

    GEC19 Meeting of The American Physical Society 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年10月 - 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Texas A&M University Campus in College Station   国名:アメリカ合衆国  

  58. Space-resolved oxygen radical measurement of atmo- spheric pressure microwave line plasma using vacuum ul- traviolet absorption spectroscopy 国際会議

    HANSIN BAE, HIROTSUGU KOMA, HARUKA SUZUKI, HIROTAKA TOYODA

    GEC19 Meeting of The American Physical Society 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年10月 - 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Texas A&M University Campus in College Station   国名:アメリカ合衆国  

  59. パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測

    チュー マン フン,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  60. 表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における 絶縁表面電位の時間変化

    福田 奨, 鈴木 陽香, 村田祐也, 山本兼司,豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  61. 二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

    三矢晶洋、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香、豊田浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  62. 電磁界シミュレーションによる 進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

    小間 浩嗣, 鈴木 陽香 ,豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  63. ⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

    森⼭ 誠、三⽮ 晶洋、中原 尚哉、鈴⽊ 陽⾹、豊⽥ 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  64. 大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O2/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測

    馬場 賀己、鈴木 陽 香、豊田 浩孝

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学 札幌キャンパス   国名:日本国  

  65. 二周波重畳容量結合型プラズマにおける キャピラリープレート内の電位構造解析

    中原 尚哉*, 森山 誠,三矢 晶洋,鈴木 陽香,豊田 浩孝 (名大工) 栗原 一彰,飯野 大輝,福水 裕之,林 久貴,鈴木 啓之 (東芝メモリ)

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大同大学   国名:日本国  

  66. 昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

    田村晃汰,鈴木陽香,宮澤順一,豊田浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大同大学   国名:日本国  

  67. 大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測 

    馬場 賀己*,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大同大学   国名:日本国  

  68. "二周波重畳容量結合型プラズマ装置における ファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定"

    三矢 晶洋*,森山 誠,中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大同大学   国名:日本国  

  69. 表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察

    福田 奨*,鈴木 陽香(名古屋大学),村田 祐也,山本 兼司(神戸製鋼),豊田 浩孝(名古屋大学)

    令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大同大学   国名:日本国  

  70. High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

    Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  71. High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

    Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  72. Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki and H. Toyoda

    AEPSE2019 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:大韓民国  

  73. Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide 国際会議

    S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

    XXXIV ICPIG & ICRP-10 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Sapporo, Hokkaido, Japan   国名:日本国  

  74. Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma 国際会議

    M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

    XXXIV ICPIG & ICRP-10 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Sapporo, Hokkaido, Japan   国名:日本国  

  75. Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization 国際会議

    T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Kobe Steel, Ltd., Japan H. Toyoda, H. Suzuki, Nagoya University, Japan

    International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:San Diego, CA,USA   国名:アメリカ合衆国  

  76. Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap 国際会議

    Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, and Hirotaka Toyoda

    The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  77. Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

    Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  78. 革新的プラズマ源開発とエネルギー科学応用 招待有り 国際会議

    豊田浩孝

    第82回マテリアルズテーラリング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年4月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:横浜 慶応大学日吉キャンパス   国名:日本国  

  79. 長尺大気圧マイクロ波プラズマ生成と表面処理の応用 招待有り

    豊田浩孝

    表面技術協会 第139回講演大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:神奈川大学 横浜キャンパス   国名:日本国  

  80. Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

    Manh Hung Chu,Haruka Suzuki ,Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  81. Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge 国際会議

    Yoshiki Baba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  82. Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna 国際会議

    Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  83. Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

    Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  84. Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

    Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  85. Hydrogen Recycling Properties of Tin wall in DC Glow Hydrogen Plasma 国際会議

    Kota Tamura*, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda and Junichi Miyazawa

    ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya Institute of Technology   国名:日本国  

  86. 大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

    小間 浩嗣 ,杉山 敦士 ,鈴木 陽香,本田 剛 ,豊田 浩

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  87. マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

    福田 奨,宇田川 洸, 鈴木 陽香, 田内 裕基, 豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  88. 液体流形マイクロ波プラズマによるナノ粒子の高速合成

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  89. Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  90. 二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価 の実験的評価 の実験的評価

    三矢 晶洋, 森山 誠,鈴木 ,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  91. シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

    森山 誠,三矢 晶洋,中原 尚哉,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  92. スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測

    馬場 賀己,鈴木陽香,豊田 浩孝

    第66回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東工大 大岡山キャンパス   国名:日本国  

  93. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測

    Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda,馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウムC3-119-007 

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    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:高知城ホール   国名:日本国  

  94. シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析

    チュー マン・フン、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

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    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:高知城ホール   国名:日本国  

  95. メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

    小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝、

    第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

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    開催年月日: 2019年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:高知城ホール   国名:日本国  

  96. スロット励起マイクロ波プラズマを用いた水蒸気プラズマ処理プロセス 招待有り

    鈴木陽香、豊田浩孝

    第28回 日本MRS年次大会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:北九州/小倉   国名:日本国  

  97. 大気圧マイクロ波O2/CF4プラズマを用いた有機物除去処理

    石川翔太、鈴木陽香、本田剛、豊田浩孝

    第28回 日本MRS年次大会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北九州/小倉   国名:日本国  

  98. 新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 招待有り

    鈴木陽香、豊田浩孝

    高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:岐阜大学サテライトキャンパス   国名:日本国  

  99. 直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価

    田村晃汰,鈴木陽香,豊田浩孝,宮澤順一

    プラズマ核融合学会 第35回年会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  100. 二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価

    森山誠,三矢晶洋,中原尚哉,鈴木陽香,豊田浩孝

    プラズマ核融合学会 第35回年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  101. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測

    BAE Hansin,小池洋右,小間浩嗣,鈴木陽香,豊田浩孝

    プラズマ核融合学会 第35回年会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  102. 大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用 招待有り

    鈴木陽香、豊田浩孝

    プラズマ核融合学会 第35回年会 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  103. Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Ko Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki

    2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 

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    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:The Kanazawa Chamber of Commerce and Industry Hall &Ishikawa Prefectural Bunkyo Hall   国名:日本国  

  104. High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma 国際会議

    Shota Ishikaw1, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda

    The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  105. Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis 招待有り 国際会議

    S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda

    The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  106. Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge 国際会議

    Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki

    71st Annual Gaseous Electronics Conference  

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    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Portland, Oregon   国名:アメリカ合衆国  

  107. Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Ivan Ganachev,Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018) 

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    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:中華人民共和国  

  108. Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target 招待有り 国際会議

    Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    International Symposium on Sputtering & Plasma Processes Pre session (ISSP2018) 

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    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  109. 流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成

    藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  110. 大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理

    (M2)石川 翔太1、鈴木 陽香1、本田 剛2、豊田 浩孝1 (1.名大工、2.ニッシン)

    応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  111. メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測 招待有り

    鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝

    応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  112. 電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制

    (M2)小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  113. マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による表面波プラズマの電位制御

    Ltd.)宇田川 洸1, 福田 奨1, 鈴木 陽香1, 田内 裕基2, 豊田 浩孝1

    応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  114. Meter-scale atmospheric pressure microwave line plasma and its applications. 招待有り 国際会議

    H. Toyoda

    Xth INTERNATIONAL WORKSHOP on MICROWAVE DISCHARGES: Fundamentals and Applications 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Zvenigorod, Russia   国名:ロシア連邦  

  115. 表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御

    福田奨、宇田川洸、鈴木陽香、豊田浩孝(名古屋大学)、田内裕基(神戸製鋼所)

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名城大学   国名:日本国  

  116. 酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析

    三矢 晶洋、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名城大学   国名:日本国  

  117. 大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測

    小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名城大学   国名:日本国  

  118. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測

    馬場賀己, 鈴木陽香,豊田浩孝

    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名城大学   国名:日本国  

  119. Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki

    THERMEC2018 

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    開催年月日: 2018年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Paris - FRANCE   国名:フランス共和国  

  120. Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, H. Suzuki Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama

    JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science 

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    開催年月日: 2018年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Bochum /Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  121. Meter-scale atmospheric-pressure microwave plasma for molecular gas processes 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    19th International Congress on Plasma Physics 

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    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Vancouver   国名:カナダ  

  122. 大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布

    小池 洋右,田村 宥人,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  123. 同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成

    藤村 昇平, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  124. マグネトロンスパッタリングにおける負イオンの数値解析による評価

    宇田川 洸,三矢 晶洋,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  125. Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-Shielded Environment by Water Flow 国際会議

    Haruka Suzuki, Hikaru Senba and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  126. Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  127. Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering 国際会議

    Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  128. A coaxial-waveguide microwave plasma source for in-line treatment of large volume liquid 国際会議

    Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  129. Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda

    ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  130. 質量分析を用いた粒子計測の基礎 — 計測原理から分析応用までー 国際会議

    豊田 浩孝

    第30回専門講習会「プロセスプラズマ診断の基礎」 

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    開催年月日: 2018年1月

    記述言語:日本語   会議種別:公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  131. Development of Microwave Plasma Sources and its Application to Materials Processing 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    27th Annual Meeting of MRS-Japan 2017 

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    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語  

    国名:日本国  

  132. 大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価

    石川 翔太、鈴木 陽香、豊田 浩孝

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    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  133. 直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定

    宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  134. 電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討

    小池 洋右、田村 宥人、鈴木 陽香、豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  135. ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上

    藤村 昇平、堤 和紀、鈴木 陽香、豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  136. 水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用

    鈴木 陽香、仙波 輝、豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  137. Power Absorption Mechanism of Atmospheric Microwave Line Plasma 国際会議

    H. Suzuki, Y. Koike, Y. Tamura, Y. Baba, and H. Toyoda

    DPS2017 

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    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Tokyo Institute of Technology, Tokyo   国名:日本国  

  138. Power absorption of atmospheric-pressure microwave-line-plasma 国際会議

    HIROTAKA TOYODA, HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, YOSUKE KOIKE, YOSHIKI BABA

    GEC2017 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:DoubleTree by Hilton, Pittsburgh, Green Tree, Pennsylvania ,USA   国名:アメリカ合衆国  

  139. Production of long-scale atmospheric pressure microwave plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    AAPPS-DPP2017(the 1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Jinniu Hotel, Chengdu, China   国名:中華人民共和国  

  140. Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Taku Suyama and Hansin Bae

    AEPSE2017 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Jeju International Convention Center, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  141. VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価

    宇田川 洸,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  142. 空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

    藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  143. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション

    小池 洋右,田村 宥人,馬場 賀己,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  144. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成

    石川 翔太,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  145. スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン

    鈴木 陽香 ,小池 洋右 , 田村 宥人 , 馬場 賀己 , 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス   国名:日本国  

  146. 水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成

    仙波 輝, 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス   国名:日本国  

  147. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構

    田村 宥人, 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス   国名:日本国  

  148. マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測

    堤 和紀 ,藤村 昇平, 鈴木 陽香,豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス   国名:日本国  

  149. Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure 招待有り 国際会議

    H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda

    IUMRS-ICAM 2017(The 15th International Conference on Advanced Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Yoshida Campus, Kyoto University,   国名:日本国  

  150. Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O 2/TEOS 招待有り 国際会議

    S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, and H. Toyoda

    IUMRS-ICAM 2017(The 15th International Conference on Advanced Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Yoshida Campus, Kyoto University,   国名:日本国  

  151. Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure 国際会議

    H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda

    ICPIG 2017 

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    開催年月日: 2017年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Estoril Congress Center, Estoril/Lisbon, Portugal   国名:ポルトガル共和国  

  152. Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide 国際会議

    H. Toyoda, H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, H. Suzuki

    ICPIG 2017 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Estoril Congress Center, Estoril/Lisbon, Portugal   国名:ポルトガル共和国  

  153. Microwave plasma production inside the micro-gap with metergap with meter -scale length 招待有り 国際会議

    H. Suzuki and H. Toyoda

    IWM 2017(The 9th International Workshop on Microplasmas) 

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    開催年月日: 2017年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Riessersee Hotel, Garmisch-Partenkirchen, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  154. Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment 国際会議

    H. Suzuki and H. Toyoda

    The 22th KJ workshop 

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    開催年月日: 2017年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Suwon, Republic of Korea   国名:大韓民国  

  155. マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性

    鈴木陽香 ,田村宥人 ,猪俣弥雄起 ,関根誠 ,堀勝 ,豊田浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:パシフィコ横浜 (神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  156. マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測

    堤和紀,滝藤奨,藤村昇平, 鈴木陽香,豊田浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:パシフィコ横浜 (神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  157. 水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成

    仙波 輝 , 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:パシフィコ横浜 (神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  158. マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討

    田村 宥人 ,猪俣 弥雄起 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝

    第64回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:パシフィコ横浜 (神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  159. Measurement of directional heat flux component in VHF-magnetron sputtering 国際会議

    Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan   国名:日本国  

  160. Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 国際会議

    Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan   国名:日本国  

  161. Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure 国際会議

    Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan   国名:日本国  

  162. Shielding of plasma jets from ambient air by water flow certain 国際会議

    Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan   国名:日本国  

  163. Introduction to Plasma Production - from Breakdown to Plasma Sustainment - 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan   国名:日本国  

  164. スパッタの基礎とプラズマ解析

    豊田 浩孝

    第29回専門講習会「スパッタ技術の現状と展望」 

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    開催年月日: 2017年2月

    記述言語:日本語   会議種別:公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  165. ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布

    Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

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    開催年月日: 2017年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学   国名:日本国  

  166. 改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成

    鈴木 陽香,田村 宥人,猪俣 弥雄起, 伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学   国名:日本国  

  167. 長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション

    田村 宥人,鈴木 陽香,猪俣 弥雄起, 伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学   国名:日本国  

  168. インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上

    堤和紀,滝藤奨,藤村昇平, 伊藤美智子,高島成剛,鈴木陽香,豊田浩孝

    第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム(合同会議) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学   国名:日本国  

  169. 酸化物ターゲットを用いたスパッタリングにおける酸素負イオン挙動 招待有り

    豊田 浩孝

    負イオン研究会2016 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:核融合科学研究所(岐阜県土岐市)   国名:日本国  

  170. マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価

    豊田浩孝,巣山拓, Bae Hansin, 鈴木陽香

    プラズマ・核融合学第33回会年会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東北大学(宮城県仙台市)   国名:日本国  

  171. 大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用 招待有り

    豊田 浩孝

    2016年真空・表面科学合同講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  172. Plasma -enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O 2/TEOS 国際会議

    Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda

    DPS2016 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, in Japan   国名:日本国  

  173. Evaluation of O- Ion Flux in a VHFVHF -DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Taku Suyama, Hansin Bae and Haruka Suzuki

    DPS2016 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, in Japan   国名:日本国  

  174. High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system 国際会議

    HIROTAKA TOYODA, MASAKI YAMAMOTO, HARUKA SUZUKI

    69th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ruhr-Universität Bochum, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  175. 100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure 国際会議

    HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HI- ROTAKA TOYODA

    69th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Ruhr-Universität Bochum, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  176. Development of microwave plasma sources and its applications 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Dream Center, Gyeongju, in Korea   国名:大韓民国  

  177. Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path 国際会議

    Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

    The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dream Center, Gyeongju, in Korea   国名:大韓民国  

  178. ITO マグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価

    巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ(新潟県新潟市)   国名:日本国  

  179. インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上

    滝藤 奨、伊藤 美智子 、高島 成剛、野村 記生、北川 富則、豊田 浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ(新潟県新潟市)   国名:日本国  

  180. O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成

    山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ(新潟県新潟市)   国名:日本国  

  181. 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

    鈴木陽香 ,田村宥人 ,伊藤仁 ,関根誠 ,堀勝 ,豊田浩孝

    第77回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ(新潟県新潟市)   国名:日本国  

  182. 窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

    田村 宥人,鈴木 陽香,伊藤 仁,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝

    平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊田工業高等専門学校   国名:日本国  

  183. Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering

    Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  184. プラズマスパッタ ―スパッタの物理とマグネトロンプラズマ―

    豊田 浩孝

    第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年8月

    記述言語:日本語   会議種別:公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等  

    開催地:国立中央青少年交流の家   国名:日本国  

  185. High-speed -camera observation of plasma behavior in atmospheric-pressure microwave line plasma 国際会議

    H. Suzuki, H. Ito, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda

    7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meitetsu Inuyama Hotel, Inuyama, Japan   国名:日本国  

  186. Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution 国際会議

    H. Toyoda, T. Takaba, H. Suzuki

    7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meitetsu Inuyama Hotel, Inuyama, Japan   国名:日本国  

  187. VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

    巣山 拓,福井 崇史, 瀬高 健太, 笹井建典, 豊田 浩孝

    第63回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都目黒区)   国名:日本国  

  188. マイクロ波プラズマ液体処理におけるエネルギー効率向上

    滝藤 奨、伊藤 美智子 、高島 成剛、野村 記生、北川 富則、豊田 浩孝

    第63回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都目黒区)   国名:日本国  

  189. スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

    山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝

    第63回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都目黒区)   国名:日本国  

  190. Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) 国際会議

    KENSUKE SASAI, HARUKA SUZUKI AND HIROTAKA TOYODA

    8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  191. マイクロ波プラズを用いた高圧無電極紫外ランプの試作とその長尺化の検討

    西川 拓、豊田 浩孝

    第3回光源物性とその応用研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北とぴあ(東京都北区)   国名:日本国  

  192. 大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

    鈴木陽香, 中野優, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

    第32回プラズマ・核融合学会 年会 

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    開催年月日: 2015年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  193. Experimental Verification of the Importance of Slot Position in Microwave Plasma Production with Slot Antenna Array 国際会議

    S. Koga and H. Toyoda

    DPS2015 

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    開催年月日: 2015年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Awaji Yumebutai International Conference Center, Awaji Island, Japan   国名:日本国  

  194. Surface Roughness Control of DC Sputter Film Deposition by Superposition of VHF Power 国際会議

    Takashi Fukui, Taku Suyama, Yushi Fukuoka, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  195. Development of High-Throughput Liquid Treatment System Using Slot Antenna Excited Microwave Plasma 国際会議

    SHO TAKITOU, MICHIKO ITO, SEIGOU TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI KITAGAWA, HIROTAKA TOYODA

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  196. Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process 国際会議

    HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HIROTAKA TOYODA

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  197. Origin of Substrate Heating During Oxide Film Deposition by DC Magnetron Discharge and Superposition of VHF Power 国際会議

    KENTA SETAKA, TAKASHI FUKUI, KENSUKE SASAI, HIROTAKA TOYODA

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  198. Organic Decomposition Performance of In-line Liquid Treatment System Using Microwave Plasma 国際会議

    MICHIKO ITO, SEIGO TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI NOMURA, HIROTAKA TOYODA

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  199. Ultraviolet Light Source Using Electrodeless Microwave Discharge 国際会議

    Taku Nishikawa, Hirotaka Toyoda

    ICRP-9/GEC-68/SPP-33 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Hawaii Convention Center, Honolulu, Hawaii   国名:アメリカ合衆国  

  200. Evaluation of Heat Flux to Film Surface in DC-VHF Superposed Magnetron Plasma 国際会議

    K. Setaka, T. Fukui, T. Suyama, K. Sasai, and H. Toyoda

    the 21th KJ workshop 

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    開催年月日: 2015年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Osaek Greenyard hotel, Yangyang, Gangwon - do, Korea   国名:大韓民国  

  201. ベンチュリ効果を用いたマイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上

    滝藤 奨,伊藤 美智子, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田 浩孝

    平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋工業大学   国名:日本国  

  202. VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける膜特性の評価

    巣山 拓,福井 崇史,福岡 侑士,笹井 建典,豊田 浩孝

    平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋工業大学   国名:日本国  

  203. スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討

    山本 匡毅,鈴木 陽香,豊田 浩孝

    平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋工業大学   国名:日本国  

  204. Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada and Hirotaka Toyoda

    AEPSE2015 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Hotel, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  205. Toward Real Uniform Sputtering – Spatial Uniformity of Thickness and Quality - 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    AEPSE2015 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Ramada Plaza Hotel, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  206. Optimization of In-line Plasma Treatment Performance 国際会議

    Michiko Ito, Seigo Takashima, Norio Nomura, Tominori Kitagawa and Hirotaka Toyoda

    AEPSE2015 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Hotel, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  207. 吸収分光法によるVHF-DC 重畳マグネトロンプラズマのガス温度測定

    第76回応用物理学会秋季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  208. Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  209. VHF -DC 重畳 マグネトロンスパッタにおける膜表面粗さの制御

    第76回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  210. マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの温度分布

    第76回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  211. Influence of Solution Temperature on Processing Performance by In-line Plasma Treatment Device 国際会議

    MICHIKO ITO, SEIGO TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI KITAGAWA AND

    7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Nagoya University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  212. Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas 国際会議

    HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI

    7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Nagoya University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  213. 吸収分光法によるArパルスマイクロ波プラズマのガス温度時分解測定

    瀬高 健太、豊田 浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)   国名:日本国  

  214. マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの開発

    西川 拓、豊田 浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)   国名:日本国  

  215. VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタにおける成膜速度評価

    福井 崇史, 福岡 侑士, 高田 昇治, 笹井建典, 豊田 浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)   国名:日本国  

  216. 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

    鈴木 陽香,中野 優,伊藤 仁,関根誠,堀 勝,豊田 浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)   国名:日本国  

  217. パルスマイクロ波プラズを用いた イン ラ溶液処理装置 における処理性能の Duty 比依存性

    伊藤美智子, 高島成剛, 野村記生, 北川富則, 豊田浩孝

    第62回応用物理学会春季学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)   国名:日本国  

  218. 表面波プラズマ支援RFスパッタによるMgO薄膜の堆積 国際会議

    萩原敏哉, 豊田浩孝

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    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  219. 狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成 国際会議

    中野優, 鈴木陽香, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

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    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  220. 電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測 国際会議

    鷹羽貴史, 鈴木陽香, 高田昇治, 豊田浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  221. インラインのプラズマ処理装置により生成される水溶液中のOHラジカル評価 国際会議

    伊藤美智子,高島成剛,野村記生,北川富則,豊田浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  222. Plasma Science for Future Nanotechnology 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    The GRDC Symposium 2014 

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    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Konkuk University, Seoul, Korea   国名:大韓民国  

  223. Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine and Masaru Hori

    67th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地: North Carolina Marriott City Center and Raleigh Convention Center   国名:アメリカ合衆国  

  224. Discharge Characteristic of VHF-DC Superimposed Magnetron Sputtering System 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Yushi Fukuoka, Takashi Fukui, Noriharu Takada, Kensuke Sasai

    67th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: North Carolina Marriott City Center and Raleigh Convention Center   国名:アメリカ合衆国  

  225. プラズマ技術とその産業応用 招待有り

    豊田 浩孝

    プラズマ技術講演会 

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    開催年月日: 2014年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:ポートメッセなごや 名古屋国際展示場『TECH Biz EXPO 2014』   国名:日本国  

  226. Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  227. VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタ装置の特性評価

    福岡 侑士,福井 崇史, 高田 昇治, 笹井建典,豊田 浩孝

    第75回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北海道大学札幌キャンパス   国名:日本国  

  228. ポータブルUHF プラズマ装置の開発

    古賀 翔太,豊田浩孝

    平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:中京大学 名古屋キャンパス   国名:日本国  

  229. 吸収分光法によるAr プラズマの中性粒子温度測定

    瀬高 健太,豊田 浩孝

    平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:中京大学 名古屋キャンパス   国名:日本国  

  230. VHF-DC 重畳マグネトロンプラズマ装置の特性評価

    福井 崇史,福岡 侑士,高田 昇治, 笹井 建典, 豊田 浩孝

    平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中京大学 名古屋キャンパス   国名:日本国  

  231. Novel sputtering system for uniform dielectric film deposition 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Toshiya Hagihara

    International conference on microelectronics and plasma technology 2014 

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    開催年月日: 2014年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gunsan Saemangeum Convention Center, Gunsan, Korea   国名:大韓民国  

  232. Development of compact UHF plasma source 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda and Shota Koga

    The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes 

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    開催年月日: 2014年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:The Riverside Hotel, Seoul South Korea   国名:大韓民国  

  233. パルスDC マグネトロンプラズマ中の酸素負イオン計測

    福岡 侑士,小川 勇人, 高田 昇治, 豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  234. パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測

    鈴木 陽香 、中野 優 、伊藤 仁 、関根誠 、堀 勝 、豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  235. 電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測

    鷹羽 貴史,鈴木 陽香,高田 昇治,豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  236. 誘導結合型 誘導結合型 HBr プラズマにおける Br ラジカル表面損失確率の評価

    藤井 良隆 ,飯野 大輝 ,豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  237. 表面波プラズマ支援RF スパッタにおける絶縁性ターゲットの表面電位評価

    萩原 敏哉,野田 智紀,豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  238. 液流路式マイクロ波プラズマの溶液処理性能評価

    伊藤 美智子, 高橋 朋大, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  239. メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価

    中野 優 ,鈴木 陽香 ,伊藤 仁 ,関根 誠 ,堀 勝 ,豊田 浩孝

    第61回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス   国名:日本国  

  240. Evaluation the reaction of Br radical at silicon surface in an Inductively Coupled HBr plasma 国際会議

    YOSHITAKA FUJII, DAIKI IINO, AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  241. Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma 国際会議

    Toshiya Hagihara, Tomonori Noda and Hirotaka Toyoda

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  242. O- Energy Distribution in a VHF-Superimposed DC Magnetron Plasma 国際会議

    YUSHI FUKUOKA, HAYATO OGAWA, KENSUKE SASAI, NORIHARU TAKADA AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  243. Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma 国際会議

    SUGURU NAKANO, HARUKA SUZUKI, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  244. Spatio-temporal Behavior of Alkaline Metals in a DC Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

    TAKAFUMI TAKABA, HARUKA SUZUKI, NORIHARU TAKADA, AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  245. Decomposition of Phenol by Pulsed Microwave Plasma Generated in the Vicinity of a Fluid Flow Path 国際会議

    MICHIKO ITO, TOMOHIRO TAKAHASHI, SEIGO TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI KITAGAWA AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  246. Design of Meter-Scale Compact Microwave Antenna Structure by Electromagnetic Simulation 国際会議

    SHOGO KONDO, KENSUKE SASAI, NORIHARU TAKADA AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  247. Influence of Discharge-off Duration on the Plasma Density in an Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Discharge 国際会議

    KAZUKI EGASHIRA, HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  248. Production of High-Uniform Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

    HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO,HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI AND HIROTAKA TOYODA

    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Meijo University, Nagoya, Japan   国名:日本国  

  249. Advanced microwave plasma technology for liquid treatment 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, T. Takahashi, N. Takada

    46th Annual Winter Conference following a special symposium 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:BO Phoenix Park (Pyeongchang, Gangwon-do), Korea   国名:大韓民国  

  250. Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma 国際会議

    Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Hirotaka Toyoda

    The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  251. Time- and space-resolved measurement of electron density in an atmospheric pressure microwave plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Kazuki Egashira

    The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  252. Meter -Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave 国際会議

    Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

    ICRP-8/SPP-3 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  253. Production of high-density meter-length plasma with metal-covered slot antenna 国際会議

    N. Takada, S. Kondo, S. Nakano, K. Sasai and H. Toyoda

    ICRP-8/SPP-3 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  254. Dependence of Electron density on Pulse-OFF Time in an Atmospheric Pulse Microwave Discharge 国際会議

    Kazuki Egashira1, Hirotaka Toyoda

    ICRP-8/SPP-3 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  255. Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition 国際会議

    Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Hirotaka Toyoda

    ICRP-8/SPP-3 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  256. Nano-scale film surface control by advanced sputtering system 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    THERMEC' 2013 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Las Vegas, USA   国名:アメリカ合衆国  

  257. マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の基礎的検討

    萩原敏哉,野田智紀,豊田浩孝

    電気学会プラズマ研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名城大学名駅サテライト   国名:日本国  

  258. Effect of superposing ultrasonic wave on microwave plasma under water

    Tomohiro Takahashi, Noriharu Takada, and Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  259. Water Treatment by High-Density Microwave Plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Tomohiro Takahashi, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Noriharu Takada

    ICSE 2013(International Conference on Surface Engineering) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Haeundae Grand Hotel, Busan, Korea   国名:日本国  

  260. 大気圧パルスプラズマのプラズマ密度時分解計測とプラズマ挙動解析 招待有り

    豊田 浩孝

    第29回 九州・山口プラズマ研究会 

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    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  261. Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition with Surface-Wave Excited Plasma 国際会議

    T. Noda,T. Hagihara, H. Toyoda

    66th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Princeton, New Jersey   国名:アメリカ合衆国  

  262. Meter-Scale Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Using Sub-Millimeter-Gap Slot 招待有り 国際会議

    HIROTAKA TOYODA

    66th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Princeton, New Jersey   国名:アメリカ合衆国  

  263. Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

    H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda

    66th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Princeton, New Jersey   国名:アメリカ合衆国  

  264. 表面波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の検討

    萩原 敏哉,野田 智紀,豊田 浩孝

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学   国名:日本国  

  265. 電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測

    鷹羽貴史,鈴木陽香, 高田昇治, 豊田浩孝

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学   国名:日本国  

  266. 進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成

    中野 優,鈴木 陽香 ,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝,伊藤 仁

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学   国名:日本国  

  267. VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成及び特性評価

    福岡 侑士,小川 勇人,豊田 浩孝

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学   国名:日本国  

  268. 誘導結合型HBrプラズマにおけるBrラジカルの表面損失確率評価

    藤井 良隆,豊田 浩孝

    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学   国名:日本国  

  269. 新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

    鈴木 陽香 ,中野 優 ,伊藤 仁 ,関根誠 ,堀 勝 ,豊田 浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  270. マイクロ波励起プラズマによる流体連続処理

    高橋 朋大,高田 昇治,豊田 浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  271. 多目的マイクロ波アンテナの大面積化と高密度プラズマ生成

    近藤将吾,中野優、高田昇治,豊田浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  272. 大気圧マイクロ波放電 におけるパルス停止時間のプラズマへの影響

    江頭一輝 ,豊田浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  273. マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の開発

    野田 智紀,萩原 敏哉,豊田 浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  274. VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成とプラズマ計測

    小川勇人,福岡 侑士,豊田浩孝

    第74回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:同志社大学京田辺キャンパス   国名:日本国  

  275. Cross section measurement of the neutral dissociation of CH2F2 by electron impact 国際会議

    H. Ogawa and H. Toyoda

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  276. Plasma Characteristics of Multipurpose Microwave Antenna and Its Application to Silicon Thin Film Deposition 国際会議

    S. Kondo, S. Nakano and H. Toyoda

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  277. Superposition of Ultrasonic Power on Microwave Plasma and Its Effect on Solution Treatment Efficiency 国際会議

    T. Takahashi, N. Takada, and H. Toyoda

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  278. Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System for Dielectric Film Deposition 国際会議

    Tomonori Noda, and Hirotaka Toyoda

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  279. Surface Treatment of Three-Dimensional Product by Flexible Twin Microwave Plasma Source 国際会議

    K. Sasai, K. Ishikawa, H. Toyoda and H. Sugai

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  280. Influence of gas addition and substrate bias voltage on Br radical behavior in HBr inductively coupled plasma 国際会議

    D. Iino, Y. Nojiri, K. Suzuki, T. Oike, Y. Fujii, and H. Toyoda

    DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ramada Plaza Jeju Hotel in Korea   国名:大韓民国  

  281. High density plasma production by a Multipurpose Microwave Antenna 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Shogo Kondo, Suguru Nakano, Noriharu Takada

    The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013) 

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    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  282. Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma 国際会議

    D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda

    The 12th Asia Pacific Physics Conference 

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    開催年月日: 2013年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Chiba, Japan   国名:日本国  

  283. Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode 国際会議

    H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada and H. Toyoda

    Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

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    開催年月日: 2013年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Korea   国名:大韓民国  

  284. Influence of Ultrasonic Power Superposition to Microwave Plasma Produced under Water 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Korea   国名:大韓民国  

  285. 超音波重畳マイクロ波液中プラズマによる液中有機物処理

    高橋 朋大,高田 昇治,豊田 浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  286. 低圧環境下における無磁場マイクロ波プラズマ生成と応用

    野田 智紀,中坊 将人,豊田 浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  287. 多目的マイクロ波アンテナを用いたプラズマ生成とSi薄膜形成への応用

    近藤将吾,中野優,豊田浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  288. 電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測

    鈴木 陽香,鷹羽 貴史,高田 昇治,豊田 浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  289. CH2F2への電子衝突によるラジカル生成断面積の評価

    小川勇人,豊田浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  290. 誘導結合型HBr プラズマ中のBr ラジカル挙動

    飯野大輝,野尻康弘,鈴木啓之,大池 匠,藤井良隆,豊田浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  291. 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける放電開始後のプラズマ挙動

    江頭一輝 ,村瀬卓也 ,豊田浩孝

    第60回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:神奈川工科大学   国名:日本国  

  292. スパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生とその制御 招待有り

    豊田 浩孝

    プラズマ材料科学第153委員会第108回研究会 

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    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:弘済会館   国名:日本国  

  293. Temporal and Spatial Variations of Atomic Metals in Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasmas with Liquid Electrode 国際会議

    H.Suzuki, T. Takaba, N. Takada and H. Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  294. Microwave Plasma Production - From Micro- to Meter-scale - 招待有り 国際会議

    H. Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  295. Absolute Dissociation Cross Section of CH2F2 into CH2F for Electron-Impact 国際会議

    H.Ogawa and H.Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  296. Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Film by Compact Antenna Structure 国際会議

    S.Kondo, S.Nakano and H. Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  297. Synergistic Effect of Ultrasonic Wave on Microwave Excited Plasma Production under Water 国際会議

    T. Takahashi, N. Takada and H. Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  298. Surface-Wave Excited Plasma Produced in Low Pressures 国際会議

    T. Noda, M. Nakabo and H. Toyoda

    The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年2月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gero Japan   国名:日本国  

  299. Measurement of Br Atom Density in an Inductively-Coupled HBr Plasma by Appearance Mass Spectrometry 国際会議

    Y.Fujii, T. Oike, D. Iino, K. Suzuki and H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  300. Development of Compact Microwave Plasma Source and Its Application to Si Film Deposition 国際会議

    S. Kondo, S. Nakano and H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  301. Production of Surface-Wave Excited Plasma in Low Pressures 国際会議

    T.Noda, M. Nakabo and H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  302. Effect of Superposition of Ultrasonic Power on Microwave Plasma under Water 国際会議

    T. Takahashi, N. Takada, H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  303. Absolute Cross Section Measurement for Electron-Impact Dissociation of CH2F2 into CH2F 国際会議

    H. Ogawa and H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  304. Temporal Variation of Alkaline Metals in an Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

    H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada, H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  305. Time-Resolved Measurement of Electric Field in Ar and N2 Atmospheric-Pressure Microwave Plasmas 国際会議

    K. Egashira, T. Murase AND H. Toyoda

    5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  306. Measurement of Electron-Impact Cross Section for Dissociation of CH2F2 into CH2F 国際会議

    H. Ogawa and H. Toyoda

    The 16th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

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    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  307. コンパクトマイクロ波アンテナを用いた微結晶シリコン薄膜の生成

    近藤将吾,中野優,豊田浩孝

    第30回プラズマプロセシング研究会 

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    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アクトシティー浜松   国名:日本国  

  308. 二電子ビーム法を用いたCH2F2への電子衝突によるCH2Fラジカル生成断面積測定

    小川勇人,豊田浩孝

    第30回プラズマプロセシング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アクトシティー浜松   国名:日本国  

  309. シュタルク分光を用いたAr及びN2添加大気圧マイクロ波プラズマの時分解計測

    江頭 一輝,村瀬 卓也,豊田 浩孝

    第30回プラズマプロセシング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アクトシティー浜松   国名:日本国  

  310. マイクロ波液中プラズマ生成における超音波波動の影響

    高橋朋大,高田昇治,豊田浩孝

    第30回プラズマプロセシング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アクトシティー浜松   国名:日本国  

  311. Diagnostics and Control of High Energy Species in Magnetron Sputter Plasmas 招待有り 国際会議

    Hirotaka TOYODA

    The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation 

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    開催年月日: 2012年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Hotel Hankyu Expo Park, Osaka, Japan   国名:日本国  

  312. 液体電極を用いた大気圧マイクロ波プラズマの光学的時分解計測 国際会議

    鈴木陽香, 鷹羽貴史, 高田昇治, 豊田浩孝

    第5回プラズマ技術産業応用センター&プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:サイエンス交流プラザ大会議室(守山)   国名:日本国  

  313. Plasma ignition dynamics in atmospheric-pressure pulsed-microwave plasma 国際会議

    H. Toyoda, T. Murase, K. Egashira

    GEC2012(65th Annual Gaseous Electronics Conference) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Austin, Tevas, USA   国名:アメリカ合衆国  

  314. A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink 国際会議

    Hitoshi Itoh, Yusuke Kubota, Yusaku Kashiwagi, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Hirotaka Toyoda and Masaru Hori

    11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kyoto University, Kyoto, Japan   国名:日本国  

  315. Preparation of Direct Alcohol Fuel Cells by Plasma Technology 国際会議

    Y. D. Meng, C. X. Zhang, J. Hu, M. Nagatsu and H. Toyoda

    11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kyoto University, Kyoto, Japan   国名:日本国  

  316. Temporal Variation of Ar/H2 and N2/H2 Atmospheric Pressure Microwave Plasma 国際会議

    Takuya Murase, Kazuki Egashira, Hirotaka Toyoda

    11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kyoto University, Kyoto, Japan   国名:日本国  

  317. 希ガス及び分子ガスを用いた大気圧パルスマイクロ波放電におけるプラズマの時間発展

    江頭 一輝,村瀬 卓也,豊田 浩孝

    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  318. CH2F2 への電子衝突によるCH2F ラジカル生成絶対断面積

    小川 勇人,豊田 浩孝

    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  319. スロットアンテナ励起マイクロ波プラズマによる微結晶シリコン薄膜の生成

    近藤 将吾,豊田 浩孝

    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  320. マイクロ波液中プラズマ生成における超音波重畳効果

    高橋 朋大,高田 昇治, 豊田 浩孝

    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  321. 低圧環境下における高密度マイクロ波プラズマの生成

    野田 智紀,中坊 将人,豊田 浩孝

    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学   国名:日本国  

  322. 液体を電極としたマイクロ波励起大気圧プラズマの発光分光計測

    鈴木 陽香,鷹羽 貴史,高田 昇治,豊田 浩孝

    第73回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:愛媛大学・松山大学   国名:日本国  

  323. RFマグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオン挙動のシミュレーション

    中坊 将人,豊田 浩孝

    第73回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:愛媛大学・松山大学   国名:日本国  

  324. 誘導結合HBrプラズマ中Br原子の出現質量分析

    大池 匠,藤井 良隆,豊田 浩孝

    第73回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:愛媛大学・松山大学   国名:日本国  

  325. 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける放電開始後のプラズマの時間発展

    村瀬卓也,江頭一輝,豊田浩孝

    第73回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛媛大学・松山大学   国名:日本国  

  326. Microwave Plasma Production - From Low- to Atmospheric-pressure. From Micro- to Meter-scale - 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    The 15th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Korea   国名:大韓民国  

  327. Time-resolved Evaluation of Ar/H2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressure Using Optical Emission Spectroscopy 国際会議

    T. Murase, K. Egashira, and H. Toyoda

    The 15th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Korea   国名:大韓民国  

  328. 誘導結合HBrプラズマにおける高エネルギー電子の空間分布評価

    大池 匠,石島 達夫,豊田 浩孝

    第59回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  329. シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測

    村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝

    第59回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  330. 液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用

    鈴木 陽香,石島 達夫,豊田 浩孝

    第59回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  331. Temporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma 国際会議

    T. Murase, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Inuyama, Japan   国名:日本国  

  332. Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Microwave Plasma 国際会議

    H. Suzuki, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Inuyama, Japan   国名:日本国  

  333. Spatial Profile Measurement of High Energy Electrons in an Inductively Coupled Plasma with Electronegative Gas 国際会議

    Takumi Oike, Tatsuo Ishijima and Hirotaka Toyoda

    The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Inuyama, Japan   国名:日本国  

  334. Simulation of Spatial- and Energy-Distributions of High-Energy O- Ions in a RF Magnetron Plasma 国際会議

    MASATO NAKABO, KAZUNAGA ONO, TADASHI MORITA, NORIKAZU OHSHIMA, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  335. Evaluation of High Energy Electrons in an Inductively Coupled Plasma Using Optical Emission Spectroscopy 国際会議

    TAKUMI OIKE ,TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  336. Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Atmospheric Pressure Microwave Plasma 国際会議

    HARUKA SUZUKI, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  337. Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma 国際会議

    TAKUYA MURASE, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  338. Bubble Plasma Production under Water using Microwave -Basic Study in Multiphase Structure and Application- 招待有り 国際会議

    T. Ishijima, H. Suzuki, K. Kanetake, H. Toyoda

    12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-12) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  339. Evaluation of High Energy Electrons in an Inductively- Coupled Plasma with Electronegative Gas 国際会議

    T. Oike and H. Toyoda, T. Ishijima

    The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  340. Microwave Plasma Production under Water - Basic Research and Organic Decomposition - 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, K. Kanetake, H. Suzuki and T. Ishijima

    The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  341. Evaluation of Deposited Film Suppression on the Dielectric Window Using Gas Flow

    K. Keyamura, T. Ishijima and H. Toyoda

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    開催年月日: 2011年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  342. Improvement of Silicon Thin Film Quality by Modified Microwave Antenna under High Pressure SiH4/H2 Plasma

    Y. Ito, S.Kondo, T. Ishijima and H. Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  343. マイクロ波励起プラズマを用いた減圧流水中有機物の分解処理における効率向上 国際会議

    金武浩司、石島達夫、豊田浩孝

    第4回プラズマ技術産業応用センター&プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム  

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    開催年月日: 2011年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:なごやサイエンスパーク、サイエンス交流プラザ   国名:日本国  

  344. RFマグネトロンプラズマ中の酸素負イオン軌道解析 国際会議

    中坊 将人, 小野 一修,森田 正,大嶋 則和,石島 達夫,豊田 浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  345. 発光分光法を用いたICPアンテナ近傍の高エネルギー電子空間分布計測 国際会議

    大池匠, 石島達夫,豊田浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  346. Microwave Plasma CVD for High-Rate and Large-Area Si Deposition - Plasma Control and Plasma Chemistry- 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    Topical Workshop on Green Plasma-Nano Technology- Green Energy and Flexible New Materials - 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Sungkyunkwan University, Korea   国名:日本国  

  347. 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断 国際会議

    村瀬卓也, 石島達夫,豊田浩孝

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    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  348. マイクロ波励起液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測 国際会議

    鈴木陽香, 石島達夫,豊田浩孝

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  349. Time-resolved OES measurement of microwave plasma produced inside controlled bubbles under water 国際会議

    T. Ishijima, H. Suzuki and H. Toyoda

    GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Salt Lake City,Utah, USA   国名:アメリカ合衆国  

  350. Suppression of film deposition in a plasma CVD system using gas flow 国際会議

    H. Toyoda, K. Keyamura and T. Ishijima

    GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Salt Lake City,Utah, USA   国名:アメリカ合衆国  

  351. Influence of microwave electric field on Hb broadening in atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

    H. Toyoda, T. Murase and T. Ishijima

    GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Salt Lake City,Utah, USA   国名:アメリカ合衆国  

  352. Spatial Profile of SiH4 and SiH3 Fluxes under High Speed Gas Flow Environ 国際会議

    M. Ikeda, T. Ishijima and H. Toyoda

    DPS2011(33rd International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kyoto Garden Palace Hotel,Kyoto, Japan   国名:日本国  

  353. Trajectory Simulation of High-Energy O- Ions in RF Magnetron Plasma 国際会議

    M. Nakabo, K. Ono, T. Morita, N. Ohshima, K. Kinoshita, T. Ishijima and H. Toyoda

    DPS2011(33rd International Symposium on Dry Process) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kyoto Garden Palace Hotel,Kyoto, Japan   国名:日本国  

  354. 誘導結合型プラズマにおける高エネルギー電子空間分布評価

    大池 匠,石島 達夫,豊田 浩孝

    応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  355. パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測

    鈴木 陽香,石島 達夫,豊田 浩孝

    応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  356. 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測

    村瀬 卓,石島 達夫,豊田 浩孝

    応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  357. 数値シミュレーションを用いたRFマグネトロンプラズマにおける酸素負イオンの軌道解析

    中坊 将人, 森田 正, 小野 一修,大嶋 則和, 石島 達夫, 豊田 浩孝

    応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念 特別シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  358. 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマ生成過程の観察

    村瀬 卓也*,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三重大学   国名:日本国  

  359. パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測

    鈴木 陽香,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三重大学   国名:日本国  

  360. 分光的手法を用いた誘導結合プラズマ中高エネルギー電子の空間分布評価

    大池 匠,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三重大学   国名:日本国  

  361. 数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン挙動の解析

    中坊 将人,森田 正,小野 一修,大嶋 則和,木下 啓藏,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三重大学   国名:日本国  

  362. 質量分析法を用いた大気圧マイクロ波プラズマの気相診断

    澤口 陽介,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三重大学   国名:日本国  

  363. Silicon Film Deposition by Microwave-Excited SiH4/H2 Plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, Y. Ito, S. Kondo, T. Ishijima

    The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2011) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dalianm, China   国名:中華人民共和国  

  364. Particle Diagnostics of Reactive Species in Processing Plasmas 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2011) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Dalianm, China   国名:中華人民共和国  

  365. ガス流を用いた誘電体窓への膜堆積抑制の検討

    毛家村 一樹,石島 達夫,豊田 浩孝

    第72回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:山型大学   国名:日本国  

  366. Behavior of High-Energy Oxygen Negative Ions in a RF Magnetron Plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Belfast, Northern Ireland   国名:グレートブリテン・北アイルランド連合王国(英国)  

  367. Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of Hb Spectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

    T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, H. Toyoda

    The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Belfast, Northern Ireland   国名:グレートブリテン・北アイルランド連合王国(英国)  

  368. 高圧力SiH4/H2マイクロ波プラズマによるシリコン製膜

    伊藤裕紀,近藤将吾,石島達夫,豊田浩孝

    第72回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:山型大学   国名:日本国  

  369. ガス流環境下におけるH2/SiH4プラズマの気相診断

    池田昌平,石島 達夫,豊田 浩孝

    第72回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:山型大学   国名:日本国  

  370. マイクロ波励起プラズマを用いた有機物含有流体処理におけるプロセスの高効率化

    金武 浩司,石島 達夫,豊田 浩孝

    第72回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:山型大学   国名:日本国  

  371. Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma 国際会議

    K. Kanetake, T. Ishijima, and H. Toyoda

    The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Deajeon, Korea   国名:大韓民国  

  372. Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Takuya Murase, Tasuo Ishijima

    The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Deajeon, Korea   国名:大韓民国  

  373. Behavior of High Energy Negative Ions in RF Magnetron Sputtering Plasma 招待有り

    H. Toyod, T. Ishijima, K. Ono, T. Morita, N. Ohshima, K. Kinoshita

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  374. Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma under Reduced Pressures

    Koji Kanetake, Tatsuo Ishijima and Hirotaka Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  375. Time- and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses 国際会議

    T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, Y. Kinoshita, H. Kawauchi, K. Yoshida, and H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP-2011) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dalian, China   国名:中華人民共和国  

  376. Enhancement of Polyimide/Copper Film Adhesion by Dense Carbon Interlayer using Microwave Plasma CVD 国際会議

    K. Usami, T. Ishijima, and H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP-2011) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dalian, China   国名:中華人民共和国  

  377. RFマグネトロン・スパッタリング法で作製したMgO障壁層MTJのMgO結晶配向性と高エネルギー負イオンとの関係 招待有り

    小野一修, 大嶋則和, 後藤和也, 森田正, 木下啓藏, 石島達夫, 豊田浩孝

    日本HDD協会 ヘッド・ディスク部会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:IDEMA JAPAN 会議室 東京都港区   国名:日本国  

  378. 有機物含有流体の減圧下における連続プラズマ処理

    金武 浩司,石島 達夫,豊田 浩孝

    第58回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学(神奈川県厚木市)   国名:日本国  

  379. 熱流束抑制による微結晶シリコン薄膜特性の改善

    伊藤裕紀,坂井淳二,石島達夫,豊田浩孝

    第58回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学(神奈川県厚木市)   国名:日本国  

  380. SiH4/H2マイクロ波プラズマ中のSiH3ラジカル空間分布計測

    池田昌平, 黒田 俊之, 石島 達夫, 豊田 浩孝

    第58回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:神奈川工科大学(神奈川県厚木市)   国名:日本国  

  381. 質量分析法による大気圧プラズマの気相診断

    澤口 陽介,石島 達夫,豊田 浩孝

    第58回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:神奈川工科大学(神奈川県厚木市)   国名:日本国  

  382. Space- and Time-Resolved Measurement of Electric Field 国際会議

    T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  383. Improvement of Silicon Thin Film Quality for Photovoltaic Cells by Modified Microwave Antenna Structure 国際会議

    Y. Ito, J. Sakai, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  384. Reactive Species Measurement of an Atmosphere-pressure Plasma by a Differentially-Pumped Mass-Spectrometer 国際会議

    Y. Sawaguchi, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  385. Investigation of C6H6 Dissociation Process in a Microwave Plasma 国際会議

    K .Keyamura, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  386. Treatment of Flowing Organic Solution by Microwave Excited Plasma under Reduced-Pressure Condition 国際会議

    K. Kanetake, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  387. Measurement of SiH3 Spatial Profile in H2/SiH4 Microwave Plasma 国際会議

    M. Ikeda, T. Kuroda, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

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    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  388. Dissociation Process of C6H6 Molecules in Surface Wave Plasma 国際会議

    KAZUKI KEYAMURA, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

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    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  389. Gas-Phase Diagnostics of Hydrogen Diluted Silane Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry 国際会議

    MASAHIRA IKEDA, TOSHIYUKI KURODA, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

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    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  390. Improvement of Silicon Thin Film Quality for Photovoltaic Cells by Newly-developed Microwave Antenna 国際会議

    YUKI ITO, JUNJI SAKAI, TASTUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  391. Flowing Liquid Treatment by Microwave Plasma under Reduced Pressure Condition 国際会議

    KOJI KANETAKE, TATSUO ISHIJIMA AND HIROTAKA TOYODA

    3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

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    開催年月日: 2011年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  392. Improvement of Adhesion Strength between Polyimide and Copper Foil by High Density Plasma Treatment 招待有り 国際会議

    T. Ishijima, K. Usami, H. Toyoda

    11th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-11)  

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    開催年月日: 2011年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  393. Evaluation of Absolute SiH3 Radical Density in H2/SiH4 Surface Wave Exited Plasma 国際会議

    M. Ikeda, T. Kuroda, T. Ishijima, and H. Toyoda

    The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kyushu University, Japan   国名:日本国  

  394. Time and Space Resolved Measurement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, T. Ishijima

    The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2011年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Kyushu University, Japan   国名:日本国  

  395. 表面波プラズマ処理によるCu膜とポリイミドフィルムの密着性向上

    宇佐見健二,石島達夫,豊田浩孝

    第20日本MRS学術シンポジウム 

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    開催年月日: 2010年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:開港記念館(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  396. Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma

    T. Ishijima, K. Kanetake and H. Toyoda

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    開催年月日: 2010年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  397. Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, and T. Ishijima

    The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium 

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    開催年月日: 2010年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:New South Wales, Australia   国名:オーストラリア連邦  

  398. Microwave H2/SiH4 PCVD by Modified Microwave Antenna for Improvement of Silicon Film Quality 国際会議

    J. Sakai, Y. Ito, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 32nd International Symposium on Dry Process 

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    開催年月日: 2010年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Tokyo Institute of Technology , Tokyo, Japan   国名:日本国  

  399. RFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動 招待有り

    豊田 浩孝 , 後藤 和也,石島 達夫

    第26回九州・山口プラズマ研究会 

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    開催年月日: 2010年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:日田ひなの里「山陽館」(大分県日田市)   国名:日本国  

  400. マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン計測 招待有り

    豊田 浩孝

    真空・表面科学合同講演会 

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    開催年月日: 2010年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  401. プラズマ計測:電気的計測

    豊田 浩孝

    第21回プラズマエレクトロニクス講習会 

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    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶応義塾大学   国名:日本国  

  402. Influences of Liquid Temperature and Pressure on Microwave-Excited Bubble Plasma Production 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  403. Formation of High Energy Oxygen Species in RF Magnetron Sputter Plasma 国際会議

    K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, K. Ono, N. Ohshima, K. Kinoshita, H. Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  404. Study on modified surface layer of photoresist employing fluorocarbon ion beam and radicals 国際会議

    Takuya Takeuchi, Shinpei Amasaki, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hirotaka Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  405. Synthesis of High Quality SiO2 Film by Capacitively-Coupled Plasma CVD with Comb-Type Electrodes 国際会議

    Takahiro Hiramatsu, Tokiyoshi Matsuda, Toshiyuki Kawaharamura, Mamoru Furuta, Takashi Hirao, Koji Kanetake, Hirotaka Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  406. Space- and Time-Resolved Measurement of Hb Emission Spectrum in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma 国際会議

    Azumi Kamata, Takuya Murase, Tatsuo Ishijima and Hirotaka Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  407. Absolute Density Measurement of SiHx Radicals in SiH4/H2 Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry 国際会議

    T. Kuroda, M. Ikeda, T. Ishijima and H. Toyoda

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  408. Capacitively Coupled Plasma Source with Comb-Type Electrodes for Uniform Plasma Processing 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Koji Kanetake, Takahiro Hiramatsu, Tokiyoshi Matsuda, Toshiyuki Kawaharamura, Mamoru Furuta, Takashi Hirao

    7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Maison de la Chimie, Paris, France   国名:フランス共和国  

  409. フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析

    竹内拓也、尼崎新平、竹田圭吾、石川健治、近藤博基、豊田浩孝、関根誠、康松潤、沢田郁夫、堀勝

    第71回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学   国名:日本国  

  410. 表面波励起プラズマ処理によるポリイミドフィルムの密着性向上

    宇佐見健二,石島達夫,豊田浩孝,伊関清司,菅井秀郎

    第71回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学   国名:日本国  

  411. 新規マイクロ波PCVDによるシリコン薄膜の高品質化

    坂井淳二,伊藤裕紀,石島達夫,豊田浩孝

    第71回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学   国名:日本国  

  412. 酸化物ターゲットマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子挙動シミュレーション

    後藤 和也,石島 達夫,森田 正,小野一修,大嶋 則和,木下 啓藏,豊田 浩孝

    第71回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学   国名:日本国  

  413. 改良型出現質量分析法によるSiH4/H2マイクロ波プラズマ中のラジカル絶対密度計測

    黒田 俊之, 池田 昌平, 石島 達夫, 豊田 浩孝

    第71回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学   国名:日本国  

  414. マイクロ波SiH4/H2プラズマCVDによる大面積シリコン堆積 招待有り

    豊田 浩孝

    プラズマ材料科学第153委員会, 第98回研究会 

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    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:弘済会館   国名:日本国  

  415. MgOターゲットRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測

    後藤 和也,石島 達夫,森田 正,小野一修,大嶋 則和,木下 啓藏,豊田 浩孝

    第34回日本磁気学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:つくば国際会議場(エポカルつくば)   国名:日本国  

  416. 高密度表面波プラズマにおけるC6H6分子の解離過程

    毛家村 一樹,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  417. 新規マイクロ波アンテナによるシリコン薄膜の高品質化

    伊藤 裕紀, 坂井 淳二,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  418. 減圧環境下における液体流の連続プラズマ処理

    金武 浩司,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  419. CH2F2への電子衝突によるCH2Fラジカル生成断面積測定

    齊藤 耕平,関根 誠,堀 勝,石島 達夫,豊田 浩孝,康 松潤,澤田 郁夫

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  420. 質量分析法による大気圧プラズマの気相診断

    澤口 陽介,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  421. 改良型出現質量分析法を用いたマイクロ波励起水素希釈シランプラズマ中の気相診断

    池田 昌平,黒田 俊之,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  422. 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測

    齊藤 耕平,関根 誠,堀 勝,石島 達夫,豊田 浩孝,康 松潤,澤田 郁夫

    平成22年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  423. Gas phase diagnostics of high-density SiH4/H2 microwave plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Toshiyuki Kuroda, Masahira Ikeda, Junji Sakai, Yuki Ito, Tatsuo Ishijima

    39th The Korean Vacuum Society Summer 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:The Beachepalace, Boryong-city, Korea   国名:大韓民国  

  424. Organic Solute Decomposition using Microwave excited Plasma 招待有り 国際会議

    T. Ishijima, H. Toyoda

    The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Ramada Jeju Hotel, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  425. 酸化物RFスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測

    石島達夫、後藤和也、小野一修、森田 正、大嶋則和、木下啓藏、豊田浩孝

    酸化物RFスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:化学会館(東京都千代田区)   国名:日本国  

  426. Influence of pressure and water temperature on the microwave plasma production under water 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda

    10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:LotteHotel Jeju, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  427. Dissociation process of SiH4 parent gas in high density microwave plasma for Si film deposition 国際会議

    T. Ishijima, H. Endo, T. Kuroda, H. Toyoda

    10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:LotteHotel Jeju, Jeju, Korea   国名:大韓民国  

  428. Diagnostics of high-energy negative ion in RF magnetron plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda

    The 3rd International Oce Science Leader Workshop on Plasma Nanoscience and Nanotechnology 

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    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:CSIRO Materials Science and Engineering, Lindfield Nsw 2070 Australia   国名:オーストラリア連邦  

  429. Multibubble Plasma Production and Efficient Liquid Treatment by Slot-excited Microwave 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda

    International Workshop on Plasmas with Liquids 

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    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  430. 高密度マイクロ波プラズマを用いたポリィミドフィルムの高速密着性改善

    宇佐見 健二,石島 達夫,豊田 浩孝,伊関清司,菅井秀郎

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  431. 酸化物ターゲットのスパッタプロセスにおける酸素負イオンエネルギー分布中微細構

    後藤 和也,石島 達夫,森田 正,小野 一修,大嶋則和,木下 啓藏,豊田 浩孝

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  432. 高密度SiH4/H2マイクロ波PCVDによる基板表面温度制御下での微結晶シリコン薄膜堆積

    坂井 淳二,池田 昌平,伊藤 裕紀,石島 達夫,豊田 浩孝

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  433. 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討

    鎌田 安住,楊 海鵬,石島 達夫,豊田 浩孝

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  434. SiH4/H2マイクロ波プラズマの気相診断

    黒田 俊之,石島 達夫,豊田 浩孝

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  435. TiCl4への電子衝突によるTiCl2ラジカル生成断面積測定

    齊藤 耕平,関根 誠,堀 勝,豊田 浩孝,康 松潤,沢田 郁夫

    第57回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学   国名:日本国  

  436. Microcrystalline Silicon Film Deposition by 915MHz High-Density Microwave Plasma 国際会議

    J. Sakai, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  437. Effect of Post-Baking on Copper Adhesion to Polyimide Films Treated by High Density Microwave Plasma 国際会議

    K. Usami, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Iseki, H. Sugai

    The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  438. Time Resolved Measurement of Hb Emission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma 国際会議

    A. Kamata, H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  439. Mass Spectrometric Measurement of Neutral Radicals in SiH4/H2 High Density Microwave Plasma 国際会議

    T. Kuroda, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  440. Gas-Phase Diagnostics of SiH4/H2 Surface Wave Excited Plasma 国際会議

    T. Kuroda, T. Ishijima, H. Toyoda

    2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  441. The Effect of Temperature and Pressure for Microwave-Excited Bubble Plasma Production 国際会議

    R. Saito, K. Kanetake, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  442. Substrate Temperature Control in Microwave Plasma CVD 国際会議

    J. Sakai, T. Ishijima, H. Toyoda

    2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  443. Periodic Peak Formation in O- Energy Distribution in RF Magnetron Plasma 国際会議

    K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kiinoshita, H. Toyoda

    2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  444. 表面波励起高密度プラズマによる高分子フィルムの高速密着性改善

    宇佐見 健二,石島 達夫,豊田 浩孝

    第27回プラズマプロセシング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:横浜市開港記念会館   国名:日本国  

  445. 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測

    鎌田 安住,楊 海鵬,石島 達夫,豊田 浩孝

    第27回プラズマプロセシング研究会 

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    開催年月日: 2010年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:横浜市開港記念会館   国名:日本国  

  446. マイクロ波励起SiH4/H2高密度プラズマの気相診断

    黒田 俊之,石島 達夫,豊田 浩孝

    第27回プラズマプロセシング研究会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2010年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:横浜市開港記念会館   国名:日本国  

  447. Influence of Temperature and Pressure on Multibubble Plasma Production by Microwave 招待有り 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda

    10th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-10) and 1st International Symposium on Water Science and Technology(WaST-1) 

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    開催年月日: 2010年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  448. Plasma innovation towards next generation green technology 招待有り 国際会議

    M. Hori, M. Aekine, H. Toyoda

    The 10th International Worksop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

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    開催年月日: 2010年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  449. Behavior of High-Energy Oxygen Negative Ions in Magnetron Plasma with Oxide Targets 国際会議

    K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kiinoshita, H. Toyoda

    The 10th International Worksop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

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    開催年月日: 2010年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  450. Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Film by 915 MHz Microwave Plasma CVD

    J. Sakai, T. Ishijima, H. Toyoda

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    開催年月日: 2009年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  451. Periodic Peal Structure on O- Energy Distribution in RF Magnetron Plasma

    K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kinoshita, H. Toyoda

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  452. Analysis of the surface reactions of ArF photoresist during fluorocarbon plasma etching by XPS 国際会議

    Takuya Takeuchi, Makoto Sekine, Hirotaka Toyoda, Keigo Takeda, Masaru Hori, Song-Yun Kang, Ikuo Sawada

    62nd Annual GEC 

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    開催年月日: 2009年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Saratoga Springs, NY, USA   国名:アメリカ合衆国  

  453. Spatial variation of O− Energy distribution in an RF magnetron plasma 国際会議

    H. Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita

    62nd Annual GEC 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Saratoga Springs, NY, USA   国名:アメリカ合衆国  

  454. Temporal variation of plasma density in atmospheric pressure 国際会議

    H. Toyoda, H. Yang, T. Ishijima

    62nd Annual GEC 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Saratoga Springs, NY, USA   国名:アメリカ合衆国  

  455. 2次元大面積プラズマ生成用表面波の並列励起

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  456. TIME-DEPENDENT PLASMA-DENSITY MEASUREMENT OF ATMOSPHERIC-PRESSURE PULSED-MICROWAVE PLASMA BY STARK BROADENING 国際会議

    H. Toyoda, H. Yang, T. Ishijima

    7th International Workshop on "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications" 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Hamamatsu   国名:日本国  

  457. SIH4 GAS DISSOCIATION PROCESS IN HIGH-DENSITY MICROWAVE PLASMA FOR SILICON FILM DEPOSITION 国際会議

    T. Ishijima, H. Asano, J. Sakai, T. Kuroda, M. Ikeda, H. Toyoda

    7th International Workshop on "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications" 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Hamamatsu   国名:日本国  

  458. Time-dependent measurement of plasma density in atmospheric-pressure microwave plasma using Stark broadening 国際会議

    H. Toyoda, H. Yang, T. Ishijima

    International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2009) 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:大韓民国  

  459. Monosilane Dissociation Process in Microwave-Excited High-Density H2/SiH4 Plasma 国際会議

    H. Asano, H. Endo, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 31th International Symposium on Dry Process 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:日本国  

  460. TOC Evaluation of Organic Solute Treated by Microwave-Excited Bubble Plasma 国際会議

    R. Saito, H. Sugiura, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 31th International Symposium on Dry Process 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:日本国  

  461. Temporal Variation of Hydrogen Atom Spectrum Emitted from Pulsed Microwave Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

    H. Yang, T. Ishijima, and H. Toyoda

    The 31th International Symposium on Dry Process 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:日本国  

  462. Investigation of photoresist surface modeified layer by fluorocarbon ion ombardment 国際会議

    T. Takeuchi, M. Sekine, H. Toyoda, K. Takeda, M. Hori, S-Y. Kang, I. Sawada

    The 31th International Symposium on Dry Process 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:日本国  

  463. Energy distribution of oxygen negative ion in an RF magnetron plasma 国際会議

    H. Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita

    2nd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology(ICMAP 2009) 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:大韓民国  

  464. Rapid Improvement of Polymer Film Adhesion by High Density Plasma 国際会議

    Y. Gunjo, K. Goto, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Iseki, and H. Sugai

    International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2009) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Busan, Korea   国名:大韓民国  

  465. High-density microwave plasma for fabrication of silicon thin film solar cells 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2009) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Busan, Korea   国名:大韓民国  

  466. マイクロ波プラズマCVD における基板への熱流束評価

    坂井 淳二,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成21年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学   国名:日本国  

  467. 微結晶シリコン薄膜堆積用SiH4/H2 マイクロ波プラズマの気相診断

    黒田 俊之,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成21年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学   国名:日本国  

  468. 酸化物ターゲットRF マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測

    後藤 和也,石島 達夫,大嶋 則和,木下 啓藏,豊田 浩孝

    平成21年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学   国名:日本国  

  469. 915MHz表面波プラズマCVDにおける高付着性ラジカルの抑制

    浅野弘嗣、池田昌平、石島達夫、豊田浩孝

    第70回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

  470. 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける印加外部電界に起因するスペクトル拡がり

    鎌田 安住,楊 海鵬,石島 達夫,豊田 浩孝

    平成21年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学   国名:日本国  

  471. CF系イオン照射によるフォトレジスト表面改質層の解析(2)

    竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫

    第70回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

  472. シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響

    楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝

    第70回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

  473. マイクロ波バブルプラズマにおける水温・圧力の影響

    齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝

    第70回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

  474. マイクロ波プラズマ生成による難分解性有機物分解処理

    石島達夫,齋藤良太,豊田浩孝

    電気学会プラズマ研究会 

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    開催年月日: 2009年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪府立大学,中之島サテライト   国名:日本国  

  475. Detection of High Energy Negative Ions in an RF Magnetron Sputter Plasma 国際会議

    H. Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita

    The 19th International Symposium on Plasma Chemistry 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地: Bochum, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  476. Decomposition of Organic Solute with Microwave Bubble Plasmas 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, H. Sugiura, H. Toyoda

    The 19th International Symposium on Plasma Chemistry 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年7月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Bochum, Germany   国名:日本国  

  477. High-Density Microwave Plasma Production For Thin Film Si Solar Cell and Monitoring of SiH4 Gas Dissociation Process 招待有り 国際会議

    T. Ishijima, H. Endo, H. Asano, H. Toyoda

    The 9th Korea-Japan Workshop on Thin Film and Plasma Process for Green Plasma Technology Advanced Plasma Diagnostics for Plasma-Nano Processing 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Seoul, Korea   国名:大韓民国  

  478. 915MHz表面波プラズマを用いた微結晶シリコン薄膜の膜特性評価

    浅野弘嗣、遠藤浩孝、石島達夫、豊田浩孝

    第56回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:筑波大学   国名:日本国  

  479. スロットアンテナ励起マイクロ波液中プラズマによる有機物含有溶液処理

    齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝

    第56回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:筑波大学   国名:日本国  

  480. シュタルク拡がりを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの電子密度計測

    楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝

    第56回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:筑波大学   国名:日本国  

  481. 高周波マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンエネルギーの空間分布計測

    後藤和也、石島達夫、大嶋則和、木下啓蔵、豊田浩孝

    第56回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:筑波大学   国名:日本国  

  482. 微結晶Si薄膜超高速堆積用表面波プラズマ 招待有り

    豊田浩孝

    太陽電池製造用新規プラズマ源に関する研究会 

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    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  483. Basic experiment on microcrystalline silicon film deposition by 915 MHz microwave PlasmaCVD 国際会議

    H. Asano, T. Ishijima, H. Toyoda

    First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 

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    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  484. Low Temperature Microcrystalline Silicon Film Deposition by Microwave High-density Plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  485. CF系プラズマにより改質されたフォトレジスト表面層の観察

    竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  486. マイクロ波励起による液中プラズマ生成と化学反応性

    石島達夫、齋藤良太、豊田浩孝

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  487. スロットアンテナ励起バブルプラズマによる高速溶質処理

    齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  488. 915MHzマイクロ波励起 プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積

    浅野弘嗣、遠藤広考、石島達夫、豊田浩孝

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  489. 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける水素原子スペクトルの時分解計測

    楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  490. RFマグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン計測

    後藤和也、石島達夫、大嶋則和、木下啓蔵、豊田浩孝

    プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年2月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  491. SiH4 Dissociation Process in Microwave-Excited SiH4/H2 Plasma 国際会議

    H. Endo, H. Asano, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 2nd International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  492. Detection of Energetic Negative Ions in an RF Magnetron Plasma 国際会議

    K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita and H. Toyoda

    The 2nd International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  493. Treatment of Organic Solution with Microwave Excited Plasmas 国際会議

    R. Saito, H. Sugiura, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 2nd International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年1月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  494. Organic Solute Decomposition with Microwave Bubble Plasma 国際会議

    T. Ishijima, R. Saito, H. Sugiura, H. Toyoda

    9th International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BMMP-9) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Nagoya University, Nagoya JAPAN   国名:日本国  

  495. SOLUTE DECOMPOSITION WITH MICROWAVE-EXCITED BUBBLE PLASMA 国際会議

    R. Saito, H. Sugiura, T. Ishijima and H. Toyoda

    The 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri(PLAM) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2009年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Techno Plaza, Gifu, Japan   国名:日本国  

  496. Investigation of Solute Decomposition Process in Water by Multibubble Plasma at Reduced and Atmospheric Pressures 国際会議

    T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito and H. Toyoda

    The IUMRS International Conference in Asia 2008 

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    開催年月日: 2008年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  497. Film Quality of Microcrystalline Silicon Films Deposited by SiH4/H2 Surface Wave Plasma CVD 国際会議

    H. Endo, J. Sakai, H. Asano, T. Ishijima, H. Toyoda

    The IUMRS International Conference in Asia 2008 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  498. Evaluation of Absolute H2O2 Concentration in Water Treated by Microwave Bubble Plasma 国際会議

    R. Saito, H. Sugiura, T. Ishijima, H. Toyoda

    The IUMRS International Conference in Asia 2008 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  499. Rapid Surface Modification of PET Film by High Density Microwave Plasma 国際会議

    Y. Gunjo, K. Goto, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Iseki, and H. Sugai

    The IUMRS International Conference in Asia 2008 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  500. Production of Large-Area Plasma by Three Parallel Waveguide Systems and Its Application to Si Film Deposition 国際会議

    H. Endo, T. Hayashi. Y. Takanishi, T. Ishijima, H. Toyoda, H. Sugai, A. Masuda and M. Kondo

    30th International Symposium on Dry Process(DPS2008) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:KOKUYO HALL, Minato-ku, Tokyo JAPAN   国名:日本国  

  501. Diagnostics of Microwave Excited Plasma in Liquid Using Spectroscopic Measurements 国際会議

    H. Sugiura, R. Saito, T. Ishijima, and H. Toyoda

    30th International Symposium on Dry Process(DPS2008) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:KOKUYO HALL, Minato-ku, Tokyo JAPAN   国名:日本国  

  502. Effect of H2O Addition on Rapid Surface Treatment of Polymer Film by High Density Microwave Plasma 国際会議

    Y. Gunjo, K. Goto, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Iseki, and H. Sugai

    30th International Symposium on Dry Process(DPS2008) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:KOKUYO HALL, Minato-ku, Tokyo JAPAN   国名:日本国  

  503. Mater-Scale Microwave Plasma Production and its Application to Silicon Thin Film Deposition 国際会議

    H. Toyoda, Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima

    61th Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dallas, Texas USA   国名:アメリカ合衆国  

  504. Diagnostics of Microwave Bubble Plasma in Liquid 国際会議

    H. Toyoda, H. Sugiura, R. Saito, T. Ishijima

    61th Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Dallas, Texas USA   国名:アメリカ合衆国  

  505. Meter-Scale Plasma Production and Thin Film Deposition Process with Parallel Waveguide at 915 MHz Microwave Excitation 国際会議

    T. Ishijima, Y. Takanishi, H. Endo and H. Toyoda

    9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma Science for Materials 

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    開催年月日: 2008年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Huangshan, China   国名:日本国  

  506. Solute Decomposition in Water by Slot-Excited Microwave Plasmas at Atmospheric Pressures 国際会議

    T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito and H. Toyoda

    9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma Science for Materials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Huangshan, China   国名:日本国  

  507. 915MHz表面波プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積

    浅野弘嗣、坂井淳二、遠藤広考、石島達夫、豊田浩孝

    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県立大学   国名:日本国  

  508. 大気圧マイクロ波プラズマによる溶質処理

    齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎

    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県立大学   国名:日本国  

  509. 表面波プラズマCVDによる微結晶シリコン薄膜堆積と電気伝導特性評価

    遠藤広考、坂井淳二、浅野弘嗣、石島達夫、豊田浩孝

    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県立大学   国名:日本国  

  510. 水蒸気添加高密度マイクロ波アルゴンプラズマによるPETフィルムの高速表面改質

    郡上祐一、後藤和也、石島達夫、豊田浩孝、伊関清司、菅井秀郎

    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県立大学   国名:日本国  

  511. 蛍光プローブを用いたマイクロ波励起バブルプラズマの反応生成物診断

    杉浦宏康、齋藤良太、石島達夫、豊田浩孝

    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県立大学   国名:日本国  

  512. Simulation of Microwave Rediation for Microwave Discharge in Liquid 国際会議

    T. Ishijima, K. Nagira, H. Sugiura and H. Toyoda

    International Congress on Plasma Physics 2008 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  513. Production of One-meter Square High Density Microwave Plasma for Thin Film Deposition 国際会議

    Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima, and H. Toyoda

    International Congress on Plasma Physics 2008 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  514. Efficient Decomposition of Organic Materials by Slot-Excited Microwave Plasmas in Water 国際会議

    H. Sugiura, T. Ishijima, and H. Toyoda, H. Sugai

    International Congress on Plasma Physics 2008 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Fukuoka, Japan   国名:日本国  

  515. Efficiency Improvement of Solute Decomposition in Water by Multibubble Plasma Excited by Microwave Discharge 国際会議

    T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito, H. Toyoda and H. Sugai

    International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Sendai, Japan   国名:日本国  

  516. 表面波プラズマCVDにより堆積した微結晶シリコン薄膜の電気伝導特性評価

    遠藤広考、坂井淳二、浅野弘嗣、石島達夫、豊田浩孝

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  517. シュタルク広がりを用いたマイクロ波液中プラズマの電子密度測定

    豊田浩孝、杉浦宏康、齋藤良太、石島達夫

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  518. 高密度マイクロ波プラズマを用いたPETフィルム表面改質における水蒸気添加の効果

    郡上祐一、豊田浩孝、伊関清司、菅井秀郎

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  519. 表面波プラズマによる円筒状樹脂の均一表面改質

    石川喬介,石島達夫,豊田浩孝,笹井建典,菅井秀郎

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  520. 大気圧マイクロ波バブルプラズマによる溶質処理

    齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  521. 蛍光プローブを用いたマイクロ波バブルプラズマの反応生成物診断

    杉浦宏康、齋藤良太、石島達夫、豊田浩孝

    第69回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2008年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  522. マイクロ波励起高密度プラズマを用いたPTFEフィルムの表面改質

    石川喬介,石島達夫,笹井建典,豊田浩孝,菅井秀郎

    プラズマ研究会 

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    開催年月日: 2008年5月

    記述言語:日本語  

    開催地:名古屋工業大学   国名:日本国  

  523. Measurement and Control of Energetic Rare Gas Atoms in Magnetron Plasma 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyoda

    6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 

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    開催年月日: 2008年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Okinawa, Japan   国名:日本国  

  524. スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの生成

    郡上祐一、石島達夫、豊田浩孝

    第55回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:日大船橋キャンパス   国名:日本国  

  525. マイクロ波バブルプラズマを用いた溶質の高速処理

    杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝、佐藤正典、菅井秀郎

    第55回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:日大船橋キャンパス   国名:日本国  

  526. 915MHzマイクロ波による大面積プラズマの生成と微結晶シリコン薄膜堆積

    遠藤広孝、林 孝信、高西雄大、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、増田  淳、近藤道雄

    第55回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:日大船橋キャンパス   国名:日本国  

  527. 高密度表面波励起プラズマによるPETフィルムの表面改質

    石川喬介、石島達夫、豊田浩孝、笹井建典、菅井秀郎

    第55回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:日大船橋キャンパス   国名:日本国  

  528. 超伝導溶融バルク体を磁場発生源とする強磁場スパッタ装置のプラズマ診断

    岡村建志、太田勲、柳陽介、伊藤佳孝、豊田浩孝、生田博志

    第55回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:日大船橋キャンパス   国名:日本国  

  529. One-Meter-Square Surface Wave Plasma for Si Film Deposition 国際会議

    Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima, H. Toyoda and H. Sugai

    The 1st International Conference on PLAsma-NanoTechnology & Science 

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    開催年月日: 2008年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  530. High Rate Deposition of Silicon Films at Low Temperature Employing Surface Wave Excited Plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda

    The 6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & The 3rd Plasma Application Monodzukuri (PLAM) 

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    開催年月日: 2008年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  531. Efficient Solute Decomposition in Liquid with Bubble Plasma Production by Microwaves 国際会議

    H. Sugiura, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & The 3rd Plasma Application Monodzukuri (PLAM) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  532. Surface Modification of PTFE Film by High Demsity Microwave Plasma 国際会議

    K. Ishikawa, T. Ishijima, H. Toyoda

    The 6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & The 3rd Plasma Application Monodzukuri (PLAM) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  533. マイクロ波バブルプラズマの安定生成による溶質分解効果の向上

    杉浦宏康,石島達夫,豊田浩孝,佐藤正典,菅井秀郎

    第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

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    開催年月日: 2008年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:山口教育会館   国名:日本国  

  534. 高密度マイクロ波プラズマによるPETフィルムの高速表面改質

    郡上祐一,豊田浩孝,伊関清司,菅井秀郎

    第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2008年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:山口教育会館   国名:日本国  

  535. Production of Surface Wave Excited Plasma by a Parallel-Waveguide System and its Application to Si Film Deposition

    H. Endo, Y. Takanishi, T. Hayashi, H. Toyoda, H. Sugai

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    開催年月日: 2007年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  536. Surface Modification of Fluorocarbon Polymer Film by High Density Surface Wave Plasma

    K. Ishikawa, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Sasai, H. Sugai

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    開催年月日: 2007年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  537. LARGE-AREA HIGH-SPEED DEPOSITION OF mc-Si THIN FILMS BY 915 MHz SURFACE WAVE PLASMA 国際会議

    Hideo Sugai, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda, Atsushi Masuda, Michio Kondo

    17th International Photovoltaic Science and Engineering Conference 

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    開催年月日: 2007年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Fukuoka   国名:日本国  

  538. Production of High Density Plasma for Silicon Film Deposition at Low Substrate Temperatures 招待有り 国際会議

    Hirotaka Toyota

    2007 Trans-Pacific Workshop on Flexible Electronics 

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    開催年月日: 2007年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:the University of Texas at Dallas   国名:アメリカ合衆国  

  539. Development and Characteristics of Neutral Beam Source 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, S. Den, K. Yamakawa, H. Kanou, H. Sugai, H. Toyoda, M. Hori

    The 3nd International Student Workshop on Plasma Science and Technology 

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    開催年月日: 2007年11月

    記述言語:英語  

    開催地:Nagoya University, Aichi, Japan   国名:日本国  

  540. Production of Large-Area and Uniform Surface Wave Plasma along Linear Parallel Waveguides 国際会議

    Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima, H. Toyoda and H. Sugai

    29th International Symposium on Dry Process(DPS2007) 

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    開催年月日: 2007年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  541. Plasma Activation of Oxide Ceramics Surface for Hydrogen Production by Water Vapor Decomposition 国際会議

    Y. Yamaguchi, T. Ishijima, H. Toyoda and H. Sugai

    29th International Symposium on Dry Process(DPS2007) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  542. Microcrystalline Thin Film Deposition by Surface Wave Excited Plasma at 2.45 GHz 国際会議

    T. Hayashi, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai

    29th International Symposium on Dry Process(DPS2007) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  543. Development and Characteristics of Nitorogen Radical Beam 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Kano, H. Toyoda, M. Sekine and M. Hori

    29th International Symposium on Dry Process(DPS2007) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  544. Reaction of Fluorocarbon Species with Si and SiO2 Surfaces1 招待有り 国際会議

    HIROTAKA TOYODA

    60th Annual Gaseous Electronics Conference 

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    開催年月日: 2007年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:アメリカ合衆国  

  545. Suppression of High-Energy Backscattered Species in Magnetron Sputter Plasma with Cylindrical Cathode 国際会議

    HIROTAKA TOYODA, YUSUKE TAKAGI, HIDEO SUGAI

    60th Annual Gaseous Electronics Conference 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:アメリカ合衆国  

  546. 2.45GHz並列励起表面波プラズマの生成とシリコン薄膜堆積

    遠藤広考、高西雄大、林孝信、豊田浩孝、菅井秀郎

    平成19年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:信州大学   国名:日本国  

  547. 気泡制御によるマイクロ波バブルプラズマの安定化と溶質分解効果の向上

    杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝、佐藤正典、菅井秀郎

    平成19年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:信州大学   国名:日本国  

  548. プラズマCVDの基礎 招待有り

    豊田浩孝

    第34回アモルファスセミナー 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:宮城県刈田郡ホテルさんさ亭   国名:日本国  

  549. プラズマ照射によるフッ素樹脂の表面改質

    石川喬介、石島達夫、豊田浩孝、笹井建典、菅井秀郎

    平成19年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:信州大学   国名:日本国  

  550. 高密度マイクロ波プラズマ処理によるPETフィルムの親水性向上

    郡上祐一、豊田浩孝、伊関清司、菅井秀郎

    平成19年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:信州大学   国名:日本国  

  551. Production of One-Meter-Square Large-Area Surface Wave Plasma with Parallel Linear Antennas 国際会議

    Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima, H. Toyoda and H. Sugai

    6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  552. Effect of Hydrogen Radical on Silicon Chemical Sputtering with Argon-Hydrogen Mixture Gas 国際会議

    K. Fukaya, K. Sasaki, A. tabata, H. Toyoda and H. Sugai

    6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  553. Characteristics of the vertically-stacked Josephson junctions fabricated with surface wave plasma 国際会議

    Taishi Kimura, Mitsuhiro Watanabe, Takanobu Hayashi, Kenmei Kajino, Toyoda Hirotaka, Hideo Sugai, Masumi Inoue, Akira Fujimaki

    8th European Conference on Applied Superconductivity 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:英語  

    国名:ベルギー王国  

  554. 磁性多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性

    前田幸春、鈴木勇佑、坂下洋平、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、豊田浩孝、菅井秀郎

    第31回日本応用磁気学会学術講演会 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語  

    開催地:学習院大学   国名:日本国  

  555. 915MHz表面波による大面積・高密度プラズマ生成と微結晶シリコン薄膜堆積

    高西雄大,遠藤広考,林孝信,中尾禎子,石島達夫,豊田浩孝,菅井秀郎,増田 淳,近藤道雄

    第68回応用物理学会学術講演会 

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    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道工業大学   国名:日本国  

  556. マイクロ波プラズマCVDによるCNT-FETへのダメージフリー保護膜形成

    高田昇治、豊田浩孝、菅井秀郎、中島康宏、大野雄高、水谷孝

    第68回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道工業大学   国名:日本国  

  557. 水素生成酸化物セラミクスのプラズマ処理における酸素空格子生成量の評価

    山口雄矢、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、森田健治、片平康治

    第68回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道工業大学   国名:日本国  

  558. 表面波励起プラズマによる積層ジョセフソン接合の表面改質

    林孝信(M)、渡邉光弘、木村大至、井上真澄、藤巻朗、豊田浩孝、菅井秀郎

    第68回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道工業大学   国名:日本国  

  559. 表面波プラズマを用いた積層ジョセフソン接合作製における表面改質条件の検討

    渡邉光弘、木村大至、林孝信、 豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗

    第68回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道工業大学   国名:日本国  

  560. Development and Characteristics of Fast Radical Source 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Kano, H. Toyoda, H. Sugai and M. Hori

    18th International Symposium on Plasma Chemistry 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  561. Rapid Improvement of Polymer Film Hydrophilicity by High Density Microwave Plasma 国際会議

    Y. Takagi. Y. Gunjyo. ○H. Toyoda, H. Sugai

    18th International Symposium on Plasma Chemistry 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  562. Uniform Deposition of Microcrystalline Silicon Films by High Density Microwave Plasma with Paralleled Waveguides

    T. Hayashi, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  563. High-Density Treatment of Polyimide Film for Enhancement of Copper Layer Adhesion 国際会議

    Y. Takagi, Y. Gunjyo. H. Toyoda and H. Sugai

    9th International Symposium on Sputtering and Plasma 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  564. Meter-Scale Deposition of Silicon Thin Films by Slot-Excited Large Microwave Plasma 国際会議

    H. Sugai, Y. Nojiri, Y. Hotta, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo

    Symposium on Amorphous and Polycrystalline Thin-Film Silicon Science and Technology in the MRS Spring Meeting 

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    開催年月日: 2007年4月

    記述言語:英語  

    開催地:San Francisco, USA   国名:アメリカ合衆国  

  565. 915MHz表面波による1m角高密度プラズマ生成

    高西雄大、遠藤広孝、岡安隆文、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎

    第54回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2007年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  566. 高温超伝導体ジョセフソン接合の表面改質時のECRプラズマ内イオンエネルギーの評価

    渡邉光弘、木村大至、林孝信、豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗

    第54回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  567. プラズマイオン注入における過渡シース効果

    ホルゼルニコラ、豊田浩孝、菅井秀郎、斎藤隆雄

    第54回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  568. 並列導波管励起表面波プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積

    林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎

    第54回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  569. 表面波プラズマを用いた表面改質型積層ジョセフソン接合の作製

    木村大至、渡邉光弘、林孝信、豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗

    第54回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  570. Large-Area High-Density Plasma Sources Using Microwave 招待有り 国際会議

    H. Sugai, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo

    International Workshop upon Thin Film Silicon Solar Cells (IWTFSSC) 

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    開催年月日: 2007年2月 - 2007年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Nara   国名:日本国  

  571. 高密度マイクロ波プラズマを用いた微結晶および多結晶シリコン膜形成 招待有り

    豊田浩孝、菅井秀郎

    応用物理学会東海支部学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  572. GaN成長条件下における窒素プラズマ源からの活性種の絶対フラックス評価

    金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、大阪次郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

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    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  573. 広幅フラット高密度プラズマによる微結晶シリコン膜堆積

    林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  574. マグネトロンスパッタリングによるYBaCuO超伝導薄膜の堆積および成膜条件における銅原子密度測定

    高軍思、深谷康太、佐々木浩一、豊田浩孝、岩田聡、井上真澄、藤巻朗、菅井秀郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  575. カーボンナノチューブFET用SiN2保護膜形成における荷電粒子束の抑制

    高田昇治、豊田浩孝、菅井秀郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  576. 化学反応支援マグネトロンスパッタリングによる微結晶シリコン成膜とそのプラズマ診断

    深谷康太、佐々木浩一、高軍思、田畑彰守、豊田浩孝、岩田聡、菅井秀郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  577. 915MHz表面波によるメートル角・高密度プラズマ生成

    高西雄大、遠藤広孝、岡安隆文、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎

    第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年1月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  578. スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御 招待有り

    豊田浩孝

    日本真空協会プラズマ技術部会講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2007年

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  579. 高密度マイクロ波プラズマによる微結晶および多結晶Si薄膜形成

    豊田浩孝、菅井秀郎

    名古屋大学21世紀COEプログラム「先端プラズマ科学が拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  580. スパッタプロセス用プラズマの診断と新規スパッタ源の開発

    豊田浩孝

    名古屋大学21世紀COEプログラム「先端プラズマ科学が拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  581. Measurement and Control of Energetic Neutral Species in Magnetron Plasma 招待有り 国際会議

    H. Toyoda, Y. Takagi,Y. Sakasita, H. Sugai

    The 4th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & Thin Film Technology for Electronic Materials 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Hazu-gun, Japan   国名:日本国  

  582. Energy Control of Backscattered Rare Gas Atoms by VHF-DC Superimposed Magnetron Discharge 招待有り

    H. Toyoda and H. Sugai

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  583. 製膜用窒素プラズマからの活性種診断

    金井英和、石島達夫、豊田浩孝、大阪次郎、菅井秀郎

    第17回日本MRS学術シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  584. 表面波プラズマによる微結晶シリコン薄膜の低基板温度堆積

    岡安隆文、林孝信、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎

    第17回日本MRS学術シンポジウム 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  585. Influence of Cu Density Variation on Superconductor Film Deposition in Magnetron Sputtering Plasmas 招待有り

    Junsi Gao, Kouta Fukaya, Koichi Sasaki, Hirotaka Toyoda, Satoshi Iwata, Masumi Inoue, Akira Fujimaki and Hideo Sugai

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年12月

    記述言語:日本語  

    国名:日本国  

  586. μc-Si Film Deposition by Surface Wave Plasma under Precise Control of Substrate Temperature 国際会議

    T. Okayasu, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai

    Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  587. Rapid Treatment of Polymer Film Surface by High-Density Microwave Plasma 国際会議

    Y Takagi, Y. Gunjo, H. Toyoda and H. Sugai

    Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  588. Measurements of Active Species Flux from N2 Plasma in GaN Growth Condition 国際会議

    H. Kanai, T. Ishijima, H. Toyoda, H. Sugai and J. Osaka

    Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  589. Deposition of Polycrystalline SiGe Film by Surface Wave Excited Plasma 国際会議

    Y. Takanishi, T. Okayasu, H. Toyoda and H. Sugai

    Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  590. Microwave Plasma CVD of SiN, Film for Passivation of Carbon Nanotube FET 国際会議

    N. Takada, H. Toyoda, H. Sugai, H. Shimauchi, Y. Ohno and T, Mizutani

    Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nagoya, Japan   国名:日本国  

  591. Measurements of Cu densities at the ground and metastable states in a magnetron sputtering plasma source with a Cu target 国際会議

    K. Sasaki, J.-S. Gao, N. Nafarizal, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai

    AVS (American Vacuum Society) 53rd International Symposium and Exhibition 

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    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語  

    開催地:San Francisco, USA   国名:日本国  

  592. プラズマCVDの基礎 招待有り

    豊田浩孝

    第33回アモルファスセミナー スタートアップセッション 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:大分、福岡   国名:日本国  

  593. Development and Characteristics of Neutral Beam Source 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, S. Den, K. Yamakawa, H. Kanou, H. Sugai, H. Toyoda, M. Hori

    The 3nd International Student Workshop on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年11月

    記述言語:英語  

    国名:日本国  

  594. GaN成膜高密度窒素プラズマからの活性種診断

    金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

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    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  595. 表面波励起SiH4/GeH4/H2プラズマによる高結晶性SiGe膜形成

    高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝。菅井秀郎

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  596. 2次元大面積プラズマ生成用表面波の並列励起

    林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  597. 表面波励起H2/SiH4プラズマにおける基板温度制御とmc-Si膜特性の向上

    岡安隆文、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  598. マグネトロンスパッタリングにおける基板入射粒子のエネルギー制御と磁性多層膜への応用

    高木佑輔、豊田浩孝、鈴木勇佑、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎

    平成18年度電気関係学会東海支部連合大会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  599. Slot-Excited Surface Wave Plasma for Giant Materials Processing 招待有り 国際会議

    H. Sugai, Y. Nojiri, Y. Hotta, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo

    6th International Workshop on Microwave Discharges: Fundamentals and Applications 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Zvenigorod, Russia   国名:ロシア連邦  

  600. GaN成長用小型ラジカル源からの窒素ラジカルフラックスの出現質量分析測定

    金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、大坂次郎

    第67回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  601. VHF-DCマグネトロンスパッタリングによる膜平坦性の制御と磁性多層膜への応用

    高木佑輔、豊田浩孝、鈴木勇佑、加藤剛志、岩田 聡、綱島 滋、菅井秀郎

    第67回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  602. 表面波励起SiH4/GeH4/H2プラズマを用いたSiGe膜の形成

    高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎

    第67回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  603. 表面波プラズマCVDにおけるmc-Si膜特性の基板表面温度依存性

    岡安隆文、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎

    第67回応用物理学会学術講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  604. High-speed Deposition of Microcrystalline Silicon by a Surface Wave Excited H2/SiH4 Plasma 国際会議

    Hirotaka Toyoda, Yoshihiko Hota, Takafumi Okayasu, Hideo Sugai

    2006 IEEE World Conference on Photovoltaic Energy Conversion 

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    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Hawaii, USA   国名:アメリカ合衆国  

  605. Measurements of Absolute Densities and Emission Intensities of Species Ejected from a YBaCuO Target in MSP 国際会議

    J. S. Gao, K. Sasaki, H. Toyoda, A. Fujimaki, S. Iwata, and H. Sugai

    Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Potsdam, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  606. Measurements of Nitrogen Radical Flux for GaN Layer Formation 国際会議

    T. Ishijima, H. Kanai, H. Toyoda, J. Osaka and H. Sugai

    Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Potsdam, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  607. Sheath-Lens Effect in Plasma Immersion Ion Implantation 国際会議

    N. Holtzer, E. Stamate, H. Toyoda and H. Sugai

    Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Potsdam, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  608. Distribution of densities in rf magnetron sputtering plasmas with a Si target and Ar-H2 Mixture gas 国際会議

    K. Fukaya, K. Sasaki, J. Gao, A. Tabata, H. Toyoda, S. Iwata, and H. Sugai

    Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Potsdam, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  609. High Quality mc-Si Film Deposition Wave Plasma with a Modified Gas Feed System 国際会議

    H. Toyoda, T. Okayasu, Y. Takanishi, and H. Sugai

    Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Potsdam, Germany   国名:ドイツ連邦共和国  

  610. Development of New Neutral Beam Source and its Characteristic of Change Exchange 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, S. Den, K. Yamakawa, H. Kanou, H. Sugai, H. Toyoda, M. Hori

    Japanese-German Student Workshop on Plasma Science and Technology 

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    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語  

    国名:日本国  

  611. Development of New Neutral Beam Source and its Characteristic of Change Exchange 国際会議

    Y. Hara, S. Takashima, S. Den, K. Yamakawa, H. Kanou, H. Sugai, H. Toyoda, M. Hori

    COE 2006 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology 

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    開催年月日: 2006年5月

    記述言語:英語  

    国名:日本国  

  612. メートル級大面積プラズマプロセスの現状と展望 招待有り

    豊田浩孝

    第53回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  613. 円筒マグネトロンプラズマによる高エネルギー粒子抑制とスパッタ膜平坦化

    高木佑輔、坂下洋平、豊田浩孝、菅井秀郎

    第53回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  614. GaN-MBE成長における窒素ラジカル源からの活性粒子束の測定

    金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、大坂次郎

    第53回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  615. 915MHz長尺高密度プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積

    岡安隆文、堀田芳彦、野尻康弘、高西雄大、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、増田淳、近藤道雄

    第53回応用物理学関係連合講演会 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  616. 異なるバイアス電極形状と放電ガス下のプラズマイオン注入の振舞い

    ホルゼル ニコラ、スタマテ エウジェン、豊田浩孝、菅井秀郎

    第53回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  617. 表面波プラズマ源のガス導入系および窓材質の最適化による微結晶シリコンの膜質向上

    堀田芳彦、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎

    第53回応用物理学関係連合講演会 

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    開催年月日: 2006年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  618. Energetic Particle Reduction on Substrate in Cylindrical Magnetron Sputter System 国際会議

    Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda and H. Sugai

    ICRP-6/SPP-23(6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing) 

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    開催年月日: 2006年

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  619. プロセシングプラズマの生成・制御とプラズマ計測技術 招待有り

    豊田浩孝

    技術情報協会セミナー 

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    開催年月日: 2006年

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  620. Dependence of GMR in Co/Cu Multolayers on Sputtering Conditions 国際会議

    C. C. Chen, Y. Sakashita, Y. Suzuki, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, H. Toyoda, K. Sasaki, H. Sugai

    ICRP-6/SPP-23(6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing) 

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    開催年月日: 2006年

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    国名:日本国  

  621. Slot-Excited Surface Wave Plasma for Giant Scale Processing 招待有り 国際会議

    Hideo Sugai, Yasuhiro Nojiri, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda

    ICRP-6/SPP-23(6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing) 

     詳細を見る

    開催年月日: 2006年

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:日本国  

  622. Gas and Window Material Control for High Quality mc-Si Film Deposition by Surface Wave Plasma 国際会議

    Y. Takanishi, Y. Hotta, H. Toyoda and H. Sugai

    ICRP-6/SPP-23(6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing)