受賞 - 石川 健治
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ISPlasma 2016/IC-PLANTS 2016 Excellent Presentation Award
2016年3月 ISPlasma 2016/IC-PLANTS 2016
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第37回（2015年度）応用物理学会論文賞
2015年9月 応用物理学会
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第11回プラズマエレクトロニクス賞
2013年3月 応用物理学会
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第11回アジア太平洋プラズマ科学会議（APCPST&SPSM) Plasma Science Award
2012年10月 APCPST&SPSM
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第72回半導体・集積回路技術シンポジウムアワード
2009年 電気化学会
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ASET 優秀研究員“SiO2およびポリマーのプラズマエッチング表面反応の研究”
2003年 技術研究組合 超先端電子技術開発機構（ASET）
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2003 spring MRS best poster award: E3.28 VAPOR TREATMENT OF COPPER SURFACE USING ORGANIC ACIDS
2003年 Material Research Society