研究者詳細 - 豊田　浩孝

受賞 - 豊田　浩孝

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応用物理学会優秀論文賞

2024年3月応用物理学会

受賞区分：国内外の国際的学術賞受賞国：日本国

3D-NAND に代表されるメモリ作製技術では，反応性イオンエッチングプロセスの理解が重要であるものの，プラズマ中からバイアスされた基板へのイオンや中性粒子の輸送に関する実験的検証はその測定の困難さから現在までに検討された例は少ない．本論文では，プラズマからバイアス基板へ輸送されるイオンと中性粒子の角度分布をドリフトチューブを用いた洗練された計測法により詳細に明らかにしたものである．この中で，イオンと中性粒子の角度分布は，1 度以下の鋭いピークを持つことなどを明らかにした．得られた知見は，反応性イオンエッチングの理解を深める，半導体デバイスプロセスの深化に貢献するものであるため，本論文は応用物理学会優秀論文賞にふさわしい．

応用物理学会フェロー表彰

2020年9月公益社団法人　応用物理学会プロセスプラズマの気相・表面解析と新規プロセスプラズマ源創出

豊田浩孝

第21回プラズマエレクトロニクス賞

2023年3月応用物理学会　プラズマエレクトロニクス分科会

第25回プラズマ材料科学賞基礎部門賞

2024年1月名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

豊田浩孝

受賞区分：国内外の国際的学術賞受賞国：日本国

スパッタプロセスにおけるプラズマからシースを通過して基板に入射する負イオンのエネルギー分布や高アスペクト比孔における高速粒子の入射角度分布の計測，マイクロ波を用いた独自の大気圧・水中プラズマ源の開発に関する顕著な業績は、プラズマ材料科学分野の進歩・向上に多大な貢献をした

平成22年度第4回貢献賞

2010年11月（社）プラズマ・核融合学会

第5回プラズマエレクトロニクス賞

2007年3月応用物理学会　プラズマエレクトロニクス分科会

講演奨励賞

2022年10月応用物理学会二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太,　鈴木陽香,　飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

キオクシア優秀研究賞　

2022年8月キオクシア（株）

豊田浩孝

Best Poster Presentation Award

2022年3月 ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma

電気学会優秀論文発表賞

2022年1月令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

市川景太，鈴木陽香，豊田浩孝

APEX/JJAP編集貢献賞

2016年4月応用物理学会

Best Poster Presentation Award (Poster)

2014年3月 ISPlasma2014 Organizing Committee

応用物理学会講演奨励賞

2000年

応用物理学会講演奨励賞

1998年

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