産業財産権 - 豊田 浩孝
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プラズマ生成装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
豊田浩孝、堀 勝、関根 誠、竹田圭吾、三好秀典、伊藤仁、久保田雄介
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プラズマの装置、プラズマ処理ユニット及びプラズマ処理方法
菅井秀郎、豊田浩孝、伊関清司、辰巳敏実
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マイクロ波プラズマ生成装置
豊田 浩孝,笹井 建典
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プラズマ発生装置およびその利用
豊田 浩孝, 高橋 朋大, 高島 成剛, 伊藤 美智子, 北川 富則, 野村 記生
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マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
伊藤 仁, 久保田 雄介, 豊田 浩孝, 堀 勝
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スパッタ成膜装置
笹井 建典, 豊田 浩孝
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マイクロ波プラズマ生成装置
笹井 建典, 豊田 浩孝
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導電性膜の形成方法
堀 勝、豊田浩孝、関根 誠、竹田圭吾、近藤博基、石川健治、久保田雄介、伊藤仁、三好秀典、
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マイクロ波プラズマ処理装置
藤井理香、笹井建典、豊田浩孝
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ECRプラズマ生成装置、およびそれを用いたマグネトロンスパッタ成膜装置
笹井建典、豊田浩孝
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マイクロ波プラズマ生成装置、およびそれを用いたマグネトロンスパッタ成膜装置
笹井建典、豊田浩孝
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樹脂ホースおよびその製造方法
笹井建典、豊田浩孝
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プラズマ処理装置
菅井 秀郎、石島 達夫、豊田 浩孝、笹井 建典、藤井 理香
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プラズマ生成装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
堀 勝、豊田浩孝、関根 誠、伊藤仁、三好秀典
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液体処理装置および液体処理方法
豊田浩孝、石島達夫
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積層プラスティックフィルム及びその製造方法
菅井秀郎、豊田浩孝、伊関清司
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マイクロ波プラズマ処理装置
笹井建典、豊田浩孝、石島達夫
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プラズマ生成装置
菅井秀郎、石島達夫、豊田浩孝、笹井建典
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薄膜堆積装置および薄膜堆積方法
後藤真志、西谷幹彦、菅井秀郎、豊田浩孝