低温プラズマ科学研究センター
プラズマナノ科学・ナノ工学
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プラズマ応用科学、表面界面物性
低温プラズマ科学研究センター 統括部門
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器
低温プラズマ科学研究センター 半導体ナノプロセス研究部門
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エネルギー / プラズマ応用科学
低温プラズマ科学研究センター 半導体ナノプロセス研究部門
低温プラズマ科学研究センター 低温プラズマ農業・環境新技術開発部門
低温プラズマ科学研究センター サステナブル技術研究開発部門
低温プラズマ科学研究センター サステナブル技術研究開発部門
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