講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護
柚木 健吾, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 増崎 貴, 林 浩己, 村瀬 尊則, 中川 翔, 柳原 悠人, 豊田 浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月18日
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高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化
小川 泰那, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月15日
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響
川村 隼也, 市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月17日
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響
加藤閣人, 赤塚勇大, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月16日
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Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process 国際会議
Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023年3月7日
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Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure 国際会議
Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023年3月6日
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Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma 国際会議
Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023年3月6日
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Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode 国際会議
K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月25日
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Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C4F8/O2 DF-CCP 国際会議
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月24日
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Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma 国際会議
Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki, and H. Toyoda
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月25日
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パルス変調二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定
鈴木 陽香, 関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 豊田 浩孝
第39回プラズマ・核融合学会年会 2022年11月22日
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Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid 国際会議
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月6日
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Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage 国際会議
Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月5日
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Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議
Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月4日
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Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 国際会議
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda
11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月6日
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響
関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日
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化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化
松浦寛人, トラントラングエン, 胡敏, 仲野匠, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月20日
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周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測
市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野 大輝, 福水 裕之, 栗原 一彰, 豊田 浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測
加藤 閣人, 関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2022年8月29日
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二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測
市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日 応用物理学会