名古屋大学   大学院　工学研究科   助教

2016年4月 - 2022年2月

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023   Program Committee  

2022年   

一般社団法人 プラズマ・核融合学会   編集委員  

2021年6月 - 2023年6月   

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022   Executive Committee  

2021年   

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022   Program Committee  

2021年   

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022   Editorial Committee  

2021年   

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021   Executive Committee  

2020年   

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021   Program Committee  

2020年   

ISPlasma2020/IC-PLANTS2020   Executive Committee  

2019年   

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019   Executive Committee  

2018年   

40th International Symposium on Dry Process   Executive Committee  

2018年   

40th International Symposium on Dry Process   Ad Hoc Committee for 40th Anniversary Project  

2017年3月 - 2018年   

ISPlasma2018/IC-PLANTS2018   Executive Committee  

2017年   

ISPlasma2017/IC-PLANTS2017   Executive Committee  

2016年   

The Best Poster Award

2016年9月   ICMAP 2016   Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path

Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

若手学会発表賞

2015年11月   一般社団法人 プラズマ・核融合学会   大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

電気学会優秀論文発表賞

2012年1月   一般社団法人 電気学会   パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測

Enhancement of the ion flux to the substrate by high voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film 査読有り

Hansin Bae, Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 12 ) 頁： 126002   2021年12月

Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 査読有り

Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara and Hirotaka Toyoda

Applied Physics Express   14 巻 ( 12 ) 頁： 126001   2021年11月

Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma 査読有り

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Hirotaka Toyoda

Fusion Engineering and Design   170 巻   頁： 112532   2021年9月

High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C₆H₆ surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing 査読有り

H. Bae, K. Sasai, H. Suzuki, and H. Toyoda

Vacuum   192 巻   頁： 110429   2021年7月

Spatial uniformity evaluation of atmospheric-pressure microwave line plasma for wide-area surface treatment 査読有り

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Yosuke Koike, Hirotaka Toyoda

Plasma and Fusion Research   16 巻   頁： 1406046   2021年4月

Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma 査読有り

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 1 ) 頁： 016001   2020年12月

Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma 査読有り

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Kazuaki Kurihara, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( SJ ) 頁： SJJB03   2020年4月

Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N₂ plasma production 査読有り

Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Manh Hung Chu and Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 1 ) 頁： 016002   2020年1月

Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O₂ plasma 査読有り

Hirotaka Toyoda, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Takeshi Honda

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( 12 ) 頁： 126001   2019年11月

Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow 査読有り

Hikaru Senba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻   頁： SAAC05   2018年12月

Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment 査読有り

Kensuke Sasai, Kazuki Keyamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   57 巻   頁： 066201   2018年5月

Quantitative evaluation of high-energy O^- ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target 査読有り

Taku Suyama, Hansin Bae, Kenta Setaka, Hayato Ogawa, Yushi Fukuoka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 44 ) 頁： 445201   2017年10月

An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge 査読有り

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 11 ) 頁： 116001   2017年9月

Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition 査読有り

Kensuke Sasai, Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 8 ) 頁： 086202   2016年7月

Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma 査読有り

Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Journal of Physics D: Applied Physics   49 巻 ( 29 ) 頁： 295202   2016年6月

Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45 GHz microwave travelling wave 査読有り

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 1S ) 頁： 01AH09   2015年12月

Low-pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler 査読有り

Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 1 ) 頁： 016203   2015年12月

New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure 査読有り

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

Applied Physics Express   8 巻 ( 3 ) 頁： 036001   2015年2月

Evaluation of the spatial structure of multiline emission in a capacitively coupled plasma using tomographic reconstruction

Kyuzo, M; Harada, K; Izumi, R; Suzuki, H; Toyoda, H

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   63 巻 ( 5 )   2024年5月

Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation 査読有り

Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁： SE802   2019年6月

Progress and perspectives in dry processes for leading-edge manufacturing of devices: toward intelligent processes and virtual product development 査読有り

Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁： SE804   2019年6月

Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: how can we improve our use of dry processes? 査読有り

Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, Mitsuhiro Omura, Tetsuji Shimizu, Kazunori Shinoda, Yasushi Sonoda, Haruka Suzuki, Kazuo Takahashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenichi Yoshikawa, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE ) 頁： SE803   2019年6月

Ion composition in Ar/C₄F₈/O₂ pulsed capacitively-coupled plasma evaluated using ion production rates from time-resolved electron density measurements 国際会議

Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024)  2024年3月5日 

テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価

鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41)  2024年1月25日  公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41)  2024年1月24日  公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41)  2024年1月24日  公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

多方向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価

鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月30日  一般社団法人　プラズマ・核融合学会

気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討

小川泰那、中林賢二、鈴木陽香、豊田浩孝

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月29日  一般社団法人　プラズマ・核融合学会

Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

Shunya Kawamura, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)  2023年11月22日  44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C₄F₈/O₂ pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates 国際会議

Haruhito Kato , Yudai Akatsuka , Shuichi Kuboi , Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)  2023年11月22日  44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching　in Pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Yudai Akatsuka, Haruhito Kato, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)  2023年11月21日  44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

高周波プラズマの生成制御とプロセス ～減圧から大気圧まで～ 招待有り

鈴木陽香

第34回プラズマエレクトロニクス講習会  2023年11月17日  公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2023)  2023年11月7日 

気液プラズマの環境応用 招待有り

鈴木陽香

グリーン・DXプラズマコンソーシアム2023年度実習  2023年10月27日 

Ar/C₄F₈/O₂容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

加藤 閣⼈, ⾚塚 勇⼤, 久保井 宗⼀, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会  2023年9月22日  公益社団法人 応用物理学会

高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測

豊田 浩孝、市川 景太、チュ マンフン、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会  2023年9月20日  公益社団法人 応用物理学会

複数視野像を⽤いたプラズマ3次元構造評価の試み

原⽥ 健汰, 久蔵 学, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会  2023年9月21日  公益社団法人 応用物理学会

流動液体プラズマ処理装置を⽤いたAgナノ粒⼦合成における⽣成性能評

柚⽊ 健吾, 鈴⽊ 陽⾹, 笹井 建典, 豊⽥ 浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会  2023年9月19日  公益社団法人 応用物理学会

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマの電子密度時分解計測

赤塚勇大，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会  2023年8月29日 

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション

中林 賢二，小川 泰那，鈴木 陽香 ，豊田 浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会  2023年8月29日 

Influence of pulse-off time on time-varying ion composition in a pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)  2023年5月22日 

旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護

柚木 健吾, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 増崎 貴, 林 浩己, 村瀬 尊則, 中川 翔, 柳原 悠人, 豊田 浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月18日 

高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

小川 泰那, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月15日 

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

川村 隼也, 市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月17日 

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

加藤閣人, 赤塚勇大, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月16日 

Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process 国際会議

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月7日 

Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure 国際会議

Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月6日 

Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月6日 

Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode 国際会議

K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月25日 

Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C₄F₈/O₂ DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月24日 

Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma 国際会議

Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki, and H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月25日 

パルス変調二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定

鈴木 陽香, 関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 豊田 浩孝

第39回プラズマ・核融合学会年会  2022年11月22日 

Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月6日 

Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月6日 

Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ Dual-frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月4日 

Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月5日 

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月22日 

化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化

松浦寛人, トラントラングエン, 胡敏, 仲野匠, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月20日 

周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測

市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野 大輝, 福水 裕之, 栗原 一彰, 豊田 浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月22日 

プラズマの生成と制御 招待有り

鈴木陽香

第16回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール  2022年9月11日  公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマ中のイオン時分解計測

加藤 閣人, 関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2022年8月29日 

二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月25日  応用物理学会

水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用

鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月23日  応用物理学会

質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマ中イオンの時分解計測

市関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月25日  応用物理学会

Ar/O₂大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析

岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月26日  応用物理学会

電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加

濱口育未，ベハンシン，笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会   2022年3月22日  応用物理学会

Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 国際会議

Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月9日 

RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月7日 

Radical measurements of Ar/C₄F₈ dual frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月8日 

Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月8日 

O Radical Measurement of Ar/O₂ Microwave Plasma in Atmospheric Pressur 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月7日 

Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)  2022年3月7日 

高電圧バイアス印加Ar/C₆H₆ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響

濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム  2022年1月25日 

水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融合金の発泡現象

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム  2022年1月25日 

真空紫外原子吸光分光法による 大気圧マイクロ波Ar/O₂プラズマのO原子密度計測

岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，堤隆嘉，堀勝，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム  2022年1月24日 

容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測

市川景太，チュマンフン，森山誠，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム  2022年1月25日 

超高周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける イオンおよび中性ラジカル種の測定

関悠斗，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム  2022年1月24日 

大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化

豊田浩孝、鈴木陽香

「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」 「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会  2021年12月24日  核融合科学研究所

Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Material Research Meeting 2021 (MRM2021)  2021年12月16日 

High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device 国際会議

Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Material Research Meeting 2021 (MRM2021)  2021年12月14日 

Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12)  2021年12月9日 

Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy 国際会議

Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12)  2021年12月10日 

パルスマイクロ波励起大気圧長尺酸素添加アルゴンプラズマ源の性能評価

小笠原知裕、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日  プラズマ・核融合学会

高密度表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の溶融

疋田和也，笹井健典，鈴木陽香，豊田浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日  プラズマ・核融合学会

水素プラズマ照射下でのスズおよびスズ合金からのスパッタリング計測

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第38回 プラズマ・核融合学会 年会  2021年11月22日  プラズマ・核融合学会

High Speed sp₂-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma 国際会議

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021)  2021年11月19日 

Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner 国際会議

Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021)  2021年11月19日 

Investigation of Ar/O₂ atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing 国際会議

Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021)  2021年11月18日 

Sputtering Behavior of Sn and Sn-based Alloy Under Hydrogen Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda

The 30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research  2021年11月18日 

Microwave application to liquid process in reduced pressure environment 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年10月29日 

Oxygen radical measurement in Ar/O₂ atmospheric pressure microwave line plasma 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年11月25日 

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research  2021年11月25日 

Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021)  2021年10月7日 

Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition 国際会議

Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021)  2021年10月5日 

Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO₃ solution 国際会議

Haruka Suzuki, Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021)  2021年10月5日 

Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma 招待有り 国際会議

H. Suzuki, M. Moriyama, N. Nakahara, K. Ichikawa, and H. Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021)  2021年9月28日 

Large Area Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O₂ 国際会議

T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Suzuki, and H. Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021)  2021年9月26日 

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成

山口 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月22日  応用物理学会

ECRプラマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜, 第82回応用物理学会秋季学術講演会

Bae Hansin, 濱口 育未, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月12日  応用物理学会

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理

岩田 悠揮, 小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2021年9月7日  電気学会東海支部

イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

市川景太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2021年9月7日  電気学会東海支部

二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測

関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2021年9月7日  電気学会東海支部

表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積

濱口 育未, Bae Hansin, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2021年9月7日  電気学会東海支部

表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜

BAE Hansin, 疋田 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月18日 

液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成

山口 和也, 鈴木 丈, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月19日 

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

小笠原 知裕, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月18日 

絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動

千葉 行徳, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月19日 

Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月9日 

Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave LinePlasma with Ar/O₂ 国際会議

Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議

Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science  2021年3月8日 

パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化

森山 誠, 中原 尚哉, 市川景太, Chu Manh Hung, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第38回プラズマプロセシング研究会  2021年1月29日 

表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積

ベ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

第38回プラズマプロセシング研究会  2021年1月29日 

重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定

田村 晃汰, 鈴木 陽香, 増崎 貴, 時谷 政行, 宮澤 順一, 豊田 浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会  2020年12月2日 

大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用

鈴木 陽香, 小笠原 知裕, Chu Manh Hung, 岩田 悠揮, 豊田 浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会  2020年12月3日 

High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma

H.Bae, K.Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda

プラズマ・核融合学会　第37回年会  2020年12月3日 

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理

小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会  2020年12月2日 

パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価

中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会  2020年12月2日 

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University 2. National Institute for Fusion Science

The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research  2020年10月28日 

Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate 国際会議

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月7日 

Film Surface Treatment with O₂/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月6日 

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月11日 

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測

中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月3日 

誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動

疋田 和也, べ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月4日 

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理

小笠原 知裕, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  2020年9月4日 

パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価

森山 誠，中原 尚哉，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制

鈴木 丈, 鈴木 陽香，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

The 67th JSAP Spring Meeting 

容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

中原 尚哉, 森山 誠, 三矢 晶洋, 鈴木 陽香，豊田 浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会 

Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma 国際会議

Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave 国際会議

Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source 国際会議

Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki Junichi Miyazawa and Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation 国際会議

Yoshiki Baba, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

森⼭ 誠, 中原 尚哉, 三⽮ 晶洋, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会 

核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

田村 晃汰，鈴木 陽香，宮澤 順一，豊田 浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会 

potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

2019 International Symposium on DryProcess 

Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap 国際会議

H. Toyoda, H. Koma, Y. Baba, M. Chu, H. Bae, H. Suzuki

The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference 

Space-resolved oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave line plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

H. Bae, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference 

表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化

福田 奨, 鈴木 陽香, 村田 祐也, 山本 兼司, 豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測

チュー マン フン，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

三矢 晶洋, 森山 誠, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

森⼭ 誠, 三⽮ 晶洋, 中原 尚哉, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O₂/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測

馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会 

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

中原 尚哉, 森山 誠，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝, 栗原 一彰，飯野 大輝，福水 裕之，林 久貴，鈴木 啓之

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

表面波プラズマ生成アンテナへのDC パルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察

福田 奨，鈴木 陽香，村田 祐也，山本 兼司，豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

田村 晃汰，鈴木 陽香，宮澤 順一，豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測

馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定解析

三矢 晶洋，森山 誠，中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

AEPSE2019 

Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide 国際会議

S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) 

Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) 

Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10) 

Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization 国際会議

T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Japan H. Toyoda, H. Suzuki

International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019) 

Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna 国際会議

Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

Hansin Bae, Yosuke Koike, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Hydrogen Recycling Properties of Tin Wall in DC Glow Hydrogen Plasma 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda, Junichi Miyazawa

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

森山 誠，三矢 晶洋，中原 尚哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

福田 奨, 宇田川 洸, 鈴木 陽香, 田内 裕基, 豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

小間 浩嗣，杉山 敦士，鈴木 陽香，本田 剛，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

High Speed Synthesis of Nanoparticles by Liquid Flow-type Microwave Plasma

Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価

三矢 晶洋，森山 誠，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測

馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会 

メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

小間浩嗣, 小池洋右, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測

馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析

Chu Manh Hung, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム 

Water Vapor Plasma Treatment Process Using Slot-Excited Microwave Plasma 招待有り

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Organic-matter removal treatment using atmospheric pressure microwave O₂/CF₄

Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda, Hirotaka Toyoda

新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 招待有り

鈴木 陽香

高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会 「トライボロジーと表面技術」  

直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価

田村 晃汰、鈴木 陽香、豊田 浩孝、宮澤 順一

第35回プラズマ・核融合学会年会 

二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価

森山 誠、三矢 晶洋、中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝

第35回プラズマ・核融合学会年会 

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測

Bae Hansin、小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝

第35回プラズマ・核融合学会年会 

大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用

鈴木 陽香、豊田 浩孝

第35回プラズマ・核融合学会年会 

Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis 国際会議

S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

Optimal design of atmospheric-pressure plasma source for industrial application 国際会議

Haruka Suzuki

The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O₂/CF₄ plasma 国際会議

S. Ishikawa, H. Suzuki, T. Honda, H. Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018) 

Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki

2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 

Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge 国際会議

Hirotaka Toyoda, Yoshiki Baba, Haruka Suzuki

71st Annual Gaseous Electronics Conference  

Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

THERMEC2018 

Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki

International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2018) 

大気圧マイクロ波励起O₂/CF₄プラズマによるフォトレジスト除去処理

石川 翔太、鈴木 陽香、本田 剛、豊田 浩孝

第79回応用物理学会秋季学術講演会 

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna

Kou Udagawa、Sho Fukuda、Haruka Suzuki、Yuki Tauchi、Hirotaka Toyoda

第79回応用物理学会秋季学術講演会 

メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝

第79回応用物理学会秋季学術講演会 

流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成

藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝

第79回応用物理学会秋季学術講演会 

電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制

小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝

第79回応用物理学会秋季学術講演会 

大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測

小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析

三矢 晶洋、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測

馬場 賀己、鈴木 陽香、豊田 浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御

福田 奨、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田浩孝、田内 裕基

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasmand its application- 招待有り 国際会議

Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki

THERMEC2018 

Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application- 招待有り 国際会議

H. Toyoda, H. Suzuki, Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama

JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science 

マグネトロンプラズマにおける高エネルギー負イオン軌道の数値解析

宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会 

同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成

藤村昇平, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会 

大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布

小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会 

Space-resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Power Absorption Mechanism of Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-shielded Environment by Water Flow 国際会議

Haruka Suzuki, Hikaru Senba, Hirotaka Toyoda

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

A Coaxial-waveguide Microwave Plasma Source for In-line Treatment of Large Volume Liquid 国際会議

Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering 国際会議

Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 

直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定

宇田川洸, 三矢晶洋, 鈴木陽香, 豊田浩孝

電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討

小池洋右, 田村宥人, 鈴木陽香, 豊田 浩孝

水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用

鈴木陽香, 仙波輝, 豊田浩孝

ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上

藤村昇平, 堤和紀, 鈴木陽香, 豊田浩孝

大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO₂膜形成及び膜評価

石川翔太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

Power Absorption Mechanism of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

39th International Symposium on Dry Process 

Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Taku Suyama, Hansin Bae

The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 

空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション

小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価

宇田川 洸, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成

石川 翔太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測

堤 和紀, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第78回応用物理学会秋季学術講演会 

水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成

仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第78回応用物理学会秋季学術講演会 

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構

田村 宥人, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第78回応用物理学会秋季学術講演会 

スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン

鈴木 陽香, 小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 豊田 浩孝

第78回応用物理学会秋季学術講演会 

Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O₂/TEOS 国際会議

Shota Ishikawa, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 15th International Conference on Advanced Materials 

Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressur 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki

The 15th International Conference on Advanced Materials 

高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発 招待有り

鈴木陽香

プラズマ材料科学153委員会30周年記念講演会 

Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hirotaka Toyoda

XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 

Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide 国際会議

Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki

XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 

Microwave Plasma Production inside the Micro-gap with Meter-scale Length 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki

9th International Workshop on Microplasmas 2017 

Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment 招待有り 国際会議

Haruka Suzuki

The 22th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性 招待有り

鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

第６４回応用物理学会春季学術講演会 

マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測

堤 和紀 滝藤 奨, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第６４回応用物理学会春季学術講演会 

水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成

仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第６４回応用物理学会春季学術講演会 

マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討

田村 宥人, 猪俣 弥雄起, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第６４回応用物理学会春季学術講演会 

Long-scale N₂ line plasma production under atmospheric pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

Shielding of plasma jets from ambient air by water flow 国際会議

Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

Measurement of Directional Heat Flux Component in VHF-Magnetron Sputtering 国際会議

Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO₂ 国際会議

Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS) 

改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成

鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

第３４回 プラズマプロセシング研究会/第２９回 プラズマ材料科学シンポジウム 

インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上

堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議） 

ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布

Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議） 

長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション

堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議） 

マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価

豊田 浩孝, 巣山 拓, Bae Hansin, 鈴木 陽香

プラズマ・核融合学第33回会年会 

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO₂ films by slot type microwave plasma with O₂/TEOS 国際会議

Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, Hirotaka Toyoda

38th International Symposium on Dry Process 

Evaluation of O^- Ion Flux in a VHF-DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process 国際会議

Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda

38th International Symposium on Dry Process 

100% N₂ atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure 国際会議

69th Annual Gaseous Electronics Conference 

High speed deposition of SiO₂ lm by slot-type microwave CVD system 国際会議

Hirotaka Toyoda, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki

69th Annual Gaseous Electronics Conference 

Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path 国際会議

Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016) 

改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

鈴木陽香, 田村宥人, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会 

ITOマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価

巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会 

O₂/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO₂膜形成

山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会 

窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

田村 宥人, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

Evaluation of O^- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering

High-Speed-Camera Observation of Plasma Behavior in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016) 

Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO₄ Solution 国際会議

Hirotaka Toyoda, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki

7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016) 

スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第63回応用物理学会春季学術講演会 

Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) 国際会議

Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma)/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) 

大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

第32回プラズマ・核融合学会年会 

Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process 国際会議

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

68th Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing 

スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討

山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 

Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

The 10th Asian-European International Conference on Plasma SurfaceEngineering (AEPSE2015)  

Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas 国際会議

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) /8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) 

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

鈴木 陽香，中野 優，伊藤 仁，関根誠，堀 勝，豊田 浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会 

電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測

鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成

中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure 国際会議

Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori

67th Annual Gaseous Electronics Conference 

Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測

鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会 

電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測

鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会 

メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価

中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会 

Production of High-Uniform Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

Spatio-temporal Behavior of Alkaline Metals in a DC Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma 国際会議

Suguru Nakano, Haruka Suzuki, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)/7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014) 

Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Hirotaka Toyoda

The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics 

Meter-Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave 国際会議

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing 

Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

66th Annual Gaseous Electronics Conference 

電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測

鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝

平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成

中野 優, 鈴木 陽香, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝, 伊藤　仁

平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 

新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝

第74回応用物理学会学術講演会 

Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode 国際会議

17th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & 4th The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials 

電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測

鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

第60回応用物理学関係連合講演会 

Temporal and Spatial Variations of Atomic Metals in Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasmas with Liquid Electrode 国際会議

Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2013) 

Temporal Variation of Alkaline Metals in an Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasma with Liquid Electrode 国際会議

Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada, Hirotaka Toyoda

液体電極を用いた大気圧マイクロ波プラズマの光学的時分解計測

鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

第5回プラズマ技術産業応用センター＆プラズマが拓くものづくり研究会国際シンポジウム 

液体を電極としたマイクロ波励起大気圧プラズマの発光分光計測

鈴木 陽香, 鷹羽 貴史, 高田 昇治, 豊田 浩孝

第73回応用物理学会学術講演会 

液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用

鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝

第59回応用物理学関係連合講演会 

Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Microwave Plasma 国際会議

The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2012)

Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda  

Temporal Variation of Water Vapor Pressure inside a Bubble under Water Induced by Atmospheric Pressure Microwave Plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Tatsuo Ishijima, Hirotaka Toyoda

4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012) 

Bubble Plasma Production under Water using Microwave -Basic Study in Multiphase Structure and Application- 国際会議

Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Koji Kanetake, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Biomimetic Materials Processing (BWWMP-12) 

マイクロ波励起液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測

鈴木 陽香, 石島 達夫, 豊田 浩孝

Time-resolved OES measurement of microwave plasma produced inside controlled bubbles under water 国際会議

Tatsuo Ishijima, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

64th Annual Gaseous Electronics Conference 

パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測

鈴木　陽香, 石島　達夫, 豊田　浩孝

応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム 

パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測

鈴木 陽香, 石島 達夫 豊田 浩孝

平成23年度電気関係学会東海支部連合大会 

電気電子情報工学実験第１

2021

電気磁気学及び演習

2020

電気電子情報工学実験第１

2020

電気電子情報工学実験第２

2020

電気電子情報工学実験第１

2019

電気電子情報工学実験第２

2019

電気磁気学及び演習

2019

電気電子情報工学実験第２

2018

電気磁気学及び演習

2018

電気電子情報工学実験第１

2018

電気電子情報工学実験第１

2017

電気電子情報工学実験第２

2017

電気磁気学及び演習

2017

電気・電子工学実験第１

2016

電気・電子工学実験第２

2016

電気磁気学及び演習

2016

集積プロセス特別実験及び演習

2016

女子中高生理系進学推進セミナー

役割：出演

名古屋大学男女共同参画推進専門委員会  2016年8月