産業財産権 - 天野 浩
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薄膜基板と半導体装置とこれらの製造方法および成膜装置および成膜方法およびＧａＮテンプレート
天野 浩、本田善央、光成 正
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III 族窒化物半導体基板の製造方法及びIII 族窒化物半導体基板
本田善央、天野浩、松本光二、小野俊昭
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発光ダイオード素子及びその製造方法
上山智、天野浩、岩谷素顕、赤﨑勇、西村拓哉、寺前文晴、近藤俊行
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GaN系化合物半導体の成長方法及び成長層付き基板
天野 浩、上山 智
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発光素子及びその製造方法
上山智、岩谷素顕、天野浩、赤﨑勇、鈴木敦志、北野司、寺前文晴、近藤俊行
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２光束干渉露光装置及びそれを用いた２時限微細周期構造
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トランジスタ
岩谷素顕、上山智、天野浩、赤﨑勇
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高温用CVD装置
市岡 幹朗、禅野 由明、山本 高稔、天野 浩
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無クラックAlNまたはAlGaNの結晶成長方法
赤﨑勇、天野浩、山口栄雄
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半導体レーザ及び半導体レーザの製造方法
赤﨑勇、天野浩、上山智、岩谷素顕、中村亮
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半導体素子の製造方法及び半導体素子
新田州吾、湯川洋平、小嵜正芳、
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GaN/AlGaNまたはAlGaN/GaN量子井戸構造の形成方法
赤﨑勇、天野浩、山口栄雄
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半導体の製造方法および該方法により製造した半導体素子
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p型III族窒化物半導体の製造方法
赤﨑勇、天野浩、山口栄雄
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3族窒化物半導体レーザダイオードの製造方法
加藤久喜、赤﨑勇、天野浩
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窒化ガリウム系化合物半導体の結晶成長方法
小出典克、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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半導体発光素子
小出典克、小池正好、山崎史郎、赤﨑勇、天野浩
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3族窒化物半導体レーザダイオードの製造方法
山崎史郎、永井誠二、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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3族窒化物半導体のドライエッチング方法及び素子
山崎史郎、永井誠二、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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3 族窒化物半導体の映像方法及び半導体素子
永井誠二、山崎史郎。小池正好、森茂雄、赤﨑勇、天野浩
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3族窒化物半導体発光素子及びその製造方法
佐々 道成、小出典克、柴田直樹、赤﨑勇、天野浩
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3族窒化物半導体素子
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発光素子の製造方法
山崎史郎、永井誠二、赤﨑勇、天野浩
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3族窒化物半導体素子の製造方法
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発光素子
小出典克、柴田直樹、山崎史郎、梅崎潤一、佐々道成、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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発光素子及び製造方法
小出典克、柴田直樹、山崎史郎、梅崎潤一、佐々道成、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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発光素子
小出典克、柴田直樹、山崎史郎、梅崎潤一、佐々道成、小池正好、赤﨑勇、天野浩
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窒素―３族元素化合物半導体発光素子
真部勝英、小池正宏、加藤久喜、田牧真人、赤﨑勇、天野浩
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窒化ガリウム系半導体素子及びその製造方法
竹内哲也、天野浩、赤﨑勇
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窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
岡崎伸夫、真部勝英、赤﨑勇、天野浩
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窒化ガリウム系化合物半導体レーザダイオード
岡崎伸夫、真部勝英、赤﨑勇、天野浩
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窒化ガリウム系化合物半導体レーザダイオード
小出 典克、山崎史郎、梅崎潤一、赤﨑勇。天野浩